一种晶体生长热场用保温桶的制作方法

文档序号:8048195阅读:448来源:国知局
专利名称:一种晶体生长热场用保温桶的制作方法
技术领域
本发明涉及一种人工晶体生产设备,特别涉及一种晶体生长热场保温桶。
背景技术
在晶体生长中,温度梯度的控制十分重要,控制热场的温度梯度更是生长出优质晶体材料的关键。不同的晶体材料不同的生长方法,对温度梯度要求不同,温度梯度成为生长出优质晶体的关键技术之一。传统的保温桶多采用单层保温装置,并且通过分别将保温桶或坩埚上下移动,使保温桶与坩埚产生相对位移,从而获得晶体生产所需的温度梯度。 而采用这种方式,单层的保温结构,保温效果不明显;移动保温桶或坩埚影响晶体的生长环境,并且位移的精确度难以把握。

发明内容
为解决现有技术中存在的技术问题,本发明提供了一种保温效果良好、并能获得稳定的温度梯度的晶体生长热场保温桶。本发明解决上述技术问题,所采用的技术方案是提供一种晶体生长热场用保温桶,该保温桶包括外保温屏和内保温屏,所述外保温屏与所述内保温屏之间设有保温夹层, 所述外保温屏与所述内保温屏采用钨、钼或钨、钼的组合物制成。作为一优选方案,所述保温夹层内设有多根直杆、上圆环和下圆环,所述上圆环位于所述多根直杆的上方,所述下圆环位于多根直杆的下方,所述上圆环、下圆环用于固定所述多根直杆;所述多根直杆、上圆环和下圆环都是采用钨、钼或钨、钼的组合物制成。作为一优选方案,所述直杆的长度小于所述外保温屏或所述内保温屏的长度,所述直杆在所述保温夹层内的高度可调。作为一优选方案,所述直杆的截面形状是圆形、三角形、长方形。作为一优选方案,所述内保温屏的内径是250mm-350mm、厚度3mm-6mm、高度 300mm-360mmo作为一优选方案,所述保温夹层的厚度为15mm-25mm。作为一优选方案,所述直杆的长度为200mm-250mm。本发明的上述技术方案相对于现有技术,取得的有益效果是(1)本发明采用双层保温屏(即内保温屏与外保温屏)的结构,以及在双层保温屏之间设有一保温夹层,加强了保温的效果,从而保证了晶体生产的高温环境;内保温屏与外保温屏采用钨、钼或钨、钼的组合物的材质制成,充分利用了钨、钼等材质熔点高、热传导性能好的特点,进一步保证了晶体的生产环境,并减少了能量损耗的特点。(2)本发明所说的保温夹层进一步采用钨、钼或钨、钼的组合物制成的多根直杆、 上圆环和下圆环,更进一步利用钨、钼等材质熔点高、热传导性能好的特点,为晶体的生长环境提供了保障,减少了能量的损耗。(3)直杆的长度小于外保温屏或内保温屏的高度,直杆在保温夹层内的高度可以调节。可以根据晶体的生长需要,预先设定好直杆在保温夹层的高度,从而达到预期的晶体生长温度曲线。(4)内保温屏的内径大小、厚度、高度可根据需要生产的晶体大小进行设置。


此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本发明的一部分,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中图1是本发明所述晶体生长热场保温桶剖视示意图;图2是本发明所述晶体生长热场保温桶另一实施例剖视示意图;图3是本发明所述晶体生长热场保温桶俯视示意图(去除上圆环)。
具体实施例方式为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚、明白,以下结合附图和实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。如图1、图3所示,本发明所述的晶体生长热场保温,包括外保温屏10和内保温屏 20,外保温屏10与内保温屏20之间设有保温夹层,保温夹层内设有多根直杆30、上圆环40 和下圆环50,上圆环40位于多根直杆30的上方,下圆环50位于多根直杆30的下方,上圆环40、下圆环50用于固定多根直杆30。其中,外保温屏10、内保温屏20采用钨、钼或钨、钼的组合物制成,同理,多根直杆30、上圆环40和下圆环50都是采用钨、钼或钨、钼的组合物制成。本发明采用双层保温屏结构(内保温屏10和外保温屏20),以及在双层保温屏之间设有一保温夹层,加强了保温的效果,从而保证了晶体生产的高温环境。并且,上述双保温屏10、20、直杆30、上圆环40和下圆环50都采用钨、钼或钨、钼的组合物制成,充分利用了钨、钼等材质熔点高、热传导性能好的特点,进一步保证了晶体的生产环境,并减少了能量损耗的特点。如图1所示,直杆30的长度小于外保温屏10或内保温屏20的高度,直杆30在保温夹层内的高度可调。因此,可以根据晶体的生长需要,预先设定好直杆30在保温夹层的高度,从而达到预期的晶体生长温度曲线。例如,晶体生长所需要环境,需要中间的温度较高,则将由钨、钼或钨、钼的组合物制成的直杆30设置于中部区域,以达到中部区域较好的保温效果,有利于晶体的生长。如图2所示,当晶体生产环境的底部需要较高温度时,则将直杆30往底部移动,并用上圆环40、下圆环50用于固定直杆30。因此,在晶体生产过程中,不需要移动坩埚(图中未示出)的高度以使晶体生长过程中对不同温度的需求。如图2 所示,为达到较好的热辐射、热对流和热传导的效果,直杆30的截面形状可以是圆形、三角形、长方形等,但不限于此。在晶体的实际生产过程中,晶体生长的环境的两种实施例如下表所示。
权利要求
1.一种晶体生长热场用保温桶,其特征在于,包括外保温屏和内保温屏,所述外保温屏与所述内保温屏之间设有保温夹层,所述外保温屏与所述内保温屏采用钨、钼或钨、钼的组合物制成。
2.根据权利要求1所述的晶体生长热场用保温桶,其特征在于,所述保温夹层内设有多根直杆、上圆环和下圆环,所述上圆环位于所述多根直杆的上方,所述下圆环位于多根直杆的下方,所述上圆环、下圆环用于固定所述多根直杆;所述多根直杆、上圆环和下圆环都是采用钨、钼或钨、钼的组合物制成。
3.根据权利要求1所述的晶体生长热场用保温桶,其特征在于,所述直杆的长度小于所述外保温屏或所述内保温屏的高度,所述直杆在所述保温夹层内的高度可调。
4.根据权利要求1所述的晶体生长热场用保温桶,其特征在于,所述直杆的截面形状是圆形、三角形、长方形。
5.根据权利要求1所述的晶体生长热场用保温桶,其特征在于,所述内保温屏的内径是 250mm-350mm、厚度 3mm-6mm、高度 300mm-360mm。
6.根据权利要求1所述的晶体生长热场用保温桶,其特征在于,所述保温夹层的厚度为 15mm-25mm0
7.根据权利要求1所述的晶体生长热场用保温桶,其特征在于,所述直杆的长度为 200mm-250mm。
全文摘要
本发明公开了一种晶体生长热场用保温桶,包括外保温屏和内保温屏,所述外保温屏与所述内保温屏之间设有保温夹层,所述外保温屏与所述内保温屏采用钨、钼或钨、钼的组合物制成。采用上述技术方案,采用双层保温屏(即内保温屏与外保温屏)的结构,以及在双层保温屏之间设有一保温夹层,加强了保温的效果,从而保证了晶体生产的高温环境;内保温屏与外保温屏采用钨、钼或钨、钼的组合物的材质制成,充分利用了钨、钼等材质熔点高、热传导性能好的特点,进一步保证了晶体的生产环境,并减少了能量损耗的特点;直杆在保温夹层内的高度可以调节,可以根据晶体的生长需要,预先设定好直杆在保温夹层的高度,从而达到预期的晶体生长温度曲线。
文档编号C30B11/00GK102304768SQ201110206889
公开日2012年1月4日 申请日期2011年7月22日 优先权日2011年7月22日
发明者叶长圳, 赵慧彬, 黄小卫 申请人:福建鑫晶精密刚玉科技有限公司
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