一种mocvd石墨盘与反应室的连接结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型提出的一种MOCVD石墨盘与反应室的连接结构，将反应室的旋转轴顶部改进为锥形结构，在石墨盘的底部设置一连接件，连接件上开设与旋转轴顶部形状相匹配的锥形通孔，从而使得石墨盘与旋转轴之间可以通过锥形结构精确定位，并且由于设置了连接件，可以很好地降低石墨盘的磨损，减少生产耗材。
【专利说明】—种MOCVD石墨盘与反应室的连接结构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及气相沉积领域，尤其涉及一种用于MOCVD石墨盘和反应室旋转轴之间的连接结构。
【背景技术】
[0002]MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。虽然每个设备厂家选择的工艺路线不同，设计出的反应室类型也不同，不同的MOCVD设备有不同的石墨盘结构。但是基本上MOCVD设备的石墨盘在放入和取出过程中都会存在难以精准定位的缺陷，为了使石墨盘可以和反应室进行精确定位，通常采用的方法都是提高机械手的加工精度，但是相应的也需要投入大量的成本。此外，石墨盘在经过多次取放后，接触部位很容易被磨损和碰伤，需要定期替换新的石墨盘，造成生产成本的增加。
[0003]如何有效地在反应室中将石墨盘精准地放入、以及减少石墨盘的磨损是业界亟待解决的问题。
实用新型内容
[0004]本实用新型为了解决上述技术问题，提出了一种MOCVD石墨盘与反应室的连接结构，该连接结构解决了石墨盘被机械手放入反应室时，无法与反应室的旋转轴进行定位的技术问题，以及石墨盘需要经常拆卸安装，接触部位容易磨损和碰伤的技术问题。
[0005]本实用新型提出的MOCVD石墨盘与反应室的连接结构，包括石墨盘和设于反应室内的旋转轴，石墨盘底部设有一连接件，该连接件包括一圆形底座、设于圆形底座上的一锥形凸台，石墨盘底部设有与连接件相匹配的凹槽，旋转轴的顶部为锥形结构，连接件的轴心处设有与旋转轴顶部相匹配的一锥形通孔。
[0006]在一实施例中，连接件与石墨盘通过螺纹连接。
[0007]进一步地，连接件上设有透气孔和透气槽。
[0008]本实用新型在石墨盘与反应室的旋转轴之间采用了锥形连接结构，通过多次实验检测可以得出，利用机械手把石墨盘放入反应室时容易准确定位，并且在真空环境中机械手也能在反应室顺利取出石墨盘。本实用新型采用锥面支撑结构的石墨盘保证了机械手的加工精度，对机械手本身的精度要求大幅度降低，不需要投入昂贵的研发费用来单独提升机械手的加工精度，从而降低了机械手的加工难度和加工成本，也为实现了规模化、自动化生产提供了必要的条件。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型一实施例的剖视图；
[0010]图2是本实用新型连接件的结构示意图。
【具体实施方式】[0011]如图1?图2所示，本实用新型实施例提出的MOCVD石墨盘与反应室的连接结构，包括石墨盘I和设于反应室内的旋转轴2，本实用新型重点对石墨盘和旋转轴进行了改进，在石墨盘底部设置一连接件3，该连接件包括一圆形底座和设于圆形底座上的一锥形凸台，整体形状类似凸字形，石墨盘底部设有与该连接件形状相匹配的凹槽，通过连接件来与旋转轴进行连接，使得石墨盘在进行取放时，不会磨损到石墨盘本身，降低石墨盘的耗损，从而降低生产成本。进一步的为了精准地定位，旋转轴的顶部也改进为锥形结构，连接件的轴心处设置了与旋转轴顶部形状相匹配的锥形通孔，使得石墨盘和旋转轴之间通过锥形结构来连接，使得机械手在放置石墨盘时，非常容易定位，加工精度很高，不需要对机械手本身的精度进行提升，大幅度压缩了生产成本。在一实施例中，连接件与石墨盘可以通过螺纹连接，本领域内的技术人员还可以采用其他惯用的方式连接石墨盘和连接件。由于反应室为真空环境，因此连接件上设有透气孔31和透气槽32，可以与外界相通，使得在需要取出石墨盘时，可以顺利取出。
[0012]本实用新型考虑到还可以进行很多变化和修改。因此，尽管已经叙述了改进连接件的优选形式并讨论了一些修改，但是本领域技术人员应该理解，在不偏离本实用新型随后由权利要求书所限定的精神范围内，还可以进行不同的额外变化和修改。
【权利要求】
1.一种MOCVD石墨盘与反应室的连接结构，包括石墨盘和设于反应室内的旋转轴，其特征在于，所述石墨盘底部设有一连接件，所述连接件包括一圆形底座、设于圆形底座上的一锥形凸台，所述石墨盘底部设有与连接件相匹配的凹槽，所述旋转轴的顶部为锥形结构，所述连接件的轴心处设有与旋转轴顶部相匹配的一锥形通孔。
2.如权利要求1所述的MOCVD石墨盘与反应室的连接结构，其特征在于，所述连接件与石墨盘通过螺纹连接。
3.如权利要求1或2所述的MOCVD石墨盘与反应室的连接结构，其特征在于，所述连接件上设有透气孔和透气槽。
【文档编号】C30B25/02GK203639603SQ201320591835
【公开日】2014年6月11日 申请日期:2013年9月25日 优先权日:2013年9月25日
【发明者】常红旺 申请人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司