一种反应室腔体上盖起降系统的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种反应室腔体上盖起降系统，包括：稳压源、继电器I、动力装置I、继电器II、动力装置II、传动装置、限位装置、电源装换装置、启动装置，所述继电器I与继电器II通过稳压源连接于380V市电，继电器I与继电器II分别连接于动力装置I与动力装置II，动力装置I与动力装置II并联连接，动力装置I与动力装置II通过传动装置连接于反应室上盖，启动装置连接于继电器I、继电器II与稳压源之间，启动装置通过限位装置、电源装换装置连接控制继电器I、继电器II。本发明可以将设备维护由之前的三个工程师减少到一个工程师，减轻了工作量，提高了工作效率，降低人工成本；另外，本发明有效避免了在操作叉车是带来的各种工作失误，提高了设备的稼动率。
【专利说明】一种反应室腔体上盖起降系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造【技术领域】，具体为一种反应室腔体上盖起降系统。
【背景技术】
[0002]在半导体制造行业，现有的设备在生长一段时间后，需要对制程腔体进行彻底清理，以维持工艺环境及保证腔体压力，目前主要是通过外置叉车将上盖进行打开，这样操作，主要存在两个方面的问题:1、每次维护至少需要三名设备工程师同时操作，反应室上盖过重约200千克；2、进场出现由于叉车不易控制将气体管道撞弯或撞断，需要对管道进行修复，往往设备只能停机等待，造成设备的稼动率较低。
【发明内容】
[0003]本发明所解决的技术问题在于提供一种反应室腔体上盖起降系统，以解决上述【背景技术】中的问题。
[0004]本发明所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:一种反应室腔体上盖起降系统，包括:稳压源、继电器1、动力装置1、继电器I1、动力装置I1、传动装置、限位装置、电源装换装置、启动装置，所述继电器I与继电器II通过稳压源连接于380V市电，继电器I与继电器II分别连接于动力装置I与动力装置II，动力装置I与动力装置II并联连接，动力装置I与动力装置II通过传动装置连接于反应室上盖，启动装置连接于继电器1、继电器II与稳压源之间，启动装置通过限位装置、电源装换装置连接控制继电器1、继电器II。
[0005]所述传动装置为传动链条。
[0006]所述限位装置为行程开关。
[0007]所述电源转换装置为24V电源转换装置。
[0008]与已公开技术相比，本发明存在以下优点:本发明可以将设备维护由之前的三个工程师减少到一个工程师，减轻了工作量，提高了工作效率，降低人工成本；另外，本发明有效避免了在操作叉车是带来的各种工作失误，提高了设备的稼动率。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本发明的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]为了使本发明的技术手段、创作特征、工作流程、使用方法达成目的与功效易于明白了解，下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0011]一种反应室腔体上盖起降系统，包括:稳压源、继电器1、动力装置1、继电器I1、动力装置I1、传动装置、限位装置、电源装换装置、启动装置，所述继电器I与继电器II通过稳压源连接于380V市电，继电器I与继电器II分别连接于动力装置I与动力装置II，动力装置I与动力装置II并联连接，动力装置I与动力装置II通过传动装置连接于反应室上盖，启动装置连接于继电器1、继电器II与稳压源之间，启动装置通过限位装置、电源装换装置连接控制继电器1、继电器II。
[0012]具体地,所述传动装置为传动链条。
[0013]具体地，所述限位装置为行程开关。
[0014]具体地，所述电源转换装置为24V电源转换装置。
[0015]本发明的工作原理为:由市电(380V)提供电源给伺服电机，伺服电机将通过传动装置，将能量转换成上下运动的势能，通过传动装置将反应室升起，当升起一定高度时(方便维护)将会碰到限位装置(行程开关)，限位开关发出信号通过继电器传递给控制按钮，按钮自动断开，下降主要是通过另外一个伺服电机执行，当碰到下面的限位装置时，将停止动作。
[0016]以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征及本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.一种反应室腔体上盖起降系统，包括:稳压源、继电器1、动力装置1、继电器I1、动力装置I1、传动装置、限位装置、电源装换装置、启动装置，其特征在于:所述继电器I与继电器II通过稳压源连接于380V市电，继电器I与继电器II分别连接于动力装置I与动力装置II，动力装置I与动力装置II并联连接，动力装置I与动力装置II通过传动装置连接于反应室上盖，启动装置连接于继电器1、继电器II与稳压源之间，启动装置通过限位装置、电源装换装置连接控制继电器1、继电器II。
2.根据权利要求1所述的一种反应室腔体上盖起降系统，其特征在于:所述传动装置为传动链条。
3.根据权利要求1所述的一种反应室腔体上盖起降系统，其特征在于:所所述限位装置为行程开关。
4.根据权利要求1所述的一种反应室腔体上盖起降系统，其特征在于:所所述电源转换装置为24V电源转换装置。
【文档编号】B66F19/00GK103818861SQ201410091110
【公开日】2014年5月28日 申请日期:2014年3月12日 优先权日:2014年3月12日
【发明者】林长军 申请人:合肥彩虹蓝光科技有限公司