一种机柜转动结构及机柜的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种机柜转动结构及机柜，包括：金属框架，与不可移动机柜框架固定，所述金属框架上还设有供铰接的两个通孔；转动装置，所述转动装置的一段固定在可移动的机柜框架上；另一段为完整一体的“T”字结构，两侧延伸出的转动轴体分别伸入到所述金属框架的通孔中，形成铰接。本实用新型提供的机柜转动结构可以使机柜与整机的结合面保持严密，整机结构紧凑。转动轴与转动板之间的间隙配合，能够让转动轴根据地面的不平度在转动板的通孔内上下移动，从而适应地面的不平度，保证机柜底部带调整块的脚轮着地，让机柜的重量通过脚轮作用到地面上，而不作用在主机框架上，有效地防止主机框架变形。
【专利说明】一种机柜转动结构及机柜
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制备【技术领域】，尤其涉及一种机柜转动结构及机柜。
【背景技术】
[0002]机柜作为光刻机的重要组成部分，例如电气控制柜、环境控制柜等，其质量和体积一般都较大。当需要维护光刻机的内部世界时，往往需要挪动沉重的机柜，直接搬运需要费很大的力气。现在大部分光刻机的机柜都是独立放置于地面上，与整机框架相互独立，而且与整机框架的间隙较大，往往造成整机结构不够紧凑，占用了较大的空间。转动结构作为一种常见的结构，被广泛应用于日常生活和机械产品中，其中铰链作为一种最常见的转动结构，例如柜门、门板等，但是大多数铰链多为钣金件，承载能力非常有限，只能用于质量较轻的物体的转动，对于质量和体积较大的机柜，普通的铰链很难满足要求。
[0003]光刻机在运行一段时间后，往往需要定期维护光刻机的内部世界以及机柜内侧。现在常见的光刻机移动机柜的方法都是采用滑轨的方式，首先在机柜底面安装两排滑轨，维护光刻机内部世界时，首先将机柜沿着导轨槽拉出一段距离，然后工作人员才能进入内部维护。由于一般的机柜质量和体积很大，拉动机柜需要很大的力气，如果再加上地面不平的话，拉动机柜的过程中很容易造成机柜倾覆，造成设备和人员的损毁。
实用新型内容
[0004]本实用新型提供一种机柜转动结构及机柜，以解决光刻机中质量和体积较大的机柜移动困难的问题。
[0005]为达到上述目的，本实用新型提供一种机柜转动结构，包括:金属框架，与不可移动机柜框架固定，所述金属框架上还设有供铰接的两个通孔；
[0006]转动装置，所述转动装置的一段固定在可移动的机柜框架上；另一段为“T”字结构，两侧延伸出的转动轴体分别伸入到所述金属框架的通孔中，形成铰接。
[0007]进一步地,所述转动装置由独立的转动板和独立的转动轴组成:所述转动板的一端设置有通孔，另一端固定在可移动的机柜框架上；所述转动轴，穿过所述转动板的通孔与所述金属框架的通孔，所述转动轴的两头与所述金属框架固定设置，所述转动轴的中间部分截面形状与所述转动板通孔形状相匹配且有空隙。
[0008]进一步地，如上所形成的空隙，可以用以填充阻尼油，阻尼油为现有技术。
[0009]进一步地，所述金属框架包括第一固定板以及第二固定板，所述第一固定板为“U”型结构，所述第二固定板与所述第一固定板固定连接，使所述金属框架形成一封闭结构，所述第二固定板与所述机柜框架固定。
[0010]进一步地，所述金属框架还包括两个第三固定板，所述第一固定板和所述第二固定板通过所述第三固定板固定。
[0011]进一步地,所述转动轴为调心球轴承。
[0012]进一步地，所述第三固定板上具有安装孔，转动轴体安装至所述安装孔中。[0013]进一步地，所述金属框架还包括第四固定板，所述第二固定板通过所述第四固定板与所述机柜框架固定。
[0014]进一步地，所述转动板为“G”型，所述通孔设置在所述“G”型转动板短臂的一端，所述“G”型转动板长臂的一端固定在活动机柜框架上。
[0015]进一步地，所述转动板的通孔的形状为腰型孔、三角型孔、方形孔或多边形孔，所述转动轴中部的形状与所述转动板的通孔的形状相匹配。
[0016]本实用新型还提供了一种机柜转动结构的机柜，所述金属框架固定在不可移动的机柜上，所述转动装置的一段与所述金属框架铰接，其另一段固定在独立的可移动的机柜上。
[0017]与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果:本实用新型提供的机柜转动结构可以使机柜与整机的结合面保持严密，整机结构紧凑。转动轴与转动板之间的间隙配合，能够让转动轴根据地面的不平度在转动板的通孔内上下移动，从而适应地面的不平度，保证机柜底部带调整块的脚轮着地，让机柜的重量通过脚轮作用到地面上，而不作用在主机框架上，有效地防止主机框架变形。
[0018]进一步地，金属框架由第一固定板以及第二固定板组成，并利用第三固定板以及第四固定板固定在机柜框架上，第一固定板、第二固定板、第三固定板以及第四固定板采用分体式设计，方便安装和拆卸。第一固定板和第二固定板还起到限位作用，可以限制转动板的转动角度在0°至90°的范围内。
[0019]本实用新型提供的机柜，能与整机的结合面保持严密，使整机结构紧凑。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0021]图1为本实用新型实施例提供的光刻机整机的主视结构示意图；
[0022]图2为本实用新型实施例提供的光刻机整机的俯视结构不意图；
[0023]图3为本实用新型实施例提供的机柜转动结构的主视结构示意图；
[0024]图4为本实用新型实施例提供的机柜转动结构的俯视结构示意图；
[0025]图5为本实用新型实施例提供的机柜转动结构的剖视结构示意图；
[0026]图6为本实用新型实施例提供的转动板的结构示意图；
[0027]图7为本实用新型实施例提供的转动轴的多种截面结构示意图；
[0028]图8为本实用新型实施例提供的第一固定板的结构示意图。
【具体实施方式】
[0029]以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的机柜转动结构及机柜作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0030]本实用新型的核心思想在于，提供的机柜转动结构可以使机柜与整机的结合面保持严密，整机结构紧凑。转动轴与转动板之间的间隙配合，能够让转动轴根据地面的不平度在转动板的通孔内上下移动，从而适应地面的不平度，保证机柜底部带调整块的脚轮着地，让机柜的重量通过脚轮作用到地面上，而不作用在主机框架上，有效地防止主机框架变形。本实用新型提供的机柜，能与整机的结合面保持严密，使整机结构紧凑
[0031]图1为本实用新型实施例提供的光刻机整机的主视结构示意图；图2为本实用新型实施例提供的光刻机整机的俯视结构示意图。参照图1以及图2，机柜转动结构11设置在机柜12以及机柜框架13之间，转动机柜12至90°，给机柜12让出足够的空间，便于工作人员进入维护机柜12内部空间。
[0032]图3为本实用新型实施例提供的机柜转动结构的主视结构示意图；图4为本实用新型实施例提供的机柜转动结构的俯视结构示意图；图5为本实用新型实施例提供的机柜转动结构的剖视结构示意图。参照图3、图4以及图5，本实用新型提供一种机柜转动结构，包括:金属框架111，与不可移动机柜框架13固定，所述金属框架111上还设有供铰接的两个通孔；转动装置，所述转动装置的一段固定在可移动的机柜框架上；另一段为“T”字结构，两侧延伸出的转动轴体分别伸入到所述金属框架111的通孔中，形成铰接。
[0033]进一步地,所述转动装置由独立的转动板112和独立的转动轴113组成:所述转动板112的一端设置有通孔，另一端固定在可移动的机柜框架上；所述转动轴113，穿过所述转动板112的通孔与所述金属框架111的通孔，所述转动轴113的两头与所述金属框架111固定设置，所述转动轴113的中间部分截面形状与所述转动板112通孔形状相匹配且有空隙。
[0034]图8为本实用新型实施例提供的第一固定板的结构示意图。参照图8，所述金属框架111包括第一固定板Illa以及第二固定板111b，所述第一固定板Illa为“U”型结构，所述第二固定板Illb与所述第一固定板Illa固定连接，使所述金属框架111形成一封闭结构，所述第二固定板Illb与所述机柜框架13固定，金属框架111还包括两个第三固定板Illc,所述第一固定板Illa和所述第二固定板Illb通过所述第三固定板Illc固定。所述第三固定板Illc上具有安装孔，所述调心球轴承115安装至所述安装孔中，调心球轴承115能够方便转动和适应地面的轻微不平度。金属框架111还包括第四固定板llld，所述第二固定板Illb通过所述第四固定板Illd与所述机柜框架13固定。在本实施例中，固定板之间的固定通过螺栓进行安装，最后通过锁紧螺母114进行固定。
[0035]图6为本实用新型实施例提供的转动板的结构示意图；图7为本实用新型实施例提供的转动轴的多种截面结构示意图。参照图6以及图7，所述转动板112为“G”型，所述通孔设置在所述“G”型转动板112短臂的一端，其长臂的一端固定在活动机柜框架上。
[0036]进一步地，所述通孔112a为腰型孔，所述转动轴113的形状与所述通孔112a的形状相匹配，转动轴113与转动板112之间的间隙配合，能够让转动轴113根据地面的不平度在转动板112的通孔112a内上下移动，从而适应地面的不平度，保证机柜底部带调整块的脚轮14着地，让机柜12的重量通过脚轮14作用到地面上，而不作用在主机框架13上，有效地防止主机框架13变形。本领域技术人员应该知晓，所述通孔112a不仅仅为腰型孔，还可以是其他诸如为正六角形、三角形等形状，并且所述转动轴中部的形状与所述转动板的通孔的形状相匹配。
[0037]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些改动和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种机柜转动结构，其特征在于，包括: 金属框架，与不可移动机柜框架固定，所述金属框架上还设有供铰接的两个通孔； 转动装置，所述转动装置的一段固定在可移动的机柜框架上；另一段为“T”字结构，两侧延伸出的转动轴体分别伸入到所述金属框架的通孔中，形成铰接。
2.根据权利要求1所述的机柜转动结构，其特征在于，所述转动装置由独立的转动板和独立的转动轴组成: 所述转动板的一端设置有通孔，另一端固定在可移动的机柜框架上； 所述转动轴，穿过所述转动板的通孔与所述金属框架的通孔，所述转动轴的两头与所述金属框架固定设置，所述转动轴的中间部分截面形状与所述转动板通孔形状相匹配且有空隙。
3.根据权利要求1所述的机柜转动结构，其特征在于，所述金属框架包括第一固定板以及第二固定板，所述第一固定板为“U”型结构，所述第二固定板与所述第一固定板固定连接，使所述金属框架形成一封闭结构，所述第二固定板与所述机柜框架固定。
4.根据权利要求3所述的机柜转动结构，其特征在于，所述金属框架还包括两个第三固定板，所述第一固定板和所述第二固定板通过所述第三固定板固定。
5.根据权利要求2所述的机柜转动结构，其特征在于，所述转动轴为调心球轴承。
6.根据权利要求4所述的机柜转动结构，其特征在于，所述第三固定板上具有安装孔，所述转动轴体安装至所述安装孔中。
7.根据权利要求3所述的机柜转动结构，其特征在于，所述金属框架还包括第四固定板，所述第二固定板通过所述第四固定板与所述机柜框架固定。
8.根据权利要求2所述的机柜转动结构，其特征在于，所述转动板为“G”型，所述通孔设置在所述“G”型转动板短臂的一端，所述“G”型转动板长臂的一端固定在活动机柜框架上。
9.根据权利要求2所述的机柜转动结构，其特征在于，所述转动板的通孔的形状为腰形孔或多边形孔，所述转动轴中部的形状与所述转动板的通孔的形状相匹配。
10.根据权利要求2所述的机柜转动结构，其特征在于，所述空隙，用以填充阻尼油。
11.一种使用如权利要求1所述的机柜转动结构的机柜，其特征在于，所述金属框架固定在不可移动的机柜上，所述转动装置的一段与所述金属框架铰接，其另一段固定在独立的可移动的机柜上。
【文档编号】H05K7/16GK203788616SQ201420033997
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2014年1月20日 优先权日:2014年1月20日
【发明者】李东升, 魏小兵 申请人:上海微电子装备有限公司