生长氧化物单晶体的热场装置制造方法
【专利摘要】生长氧化物单晶体的热场装置，包括坩埚，置于热场中央，坩埚外有保温筒、石英管和感应线圈，上方设有保温罩和ZrO2盖，保温罩外安装泡沫砖，泡沫砖上开有观察隧道口，下方有不同材料套装组成的底托，在保温筒和石英管之间有氧化锆粘，热场的保温筒、石英管、底托都分别由体积较小的多块叠装组成，这种结构不容易炸裂和损坏，损外的更换量小。本技术的热场装置观察隧道较长，不易受到外界温度的影响，热场内的温度梯度小，温度平稳恒定，晶体不容易炸裂，温场的保温性、气密性和稳固性较好，对设备和原料的损耗小，提拉晶体的成品率、成功率高，成本低。
【专利说明】生长氧化物单晶体的热场装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于晶体设备【技术领域】，具体涉及一种生长氧化物单晶体的热场装置。
【背景技术】
[0002]人工生产氧化物的单晶体，需要的生长温度很高，制造过程中晶体需要在平恒稳定高温的环境中生长才不会炸裂，热场装置为晶体的生长提供必要的恒温环境。现有技术中专利CN202830220U公开了一种提拉法晶体生长的热场装置，该技术中将观察孔直接开在了保温层上，隧道的长度较短，外界环境距离温场内部距离短，温场内部的温度受到外界环境温度的影响较大，容易引起温场内部温度频繁波动，保温、恒温效果不好，在温度频繁波动的温场中提拉晶体，晶体容易炸裂，导致废品率增高，生产成本增高。
【发明内容】
[0003]针对现有技术中，生产氧化物的单晶体存在热场装置的恒温、保温效果不好，温场内部容易受到外界环境的影响，温度频繁波动，导致提拉晶体时晶体容易出现炸裂现象，本实用新型提供一种生长氧化物单晶体的热场装置，其技术方案如下:
[0004]一种生长氧化物单晶体的热场装置，在坩埚外同心设置有感应线圈，坩埚上方设有保温罩，保温罩呈圆筒形，保温罩的筒壁上开有观察隧道口，保温罩上方安装ZrO2盖，保温罩外安装有Al2O3泡沫砖，观察隧道口穿过Al2O3泡沫砖，坩埚外同心安装有ZrO2保温筒，保温筒呈圆筒形，保温筒由多块叠装在一起组成，保温筒外安装石英管，石英管由上下两块组装在一起，在保温筒和石英管之间安装有氧化锆粘层，坩埚底部下方叠装有两块ZrO2底托，ZrO2底托呈长方形，ZrO2底托下方设有两块Al2O3底托，Al2O3底托呈倒置的杯形套装在一起组成，Al2O3底托下方套装石英底托，石英底托下方套装黄铜底托。
[0005]本技术在保温罩外设置安装泡沫砖，再在泡沫砖上开观察隧道口，延长了观察隧道的长度，可减少温场内部与外界环境的接触，使温场内部始终保持在温度平稳恒定的状态，晶体不会炸裂，坩埚外的保温筒、石英管和坩埚下方的底托都分别采取由多块进行叠装组成，多块叠装不容易炸裂和损坏，损外时只需要进行小块的更换，设备的损耗小、成本低，在保温筒和石英管之间装有氧化锆粘层进行保温隔热并保护石英管，在保温筒外安装石英管、Al2O3底托下方安装石英底托能大大提高温场的气密性，更加有利于提高温场内部的保温和恒温效果，采用不同的材料组装底托，能优化发挥不同材料的特有性能，可起到保温性、气密性和稳固性互补的作用。本实用新型结构合理，热场中的组成部件不容易损坏，使用寿命长，设备和原料的损耗小，成本低，温场内部的温度平稳，梯度小，波动少，提拉晶体的成功率、成品率高。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]图1为本实用新型的剖面结构示意图。【具体实施方式】
[0007]实施例:如图1所示，一种生长氧化物单晶体的热场装置，在坩埚6外同心设置有感应线圈8，坩埚6上方设有保温罩2，保温罩2呈圆筒形，保温罩2的筒壁上开有观察隧道口 13，保温罩2上方安装ZrO2盖1，保温罩2外安装有Al2O3泡沫砖12，观察隧道口 13穿过Al2O3泡沫砖12，坩埚6外同心安装有ZrO2保温筒3，保温筒3呈圆筒形，保温筒3由多块叠装在一起组成，保温筒3外安装石英管4，石英管4由上下两块组装在一起，在保温筒3和石英管4之间安装有氧化锆粘层5，坩埚6底部下方叠装有两块ZrO2底托7，ZrO2底托7呈长方形，ZrO2底托7下方设有两块Al2O3底托9，Al2O3底托9呈倒置的杯形套装在一起组成，Al2O3底托9下方套装石英底托10，石英底托10下方套装黄铜底托11。
【权利要求】
1.生长氧化物单晶体的热场装置，在坩埚(6)外同心设置有感应线圈(8)，坩埚(6)上方设有保温罩(2)，保温罩(2)呈圆筒形，保温罩(2)的筒壁上开有观察隧道口(13)，保温罩(2)上方安装ZrO2盖(1)，其特征在于:保温罩(2)外安装有Al2O3泡沫砖(12)，观察隧道口(13)穿过AI2O3泡沫砖(12)，坩埚(6)外同心安装有ZrO2保温筒(3)，保温筒(3)呈圆筒形，保温筒(3)由多块叠装在一起组成，保温筒(3)外安装石英管(4)，石英管(4)由上下两块组装在一起，在保温筒(3)和石英管(4)之间安装有氧化锆粘层(5)，坩埚(6)底部下方叠装有两块ZrO2底托(7)，ZrO2底托(7)呈长方形，ZrO2底托(7)下方设有两块Al2O3底托(9)，Al2O3底托(9)呈倒置的杯形套装在一起组成，Al2O3底托(9)下方套装石英底托(10)，石英底托(10 )下方套装黄铜底托(11)。
【文档编号】C30B15/14GK203795015SQ201420162940
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2014年4月4日 优先权日:2014年4月4日
【发明者】黄永臣, 白凤周, 刘鹏, 黄楠 申请人:玉溪市明珠晶体材料有限公司