用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法与流程

1.本公开涉及一种用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法，且更特定来说，涉及一种层压多个超薄玻璃的用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法。


背景技术：

2.近年来，通过不断的改变和创新，显示器产品已取得显著的技术发展。随着使用功能已多样化且产品设计已不断发展，已不断开发便携式和方便的产品。还可通过反映多功能和产品设计的简单性和便利性来不断开发未来产品改变，且未来产品改变的目标点可能产生可弯曲、可折叠以及可卷曲的显示器产品。
3.为了实现例如可弯曲、可折叠以及可卷曲的显示器产品的柔性显示器产品，能够在弯曲时保持产品性能的显示器组件是优先的。为此目的，已将高强度膜应用于典型的柔性显示器产品。然而，高强度膜具有以下限制：膜可能经历十万次或小于十万次的弯曲测试且具有96％或小于96％的透射率。近年来，已深入开发极薄、具有98％或大于98％的透射率且能够折叠和展开大于十万次的柔性超薄玻璃(ultra
‑
thin glass；utg)。
4.由于这一超薄玻璃(utg)具有小于150微米的极小厚度，所以超薄玻璃难以处置，且容易在例如将玻璃切割成预定大小或形状的切割工艺或边缘工艺的处理期间破裂。
5.因此，需要一种用于处理超薄玻璃的设备和方法，其能够稳定地将超薄玻璃制造成用于特定目的的各种产品大小而不会破裂。
6.[相关技术文献]
[0007]
[专利文献]
[0008]
韩国专利第10
‑
1334406号


技术实现要素：

[0009]
本公开提供一种用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法，其以非接触式方式接合多个超薄玻璃。
[0010]
根据示范性实施例，一种用于处理超薄玻璃的设备包含：载物台，配置成支撑超薄玻璃；转移部件，配置成将所述超薄玻璃转移到所述载物台上；粘合剂提供部件，配置成将粘合剂提供到由所述载物台支撑的所述超薄玻璃上；以及按压部件，配置成将按压力提供到用其间的所述粘合剂层压的多个超薄玻璃上。这里，所述按压部件包含：按压构件，具有弯曲按压表面，所述弯曲按压表面的面积等于或大于所述超薄玻璃的面积；以及驱动部件，配置成驱动所述按压构件以改变与所述超薄玻璃接触的所述按压表面的位置。
[0011]
根据另一示范性实施例，一种用于处理超薄玻璃的设备包含：载物台，配置成支撑超薄玻璃；转移部件，配置成将所述超薄玻璃转移到所述载物台上；粘合剂提供部件，配置成将粘合剂提供到由所述载物台支撑的所述超薄玻璃上；按压部件，配置成将按压力提供到在其间具有所述粘合剂的多个超薄玻璃上；以及光照射部件，配置成照射具有预定波长
的光以固化所述粘合剂。这里，所述光照射部件包含：第一光源，配置成照射具有第一波长的光；以及第二光源，配置成照射具有不同于所述第一波长的第二波长的光。
[0012]
所述设备可进一步包含高度测量部件，所述高度测量部件配置成测量层压在所述粘合剂上的所述超薄玻璃的边缘的高度。
[0013]
所述驱动部件可使所述按压构件在所述超薄玻璃上在两个相反方向上摆动以改变与所述超薄玻璃接触的所述按压表面的位置。
[0014]
所述设备可进一步包含光照射部件，所述光照射部件包含第一光源和第二光源且配置成照射光以固化所述粘合剂，所述第一光源配置成照射具有第一波长的光，所述第二光源配置成照射具有不同于所述第一波长的第二波长的光。
[0015]
所述粘合剂提供部件可包含：第一粘合剂排出构件，配置成将第一粘合剂提供到所述超薄玻璃的边缘；以及第二粘合剂排出构件，配置成将不同于所述第一粘合剂的第二粘合剂提供到所述超薄玻璃的中心部分。
[0016]
所述第一光源可照射具有所述第一波长的所述光以固化所述第一粘合剂，且所述第二光源可照射具有所述第二波长的所述光以固化所述第二粘合剂。
[0017]
所述第一光源可设置在所述光照射部件的边缘处，且所述第二光源可设置在所述光照射部件的中心部分处。
[0018]
所述设备可进一步包含照射角调整部件，所述照射角调整部件配置成调整所述第一光源的照射角。
[0019]
所述设备可进一步包含加工部件，所述加工部件配置成加工在其中层压所述多个超薄玻璃的超薄玻璃层压体。
[0020]
所述超薄玻璃可具有在10微米到150微米范围内的厚度，且所述超薄玻璃层压体可通过层压两个到五十个超薄玻璃来形成。
[0021]
根据又一示范性实施例，一种用于处理超薄玻璃的方法包含：在载物台上支撑第一超薄玻璃；将粘合剂提供到由所述载物台支撑的所述第一超薄玻璃上；将第二超薄玻璃设置到所述粘合剂上；以及通过驱动具有弯曲按压表面的按压构件将按压力提供到所述第二超薄玻璃上，所述弯曲按压表面的面积等于或大于所述第二超薄玻璃的面积。
[0022]
根据又另一示范性实施例，一种用于处理超薄玻璃的方法包含：在载物台上支撑第一超薄玻璃；将粘合剂提供到由所述载物台支撑的所述第一超薄玻璃上；将第二超薄玻璃设置到所述粘合剂上；以及通过照射具有第一波长的光和具有不同于所述第一波长的第二波长的光来固化所述粘合剂。
[0023]
将所述按压力提供到所述第二超薄玻璃上可包含：通过使所述按压构件在所述第二超薄玻璃上在两个相反方向上摆动来改变与所述第二超薄玻璃接触的所述按压表面的位置。
[0024]
所述方法可进一步包含：测量在所述第二超薄玻璃的所述两个方向上的边缘的高度；以及根据测量的在所述第二超薄玻璃的所述两个方向上的所述边缘的高度来确定所述按压构件的摆动方向顺序。
[0025]
所述方法可进一步包含通过照射具有第一波长的光和具有不同于所述第一波长的第二波长的光来固化所述粘合剂。
[0026]
所述提供所述粘合剂可包含：将第一粘合剂提供到所述第一超薄玻璃或所述第二
超薄玻璃的边缘；以及将不同于所述第一粘合剂的第二粘合剂提供到所述第一超薄玻璃或所述第二超薄玻璃的中心部分。
[0027]
所述固化所述粘合剂可包含：通过照射具有所述第一波长的所述光来固化所述第一粘合剂；以及通过照射具有所述第二波长的所述光来固化所述第二粘合剂。
[0028]
所述方法可进一步包含：测量所述第二超薄玻璃的所述边缘的高度；以及根据测量的所述第二超薄玻璃的所述边缘的高度来调整具有所述第一波长的所述光的照射角。
[0029]
所述方法可进一步包含加工在其中层压所述第一超薄玻璃和所述第二超薄玻璃的超薄玻璃层压体。
附图说明
[0030]
根据结合附图进行的以下描述可更详细地理解示范性实施例，在所述附图中：
[0031]
图1是示出根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的设备的示意性横截面视图。
[0032]
图2是示出根据另一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的设备的示意性透视图。
[0033]
图3是用于解释根据另一示范性实施例的粘合剂提供部件的提供第一粘合剂和提供第二粘合剂的概念图。
[0034]
图4是用于解释根据另一示范性实施例的照射角调整部件的第一光源照射角调整的概念图。
[0035]
图5是用于解释根据另一示范性实施例的由加工部件进行的切割工艺的概念图。
[0036]
图6是表示根据又一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法的流程图。
[0037]
图7是用于解释根据又一示范性实施例的在第二超薄玻璃上提供按压力的工艺的概念图。
[0038]
图8是用于解释根据又一示范性实施例的通过反映测量的第二超薄玻璃的边缘的高度来进行按压构件的按压方法的概念图。
[0039]
图9是表示根据又另一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法的流程图。
[0040]
图10是用于解释根据又另一示范性实施例的通过反映测量的第二超薄玻璃的边缘的高度来进行第一光源的照射角调整的概念图。
具体实施方式
[0041]
在下文中，将参考附图更详细地描述具体实施例。然而，本发明可以不同形式体现，且不应理解为限于本文中所阐述的实施例。实际上，提供这些实施例是为了使得本公开将是透彻且完整的，且将向本领域的技术人员充分传达本发明的范围。在每一可能的情况下，相似的附图标号在描述及附图中用以指代相同或类似元件。在图中，为清楚示出起见，放大了层和区的尺寸。附图中相似的附图标号标示相似的元件，且因此将省略其描述。
[0042]
图1是示出根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的设备的示意性横截面视图。
[0043]
参考图1，根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的设备100(下文称为超薄玻璃处理设备100)可包含：载物台110，支撑超薄玻璃10；转移部件(未示出)，用于将超薄玻璃10转移到载物台110上；粘合剂提供部件120，用于将粘合剂20提供到由载物台110支撑的超薄玻璃10上；以及按压部件130，用于将按压力提供到用其间的粘合剂20层压的多个超薄玻璃10上。
[0044]
在通过在多个超薄玻璃(ultra
‑
thin glass；utg)10之间布置粘合剂20来形成超薄玻璃层压体50时，载物台110可支撑超薄玻璃10且固定最下部层的超薄玻璃10。举例而言，载物台110可以吸附固定方式在多孔表面上支撑超薄玻璃10。这里，孔可具有等于或小于超薄玻璃10的厚度(t)的宽度(或直径)，使得超薄玻璃10在超薄玻璃10的一部分因吸附力而抽吸到孔中时不弯曲或成曲形。这里，当孔的大小不恒定时，最大的孔可具有等于或小于超薄玻璃10的厚度的宽度。
[0045]
转移部件(未示出)可通过支撑超薄玻璃10的彼此相对的两个表面中的任何一个表面将超薄玻璃10转移到载物台110上。举例来说，转移部件(未示出)可通过以吸附固定方式支撑超薄玻璃10来转移超薄玻璃10，且包含转移机器人。这里，类似于载物台110，转移部件(未示出)的用于吸附固定的孔可具有等于或小于超薄玻璃10的厚度的宽度(或直径)。这里，转移部件(未示出)可接触载物台110以转移(或设置)最下部层的超薄玻璃10，接触安置在超薄玻璃10上的粘合剂20以设置超薄玻璃10，或在载物台110上转移超薄玻璃10使得面对载物台110的表面暴露。替代地，最下部层的超薄玻璃10可支撑在载物台110上，且通过使用除转移部件(未示出)之外的另一装置来移动载物台110而设置在工艺位置处。
[0046]
粘合剂提供部件120可将粘合剂20提供到由载物台110支撑的超薄玻璃10上，接触在载物台110上暴露的上部超薄玻璃10以提供粘合剂20，且通过粘合剂20接合多个超薄玻璃10。这里，粘合剂提供部件120可将具有粘度的液化粘合剂20施加和提供到超薄玻璃10上，或将例如树脂的液化粘合剂20印刷到超薄玻璃10上。这里，粘合剂20可通过例如紫外(ultra
‑
violet；uv)的光来光固化且在固化时具有提高的粘合力。
[0047]
按压部件130可将按压力提供到用其间的粘合剂20层压的多个超薄玻璃10上，且允许彼此面对(或彼此相邻)的多个超薄玻璃10彼此靠近，使得粘合剂20在多个超薄玻璃10之间均匀地扩散。举例来说，液化粘合剂20可通过缓慢按压暴露于载物台110上的上部超薄玻璃10而在多个超薄玻璃10之间均匀地扩散。
[0048]
由于超薄玻璃(utg)10具有小于约150微米的极小厚度，所以当进行例如将超薄玻璃10切割成预定大小或预定形状的切割工艺或修整超薄玻璃10的边缘表面的边缘工艺的工艺时，超薄玻璃10的处置因左/右摇晃而困难。归因于此，很难进行精确处理，且超薄玻璃10容易受损，例如破裂。
[0049]
因此，在示范性实施例中，由于超薄玻璃层压体50通过经由粘合剂20层压多个超薄玻璃10来形成，所以所述超薄玻璃层压体50的厚度可增加超过150微米，以在例如切割工艺或边缘工艺的工艺期间容易地进行处置。因此，可进行稳定处置以允许精确工艺且防止超薄玻璃10在工艺期间受损。此外，可一次处理多个超薄玻璃10，因此可以大小或类似物的优良工艺均匀性处理超薄玻璃10，且可减小切割工艺的数目以减少用于处理超薄玻璃10的工艺时间。
[0050]
此外，按压部件130包含：按压构件131，具有弯曲按压表面131a，所述弯曲按压表面131a的面积等于或大于超薄玻璃10的面积；以及驱动部件132，用于通过驱动按压构件131来改变接触超薄玻璃10的按压表面131a的位置。按压构件131可具有按压表面131a且以宽接触面积按压(上部)超薄玻璃10，所述按压表面131a的面积等于或大于超薄玻璃10的面积(或平面面积)。也就是说，按压构件131可形成为使得其圆周表面的至少一部分是面积等于或大于超薄玻璃10的面积的弯曲表面。可将弯曲表面中的等于或大于超薄玻璃10的面积
的面积用作按压表面131a，且可将圆周表面的仅一部分用作按压表面131a。因此，通过使用整个圆周表面作为按压表面，相对于超薄玻璃10的接触面积可比在超薄玻璃10上运行的按压辊增加更多，且表面压力可均匀地传递到整个超薄玻璃10(的表面)以在整个超薄玻璃10之上保持均匀的表面压力。
[0051]
这里，按压表面131a可以是弯曲表面。在按压表面是平坦表面的情况下，当在超薄玻璃10的边缘(部分)处用具有高粘度的粘合剂20(即，第一粘合剂)形成围坝部分或密封部分以限制或防止安置在多个超薄玻璃10之间的粘合剂20从超薄玻璃10偏离和渗漏时，围坝部分或密封部分可支撑上部超薄玻璃10，且压力可能并不适当地传递到除围坝部分或密封部分(即，超薄玻璃的中心部分)之外的区域。然而，在按压表面131a是弯曲表面的情况下，按压力甚至可适当地传递到超薄玻璃10的中心部分，这是因为中心部分未由围坝部分或密封部分的支撑，也可适当地按压超薄玻璃10的由围坝部分或密封部分支撑的边缘(部分)，可根据每一位置的粘合剂的粘度(或强度)来适当地按压多个超薄玻璃10。
[0052]
举例来说，按压构件131可在与超薄玻璃10的纵向方向交叉的纵向方向(例如，长轴)或宽度方向(例如，次要方向)中的任何一个方向(例如，长轴)上延伸，且按压构件131的圆周表面可沿着延伸方向的轴形成。这里，按压构件131可具有鼓形(其具有大半径)或半圆形鼓形以减小按压构件131的大小。然而，示范性实施例不限于此。举例来说，按压构件131可具有所有类型的形状，只要圆周表面具有面积等于或大于超薄玻璃10的面积的弯曲按压表面131a即可。这里，按压构件131的按压表面131a可由软材料制成的表面以防止超薄玻璃10因过强的接触压力而受损(例如，破裂)，且在超薄玻璃10的整个接触表面之上均匀地分散按压力。举例来说，按压构件131的按压表面131a可由具有预定水平的缓冲性和柔软性的橡胶材料制造，以便以恒定的厚度在多个超薄玻璃10之间扩散粘合剂20，且防止在超薄玻璃10上产生例如刮擦的缺陷。
[0053]
驱动部件132可通过驱动按压构件131来改变接触超薄玻璃10的按压表面131a的位置，且允许弯曲按压表面131a按压超薄玻璃10的整个表面。通过此，可均匀地按压超薄玻璃10的整个表面，且粘合剂20可在多个超薄玻璃10之间均匀地扩散。因此，多个超薄玻璃10可通过粘合剂20以强粘合力稳定地接合。
[0054]
这里，驱动部件132可使按压构件131在超薄玻璃10上在两个相反方向(例如，左右方向)上摆动以改变接触超薄玻璃10的按压表面131a的位置。这里，驱动部件132可首先通过按压构件按压超薄玻璃10的未由围坝部分或密封部分支撑的中心部分，且接着以从左到右或从右到左的顺序按压超薄玻璃10以按压整个超薄玻璃10(的表面)。当按压从超薄玻璃10的由围坝部分或密封部分支撑的边缘(部分)进行时，由于按压力仅传递到围坝部分或密封部分的粘合剂20(即，仅第一粘合剂)，但不传递到由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂20(即，第二粘合剂)，所以围坝部分或密封部分可能塌陷，且粘合剂20可能从超薄玻璃10偏离和渗漏。此外，由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂20可仅在一个方向上推动或在围坝部分或密封部分之上流动(或溢出)，且可能不在多个超薄玻璃10之间均匀地扩散从而降低上部超薄玻璃10的平坦度(或层压平坦度)。
[0055]
然而，在示范性实施例中，可通过从超薄玻璃10的中心部分进行按压使由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂20从多个超薄玻璃10之间的部分均匀地扩散到两侧。由于在超薄玻璃10的边缘(部分)处的按压力分散到围坝部分或密封部分的粘合剂和由围
坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂20，所以可防止(或限制)围坝部分或密封部分的塌陷，且可防止由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂20溢出和渗漏。
[0056]
举例来说，驱动部件132可包含：驱动轴132a，具有连接到按压构件131的旋转轴131b的一个端部；驱动构件132b，连接到驱动轴132a的另一端部以移动驱动轴132a中的一个；以及动力源(未示出)，用于提供驱动驱动构件132b的驱动力。驱动轴132可具有连接到按压构件131的旋转轴131b的一个端部和连接到驱动构件132b的另一端部。因此，可通过驱动驱动构件132b来移动一个端部以移动按压构件131的旋转轴131b。通过此，按压构件131可相对于旋转轴131b旋转预定角度，且另一端部可在两个方向上水平地移动以使按压构件131在两个方向上摆动。
[0057]
驱动构件132b可进行直线或曲线驱动且连接到驱动轴132a的另一端部以移动驱动轴132a的一个端部。举例来说，驱动构件132b可通过使用从动力源(未示出)传递的驱动力在水平方向上移动驱动轴132a的另一端部且在水平方向上移动驱动轴132a的另一端部。这里，驱动构件132b可包含连接到驱动轴132a的另一端部的可移动主体和用于引导可移动主体的(水平)移动的导轨。通过此，驱动轴132a的另一端部可在水平方向上移动。此外，驱动构件132b可相对于驱动轴132a的另一端部旋转和移动驱动轴132a的一个端部。
[0058]
动力源(未示出)可向驱动构件132b提供用于驱动驱动构件132b的驱动力和用于移动驱动轴132a的一个端部的驱动力(或移动力)。动力源(未示出)可以是电机或类似物。
[0059]
这里，按压构件131可结合由驱动轴132a对驱动构件132b进行的直线或曲线驱动而相对于旋转轴131b旋转预定角度。这里，由于合成了由旋转轴131b的移动产生的移动力和与超薄玻璃10的摩擦力，所以按压构件131可在按压表面131a的位置沿着超薄玻璃10的表面直线地改变时旋转预定角度。举例来说，在旋转轴131b定位在按压表面131a的曲率的中心处的情况下，当驱动轴132a的另一端部(仅)在水平方向上移动时，按压表面131a可在(仅)在水平方向上移动时按压超薄玻璃10的整个表面，且可同等地保持旋转轴131b与接触超薄玻璃10的按压表面131a之间的距离以向超薄玻璃10的整个表面提供均匀的按压力。
[0060]
在旋转轴131b比按压表面131a的曲率的中心更靠近按压表面131a定位的情况下，相较于旋转轴131b定位在按压表面131a的曲率的中心处的情况，水平移动距离可减小。然而，在这一情况下，由于旋转轴131b与接触超薄玻璃10的按压表面131a之间的距离改变，所以旋转轴131b的竖直位置以及旋转轴131b的水平位置可改变，以便向超薄玻璃10的整个表面提供均匀的按压力。这里，当可通过曲线地移动驱动轴132a的另一端部在竖直方向以及水平方向上移动驱动轴132a时，旋转轴131b的竖直位置以及水平位置可改变，或当通过调整驱动轴132a的长度在水平方向上移动驱动轴132a的另一端部时，旋转轴131b的竖直位置以及水平位置可改变。此外，可通过相对于驱动轴132a的另一端部旋转驱动轴132a的一个端部来改变旋转轴131b的竖直位置以及水平位置。
[0061]
根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100可进一步包含光照射部件140，所述光照射部件140包含用于照射具有第一波长的光的第一光源141，以及用于照射具有不同于第一波长的第二波长的光的第二光源142。光照射部件140可照射光以固化粘合剂20。
[0062]
类似于根据另一示范性实施例的超薄玻璃处理设备100，光照射部件140可将光照射所述粘合剂20且固化粘合剂20，且包含用于照射具有第一波长的光的第一光源141和用于照射具有不同于第一波长的第二波长的光的第二光源142。光源141可将具有第一波长的
光照射到粘合剂20的通过具有第一波长的光来固化的位置(或部分)。能够固化粘合剂20的波长可根据粘合剂20的材料(或组合物)、密度和/或厚度来改变，且第一光源141可在通过具有第一波长的光来固化粘合剂20的位置处照射具有第一波长的光。
[0063]
第二光源142可将具有不同于第一波长的第二波长的光照射到通过具有第二波长的光来固化粘合剂20的位置。也就是说，第二光源142可将具有第二波长的光照射到通过具有第二波长的光来固化粘合剂20的位置。
[0064]
当通过使用具有高粘度的粘合剂20在超薄玻璃10的边缘(部分)处形成围坝部分或密封部分，且提供具有低粘度的粘合剂20使得粘合剂容易地在由围坝部分或密封部分包围的空间中扩散时，可针对粘合剂20的每一位置(即，围坝部分或密封部分的粘合剂与由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂之间)改变材料、密度和/或厚度。此外，可通过经由第一光源141和第二光源142针对粘合剂20的每一位置将具有第一波长的光和具有第二波长的光中的每一个适当地照射到粘合剂20的固化来进行整体均匀的固化。
[0065]
将在下文结合根据另一示范性实施例的超薄玻璃处理设备100描述对光照射部件140的详细描述。
[0066]
根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100可进一步包含用于测量层压在载物台20上的超薄玻璃10的边缘的高度的高度测量部件150。
[0067]
高度测量部件150可测量层压在粘合剂20上的超薄玻璃10的边缘(或侧)的高度、层压在未固化粘合剂20上的超薄玻璃10的边缘的高度，以及层压在固化粘合剂20a上且通过固化粘合剂20a与下部超薄玻璃10接合的超薄玻璃10的边缘的高度。也就是说，高度测量部件150可测量上部超薄玻璃10的边缘的高度以测量上部超薄玻璃10的平坦度，从而测量多个超薄玻璃10的层压平坦度(或超薄玻璃层压体的平坦度)。举例来说，高度测量部件150可包含距离传感器，且通过测量到上部(或最上部)超薄玻璃10的距离来测量上部(或最上部)超薄玻璃10的边缘的高度。
[0068]
当将多个超薄玻璃10层压且接着一次处理时，多个超薄玻璃10的层压平坦度对于大小或类似物的工艺均匀性是重要的。由于当层压多个超薄玻璃10时平坦度(或倾斜度)的误差累积，所以调整(或提高)多个超薄玻璃10的层压平坦度极其重要。
[0069]
这里，根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100可进一步包含控制部件(未示出)，所述控制部件用于根据由高度测量部件150测量的在上部超薄玻璃10的两个方向上的边缘的高度来确定按压构件131的摆动方向的顺序。
[0070]
控制部件(未示出)可根据由高度测量部件150测量的在超薄玻璃10的两个方向上的边缘的高度来确定按压构件131的摆动方向的顺序，且首先按压在两个方向上的边缘当中具有测量为相对较高的高度的侧(或方向)以有效地按压测量为高的侧，从而补偿多个超薄玻璃10的层压平坦度。此外，控制部件(未示出)可根据测量的在超薄玻璃10的两个方向上(或超薄玻璃的每一位置)的边缘的高度来针对每一位置调整按压力，以增大测量为高的侧处的按压力且减小测量为低的侧处的按压力。通过此，可调整多个超薄玻璃10的层压平坦度。
[0071]
当在两个方向上的边缘具有相同高度时，按压构件131可首先在两个方向中的任何方向上摆动，且接着在与先前摆动方向相反的方向上或在与先前摆动方向相同的方向上摆动。这里，在与先前摆动方向相反的方向上摆动的特征对于多个超薄玻璃10的层压平坦
度可能更好。按压构件131可在根据多个超薄玻璃10的层的数目改变摆动方向时驱动。也就是说，按压构件131可首先在偶数编号的层中在任何一个方向上摆动，且在奇数编号的层中在其余一个方向上摆动。举例来说，按压构件131可在改变超薄玻璃10的每一层的摆动方向时按压，使得按压构件131从第二层(即，除接触载物台的最下部层的超薄玻璃之外的第一层)的超薄玻璃10的左方(或任何一个方向)到右方(或其余一个方向)摆动，且从第三层(即，除最下部层的超薄玻璃之外的第二层)的超薄玻璃10的右方(或其余一个方向)到左方(或任何一个方向)摆动。
[0072]
此外，控制部件(未示出)可根据由高度测量部件150测量的层压在粘合剂20上的超薄玻璃10的边缘的高度来测量层压的超薄玻璃10的高度(或层的数目)，且通过此，通过照射角调整部件160确定第一光源141的照射角。将在下文结合根据另一示范性实施例的超薄玻璃处理设备100描述对此的详细描述。
[0073]
图2是示出根据另一示范性实施例的超薄玻璃处理设备的示意性透视图。
[0074]
在下文中，将参考图2更详细地描述根据另一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法，且将省略与在根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备中所描述的特征重复的特征。
[0075]
根据另一示范性实施例的超薄玻璃处理设备100可包含：载物台110，支撑超薄玻璃10；转移部件(未示出)，用于将超薄玻璃10转移到载物台110上；粘合剂提供部件120，用于将粘合剂20提供到由载物台110支撑的超薄玻璃10上；以及按压部件130，用于将按压力提供到用其间的粘合剂20层压的多个超薄玻璃10上。
[0076]
载物台110可支撑超薄玻璃10，且可与根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100的载物台110相同。
[0077]
转移部件(未示出)可将超薄玻璃10转移到载物台110上，且可与根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100的转移部件(未示出)相同。
[0078]
粘合剂提供部件120可将粘合剂20提供到由载物台110支撑的超薄玻璃10上，且可与根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100的粘合剂提供部件120相同。
[0079]
按压部件130可将按压力提供到用其间的粘合剂20层压的多个超薄玻璃10上。然而，示范性实施例不限于此。举例来说，按压部件130可包含能够将按压力提供到多个超薄玻璃10上的各种配置。举例来说，按压部件130可与根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100的按压部件130相同地配置。
[0080]
光照射部件140可照射具有预定波长的光以固化粘合剂20。当具有预定波长的光照射到粘合剂20以固化粘合剂时，可提高多个超薄玻璃10之间的由粘合剂20产生的粘合力。
[0081]
这里，具有预定波长的光可以是紫外线(uv)或可见光，且当照射具有预定波长的光时，粘合剂可快速固化。举例来说，粘合剂可以是光固化粘合剂或通过具有254纳米到365纳米波段的紫外线来固化的紫外线粘合剂，粘合剂可含有光引发剂，且光照射部件140可包含用于照射具有恰当波段的紫外线的紫外线照射部件。
[0082]
此外，光照射部件140可包含照射具有第一波长的光的第一光源141，以及照射具有不同于第一波长的第二波长的光的第二光源142。第一光源141可将具有第一波长的光照射到粘合剂20的通过具有第一波长的光来固化的位置(或部分)。能够固化粘合剂20的波长
可根据粘合剂20的材料(或组合物)、密度和/或厚度来改变，且第一光源141可在通过具有第一波长的光来固化粘合剂20的位置处照射具有第一波长的光。
[0083]
第二光源142可将具有不同于第一波长的第二波长的光照射到通过具有第二波长的光来固化粘合剂20的位置。也就是说，第二光源142可将具有第二波长的光照射到通过具有第二波长的光来固化粘合剂20的位置。
[0084]
当通过使用具有高粘度的粘合剂20在超薄玻璃10的边缘(部分)处形成围坝部分或密封部分，且提供具有低粘度的粘合剂20使得粘合剂容易地在由围坝部分或密封部分包围的空间中扩散时，可针对粘合剂20的每一位置(即，围坝部分或密封部分的粘合剂与由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂之间)改变材料、密度和/或厚度。此外，可通过经由第一光源141和第二光源142针对粘合剂20的每一位置将具有第一波长的光和具有第二波长的光中的每一个适当地照射到粘合剂20的固化来进行整体均匀的固化。
[0085]
举例来说，第一波长可大于第二波长，第一光源141可照射具有第一波长(相对长波长)的光，且第二光源142可照射具有第二波长(相对短波长)的光。
[0086]
下文所描述的组件可应用于根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100。
[0087]
图3是用于解释根据另一示范性实施例的粘合剂提供部件的提供第一粘合剂和提供第二粘合剂的概念图，图3的(a)是示出通过使用第一粘合剂排出构件来提供第一粘合剂的视图，且图3的(b)是示出通过使用第二粘合剂排出构件来提供第二粘合剂的视图。
[0088]
参考图3，粘合剂提供部件120可包含：第一粘合剂排出构件121，用于将第一粘合剂21提供到超薄玻璃10的边缘；以及第二粘合剂排出构件122，用于将不同于第一粘合剂21的第二粘合剂22提供到超薄玻璃10的中心部分。这里，第一粘合剂21和第二粘合剂22的粘度、材料(组合物)、密度以及物质状态(例如，液体、凝胶或固体)中的至少一种可不同。举例来说，第一粘合剂21和第二粘合剂22可具有不同粘度，且因此具有不同材料和/或密度。
[0089]
第一粘合剂排出构件121可将第一粘合剂21提供到超薄玻璃10的边缘，且更特定来说，可将具有粘度的液化第一粘合剂21施加到超薄玻璃10的边缘上。第一粘合剂排出构件121可沿着(或围绕)超薄玻璃10的边缘印刷第一粘合剂21，以形成用于限制或防止第二粘合剂22和/或第一粘合剂21从超薄玻璃10偏离和渗漏的围坝部分或密封部分。这里，第一粘合剂21可使用具有高粘度的粘合剂20以形成围坝部分或密封部分。
[0090]
第二粘合剂排出构件122可向超薄玻璃10的中心部分提供不同于第一粘合剂21的第二粘合剂22，且更特定来说，可将具有粘度的液化第二粘合剂22施加到超薄玻璃10的中心部分上。这里，第二粘合剂排出构件122可将第二粘合剂22印刷到超薄玻璃10的中心部分，且可在第二粘合剂22可能因按压部件130的按压而容易地扩散的位置处印刷第二粘合剂22，而不是在其中未提供粘合剂20(即，第一粘合剂)的空白空间中填充第二粘合剂22。这里，第二粘合剂22可使用具有低于第一粘合剂21的粘度的粘合剂20，使得由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂20在多个超薄玻璃10之间有效地扩散。
[0091]
第一光源141可照射具有第一波长的光以固化第一粘合剂21，且第二光源142可照射具有第二波长的光以固化第二粘合剂22。也就是说，提供到超薄玻璃10的边缘的第一粘合剂21可通过照射具有第一波长的光来固化，且提供到超薄玻璃10的中心部分的第二粘合剂22可通过照射具有第二波长的光来固化。
[0092]
粘合剂20的粘度可根据材料和/或密度来改变，且可在材料和/或密度改变时改变
能够固化粘合剂20的波长。这里，随着粘合剂20的粘度增加，所述粘合剂20的透明度可能减小。在具有相同材料的不同粘度的情况下，随着密度增加，粘度可能增加。由于当透明度减小或密度增加时光的透射率可能因粘合剂20的高粘度而降低，所以可将具有长波长和优良透射率的光用于有效光反应(也就是固化)。
[0093]
第一波长可长于第二波长。由于提供到超薄玻璃10的边缘的第一粘合剂21具有高粘度，所以可通过照射具有相对长第一波长的光来固化第一粘合剂21。
[0094]
此外，第一粘合剂21的厚度可大于第二粘合剂22的厚度，以有效地实施用于防止第二粘合剂22溢出和渗漏的围坝部分或密封部分的作用。这里，第一粘合剂21与第二粘合剂22之间的厚度差可极其小，以获得多个超薄玻璃10的层压平坦度。由于即使当粘合剂的厚度增加时光的透射率也减小，所以可将具有长波长和优良透射率的光用于相对于总厚度(或深度)的有效光固化。
[0095]
因此，可将具有相对长波长的光照射到第一粘合剂21，且第一光源141可将具有相对长第一波长的光照射到第一粘合剂21以固化整个第一粘合剂21。
[0096]
由于第二粘合剂22可比第一粘合剂21具有更低粘度和更小厚度，也就是说，第二粘合剂22可比第一粘合剂21具有更大透射率和更小(更少)密度和/或厚度，所以可将具有相对短波长的光照射到第二粘合剂22。第二光源142可将具有相对短第二波长的光照射到第二粘合剂22以固化整个第二粘合剂22。
[0097]
当通过具有相同波长的光来固化所有第一粘合剂21和第二粘合剂22时，在具有短波长的光的情况下，可能在第一粘合剂21中产生未固化部分，且在具有长波长的光的情况下，归因于低能量，固化速度可能缓慢且花费较长固化时间。此外，由于在第二粘合剂22固化之后光不断照射到超薄玻璃10的中心部分，直到整个第一粘合剂21固化为止，所以超薄玻璃10可能受损。
[0098]
然而，当分别适当地照射具有第一波长的光和具有第二波长的光以固化第一粘合剂21和第二粘合剂22时，可根据材料、密度和/或厚度有效地固化第一粘合剂21和第二粘合剂22中的每一个，可防止第一粘合剂21中的未固化部分，且可均匀地固化第一粘合剂21和第二粘合剂22。此外，具有不同材料、密度和/或厚度的第一粘合剂21和第二粘合剂22可通过第一波长和第二波长的波长调整在相同时间期间固化。
[0099]
控制部件(未示出)可独立地控制第一光源141和第二光源142中的每一个。举例来说，可通过开启所有第一光源141和第二光源142来进行第一粘合剂21和第二粘合剂22的固化，且接着在第二粘合剂22的固化完成之后关闭第二光源142，且可在第一粘合剂21的固化完成之后关闭第一光源141。
[0100]
这里，第一光源141可设置在光照射部件140的边缘处，且第二光源142可设置在光照射部件140的中心部分处。举例来说，第一光源141可设置成面对超薄玻璃10的边缘，且第二光源142可设置成面对超薄玻璃10的中心部分。第一光源141可设置在光照射部件140的边缘处以面对超薄玻璃10的边缘，从而有效地固化第一粘合剂21。也就是说，由于设置在光照射部件140的边缘处的第一光源141设置成面对在超薄玻璃10的边缘处提供的第一粘合剂21，所以第一光源141可有效地固化第一粘合剂21。
[0101]
第二光源142可设置在光照射部件140的中心部分处以面对超薄玻璃10的中心部分，从而有效地固化第二粘合剂22。也就是说，由于设置在光照射部件140的中心部分处的
第二光源142设置成面对在超薄玻璃10的中心部分处提供的第二粘合剂21，所以第二光源142可有效地固化第二粘合剂22。
[0102]
这里，第二光源142可平行于超薄玻璃10设置，且第一光源141可偏离出超薄玻璃10且(直接)面对第一粘合剂21。举例来说，第二光源142可设置在超薄玻璃10的表面(或顶部表面)上以面对超薄玻璃10的表面，光照射部件140可进一步包含在其上安装(或安置)第二光源142(或多个第二光源142)的主板42，且在其上安装第二光源142的主板42可覆盖超薄玻璃10的表面且平行于超薄玻璃10安置。
[0103]
此外，第一光源141可从超薄玻璃10偏离且从超薄玻璃10外部面对第一粘合剂21，光照射部件140可进一步包含在其上安装第一光源141(或多个第一光源141)的辅助板41，且在其上安装第一光源141的辅助板41可围绕主板42(或在主板42的周边部分处)设置。这里，由于第一光源141从超薄玻璃10偏离到外部，所以第一光源141可在不穿过超薄玻璃10的情况下将具有第一波长的光直接照射到第一粘合剂21的在侧方向上暴露的侧表面。通过此，第一粘合剂21可进一步有效地固化，且第一粘合剂21的固化速度(其归因于高密度和/或大厚度而不可避免地缓慢)可比具有第一波长的光穿过超薄玻璃10照射时的情况进一步提高。
[0104]
也就是说，由于具有第一波长的光的能量直接转移到第一粘合剂21而不是穿过超薄玻璃10，所以第一粘合剂21可有效地固化。也就是说，由于通过第一光源141和/或第二光源142在光未穿过超薄玻璃10的侧方向上以及光穿过超薄玻璃10的厚度方向上照射光，所以可在侧方向以及厚度方向上进行第一粘合剂21的固化，以使第一粘合剂21的固化速度比仅在一个方向上进行固化的情况增加更多。
[0105]
因此，第一粘合剂21的固化时间可类似于第二粘合剂22的固化时间，且可解除(或改善)由第一粘合剂21与第二粘合剂22之间的固化时间差产生的限制。
[0106]
图4是用于解释根据另一示范性实施例的照射角调整部件的第一光源照射角调整的概念图。
[0107]
参考图4，根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100可进一步包含用于调整第一光源141的照射角的照射角调整部件160。
[0108]
照射角调整部件160可调整第一光源141的照射角，从而以有效地固化第一粘合剂21的照射角照射具有第一波长的光。
[0109]
举例来说，通过经由照射角调整部件160调整第一光源141的照射角，第一粘合剂21可在与第二粘合剂22(其与第一粘合剂21具有不同密度和/或厚度)相同的时间内固化。也就是说，可通过使用照射角调整部件160来调整第一光源141的照射角，使得具有不同密度和/或厚度的第一粘合剂21和第二粘合剂22具有相同固化时间。因此，可防止由于即使在第二粘合剂22固化之后具有第二波长的光(其具有短波长和高能量)也不断照射从而影响超薄玻璃10而产生的限制。
[0110]
这里，照射角调整部件160可调整在其上安装第一光源141的辅助板41的与主板42的角(或倾角)，以调整第一光源141的照射角。
[0111]
这里，当辅助板41与主板42之间的角形成直角(90
°
)时，可通过具有第一波长的光以垂直于第一粘合剂21的侧表面的照射角照射用于接合第二层的超薄玻璃10与最下部层的超薄玻璃10的第一粘合剂21。此外，当辅助板41与主板42之间的角在较高位置处在朝向
第一粘合剂21的方向上朝向180
°
增大时，通过具有第一波长的光以相对于第一粘合剂21的侧表面逐渐减小的照射角照射上部第一粘合剂21。在这一情况下，具有第一波长的光可根据层压高度来照射到将要固化的第一粘合剂21且集中在所述第一粘合剂21上。这里，可调整第一光源141的照射角，使得辅助板41的中心部分(第一光源141集中到所述中心部分且具有第一波长的光集中地照射所述中心部分)面对第一粘合剂21的侧表面。此外，可调整第一光源141的照射角，使得具有第一波长的光最低限度地照射到除将要固化的第一粘合剂21之外的部分。当调整第一光源141的照射角，使得辅助板41与主板42之间的角随着第一粘合剂21的层压高度增加而从直角(90
°
)增大到180
°
时，辅助板41的中心部分可面对将要固化的第一粘合剂21的侧表面，且具有第一波长的光可最低限度地照射除将要固化的第一粘合剂21之外的其它部分。
[0112]
根据另一示范性实施例的超薄玻璃处理设备100可进一步包含用于测量层压在载物台20上的超薄玻璃10的边缘的高度的高度测量部件150。
[0113]
高度测量部件150可测量层压在粘合剂20上的超薄玻璃10的边缘的高度、层压在未固化粘合剂20上的超薄玻璃10的边缘的高度，以及层压在固化粘合剂20a上且通过固化粘合剂20a与下部超薄玻璃10接合的超薄玻璃10的边缘的高度。这里，高度测量部件150可测量上部超薄玻璃10的边缘的高度以测量上部超薄玻璃10和/或粘合剂20的竖直位置(或高度)、上部超薄玻璃10的平坦度，以及多个超薄玻璃10的层压平坦度(或超薄玻璃层压体的平坦度)。举例来说，高度测量部件150可包含距离传感器，且通过测量到上部(或最上部)超薄玻璃10的距离来测量上部(或最上部)超薄玻璃10的边缘的高度。
[0114]
这里，根据另一示范性实施例的超薄玻璃处理设备100可进一步包含控制部件(未示出)，控制部件(未示出)可根据由高度测量部件150测量的层压在粘合剂20上的超薄玻璃10的边缘的高度来测量包含第一粘合剂21和第二粘合剂22的粘合剂20和/或超薄玻璃10的高度(或层的数目)。通过此，可通过照射角调整部件160确定第一光源141的照射角，且可调整(或确定)第一光源141的照射角，使得辅助板41与主板42之间的角随着测量的第一粘合剂21的高度增加而从直角(90
°
)增大到180
°
。
[0115]
此外，控制部件(未示出)可确定(或调整)第一光源141的照射角，使得具有第一波长的光根据测量的多个超薄玻璃10的层压平坦度垂直于将要固化的第一粘合剂21的侧表面照射。
[0116]
这里，超薄玻璃10可具有10微米到150微米的厚度，且超薄玻璃层压体50可通过层压两个到五十个超薄玻璃10来形成。
[0117]
通常，玻璃具有脆性。当玻璃具有在其厚度超过150微米时的硬度时，玻璃可能不容易弯曲。因此，当强制弯曲玻璃时，玻璃可能破裂。因此，由于玻璃在保持产品性能时不可弯曲，所以不可将玻璃应用于柔性显示器。因此，可通过用刻蚀剂刻蚀具有超过400微米的厚度的圆形板玻璃来制造(或制备)具有在10微米到150微米范围内的减小的厚度的超薄玻璃10。因此，超薄玻璃10可具有在10微米到150微米范围内的厚度。
[0118]
近年来，需要将具有在1毫米到10毫米范围内的弯曲半径(r)的超薄玻璃10应用于可折叠显示器，且根据示范性实施例的超薄玻璃10可具有在1毫米到10毫米范围内的弯曲半径。这里，超薄玻璃10的柔性可通过弯曲半径来表征。弯曲半径(r)可测量为超薄玻璃10的弯曲位置处的内曲率，且通过超薄玻璃10的厚度(t)、杨氏模量以及弯曲强度来确定。这
里，超薄玻璃10的极小厚度、低杨氏模量以及高弯曲强度可有助于超薄玻璃10的小弯曲半径和优良柔性。尽管超薄玻璃10可以150微米或小于150微米的厚度具有柔性，但具有在100微米到150微米范围内的厚度的超薄玻璃10可仅在可弯曲水平下进行弯曲，且可能不在弯曲半径(r)在1毫米到10毫米范围内的可折叠水平下进行弯曲。因此，超薄玻璃10可具有在10微米到100微米范围内的厚度，所以超薄玻璃10可在可折叠水平下进行弯曲。
[0119]
可对超薄玻璃10进行化学强化以具有极大弯曲强度和/或低杨氏模量。这里，化学强化可通过在超薄玻璃10的表面和/或边缘上涂布来进行。举例来说，化学强化可通过在超薄玻璃10的表面上形成压缩应力层来强化超薄玻璃10的表面。也就是说，超薄玻璃10可在其表面上包含通过化学强化来形成的压缩应力层。压缩应力层可通过超薄玻璃的表面处的离子交换形成于超薄玻璃10的表面上，且当超薄玻璃10弯曲时压缩应力可对应于拉伸应力。因此，可提高超薄玻璃10的弯曲强度，可容易地进行超薄玻璃10的处置和处理，可减小超薄玻璃10的弯曲半径，且可提高超薄玻璃10的柔性。
[0120]
这里，具有含有碱金属(例如，li、na、k等)和/或铝(al)的组合物的超薄玻璃10可在特定厚度(例如，约100微米或小于100微米的厚度)下获得高机械强度以及优良柔性和弯曲属性。可形成压缩应力层，且可通过使用碱金属氧化物(例如，k2o、na2o以及li2o)作为玻璃处理改性剂来对超薄玻璃10进行化学强化，以产生na
+
/li
+
、na
+
/k
+
以及li
+
/k
+
与超薄玻璃10中存在的钠(na)和锂(li)的离子交换。
[0121]
举例来说，化学强化可通过将超薄玻璃10浸渍到含有单价离子的板条浴中以与超薄玻璃10中的碱金属离子交换来进行，且盐浴的单价离子的直径可大于超薄玻璃10中的碱金属离子的直径。因此，可产生在离子交换之后作用于超薄玻璃10的表面的压缩应力，且通过此，可提高超薄玻璃10的弯曲强度和柔性。由化学强化产生的压缩应力(compressive stress；cs)可提高超薄玻璃10的耐刮擦性，使得超薄玻璃10可以不易刮擦，且离子交换层的深度(depth of an ion
‑
exchange layer；dol)可提高刮擦耐受性，使得超薄玻璃10即使在刮擦时也较少破裂。
[0122]
最典型地用于化学强化中的盐包含含有熔融盐的na+、含有熔融盐的k+或其混合物。频繁使用的盐可包含nano3、kno3、nacl、kcl、k2so4、na2so4以及na2co3，且naoh、koh以及例如其它钠盐、钾盐或铯盐的添加剂可用于进一步优良地控制化学强化的离子交换。
[0123]
这里，超薄玻璃10可为含有碳酸钠(na2co3)的钠钙玻璃，且超薄玻璃10的表面处的钠离子(na
+
)的一部分可由钾离子(k
+
)取代，所述钾离子在玻璃化转变温度(或软化温度)或更高温度下各自具有更大离子半径。也就是说，由于具有较大粒度的k
+
插入到超薄玻璃10的结构中的超薄玻璃10的内空间(在其中使用na
+
来插入)，使得完全填充小的内空间，所以超薄玻璃10的表面可进一步强烈地压缩以具有优良弹性和抗刮擦性。由于钾离子(k
+
)的颗粒大于钠离子(na
+
)的颗粒以占据更大空间，所以当超薄玻璃10冷却时，具有强压缩应力的层(即，压缩应力层)可形成于超薄玻璃10的表面上以具有防止刮擦的耐久性。此外，超薄玻璃10可以是含有玻璃(例如，碱金属硅酸盐玻璃、碱金属硼硅酸盐玻璃、碱金属铝硼硅酸盐玻璃、碱金属硼玻璃、碱金属锗酸盐玻璃、碱金属硼锗酸盐玻璃以及其组合)的碱金属且可含有碱金属以允许离子交换和化学强化。
[0124]
超薄玻璃层压体50可通过层压两个到五十个超薄玻璃10来形成。可通过使用物理抛光方法按一片单元对具有150微米(0.15毫米)或大于150微米的厚度的玻璃进行例如边
缘处理的工艺，且可在玻璃的边缘处形成以“c”形倒圆的c角。然而，由于当进行以上工艺时具有小于150微米的厚度的超薄玻璃10 100％破裂，所以可能不应用按一片单元的物理抛光方法。为了防止超薄玻璃10在按一片处理时100％受损，可通过层压两片到五十片超薄玻璃10来形成具有150微米或大于150微米的厚度的超薄玻璃层压体50，且接着可对超薄玻璃层压体50进行例如切割工艺或边缘工艺的工艺。当在形成超薄玻璃层压体50之后一次处理多个超薄玻璃10时，由于超薄玻璃层压体50具有150微米或大于150微米的厚度，所以可在例如切割工艺或边缘工艺的工艺中容易地处置超薄玻璃层压体50。因此，可进行稳定处置以允许精确工艺且防止超薄玻璃10在工艺期间受损。此外，可一次处理多个超薄玻璃10，因此可以大小或类似物的优良工艺均匀性处理超薄玻璃10，且可减小切割工艺的数目以减少用于处理超薄玻璃10的工艺时间。
[0125]
图5是用于解释根据另一示范性实施例的由加工部件进行的切割工艺的概念图，图5的(a)是示出通过切割轮来切割超薄玻璃层压体的视图，且图5的(b)是示出分离成具有预定大小的层压体单元的超薄玻璃层压体的视图。
[0126]
参考图5，根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100可进一步包含用于加工超薄玻璃层压体50的加工部件。
[0127]
加工部件可加工在其中层压多个超薄玻璃10的超薄玻璃层压体50，且可进行工艺，例如将超薄玻璃层压体50切割成预定大小或形状的切割工艺和/或修整边缘表面的边缘工艺。这里，切割工艺可将超薄玻璃层压体50切割成必要的预定大小且从超薄玻璃层压体50分离(或划分)层压体单元5。举例来说，加工部件可包含切割轮171。在切割工艺中，可通过使用安装有由金刚石磨料制成的切割轮171的计算机数字控制(computer numerical control；cnc)切割单元将超薄玻璃层压体50切割(或分离)成具有预定大小的层压体单元5。这里，加工部件可通过使用激光的激光切割方法来切割超薄玻璃层压体50。
[0128]
此外，边缘工艺可去除超薄玻璃层压体50和/或层压体单元5的边缘表面上的碎片(chipping)。举例来说，可通过使用抛光轮来去除超薄玻璃层压体50和/或形状经过处理的层压体单元5的边缘表面上存在的微碎片。这里，可将具有优良耐久性的软布用作抛光轮的表面材料。可对超薄玻璃层压体50的多个超薄玻璃10中的每一个和/或层压体单元5的边缘表面进行化学边缘抛光以便形成以“c”形倒圆的c角。在超薄玻璃层压体50和/或层压体单元5牢固地安装到化学边缘愈合仪器且接着定位成充分浸渍到填充有化学抛光溶液的边缘愈合浴中的状态下减慢超薄玻璃层压体50和/或层压体单元5的旋转的同时，可进行化学抛光以均匀地愈合整个边缘表面。通过此，超薄玻璃10可具有优良边缘强度和提高的弯曲强度，且多个超薄玻璃10中的每一个可容易地与超薄玻璃层压体50和/或层压体单元5分离。
[0129]
在示范性实施例中，由于超薄玻璃层压体50通过经由粘合片20层压多个超薄玻璃10来形成，所以在厚度增加大于150微米之后可容易地在例如切割工艺或边缘工艺的工艺中进行处置。因此，可进行稳定处置以允许精确工艺且防止超薄玻璃10在工艺期间受损。此外，可一次处理多个超薄玻璃10，因此可以大小或类似物的优良工艺均匀性处理超薄玻璃10，且可减小切割工艺的数目以减少用于处理超薄玻璃10的工艺时间。
[0130]
根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100可进一步包含用于对准超薄玻璃10在载物台110上的位置的位置调整部件(未示出)。
[0131]
位置调整部件(未示出)可对准超薄玻璃10在载物台110上的位置，且更特定来说，
可对准接触载物台110的支撑表面以支撑在载物台110的支撑表面上的预设位置处的超薄玻璃10，且对准通过具有在其下方安置的超薄玻璃10的粘合剂20来接合到上部部分的超薄玻璃10。
[0132]
举例来说，位置调整部件(未示出)可包含形成于载物台110上以限制超薄玻璃10在载物台110的支撑表面上的位置的位置保持构件(未示出)，以及用于感测多个超薄玻璃10之间的对准的对准传感器(未示出)。位置保持构件(未示出)可形成于载物台110上以限制(restrict)(或限制(limit))超薄玻璃10在载物台110的支撑表面上的位置。因此，最下部层的超薄玻璃10(其接触载物台110的支撑表面且由所述支撑表面支撑)可始终设置在相同位置处，且可针对每一超薄玻璃层压体50同等地保持最下部层的超薄玻璃10的位置。举例来说，位置保持构件(未示出)可提供阻挡(或卡住)超薄玻璃10的侧表面的阶梯式部分。位置保持构件可从载物台110突出，或载物台110的支撑表面可凹入，使得超薄玻璃10的侧表面由凹入凹槽的内表面卡住。此外，位置保持构件(未示出)可防止超薄玻璃10在左右方向上摇晃，且通过允许由阶梯式部分卡住(或阻挡)超薄玻璃10的侧表面来保持超薄玻璃10的位置。这里，阶梯式部分可包围超薄玻璃10的整个侧表面或仅包围超薄玻璃10的侧表面的一部分，只要阶梯式部分限制和保持超薄玻璃10在载物台110的支撑表面上的位置即可。
[0133]
对准传感器(未示出)可感测(或检查)多个超薄玻璃10之间的对准以对准多个超薄玻璃10。举例来说，对准传感器(未示出)可以是视觉相机。对准传感器可监视多个超薄玻璃10之间的对准状态(例如，多个超薄玻璃中的每一个的变形或位置)，且使新近转移(或层压)的超薄玻璃10对准到预层压的超薄玻璃10。这里，可通过经由转移部件(未示出)移动新近转移的超薄玻璃10来进行多个超薄玻璃10之间的对准。
[0134]
需要多个超薄玻璃10之间的对准以增加经过完全处理的多个超薄玻璃10之间的工艺均匀性。为此目的，根据示范性实施例，通过位置对准部件(未示出)对准多个超薄玻璃10。
[0135]
图6是表示根据又一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法的流程图。
[0136]
在下文中，将参考图6更详细地描述根据又一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法，且将省略与在根据示范性实施例和另一示范性实施例的超薄玻璃处理设备中所描述的特征重复的特征。
[0137]
根据又一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可包含：在载物台110上支撑第一超薄玻璃11的工艺s110；在由载物台110支撑的第一超薄玻璃11上提供粘合剂20的工艺s120；在粘合剂20上设置第二超薄玻璃12的工艺s130；以及通过驱动具有面积等于或大于第二超薄玻璃12的面积的弯曲按压表面131a的按压构件131在第二超薄玻璃12上提供按压力的工艺s140。
[0138]
首先，在工艺s110中，将第一超薄玻璃11支撑在载物台110上。第一超薄玻璃11可支撑在载物台110上，且载物台110可固定第一超薄玻璃11，使得在通过经由粘合剂20在第一超薄玻璃11上层压第二超薄玻璃12来形成超薄玻璃层压体50时第一超薄玻璃11不移动。举例来说，载物台110可在其多孔表面上吸附和固定第一超薄玻璃11。
[0139]
其后，在工艺s120中，将粘合剂20提供于由载物台110支撑的第一超薄玻璃11上。粘合剂20可提供于由载物台110支撑的第一超薄玻璃11上，且第二超薄玻璃12可通过粘合剂20与第一超薄玻璃11接合。这里，粘合剂提供部件120可用于将具有粘度的液化粘合剂20
施加和提供到超薄玻璃10上，或将例如树脂的液化粘合剂20印刷到超薄玻璃10上。这里，粘合剂20可通过例如紫外线(uv)的光来光固化且在固化时具有提高的粘合力。
[0140]
其后，在工艺s130中，将第二超薄玻璃12设置在粘合剂20上。由于第二超薄玻璃12设置在粘合剂20上，所以第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12可通过粘合剂20彼此接合。这里，第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12可以是相同的超薄玻璃10且根据层压顺序来区分。
[0141]
此外，在工艺s140中，通过驱动具有面积(或平面面积)等于或大于第二超薄玻璃12的面积的弯曲按压表面131a的按压构件131将按压力提供到第二超薄玻璃12上。可向第二超薄玻璃12提供按压力，且通过允许彼此面对的第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12彼此靠近，粘合剂20可在第一超薄玻璃11与第二超薄玻璃12之间均匀地扩散。举例来说，通过缓慢按压暴露于载物台110上的第二超薄玻璃12，液化粘合剂20可在第一超薄玻璃11与第二超薄玻璃12之间均匀地扩散。当通过驱动具有面积等于或大于第二超薄玻璃12的面积的弯曲按压表面131a的按压构件131来按压第二超薄玻璃12时，通过使用整个圆周表面作为按压表面，相对于超薄玻璃10的接触面积可比在超薄玻璃10上运行的方法中的按压辊增加更多，且表面压力可均匀地传递到整个超薄玻璃10(的表面)以在整个超薄玻璃10之上保持均匀的表面压力。
[0142]
第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12可通过粘合剂20彼此层压，以形成在其中层压两片到五十片超薄玻璃10的超薄玻璃层压体50。可通过使用物理抛光方法对具有150微米(0.15毫米)或大于150微米的厚度的玻璃以一片单元进行例如边缘工艺的工艺，且可在玻璃的边缘处形成以“c”形倒圆的c角。然而，由于当进行以上工艺时具有小于150微米的厚度的第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12 100％受损，所以物理抛光方法可应用于一片单元。为了防止第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12在按一片处理时100％受损，可在通过在第一超薄玻璃11上层压一片到四十九片第二超薄玻璃12来形成具有150微米或大于150微米的厚度的超薄玻璃层压体50之后进行例如切割工艺或边缘工艺的工艺。当在形成超薄玻璃层压体50之后一次处理第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12时，由于超薄玻璃层压体50具有150微米或大于150微米的厚度，所以可在例如切割工艺或边缘工艺的工艺中容易地处置超薄玻璃层压体50。因此，可进行稳定处置以允许精确工艺且防止第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12在工艺期间受损。此外，由于一次处理第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12(即，多个超薄玻璃10)，所以可以大小或类似物的优良工艺均匀性处理超薄玻璃10，且可减小例如切割工艺的工艺的数目以减少用于处理多个超薄玻璃10的工艺时间。
[0143]
这里，为了形成在其中层压三个或大于三个超薄玻璃10的超薄玻璃层压体50，可重复提供粘合剂20的工艺s120和设置第二超薄玻璃12的工艺s130以在第一超薄玻璃11上层压多个(例如，一片到四十九片)第二超薄玻璃12，从而形成超薄玻璃层压体50。在提供粘合剂20的工艺s120的第二次或更多次中，与在提供粘合剂20的工艺s120的第一次中将粘合剂20直接提供于第一超薄玻璃11的表面上的情况不同，粘合剂20可提供于第一超薄玻璃11上的第二超薄玻璃12的表面上，所述表面在上部(或最上部)部分处暴露。
[0144]
图7是用于解释根据又一示范性实施例的在第二超薄玻璃上提供按压力的工艺的概念图，图7的(a)是示出按压第二超薄玻璃的中心部分的工艺的视图，图7的(b)是示出按压构件的左方摆动的视图，且图7的(c)是示出按压构件的右方摆动的视图。
[0145]
参考图7，在第二超薄玻璃12上提供按压力的工艺s140可包含通过使按压构件131
在第二超薄玻璃12上在两个相反方向上摆动来改变接触第二超薄玻璃12的按压表面的位置的工艺。
[0146]
可通过使按压构件131在第二超薄玻璃12上在两个相反方向上摆动来改变接触第二超薄玻璃12的按压表面的位置。这里，按压构件131可首先按压超薄玻璃10的未由围坝部分或密封部分支撑的中心部分，且接着以从左到右或从右到左的顺序按压超薄玻璃10以按压整个超薄玻璃10(的表面)。当按压从超薄玻璃10的由围坝部分或密封部分支撑的边缘(部分)进行时，由于按压力仅传递到围坝部分或密封部分的粘合剂20(即，仅第一粘合剂)，但不传递到由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂20(即，第二粘合剂)，所以围坝部分或密封部分可能塌陷，且粘合剂20可能从超薄玻璃10偏离和渗漏。此外，由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂20可仅在一个方向上推动或在围坝部分或密封部分之上流动(或溢出)，且可能不在多个超薄玻璃10之间均匀地扩散从而降低上部超薄玻璃10的平坦度(或层压平坦度)。
[0147]
然而，在示范性实施例中，可通过从超薄玻璃10的中心部分进行按压使由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂20从多个超薄玻璃10之间的部分均匀地扩散到两侧。由于在超薄玻璃10的边缘(部分)处的按压力分散到围坝部分或密封部分的粘合剂和由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂20，所以可防止(或限制)围坝部分或密封部分的塌陷，且可防止由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂20溢出和渗漏。
[0148]
图8是用于解释根据又一示范性实施例的通过反映测量的第二超薄玻璃的边缘的高度来进行按压构件的按压方法的概念图，图8的(a)是示出测量第二超薄玻璃的两侧中的边缘的高度的工艺，图8的(b)是示出按压上部第二超薄玻璃的中心部分的工艺的视图，图8的(c)是示出按压构件的右方摆动的视图，且图8的(d)是示出按压构件的左方摆动的视图。
[0149]
参考图8，根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可进一步包含：测量在第二超薄玻璃12的两个方向上的边缘的高度的工艺；以及根据测量的在第二超薄玻璃12的两个方向上的边缘的高度来确定按压构件131的摆动方向顺序的工艺。
[0150]
在工艺中，可测量在第二超薄玻璃12的两个方向上的边缘的高度。当将多个超薄玻璃10层压且接着一次处理时，多个超薄玻璃10的层压平坦度对于大小或类似物的工艺均匀性是重要的。由于当层压多个超薄玻璃10时平坦度(或倾斜度)的误差累积，所以调整(或提高)多个超薄玻璃10的层压平坦度极其重要。
[0151]
因此，可通过使用包含距离传感器的高度测量部件150来测量在第二超薄玻璃12的两个方向上的边缘的高度，可测量设置在未固化粘合剂20上的第二超薄玻璃12的边缘的高度，且可测量层压在固化粘合剂20a上且通过固化粘合剂20a与第一超薄玻璃11接合的第二超薄玻璃12的边缘的高度。也就是说，在测量在第二超薄玻璃12的两个方向上的边缘的高度时，可测量第二超薄玻璃12的平坦度，且可测量第二超薄玻璃12和第一超薄玻璃11中的每一个的层压平坦度(或超薄玻璃层压体的平坦度)。
[0152]
此外，在工艺中，可根据测量的在第二超薄玻璃12的两个方向上的边缘的高度来确定摆动方向顺序。可根据测量的在第二超薄玻璃12的两个方向上的边缘的高度来确定摆动方向顺序，且可通过按压在两个方向上的边缘当中具有测量为相对较高的高度的侧(或方向)以有效地按压测量为高的侧来补偿第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12的层压平坦度。
[0153]
此外，可根据测量的在第二超薄玻璃12的两个方向上(或第二超薄玻璃的每一位置)的边缘的高度来针对每一位置调整按压力，以增大测量为高的侧处的按压力且减小测量为低的侧处的按压力。通过此，可使第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12的层压平坦度彼此匹配。
[0154]
当在两个方向上的边缘具有相同高度时，按压构件131可首先在两个方向中的任何方向上摆动，且接着在与先前摆动方向相反的方向上或在与先前摆动方向相同的方向上摆动。这里，在与先前摆动方向相反的方向上摆动的特征对于第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12的层压平坦度可能更好。
[0155]
此外，在将按压力提供到第二超薄玻璃12上的工艺s140中，按压构件131可在根据多个超薄玻璃10的层的数目改变摆动方向时驱动。这里，按压构件131可首先在偶数编号的层中在任何一个方向上摆动，且在奇数编号的层中在其余一个方向上摆动。举例来说，按压构件131可在改变超薄玻璃12的每一层的摆动方向时按压，使得按压构件131从下部第二超薄玻璃12(即，第二层)的左方(或任何一个方向)到右方(或其余一个方向)摆动，且从上部第二超薄玻璃12(即，第三层)的右方(或其余一个方向)到左方(或任何一个方向)摆动。
[0156]
举例来说，如图8中所示出，在测量通过固化的第一粘合剂21a和固化的第二粘合剂22a与第一超薄玻璃11接合的第二超薄玻璃12的边缘的高度之后，可在第一超薄玻璃11上的第二超薄玻璃12的表面上提供第一粘合剂21和第二粘合剂22，且可通过在确定的摆动方向上驱动按压构件131来向设置在第二粘合剂22上的上部第二超薄玻璃12和设置在下部第二超薄玻璃12的表面上的第一粘合剂21提供按压力。
[0157]
根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可进一步包含通过照射具有第一波长的光和具有不同于第一波长的第二波长的光来固化粘合剂20的工艺。
[0158]
可通过照射具有第一波长的光和具有不同于第一波长的第二波长的光来固化粘合剂20。类似于根据又另一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法，可通过照射具有第一波长的光和具有不同于第一波长的第二波长的光来固化粘合剂20。第一光源141可照射具有第一波长的光，且第二光源142可照射具有不同于第一波长的第二波长的光。
[0159]
当通过使用具有高粘度的粘合剂20在第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12中的每一个的边缘(部分)处形成围坝部分或密封部分，且提供具有低粘度的粘合剂20使得粘合剂容易地在由围坝部分或密封部分包围的空间中扩散时，可针对粘合剂20的每一位置(即，围坝部分或密封部分的粘合剂与由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂之间)改变材料、密度和/或厚度。此外，可通过经由第一光源141和第二光源142针对粘合剂20的每一位置将具有第一波长的光和具有第二波长的光中的每一个适当地照射到粘合剂20的固化来进行整体均匀的固化。
[0160]
在下文中，将结合根据又另一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法描述对粘合剂20的固化的详细描述。
[0161]
图9是表示根据又另一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法的流程图。
[0162]
在下文中，将参考图9更详细地描述根据又另一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法，且将省略与在根据示范性实施例和另一示范性实施例的超薄玻璃处理设备和用于处理超薄玻璃的方法中所描述的特征重复的特征。
[0163]
根据又另一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可包含：在载物台110上支
撑第一超薄玻璃11的工艺s210；在由载物台110支撑的第一超薄玻璃11上提供粘合剂20的工艺s220；在粘合剂20上设置第二超薄玻璃12的工艺s230；以及通过照射具有第一波长的光和具有不同于第一波长的第二波长的光来固化粘合剂20的工艺s240。
[0164]
首先，在工艺s210中，将第一超薄玻璃11支撑在载物台110上。支撑第一超薄玻璃11的工艺s210可与根据又一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法相同。
[0165]
其后，在工艺s220中，将粘合剂20提供于由载物台110支撑的第一超薄玻璃11上。提供粘合剂20的工艺s220可与根据又一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法相同。
[0166]
其后，在工艺s230中，将第二超薄玻璃12设置在粘合剂20上。设置第二超薄玻璃12的工艺s230可与根据又一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法相同。
[0167]
接着，在工艺s240中，可通过照射具有第一波长的光和具有不同于第一波长的第二波长的光来固化粘合剂20。可通过照射具有预定波长的光来固化粘合剂。当通过照射具有第一波长的光和具有不同于第一波长的第二波长的光来固化粘合剂20时，可提高多个超薄玻璃10之间的由粘合剂20产生的粘合力。可通过使用包含第一光源141和第二光源的光照射部件140来照射具有第一波长的光和具有第二波长的光。第一光源141可照射具有第一波长的光，且第二光源142可照射具有第二波长的光。
[0168]
当通过使用具有高粘度的粘合剂20在第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12中的每一个的边缘(部分)处形成围坝部分或密封部分，且提供具有低粘度的粘合剂20使得粘合剂容易地在由围坝部分或密封部分包围的空间中扩散时，可针对粘合剂20的每一位置(即，围坝部分或密封部分的粘合剂与由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂之间)改变材料、密度和/或厚度。此外，可通过经由第一光源141和第二光源142针对粘合剂20的每一位置将具有第一波长的光和具有第二波长的光中的每一个适当地照射到粘合剂20的固化来进行整体均匀的固化。
[0169]
举例来说，第一波长长于第二波长。
[0170]
根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可进一步包含在固化粘合剂20的工艺s240之前将按压力提供到第二超薄玻璃12上的工艺。
[0171]
在工艺中，可将按压力提供到第二超薄玻璃12上。可向第二超薄玻璃12提供按压力，且通过允许彼此面对的第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12彼此靠近，粘合剂20可在第一超薄玻璃11与第二超薄玻璃12之间均匀地扩散。这里，通过驱动具有面积等于或大于第二超薄玻璃12的面积的弯曲按压表面131a的按压构件131将按压力提供到第二超薄玻璃12上。
[0172]
下文所描述的工艺将以相同方式应用于根据又一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法。
[0173]
提供粘合剂20的工艺s120或工艺s220可包含：将第一粘合剂21提供到第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12的边缘的工艺；以及将不同于第一粘合剂21的第二粘合剂22提供到第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12的中心部分的工艺。
[0174]
在工艺中，可将第一粘合剂21提供到第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12的边缘。当层压下部第二超薄玻璃12时，可将第一粘合剂21提供到第一超薄玻璃11的边缘，且当层压上部第二超薄玻璃12时，可将第一粘合剂21提供到下部第二超薄玻璃12的边缘。可通过使用第一粘合剂排出构件121将第一粘合剂21提供到第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12的
边缘，且可将液化第一粘合剂21施加于第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12的边缘上。举例来说，沿着(或围绕)第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12的边缘印刷第一粘合剂21，以形成用于限制或防止第二粘合剂22和/或第一粘合剂21从第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12偏离和渗漏的围坝部分或密封部分。这里，第一粘合剂21可使用具有高粘度的粘合剂20以形成围坝部分或密封部分。
[0175]
此外，在工艺中，可将不同于第一粘合剂21的第二粘合剂22提供到第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12的中心部分。这里，第二粘合剂22的粘度、材料、密度以及物质状态中的至少一种可与第一粘合剂21不同。举例来说，第一粘合剂21和第二粘合剂22可具有不同粘度，且因此具有不同材料和/或密度。当层压下部第二超薄玻璃12时，可将与第一粘合剂21具有不同粘度的第二粘合剂22提供到第一超薄玻璃11的中心部分，且当层压上部第二超薄玻璃12时，可将与第一粘合剂21具有不同粘度的第二粘合剂22提供到下部第二超薄玻璃12的中心部分。可通过使用第二粘合剂排出构件122将与第一粘合剂21具有不同粘度的第二粘合剂22提供到第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12的中心部分，且可将具有粘度的液化第二粘合剂21施加于第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12的中心部分上。举例来说，可在第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12的中心部分上印刷第二粘合剂22。可在第二粘合剂22可能因按压部件130的按压而容易地铺开的位置处印刷第二粘合剂22，而不是在其中未提供粘合剂20(即，第一粘合剂)的空白空间中填充第二粘合剂22。这里，第二粘合剂22可使用具有低于第一粘合剂21的粘度的粘合剂20，使得由围坝部分或密封部分包围的空间中的粘合剂20在第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12之间或多个第二超薄玻璃12之间有效地扩散。
[0176]
固化粘合剂20的工艺可包含：通过照射具有第一波长的光来固化第一粘合剂21的工艺；以及通过照射具有第二波长的光来固化第二粘合剂22的工艺。
[0177]
在工艺中，可通过照射具有第一波长的光来固化第一粘合剂21。第一光源141可照射具有第一波长的光以固化第一粘合剂21，且可通过照射具有第一波长的光来固化提供到第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12的边缘的第一粘合剂21。
[0178]
在工艺中，可通过照射具有第二波长的光来固化第二粘合剂22。第二光源142可照射具有第二波长的光以固化第二粘合剂22，且可通过照射具有第二波长的光来固化提供到第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12的中心部分的第二粘合剂22。
[0179]
这里，可(几乎)同时进行固化第一粘合剂21的工艺和固化第二粘合剂22的工艺。
[0180]
粘合剂20的粘度可根据材料(或组合物)和/或密度来改变，且可在材料和/或密度改变时改变能够固化粘合剂20的波长。这里，随着粘合剂20的粘度增加，所述粘合剂20的透明度可能减小。在具有相同材料的不同粘度的情况下，随着密度增加，粘度可能增加。由于当随着粘度增加而透明度减小或密度增加时光的透射率可能因粘合剂20的高粘度而降低，所以可将具有长波长和优良透射率的光用于有效光反应(也就是固化)。
[0181]
第一波长可长于第二波长。由于提供到第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12的边缘的第一粘合剂21具有高粘度，所以可通过照射具有相对长第一波长的光来固化第一粘合剂21。
[0182]
此外，第一粘合剂21的厚度可大于第二粘合剂22的厚度，以有效地实施用于防止第二粘合剂22溢出和渗漏的围坝部分或密封部分的作用。这里，第一粘合剂21与第二粘合剂22之间的厚度差可极其小，以获得第一超薄玻璃11和(多个)第二超薄玻璃12的层压平坦
度。由于即使当粘合剂的厚度增加时光的透射率也减小，所以可将具有长波长和优良透射率的光用于相对于总厚度(或深度)的有效光固化。
[0183]
因此，可将具有相对长波长的光照射到第一粘合剂21，且第一光源141可将具有相对长第一波长的光照射到第一粘合剂21以固化整个第一粘合剂21。
[0184]
由于第二粘合剂22可比第一粘合剂21具有更低粘度和更小厚度，也就是说，第二粘合剂22可比第一粘合剂21具有更大透射率和更小(更少)密度和/或厚度，所以可将具有相对短波长的光照射到第二粘合剂22。第二光源142可将具有相对短第二波长的光照射到第二粘合剂22以固化整个第二粘合剂22。
[0185]
当通过具有相同波长的光来固化所有第一粘合剂21和第二粘合剂22时，在具有短波长的光的情况下，可能在第一粘合剂21中产生未固化部分，且在具有长波长的光的情况下，归因于低能量，固化速度可能缓慢且花费较长固化时间。此外，由于在第二粘合剂22固化之后光不断照射到超薄玻璃11的中心部分，直到整个第一粘合剂21固化为止，所以超薄玻璃12可能受损。
[0186]
然而，当分别适当地照射具有第一波长的光和具有第二波长的光以固化第一粘合剂21和第二粘合剂22时，可根据材料、密度和/或厚度有效地固化第一粘合剂21和第二粘合剂22中的每一个，可防止第一粘合剂21中的未固化部分，且可均匀地固化第一粘合剂21和第二粘合剂22。此外，具有不同材料、密度和/或厚度的第一粘合剂21和第二粘合剂22可通过第一波长和第二波长的波长调整在相同时间期间固化。
[0187]
图10是用于解释根据又另一示范性实施例的通过反映测量的第二超薄玻璃的边缘的高度来进行第一光源的照射角调整的概念图，图10的(a)是示出用于固化第一超薄玻璃与下部第二超薄玻璃之间的第一粘合剂的第一光源的照射角的视图，且图10的(b)是示出用于固化下部第二超薄玻璃与上部第二超薄玻璃之间的第一粘合剂的第一光源的照射角的视图。
[0188]
参考图10，根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可进一步包含：测量第二超薄玻璃12的边缘的高度的工艺；以及根据测量的第二超薄玻璃12的边缘的高度来调整具有第一波长的光的照射角的工艺。
[0189]
在工艺中，可测量在第二超薄玻璃12的边缘的高度。可通过使用包含距离传感器的高度测量部件150来测量在第二超薄玻璃12的边缘的高度，可测量设置在未固化粘合剂20上的第二超薄玻璃12的边缘的高度，且可测量层压在固化粘合剂20a上且通过固化粘合剂20a与第一超薄玻璃11接合的第二超薄玻璃12的边缘的高度。此外，可根据第二超薄玻璃12的边缘的高度来测量第二超薄玻璃12和/或包含第一粘合剂21和第二粘合剂22的粘合剂20的高度(或层的数目)。通过此，可确定具有第一波长的光的照射角。
[0190]
此外，在工艺中，可根据测量的第二超薄玻璃12的边缘的高度来调整具有第一波长的光的照射角。可通过根据第二超薄玻璃12的边缘的高度来确定的具有第一波长的光的照射角来调整具有第一波长的光的照射角，且可调整(或确定)具有第一波长的光的照射角，使得随着测量的第一粘合剂的高度增加，照射角从垂直于第一粘合剂21的侧表面的照射角逐渐减小到平缓于第一粘合剂21的侧表面的照射角。举例来说，可通过调整第一光源的照射角来调整具有第一波长的光的照射角，使得辅助板41与主板42之间的角在90
°
到180
°
范围内增大。
[0191]
此外，可根据测量的第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12的层压平坦度来调整具有第一波长的光的照射角，使得具有第一波长的光垂直于待固化的第一粘合剂21的侧表面照射。
[0192]
根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可进一步包含加工在其中层压第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12的超薄玻璃层压体50的工艺。
[0193]
此外，在工艺中，可加工在其中层压第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12的超薄玻璃层压体50。可加工在其中层压第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12的超薄玻璃层压体50，且可进行工艺，例如将超薄玻璃层压体50切割成预定大小或形状的切割工艺和/或修整边缘表面的边缘工艺。
[0194]
也就是说，加工超薄玻璃层压体50的工艺可包含：按预定大小切割超薄玻璃层压体50的工艺；以及抛光超薄玻璃层压体50的边缘表面的工艺。
[0195]
在工艺中，可按预定大小切割超薄玻璃层压体50。超薄玻璃层压体50可按必要的预定大小切割且分离(或划分)成层压体单元5。举例来说，可通过使用安装有由金刚石磨料制成的切割轮171的计算机数字控制切割单元将超薄玻璃层压体50切割(或分离)成具有预定大小的层压体单元5。此外，可通过使用激光的激光切割方法来切割超薄玻璃层压体50。
[0196]
此外，在工艺中，可抛光超薄玻璃层压体50的边缘表面。可进行抛光超薄玻璃层压体50的边缘表面的边缘工艺以去除超薄玻璃层压体50和/或层压体单元5的边缘表面处的碎片。举例来说，可通过使用抛光轮来去除超薄玻璃层压体50和/或形状经过处理的层压体单元5的边缘表面处存在的微碎片。这里，可将具有优良耐久性的软布用作抛光轮的表面材料。此外，可进行用于形成以“c”形倒圆的c角的化学边缘抛光以获得优良边缘强度。
[0197]
根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可进一步包含将第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12中的每一个与经过处理的层压体单元5分离的工艺。
[0198]
可将第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12中的每一个与经过处理的层压体单元5分离。可按每一片将第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12与经过处理的层压体单元5分离。可经由通过使用特殊化学溶液(例如，丙酮类化学物质或碱金属浸泡溶液)或去离子(deionized；di)水的溶液处理来融化和去除粘合剂20，且接着可使用手部按一片分离第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12(即，多个超薄玻璃)。
[0199]
如上文所描述，在示范性实施例中，可通过经由粘合片设置部件在多个超薄玻璃(utg)之间布置粘合片以接合多个超薄玻璃来形成超薄玻璃层压体。因此，可容易地进行用于超薄玻璃的例如切割工艺或边缘工艺的工艺，且可将超薄玻璃处理成具有适合于各种产品的使用的优选大小和形状，而没有破裂缺陷。此外，可通过超薄玻璃层压体一次处理多个超薄玻璃，因此可以大小或类似物的优良工艺均匀性处理超薄玻璃，且工艺的数目可减小小于超薄玻璃的数目以减少用于处理超薄玻璃的工艺时间。由于在通过使用具有圆周表面(其中至少一部分形成为面积等于或大于超薄玻璃的面积的弯曲表面)的按压构件改变接触超薄玻璃的弯曲表面的位置时将按压力提供到多个层压的超薄玻璃上，所以可将均匀的压力施加到多个超薄玻璃上。此外，可在相对于超薄玻璃的接触面积增加时保持均匀的表面压力，且可防止在将按压力提供到多个超薄玻璃上的工艺中由于布置在多个超薄玻璃之间的粘合剂从超薄玻璃偏离和渗漏而产生的限制。由于用不同波长固化在超薄玻璃的边缘处提供的第一粘合剂和在超薄玻璃的中心部分处提供的第二粘合剂，所以可有效地固化密
度和/或厚度不同的第一粘合剂和第二粘合剂。因此，可防止因在超薄玻璃的边缘处提供的第一粘合剂的一部分未固化而产生的限制。此外，由于通过根据待固化的第一粘合剂的高度改变第一光源的照射角来进一步有效地固化第一粘合剂，所以第一粘合剂可在与第二粘合剂相同的时间期间固化。因此，可防止由于即使在固化之后具有固化第二粘合剂的波长的高能量也照射到第二粘合剂而影响超薄玻璃的限制。
[0200]
在本说明书中，应理解，当将层(或膜)称为“在”另一层或基板“上”时，所述层(或膜)可直接在另一层或基板上，或也可存在插入层，且所述插入层可完全或部分地面对顶部表面或底部表面安置。因此，表述“在粘合片上”可表示粘合片的表面(顶部表面或底部表面)或超薄玻璃的设置在粘合片的表面上的表面。
[0201]
根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的设备可通过经由粘合剂提供部件在多个超薄玻璃(utg)之间布置粘合片且将多个超薄玻璃彼此接合来形成超薄玻璃层压体。因此，可容易地进行用于超薄玻璃的例如切割工艺或边缘工艺的工艺，且可将超薄玻璃处理成适合于各种产品的使用的优选大小和形状，而没有破裂缺陷。
[0202]
此外，可通过超薄玻璃层压体一次处理多个超薄玻璃，因此可以大小或类似物的优良工艺均匀性处理超薄玻璃，且工艺的数目可减小小于超薄玻璃的数目以减少用于处理超薄玻璃的工艺时间。
[0203]
由于在通过使用具有圆周表面(其中至少一部分形成为面积等于或大于超薄玻璃的面积的弯曲表面)的按压构件改变接触超薄玻璃的弯曲表面的位置时将按压力提供到多个层压的超薄玻璃上，所以可将均匀的压力施加到多个超薄玻璃上。此外，可在相对于超薄玻璃的接触面积增加时保持均匀的表面压力，且可防止在将按压力提供到多个超薄玻璃上的工艺中由于布置在多个超薄玻璃之间的粘合剂从超薄玻璃偏离和渗漏而产生的限制。
[0204]
由于用不同波长固化在超薄玻璃的边缘处提供的第一粘合剂和在超薄玻璃的中心部分处提供的第二粘合剂，所以可有效地固化密度和/或厚度不同的第一粘合剂和第二粘合剂。因此，可防止因在超薄玻璃的边缘处提供的第一粘合剂的一部分未固化而产生的限制。此外，由于通过根据待固化的第一粘合剂的高度改变第一光源的照射角来进一步有效地固化第一粘合剂，所以第一粘合剂可在与第二粘合剂相同的时间期间固化。因此，可防止由于即使在固化之后具有固化第二粘合剂的波长的高能量也照射到第二粘合剂而影响超薄玻璃的限制。
[0205]
尽管已参考实施例的数个示出性实施例描述了所述实施例，但所述实施例不限于前述实施例，且因此，应理解，可由本领域的技术人员设计将落入本公开的原理的精神和范围内的众多其它修改和实施例。因此，本发明的实际保护范围应通过所附权利要求的技术范围确定。