到射线辐射屏蔽盒14外。作为优选的方案，在实际设计时可以将射线辐射屏蔽盒14上的孔18设计为与射线发生装置3的发射口卡合。
[0025]在具体应用实例中，优选的，射线发生装置3通过线缆6连接射线发射控制器5，射线发射控制器5主要用于为射线发生装置3供电、降温、控制X射线的发射等。探针台2的探针座7通过导线8连接测试系统4，该测试系统4可以是常规使用的测试系统4，这里不再赘述。
[0026]在具体应用实例中，优选的，本发明的探针台系统还包括一辐射防护暗箱I，上述探针台2、射线发生装置3、显微镜12、待测芯片15均设置在辐射防护暗箱I内部，测试系统4和射线发射控制器5位于辐射防护暗箱I外。
[0027]进一步，在辐射防护暗箱I的箱壁上设有线缆接口9和导线接口10。相应的，射线发生装置3通过线缆6和线缆接口 9与辐射防护暗箱I外的射线发射控制器5连接;探针台2的探针座7通过导线8和导线接口 10与辐射防护暗箱I外的测试系统4连接。通过设置线缆接口 9和导线接口 10，就可以防止连接辐射防护暗箱I内的设备和辐射防护暗箱I外部设备时线路穿过辐射防护暗箱I发生的射线泄露。
[0028]辐射防护暗箱I是能够屏蔽射线的箱体，在具体应用时，可以根据实际需要在辐射防护暗箱I的内壁选择防辐射的材料制作，在射线辐射屏蔽盒对射线辐射进行屏蔽的基础上，辐射防护暗箱I提供冗余的射线辐射屏蔽保护，实现对周围人员的双重保护。
[0029]工作原理:将待测芯片15放置在射线辐射屏蔽盒14内，探针17的尖端通过刺穿设置射线辐射屏蔽盒14外侧壁上的含铅橡胶片进入射线辐射屏蔽盒14，当对待测芯片15进行辐射时，射线发生装置3伸入射线辐射屏蔽盒14时与盒子上端的孔18卡合，射线的范围局限在射线辐射屏蔽盒14内，探针17的尖端在进入射线辐射屏蔽盒14的同时也不会造成射线的泄露，不仅能够防止射线辐照实验时附近人员受到射线辐射，还能够防止探针台2本身含有的芯片受到射线辐射，减小射线对待测芯片15之外的含有集成电路部件的损害，延长其它部件的使用寿命。
[0030]本发明还提供了一种基于上述用于射线辐照实验的探针台系统的实验方法，其步骤为:
SI:将射线发生装置3通过射线辐射屏蔽盒14上的孔18伸入到射线辐射屏蔽盒14中，对待测芯片15进行射线照射，射线发生装置3与射线辐射屏蔽盒14上端的孔18卡合；
射线发生装置3在探针台架11上移动，首先将射线发生装置3移动到射线辐射屏蔽盒14的上方，通过孔18将射线发生装置3伸入射线辐射屏蔽盒14中，通过射线发射控制器5控制射线发生装置3发射X射线照射到待测芯片15上，如图2所示。射线辐照实验完成后，再将射线发生装置3的射线发射口从孔18中取出。射线发生装置3的射线发射口伸入孔18中后，射线不能从孔18与射线发生装置3的射线发射口之间的缝隙泄漏到射线辐射屏蔽盒14外。
[0031]S2:完成射线照射后，关闭射线发生装置3;
S3:移动显微镜12至射线辐射屏蔽盒14的上方，将显微镜12通过射线辐射屏蔽盒14上的孔18伸入到射线辐射屏蔽盒14中，以便于观察待测芯片15的性能。
[0032]射线辐射之后，通过显微镜12观察待测芯片15的变化，可以由工作人员直接通过显微镜12进行观察，或者通过由显微镜12的电子目镜传回图像至计算机，再由工作人员观察，这里不作限定，均在本发明的保护范围之内。
[0033]优选的，当探针17的尖端接触待测芯片15的输入输出接口之后，在对待测芯片15进行射线辐射之前，可以先通过显微镜12对探针17尖端与待测芯片15的接触进行调整，比如，显微镜12通过孔18伸入射线辐射屏蔽盒14中，观察探针17尖端与待测芯片15的输入输出接口是否接触良好，或者调整探针17尖端的位置。当对待测芯片15进行射线辐照实验时，将探针台2的显微镜12从孔18中取出，再将射线发生装置3的伸入孔18。
[0034]由上可知，通过采用本发明的探针台系统和实验方法，不仅能够防止射线辐照实验时附近人员受到射线辐射，还能够防止探针台2本身含有的芯片受到射线辐射，减小射线对待测芯片15之外的含有集成电路部件的损害，延长其它部件的使用寿命。
[0035]需要说明的是，X射线是通过对阴极射线管加高压产生的，所以必然有一个射线发生装置3和射线发射控制器5;但是γ射线是放射性元素自发产生的，一般是将放射性元素(如钴60)放在一个铅盒中屏蔽，辐照时开一个小口放出射线，开小口的过程一般通过装置自动执行，人远程控制。所以，可以将包裹着γ射线放射源的铅盒看作是一个γ射线的发生器，而控制该发生器发射射线的远程控制系统看作γ射线的发射控制器。由于γ射线时辐照实验的工作原理与X射线类似，可以参考上述描述，这里不再赘述。
[0036]以上仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，应视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种用于射线辐照实验的探针台系统，其特征在于，它包括: 探针(17)，固定在探针座(7)上； 探针台(2)，包括探针台架(11)和样品托板(13)，所述样品托板(13)上安装有用来放置待测芯片(15)的射线辐射屏蔽盒(14);在所述射线辐射屏蔽盒(14)上与探针(17)对着的侧面壁上设有狭缝，所述探针(17)的尖端通过狭缝进入射线辐射屏蔽盒(14)接触待测芯片(15)的输入输出接口； 所述显微镜(12)和射线发生装置(3)，安装在探针台(2)的探针台架(11)上，且所述显微镜(12)和射线发生装置(3)在探针台架(11)上可移动。2.根据权利要求1所述的用于射线辐照实验的探针台系统，其特征在于，所述狭缝处覆盖有一挡片(16)，所述挡片(16)用来包裹探针(17)的周围以防止射线泄露。3.根据权利要求2所述的用于射线辐照实验的探针台系统，其特征在于，所述挡片(16)为铅橡胶片。4.根据权利要求2所述的用于射线辐照实验的探针台系统，其特征在于，所述挡片(16)上开设有供探针(17)穿过的缝。5.根据权利要求1?4中任意一项所述的用于射线辐照实验的探针台系统，其特征在于，所述射线辐射屏蔽盒(14)上还设有供显微镜(12)和射线发生装置(3)穿过的孔(18);所述射线发生装置(3)伸入射线辐射屏蔽盒(14)时与孔(18)形成卡合配合。6.根据权利要求1?4中任意一项所述的用于射线辐照实验的探针台系统，其特征在于，所述射线发生装置(3)通过线缆(6)连接射线发射控制器(5)，所述探针台(2)的探针座(7)通过导线(8)连接测试系统(4)。7.根据权利要求6所述的用于射线辐照实验的探针台系统，其特征在于，还包括一辐射防护暗箱(1)，所述探针台(2)、射线发生装置(3)、显微镜(12)、待测芯片(15)均设置在辐射防护暗箱(I)内部;所述测试系统(4)和射线发射控制器(5)位于辐射防护暗箱(I)外。8.根据权利要求6所述的用于射线辐照实验的探针台系统，其特征在于，所述辐射防护暗箱(I)的内壁上贴设有防辐射层。9.一种基于上述权利要求1?8中任意一项用于射线辐照实验的探针台系统的实验方法，其特征在于，步骤为: S1:将射线发生装置(3)通过射线辐射屏蔽盒(14)上的孔(18)伸入到射线辐射屏蔽盒(14)中，对待测芯片(15)进行射线照射； S2:完成射线照射后，关闭射线发生装置(3); S3:移动显微镜(12)至射线辐射屏蔽盒(14)的上方，将显微镜(12)伸入到射线辐射屏蔽盒(14)中，观察待测芯片(15)的性能。10.根据权利要求9所述的实验方法，其特征在于，当探针(17)的尖端接触待测芯片(15)的输入输出接口之后，在对待测芯片(15)进行射线辐射之前，先通过显微镜(12)对探针(17)尖端与待测芯片(15)的接触进行调整；当对待测芯片(15)进行射线辐照实验时，将探针台(2)的显微镜(12)从射线辐射屏蔽盒(14)中取出，再将射线发生装置(3)的伸入射线辐射屏蔽盒(14)中。
【专利摘要】一种用于射线辐照实验的探针台系统及实验方法，该系统包括：探针，固定在探针座上；探针台，包括探针台架和样品托板，所述样品托板上安装有用来放置待测芯片的射线辐射屏蔽盒；在所述射线辐射屏蔽盒上与探针对着的侧面壁上设有狭缝，所述探针的尖端通过狭缝进入射线辐射屏蔽盒接触待测芯片的输入输出接口；所述显微镜和射线发生装置，安装在探针台的探针台架上，且所述显微镜和射线发生装置在探针台架上可移动。该方法是基于上述系统来实现的。本发明能够减小辐射源发射的射线对除待测芯片之外其它含有集成电路部件的影响、从而延长整体的使用寿命。
【IPC分类】G01R31/26, G01R31/28
【公开号】CN105652174
【申请号】
【发明人】池雅庆, 梁斌, 孙永节, 郭阳, 陈书明
【申请人】中国人民解放军国防科学技术大学
【公开日】2016年6月8日
【申请日】2015年12月30日