光栅分光偏振移相干涉系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种利用空间移相干涉测量技术进行测试的光栅分光偏振移相干涉系统，属于干涉仪领域。
【背景技术】
[0002]移相干涉术是以光波波长为单位的非接触式测量技术，具有极高的测量精度和灵敏度，被认为是检测精密元件的最准确技术之一。早在200多年前，人们就注意到了了光的干涉现象，并开始有计划的控制干涉现象。但是直到I960年第一台红宝石激光器的研制成功，干涉现象才开始广泛应用于测量领域。传统的干涉测量技术主要是通过照相或人眼直接观察干涉条纹，手工计算测量结果的方式进行的，效率低下，主观误差较大。1974年Bruning等人首次将通讯领域中的相位探测技术引入到光学测量中，使经典的干涉测量技术从微米级跨入纳米级，实现光学计量测试的重大突破。80年代以来，随着激光技术、光电探测技术、计算机技术、图像处理技术和精密机械等技术在光学测试中的逐步应用，移相干涉技术得到进一步发展，实现了实时、快速、多参数、自动化的测量。
[0003]时间移相是在不同时刻引入有序相移并记录多幅干涉图，并通过不同的算法得出待测的相位分布。而时间移相法是通过探测器在同一空间位置不同时刻采集，得到不同相移的干涉图，此方法对作用于被测元件的振动非常敏感，因此只适用于静态或准静态位相的测量，不能用于动态测量。
【实用新型内容】
[0004]为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。
[0005]本实用新型提供了一种光栅分光偏振移相干涉系统，由点光源、聚光镜、光阑、准直镜、第一反射镜、第一移相器、第一探测器、第一半反半透镜、第二移相器、第二探测器、第二半反半透镜、第三移相器、第三探测器、第二反射镜、第四移相器和第四探测器构成，第一探测器、第二探测器、第三探测器和第四探测器并列平行设置，第一移相器、第二移相器、第三移相器和第四移相器也并列平行设置。
[0006]优选的，上述第一反射镜设置在第一移相器前侧，第一半反半透镜设置在第二移相器前侧，第二半反半透镜设置在第三移相器前侧，第二反射镜设置在第四移相器前侧。
[0007]优选的，上述点光源发出的光线经过聚光镜、光阑和准直镜后，经过第一半反半透镜后分别到达第二移相器和第一反射镜，经第二半反半透镜后分别到达第三移相器和第二反射镜。
[0008]优选的，上述光阑为圆形小孔光阑。
[0009]优选的，上述第一反射镜、第一半反半透镜、第二半反半透镜和第二反射镜并列平行设置。
[0010]本实用新型提供的光栅分光偏振移相干涉系统是在同一时刻不同位置获得具有特定相移的多幅干涉图，这时尽管系统依然处于振动环境中，但对各干涉图的影响相同，从根本上克服了振动的影响，实现了相位的动态测量。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型结构示意图。
[0012]附图标记:1_点光源；2_聚光镜；3-光阑；4_准直镜；41_第一反射镜；42_第一移相器；43_第一探测器；51_第一半反半透镜；52_第二移相器；53_第二探测器；61_第二半反半透镜；62_第三移相器；63_第三探测器；71_第二反射镜；72_第四移相器；73_第四探测器。
【具体实施方式】
[0013]为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。
[0014]如图1所示，本实用新型提供的光栅分光偏振移相干涉系统，由点光源1、聚光镜2、光阑3、准直镜4、第一反射镜41、第一移相器42、第一探测器43、第一半反半透镜51、第二移相器52、第二探测器53、第二半反半透镜61、第三移相器62、第三探测器63、第二反射镜71、第四移相器72和第四探测器73构成，第一探测器43、第二探测器53、第三探测器63和第四探测器73并列平行设置，第一移相器42、第二移相器52、第三移相器62和第四移相器72也并列平行设置。
[0015]第一反射镜41设置在第一移相器42前侧，第一半反半透镜51设置在第二移相器52前侧，第二半反半透镜61设置在第三移相器62前侧，第二反射镜71设置在第四移相器72前侧。点光源I发出的光线经过聚光镜2、光阑3和准直镜4后，经过第一半反半透镜51后分别到达第二移相器52和第一反射镜41，经第二半反半透镜61后分别到达第三移相器62和第二反射镜71。光阑3为圆形小孔光阑。第一反射镜41、第一半反半透镜51、第二半反半透镜61和第二反射镜71并列平行设置。
[0016]本实用新型提供的光栅分光偏振移相干涉系统如图1所示，是在同一时刻不同位置获得具有特定相移的多幅干涉图，这时尽管系统依然处于振动环境中，但对各干涉图的影响相同，从根本上克服了振动的影响，实现了相位的动态测量。采用分光系统将入射光分成完全相同的四组光束，经过移相器时分别引入了 0、31/2、、3 /2的相移，通过四路探测器分别接收对应相移的干涉图，计算此时的相位分布。
[0017]以上所述之【具体实施方式】为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种光栅分光偏振移相干涉系统，其特征在于:所述光栅分光偏振移相干涉系统由点光源(I)、聚光镜(2)、光阑(3)、准直镜(4)、第一反射镜(41)、第一移相器(42)、第一探测器(43)、第一半反半透镜(51)、第二移相器(52)、第二探测器(53)、第二半反半透镜(61)、第三移相器(62)、第三探测器(63)、第二反射镜(71)、第四移相器(72)和第四探测器(73)构成，第一探测器(43)、第二探测器(53)、第三探测器(63)和第四探测器(73)并列平行设置，第一移相器(42)、第二移相器(52)、第三移相器￠2)和第四移相器(72)也并列平行设置。2.根据权利要求1所述的光栅分光偏振移相干涉系统，其特征在于:所述第一反射镜(41)设置在第一移相器(42)前侧，第一半反半透镜(51)设置在第二移相器(52)前侧，第二半反半透镜￠1)设置在第三移相器￠2)前侧，第二反射镜(71)设置在第四移相器(72)前侧。3.根据权利要求2所述的光栅分光偏振移相干涉系统，其特征在于:所述点光源(I)发出的光线经过聚光镜(2)、光阑(3)和准直镜(4)后，经过第一半反半透镜(51)后分别到达第二移相器(52)和第一反射镜(41)，经第二半反半透镜(61)后分别到达第三移相器(62)和第二反射镜(71)ο4.根据权利要求3所述的光栅分光偏振移相干涉系统，其特征在于:所述光阑(3)为圆形小孔光阑。5.根据权利要求1所述的光栅分光偏振移相干涉系统，其特征在于:所述第一反射镜(41)、第一半反半透镜(51)、第二半反半透镜￠1)和第二反射镜(71)并列平行设置。
【专利摘要】本实用新型涉及一种光栅分光偏振移相干涉系统，由点光源(1)、聚光镜(2)、光阑(3)、准直镜(4)、第一反射镜(41)、第一移相器(42)、第一探测器(43)、第一半反半透镜(51)、第二移相器(52)、第二探测器(53)、第二半反半透镜(61)、第三移相器(62)、第三探测器(63)、第二反射镜(71)、第四移相器(72)和第四探测器(73)构成，第一探测器(43)、第二探测器(53)、第三探测器(63)和第四探测器(73)并列平行设置，第一移相器(42)、第二移相器(52)、第三移相器(62)和第四移相器(72)也并列平行设置。本实用新型提供的光栅分光偏振移相干涉系统是在同一时刻不同位置获得具有特定相移的多幅干涉图，这时尽管系统依然处于振动环境中，但对各干涉图的影响相同，从根本上克服了振动的影响，实现了相位的动态测量。
【IPC分类】G01J9/02
【公开号】CN204903022
【申请号】CN201520276426
【发明人】林燕彬
【申请人】林燕彬
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2015年4月28日