线栅偏振器、包括其的显示面板及其制造方法
【专利说明】线栅偏振器、包括其的显示面板及其制造方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求来自2014年11月20日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请N0.10-2014-0162757的优先权、以及由其产生的所有权益，将其内容全部通过参考引入本文中。
技术领域
[0003]本申请涉及线栅偏振器(wire grid polarizer)、包括其的显示器件、以及其制造方法。
【背景技术】
[0004]布置平行的导线(conductive wire)以使电磁波中的特定偏振光分量偏振的平行导线阵列通常被称作线栅。
[0005]具有比相应光的波长短的循环期(cycle)的线栅结构体具有如下偏振特性:其反射在线方向上的非偏振入射光的偏振光分量和透射与线方向垂直的偏振光分量。与吸收性偏振器相比，这具有再利用经反射的偏振光分量的优点。
[0006]然而，由于线栅结构体由导电材料形成，因此当导电材料被自然氧化时，在导电材料的表面上形成氧化层且氧化层通常具有高的折射率，且当折射率增加时，在可见光线范围内的透射率和消光比降低。
【发明内容】
[0007]在努力提供具有优异的光学特性的线栅偏振器、包括其的显示器件、以及其制造方法的过程中，已形成实施方式。
[0008]本发明构思的技术特征不限于以上提及的技术特征，且以上未提及的其它技术特征可被本领域技术人员由下列描述清楚地理解。
[0009]根据一种示例性实施方式，提供线栅偏振器，其包括:基板、定位成在所述基板上突出的多个平行的导线图案、和沿着所述导线图案的上部表面定位的氧化防止层，其中所述氧化防止层由包括铝和氟的化合物形成。
[0010]在另一实施方式中，提供显示面板，其包括:基板、定位成在所述基板上突出的多个导线图案、位于所述导线图案上的氧化防止层、位于所述氧化防止层上且在第一方向上延伸的栅极线、与所述栅极线绝缘且在第二方向上延伸的数据线、电连接至所述栅极线和所述数据线的薄膜晶体管、和电连接至所述薄膜晶体管的像素电极，其中所述氧化防止层由包括铝和氟的化合物形成。
[0011]在另一实施方式中，提供制造线栅偏振器的方法，其包括:在基板上形成导线图案层，通过将所述导线图案层图案化而形成导线图案，和在所述形成导线图案之后原位形成氧化防止层。
[0012]所述实施方式具有至少下列效果。
[0013]可提供具有优异的光学特性例如透射率和消光比的线栅偏振器。
[0014]根据本发明构思的效果不限于以上举例说明的内容，且在本说明书中另外包括多种效果。
【附图说明】
[0015]通过参照附图详细描述本发明构思的实施方式，本发明构思的以上和其它特征将变得更加明晰，在附图中:
[0016]图1为根据一种实施方式的线栅偏振器的横截面图；
[0017]图2为根据另一实施方式的线栅偏振器的横截面图；
[0018]图3为根据另一实施方式的线栅偏振器的横截面图；
[0019]图4为根据另一实施方式的线栅偏振器的横截面图；
[0020]图5为根据一种实施方式的显示器件的下部面板的示意性横截面图；
[0021]图6为根据另一实施方式的显示器件的下部面板的示意性横截面图；和
[0022]图7、8、9、10、11和12为根据一种实施方式的集成有滤色器的偏振器(colorfilter integrated polarizer)的制造工艺(方法)的横截面图。
【具体实施方式】
[0023]通过参考实施方式的下列详细描述和附图，本发明构思的特征和实现其的方法可被更容易地理解。然而，本发明构思可以许多不同的形式体现且不应被解释为限于本文中阐述的实施方式。相反，提供这些实施方式，使得本公开内容将是彻底且完整的且将向本领域技术人员充分地传达本发明构思的概念，且本发明构思将仅由所附权利要求限定。在说明书中相同的附图标记始终是指相同的元件。
[0024]本文中使用的术语仅用于描述【具体实施方式】的目的且不意图为本发明构思的限制。如本文中使用的，单数形式“一个(种)(a，an)”和“该(所述)”也意图包括复数形式，除非上下文清楚地另外指明。将进一步理解，当用在本说明书中时，术语“包含”和/或“包括”表明存在所述的特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件(组分)，但不排除存在或增加一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、部件(组分)、和/或其集合。
[0025]将理解，当一个元件或层被称为“在”另外的元件或层“上”、“连接至”或“结合至”另外的元件或层时，其可直接在所述另外的元件或层上、直接连接或结合至所述另外的元件或层，或者可存在中间元件或层。相反，当一个元件被称为“直接在”另外的元件或层“上”、“直接连接至”或“直接结合至”另外的元件或层时，则不存在中间元件或层。如本文中使用的，术语“和/或”包括相关列举项目的一个或多个的任意和全部组合。
[0026]将理解，尽管术语第一、第二等可用在本文中描述各种元件、部件(组分)、区域、层和/或部分(截面)，但是这些元件、部件(组分)、区域、层和/或部分(截面)不应受这些术语限制。这些术语仅用于将一个元件、部件(组分)、区域、层或部分(截面)与另外的元件、部件(组分)、区域、层或部分(截面)区分开。因此，在不脱离本发明构思的教导的情况下，下面讨论的第一元件、部件(组分)、区域、层或部分(截面)可称为第二元件、部件(组分)、区域、层或部分(截面)。
[0027]为了便于描述，在本文中可使用空间相对术语例如“在……之下”、“在……下方”、“下部”、“在……上方”、“上部”等来描述如图中所图解的一个元件或特征与另外的一个或多个元件或特征的关系。将理解，除图中所示的方位以外，空间相对术语还意图包含在使用或操作中的器件的不同方位。例如，如果将图中的器件翻转，描述为“在”其它元件或特征“下方”或“之下”的元件则将定向“在”所述其它元件或特征“上方”。因此，示例性术语“在……下方”可涵盖在……上方和在……下方两种方位。器件可以其它方式定向(旋转90度或在其它方位上)，并且在本文中使用的空间相对描述词相应地进行解释。
[0028]在本文中参照作为理想化实施方式(和中间结构)的示意图的横截面图描述实施方式。这样，将预计到作为例如制造技术和/或公差的结果的与图示的形状的偏差。因此，这些实施方式不应解释为限于本文中图解的区域的具体形状，而是包括由例如制造导致的形状上的偏差。例如，图解为矩形的区域可具有圆形的或弯曲的特征和/或从其边缘起的梯度而不是二元变化。因此，图中所图解的区域在本质上是示意性的，并且它们的形状不意图图解器件的区域的实际形状，并且不意图限制本发明构思的范围。
[0029]除非另外定义，在本文中所使用的所有术语(包括技术和科学术语)的含义与本发明构思所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同。将进一步理解，术语例如在常用词典中定义的那些应被解释为具有与它们在相关领域和本说明书的背景中的含义一致的含义，并且将不以理想化或过度形式的意义进行解释，除非在本文中清楚地如此定义。
[0030]图1为根据一种实施方式的线栅偏振器的横截面图。
[0031 ] 参考图1，根据一种实施方式的线栅偏振器包括:基板110、形成为在基板110上突出的多个平行的导线图案121、和形成于导线图案121上的氧化防止层130。
[0032]如果基板110透射可见光线，其材料可根据用途和工艺适当地进行选择。例如，为此可使用多种材料例如玻璃、石英、丙烯酰基树脂、三醋酸纤维素(TAC)、环状烯烃共聚物(COP)、环状烯烃聚合物(COC)、聚碳酸酯(PC)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚醚砜(PES)、聚酰亚胺(PI)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、或聚芳酯(多芳基化合物，polyarylate) (PAR)，但所述材料不限于此。基板110可由具有预定的柔性程度的光学膜基础部件形成。
[0033]导线图案121可在基板110上布置成以预定的循环期或周期(即，在导线图案121的相邻导线的中心之间的距离)彼此平行。当导线图案121的循环期与入射光的波长相比是短的时，偏振消光比可为高的。然而，周期越短，越难以制造线栅偏振器。可见光线即可见光的范围通常为380纳米(nm)-780nm且为了使线栅偏振器对于光谱的三原色红色、绿色和蓝色(R，G，B)具有高的消光比，仅当周期为200nm或更短时，才可预期有偏振特性。然而，为了呈现出等于或好于现有偏振器的偏振性能，周期可为120nm或更短。
[0034]如果用于导线图案121的材料为导电材料，所述材料可没有任何限制地使用。在一种实施方式中，导线图案121可由金属材料且更特别地选自由铝(Al)、铬(Cr)、银(Ag)、铜(Cu)、镍(Ni)、钴(Co)、和钼(Mo)组成的组的一种金属或其合金形成，但不限于此。
[0035]导线图案121的宽度可在位于其中呈现出偏振性能的范围内的10nm-200nm的范围内，但不限于此。此外，导线图案121的厚度可在10nm-500nm的范围内，但不限于此。
[0036]氧化防止层130可沿着导线图案121的上部表面形成。通过这样做，可保证导线图案121之间的空间。此外，氧化防止层130阻断与外部的接触，使得防