和下壳3，上壳I和下壳3通过固定装置(无图示)固定在一起以后内部形成一个密闭的空腔11。空腔11中填充有绝缘油作为减震介质4。空腔11中还设置有装载在柔性线路板2(FPC)的一端上的微机电测量单元5，柔性线路板2与微机电测量单元5连接。柔性线路板2包括中间的线路层24和复合在线路层两侧的保护层22、23，保护层22、23通常由高分子聚合材料制成。壳体12的上壳I和下壳3的结合处预留有凹槽6，两个凹槽6相对就形成一个可供柔性线路板2通过的空隙，柔性线路板2的一端通过壳体12上的空隙延伸到壳体12之外，并形成微机电测量单元5的输出端7。外部的处理装置等(未图示)可以通过该输出端7获取微机电测量单元5的测量数据。
[0030]实施例2
[0031]实施例1的装置中微机电测量单元5与壳体12间由单根柔性线路板2进行固定，减震效果与处在测量单元5和壳体12之间的柔性线路板2的长度和硬度有直接的关系，柔性线路板2的长度和硬度不合适时会造成减震效果差或者测量单元5的位置来回抖动的情况。为解决这一问题，本实施例在实施例1的基础上增加了连接测量单元5与壳体12的柔性部件8。图3为本实施例的微机电测量装置的俯视示意图。如图3所示，在本实施例中，微机电测量单元5设置在柔性线路板2的一端，在微机电测量单元5的另一侧设置有数个连接测量单元5与壳体12的柔性部件8。柔性部件8—端固定在测量单元5上或连接测量单元5的位置附近，另一端固定在壳体12上。柔性部件8可以由树脂等具有一定弹性的材料制成，连接测量单元5的一端优选采用热熔的方式固定在柔性线路板2上。壳体12上可以具有与柔性线路板2通过的空隙类似的空隙，柔性部件8穿过该空隙并被空隙夹紧。
[0032]实施例3
[0033]为解决实施例1存在的问题，同时降低生产成本，简化制造工艺，本实施例将柔性线路板2的形状进行了改变。图4为本实施例的微机电测量装置的俯视示意图。如图4所示，本实施例的微机电测量装置中的柔性线路板2在实施例1的基础上还包括数个连接到壳体12的分支21，每个分支21通过前述的壳体12上的空隙固定于壳体12上。这些分支21只具有两侧的保护层22、23(如图2(b)所示)，不含有中间的线路层24。整个柔性线路板2按照普通加工手段生产，即直接将包含数个分支21的两侧保护层22、23复合在中间线路层24和不包含中间线路层24的分支21上。优选地，上述分支21可以由保护层22、23复合直接形成。这样，相比实施例2的结构更简单，易于加工，可以取得与实施例2接近的减震效果。
[0034]为验证本实用新型所涉及的具有减震结构的微机电测量装置对高频振动的抗干扰能力是否优于现有的减震方法，采用以下实验条件对本实用新型的装置和传统的使用减震球的减震方式进行对比。
[0035]将本实用新型涉及的具有减震结构的微机电测量装置通过焊接或者黏贴等方式固定在用于测试陀螺仪或者加速器的震动平台上，将同样的微机电测量单元5安装在减震球上再以同样的方式固定在震动平台上。然后将两个装置通电，进行持续时间为I分钟的测量，获取测量数据的曲线。
[0036]图5是使用减震球的加速计的测量数据曲线；图6是本实用新型所涉及的具有减震结构的微机电测量装置作为加速计的测量数据曲线。可以看出本实用新型的测量装置的测量曲线更为平缓，上下抖动幅度较小，说明对于高频震动具有良好的抗干扰能力。图7是使用减震球的陀螺仪的测量数据曲线；图8是本实用新型所涉及的具有减震结构的微机电测量装置作为陀螺仪的测量数据曲线。同样可以看出本实用新型的测量装置的抗震动干扰性能更好。
【主权项】
1.一种微机电测量装置的减震装置，包括:壳体和减震介质，其中所述减震介质容纳在所述壳体中，所述减震介质中留有用于容纳测量单元的空间。2.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于:所述减震介质中还留有用于容纳连接线的空间，所述壳体上留有用于供所述连接线延伸到壳体之外的空隙。3.根据权利要求1?2任意一项所述的减震装置，其特征在于: 所述减震介质为能够吸收高频振动的固态弹性介质、液态介质或半凝固态介质。4.根据权利要求2所述的减震装置，还包括绝缘层，所述绝缘层设置在所述测量单元和所述连接线与所述减震介质接触的部分。5.根据权利要求1?2任意一项所述的减震装置，还包括:用于装载所述测量单元的柔性部件，所述柔性部件连接在所述壳体上。6.根据权利要求5所述的减震装置，其特征在于:所述柔性部件为柔性线路板，同时所述柔性线路板作为连接线延伸到所述壳体之外。7.根据权利要求6所述的减震装置，其特征在于:所述壳体包括上壳和下壳，所述柔性线路板从所述上壳和所述下壳之间进入所述壳体之内。8.根据权利要求7所述的减震装置，其特征在于:所述柔性线路板具有从所述测量单元的装载位置延伸到所述壳体的分支。9.一种具有减震结构的微机电测量装置，包括:测量单元和权利要求1?8任一所述的减震装置，其中所述测量单元被设置在所述减震装置的减震介质中所留有的用于容纳所述测量单元的空间内。10.根据权利要求9所述的具有减震结构的微机电测量装置，其特征在于:所述测量单元为加速计或陀螺仪。
【专利摘要】本实用新型提供一种具有减震结构的微机电测量装置，包括：壳体、减震介质和测量单元，其中所述减震介质容纳在所述壳体中，所述测量单元设置在所述减震介质中。本实用新型还提供一种微机电测量装置的减震装置，包括：壳体和减震介质，其中所述减震介质容纳在所述壳体中，所述减震介质中留有用于容纳所述测量单元的空间。
【IPC分类】G01C19/00, G01P1/00
【公开号】CN205176048
【申请号】CN201520528027
【发明人】不公告发明人
【申请人】西安斯凯智能科技有限公司
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2015年7月21日