专利名称：洗净装置及洗净方法
技术领域：
本发明涉及对电子、机械、成形相关等构件洗净用的洗净装置及其构件的洗净方法，特别是涉及通过向置于真空下的水或烷系等的洗净液施加超声波振动、对浸渍在洗净液中的构件进行洗净的洗净装置及在真空下将构件超声波洗净之后再在真空状态下对其构件进行干燥的洗净方法。
背景技术：
以往，作为洗净构件用的洗净液，大多是使用甲基睾丸酮等的氟系以及1.1.1-三氯乙烷等的氯系的溶液。但是，气化后的这些溶液具有破坏臭氧层的性质，1987年，按照「有关保护臭氧层的维也纳条约」制订了「有关破坏臭氧层的物质的蒙特利尔议定书」，以特定甲基睾丸酮等为对象，对生产量的阶段性缩减和限制等作出了规定。其后经过了多次修订，实施了对限制物质的追加以及限制日程的提前等的修改。
日本于1998年9月30日批准了上述的维也纳条约及其蒙特利尔议定书。在该议定书中对于取代CFC(氯·氟·碳化合物)的氟系即HCFC(氢·氯·氟·碳化合物)也作出了在2020年之前必须全部废除的决定，可以预料，今后对于该全部废除的时期还将更加提前。又，与其相关，对于氯系也将重新修订有关水质和大气污染的限制，这种限制每年在不断地强化。
另一方面，随着有关防止地球温暖化的活动的增加，在1997年12月的「防止地球温暖化的京都会议」中，对于日本来讲，有义务削减温暖化气体的6％。作为该温暖化气体的对象，也包括了取代甲基睾丸酮的HCFC(氢·氯·氟·碳化合物)以及全氟化碳，并且，在取代甲基睾丸酮中，必然地也强化了排出限定。因此，今后，对于限制动向必须充分注意，同时强烈要求应尽早地采取措施。
在此背景下，近年来，虽然注重了采用臭氧层破坏可能性小的水或非氟系的溶液来进行构件的洗净，但需要引起以下几点注意。
首先，使用水时，第1，水本身很便宜，但必须要有对水处理相关的大量的辅助设备，在辅助设备的安装方面需要大量的费用。作为辅助设备，除了洗净装置本体之外，例如可列举出贮水设备、沉淀·净化·污泥处理设备、排水设备、或者使用纯度低的水时的前处理用设备，并且，还需要有这些设备的设置空间及维修用的辅助空间。又，在这些辅助设备的运转、保养、或者排水管理等方面，在初期投资的同时，当然还需要维持用的经费。特别是对于排水管理来讲，在将使用后的水进行排水时，必须要考虑到符合水质基准值。
第2，有时因水所具有的湿润性而不能获得所希望的洗净效果。水的表面张力在45℃时是68.74±0.05dyn/cm、在20℃时是72.75±0.05dyn/cm，基准值相当高。而在以往常用的氟系和氯系的溶液中，例如甲基睾丸酮CFC113在20℃时是17dyn/cm、1.1.1-三氯乙烷是25dyn/cm，相对于水只不过1/3～1/4。即，与以往常用的溶液相比，水可以说是湿润性差的物质。因此，在使用水按照与传统相同的方法进行洗净后，水不容易浸透和进入构件相互间和重合部分和密合部分、或者形成于构件上的小孔和角落部等，附在这些部位的而存在的脏污等无法洗净，洗净效果差。
第3，在混有空气的周围环境以及被加温的常压的环境下进行洗净时，若被洗净的构件上具有金属成分，则容易因水的氧化作用而生锈，故必须采取防锈措施。特别是在这种环境下，因干燥时间变长，还容易发生水迹等，即使洗净也有损于外观。
另一方面，在使用非氯系即硅系、烷系、或者乙醇系等的溶液时，第1，因其沸点高，有时需要约200℃，故在常压下使该溶液蒸气化进行蒸气式的构件洗净的场合，蒸气温度极高，会发生被洗净的构件的热变形和变质等问题。并且，与以往常用的氟系和氯系的溶液相比，还存在着干燥性差的问题。第2，烷系的溶液因引火点低，为50～80℃，故强烈要求确保对火灾和爆炸的安全性。
这样，使用水和非氯系的洗净液场合有好多种注意点，特别是从提高洗净力和干燥性、以及确保对烷系的安全性的角度出发，最好是采用向放置于减压环境下的洗净液施加超声波振动、对浸渍在洗净液中的构件进行洗净的所谓真空超声波方式的洗净装置和减压环境下进行干燥的真空方式的干燥装置。这是因为形成减压环境的洗净装置和干燥装置是一种含有真空容器的配管系统的密闭构造即所谓的封闭系统，通过将配管系统内部保持于负压，使其内部的氧浓度极低，可抑止引火，而且即使是万一在配管系统中出现了损伤部位，也不会由于该负压而使内部的溶液和蒸气向外部漏出，可确保安全性。使用洗净装置的场合，当向洗净液施加超声波振动时，若将洗净液置于减压下，则可容易发生作为洗净力的空穴作用，因此可有利于洗净力的提高，又，使用干燥装置的场合，在减压下使饱和蒸气压下降，可使溶液的沸点实质性下降，与常压环境下相比，可使溶液容易蒸发，有利于提高干燥性。
在此，首先如
图14、图15所示，例如根据日本专利特开2000-33349号公报的传统的真空超声波方式的洗净装置，在具有盖子并贮留有洗净液102的洗净槽101的底壁上配设有与盖体107一体的振动板103，配管106的一端与电磁阀104及真空泵105连通，从配管106的另一端分支的配管106a、106b分别与洗净槽101、盖体107连结(参照图14)，在洗净槽101的内部配设有被壳体覆盖的振动子108(投入式)，配管106a、106b分别与洗净槽101、振动子108连结(参照图15)。
通过使真空泵105作动而打开电磁阀104，对洗净槽101内进行减压，并将洗净液102置于真空下，从振动板103和振动子108将超声波振动加到该洗净液102，可将浸渍的被洗净物洗净。与此同时，由于通过同一的配管106使覆盖盖体107和振动子108的壳体的内部减压，在覆盖盖体107和振动子108的壳体的内部与洗净槽101内不产生压力差，因此，即使不加厚覆盖盖体107和振动子108的壳体，也不会造成这些部分的挠曲或变形。
然而，在这种洗净装置中，需要特别注意的是，因在洗净槽101和配管106a、106b的内外以及图14中的盖体107的内外产生压力差，故应保持这些构件相互间的气密性。例如，对于气密性，在气密性相对特别弱的部分即配管106a与洗净槽101的连结部、振动板103与盖体107的连结部、配管106b与盖体107(参照图14)或与洗净槽101(参照图15)的连结部等，设计方面一项重要的事项是选定合适的密封材料、焊接材料和装配件类等的方面的封止材料及封止方法，并且，对于随着常年使用的这些封止材料及封止方法的劣化也必须充分考虑到。
又，在真空下的洗净结束之后，通常是将压缩气体和大气等(以下称为「通风气体」)导入洗净槽101内，在真空状态下实施返回常压的动作(以下称为「通风」)。这是因为在从洗净槽101取出被洗净物时必须先打开盖子，但若洗净槽101内仍然保持着真空状态，则盖子就成为了被压着的状态，极难打开盖子。为了实施这种通风，若开始将通风气体导入洗净槽101内，则浮游在洗净槽101内的雾状的洗净液102在负压作用下被吸引到配管106a、106b，并不断地到达覆盖盖体107和振动子108的壳体的内部而积累。一般来讲，振动板103和振动子108因由电气驱动，而控制其电气驱动的充电部装在覆盖盖体107和振动子108的壳体的内部，因此，还有1个缺点是例如作为洗净液102在使用可燃性的烷系的洗净液时，充电部成为了着火源，积累在其充电部周围的雾状的洗净液102引火，极有可能引起火灾和爆炸。
其次，在传统的真空方式的干燥装置中，通过将附有洗净液的被干燥物放置于真空容器内，使其成为真空状态，附在被干燥物上的洗净液一边从被干燥物中夺取气化所需的热量(蒸发潜热)，一边沸腾、蒸发进行真空干燥。另一方面，随着蒸发的进行，被干燥物的成分温度逐渐下降，在该成分温度降至饱和蒸气压温度之下时，若真空容器内的真空度处于同一状态，则洗净液的沸腾和蒸发在该时点停止，为了避免这一现象，通常的方法是进一步提高真空能力，提高到达真空度、或提高真空抽气时点的被干燥物的成分温度、或向真空抽气中的被干燥物供给热量。
例如，作为提高真空抽气开始时点的被干燥物的成分温度的简单方法，可采用向真空容器内吹入温风的温风加热方法。然而，在有限时间的加热时，由于真空容器侧壁的温度在尚未充分上升的状态下进入了干燥状态，因此，蒸发的洗净液的气体与该侧壁接触而冷却和凝缩，在保持该凝缩状态下残留在真空容器内存在着有损于干燥的问题。并且，在对细管和具有内装式形状的复杂的形状的被干燥物进行干燥时，特别是各个部位容易产生温度差，因这种温度差而使各个部位的干燥状态不均一，成为环迹和生锈的主要因素，存在着明显损害洗净、干燥后的被干燥物的外观的问题。又，作为别的方法，还有向被干燥物强制性喷射蒸气的蒸气喷射加热方式，但必须设置蒸气化所需的设备以及喷射用的泵，使成本上升。
发明内容
鉴于上述的问题，本发明的目的在于，提供一种可抑止主要构件内外及其这些构件相互间的压力差，不用特意采取措施即可容易地维持气密性，并且即使在使用了可燃性的洗净液的场合对防止火灾和爆炸的安全性也优良的真空超声波方式的洗净装置。
又，本发明的另一目的在于，提供一种对于电子、机械、成形相关等构件，从洗净至干燥能获得高效率且安全的洗净方法。
为了实现上述目的，本发明的洗净装置为一种向置于真空下的洗净液施加超声波振动、对浸渍于所述洗净液中的被洗净物进行洗净的装置，其特征在于，在可得到真空状态的洗净用真空容器中具有贮留所述洗净液、收容所述被洗净物的洗净槽；以及内部具有所定空间、向所述洗净液施加超声波振动的振动体，所述振动体的所定空间向所述洗净用真空容器内开口。这样，由于将洗净槽与振动体置于同一压力下，并且在变些构件的内外不会发生压力差，因此，不用特意采取措施即可容易地维持气密性。
一般来讲，在其振动体的所定空间中具有产生超声波振动用的充电部，但在作为洗净液使用烷系的那种可燃性的洗净液，因该洗净液的漏出和通风等存在于所定空间的场合，充电部成为着火源，产生引起火灾和爆炸的危险性，故最好是具有向所述所定空间供给净化所述振动体的所定空间用的净化气体的净化空气供给装置。
又，从便于设置振动体的观点出发，最好是在由传递超声波振动的振动板和安装在该振动板上的盖子形成的所述所定空间中设置发出超声波振动的振动子，将所述振动板配置成将所述所定空间朝向所述洗净槽外侧，形成将所述洗净槽的底壁或侧壁上的开口闭塞的状态，同时，在从所述振动板的周缘部贯通于所述洗净槽的底壁或侧壁的贯通孔中插通螺栓进行固定。此时，贮留于洗净槽中的洗净液可能通过贯通孔而漏出，然而，即使该洗净液通过贯通孔而漏出，只要不侵入所定空间内，就可大大减少振动子受到浸蚀、或者将具有振动子的充电部作为着火源而发生火灾和爆炸的危险性，因此，将所述盖体安装在所述振动板上的比所述贯通孔更中央侧。
并且，从更加可靠地防止从其贯通孔漏出的洗净液向所定空间侵入的目的出发，最好是使所述振动板的中央部比具有所述贯通孔的周缘部更相对所述洗净槽向下凹陷，将所述盖体安装在所述振动板的所述中央部上。
又，在从洗净液中，向洗净槽的上方取出洗净后的被洗净物时，洗净液的一部分一边附在被洗净物上带出一边滴落而无规则地将洗净槽的周围弄脏、或者传向洗净槽的侧壁外面而流下而无意地腐蚀设于侧壁和底壁上的振动体，为了避免这一现象，最好是将所述洗净槽的侧壁的上端部向外侧下方折曲，形成可引导滴落的洗净液回收至洗净槽、或使其远离洗净槽的侧壁的状态。
又，即使滴落的洗净液传向洗净槽的侧壁外面而流下，也不会回流到设置有振动体等的底壁，为此目的，只要将所述洗净槽的侧壁下端部比底壁更向下方凸出即可。并且，若能将传向侧壁外面而流下的洗净液收集于所定位置，则回收更加容易，例如，也可将所述洗净槽的侧壁下端部的边缘作成凹凸状、或者相对水平面呈倾斜。
又，本发明的洗净装置由洗净装置和干燥装置构成，所述洗净装置是在可得到真空状态的洗净用真空容器中具有贮留所述洗净液、收容所述被洗净物的洗净槽；以及内部具有所定空间、向所述洗净液施加超声波振动的振动体，所述振动体的所定空间向所述洗净用真空容器内开口，向置于真空下的所述洗净液施加超声波振动，对浸渍于该洗净液中的所述被洗净物进行洗净，所述干燥装置包括将由该洗净装置洗净的所述被洗净物作为被干燥物收容、抽取成真空状态的干燥用真空容器；将加热后的溶液收容的加热容器；以及将所述干燥用真空容器与所述加热容器连通的配管，所述配管的一端朝向所述被干燥物开口，所述配管的另一端浸渍在所述溶液中，当所述干燥的真空容器处于真空状态时，所述配管开放，所述溶液在沸腾状态下从所述配管的所述一端向所述被干燥物喷射，对该被干燥物进行干燥。这样，被洗净物先由洗净装置在真空下安全地进行超声波洗净，接着作为被干燥物，由干燥装置在真空状态下高效率地提供热量，在短时间内进行干燥。
向被干燥物喷射的溶液最好是即使被干燥物的成分温度没有达到那样高也能蒸发的蒸发潜热低的溶液，例如，所述溶液可以是烷系的溶液。
又，加热溶液时，若使加热器等的热源直接与溶液接触，则有火灾和爆炸的可能性，从避免这一现象为目的出发，最好是将所述加热容器用隔壁分成2个室，一方收容所述溶液，另一方设置热源，来自热源的热量通过所述隔壁提供给所述溶液，对所述溶液进行加热。
从向被干燥物喷射的沸腾状态的溶液的状态、以及被干燥物的成分温度状态稳定化的观点出发，最好是在所述配管的路径中设置驱动阀，根据所述干燥用真空容器内的压力、收容所述溶液的所述加热容器内的压力和所述溶液的温度，对所述驱动阀的开闭程度进行调节。
又，若能向被干燥物提供热量而凝缩的溶液再次蒸气化，向被干燥物提供热量或者更加快速地提高真空容器内的温度，则效果更好只要在所述干燥用真空容器的内侧面和底面中的至少1个面上设置加热装置即可。
又，从抑止向被干燥物喷射的溶液的工作成本的观点出发，考虑到在不损坏溶液性质的情况下再利用，最好是设置向所述被干燥物喷射、对存在于所述干燥真空容器内的蒸气化的所述溶液进行回收而凝缩的溶液凝缩装置；以及将通过所述溶液凝缩装置凝缩的所述溶液向所述加热容器供给的供给装置。
又，最好是将向被干燥物喷射的溶液始终处于净化的新液状态，只要设置将向所述被干燥物喷射、存积于所述干燥真空容器底面的所述溶液进行回收而排出的溶液排出装置即可。
并且，为了实现上述目的，本发明的洗净方法，其特征在于，由洗净工序和干燥工序组成，所述洗净工序是在可得到真空状态的洗净用真空容器中具有贮留洗净液、收容被洗净物的洗净槽；以及内部具有所定空间、向所述洗净液施加超声波振动的振动体，所述振动体的所定空间向所述洗净用真空容器内开口，向置于真空下的所述洗净液施加超声波振动，对浸渍于该洗净液中的所述被洗净物进行洗净，所述干燥工序是具有将由该洗净工序洗净的所述被洗净物作为被干燥物收容、抽取成真空状态的干燥用真空容器；将加热后的溶液收容的加热容器；以及将所述干燥用真空容器与所述加热容器连通的配管，所述配管的一端朝向所述被干燥物开口，所述配管的另一端浸渍在所述溶液中，当所述干燥用真空容器处于真空状态时，所述配管开放，所述溶液在沸腾状态下从所述配管的所述一端向所述被干燥物喷射，对该被干燥物进行干燥。
附图的简单说明图1为表示本发明第1实施例中的洗净装置整体结构的构成图。
图2为表示第1实施例的洗净装置中的洗净部的要部剖面图。
图3为表示洗净液的漏出状态的模式图。
图4为表示洗净液的滴落状态的模式图。
图5为表示第2实施例的洗净装置中的洗净槽下部的要部剖面图。
图6为表示第3实施例的洗净装置中的洗净部的要部剖面图。
图7为模式表示洗净液的漏出状态的、图6的A部的放大图。
图8为表示第4实施例的洗净装置中的洗净槽下部的侧面图。
图9为表示第5实施例的洗净装置中的洗净液下部的侧面图。
图10为表示洗净液的物性一例的图。
图11为表示第6实施例中的洗净装置整体结构的构成图。
图12为表示第6实施例的干燥装置中的干燥部的要部剖面图。
图13为表示第7实施例的干燥装置中的干燥部的要部剖面图。
图14为表示传统的洗净装置中的要部剖面图。
图15为表示传统的另一种洗净装置的要部剖面图。
具体实施例方式
下面参照附图按顺序详细说明本发明实施例中的洗净装置及干燥装置。首先对本发明第1实施例的洗净装置进行说明。图1为表示洗净装置整体结构的构成图，图2为表示图1中的洗净部的要部剖面图。如图1所示，洗净装置大致可分为洗净部和蒸馏部。蒸馏部由蒸馏器，一次槽、排泄槽、再热器、凝缩器、冷却水、温水、水分除去单元等构成，因与本发明无直接关系，故省略详细的说明。
下面先说明洗净的要部结构。1是真空容器(以下有时称为「洗净用真空容器」，以与后述的真空容器201作出区别)，2是真空容器1的盖子，3是电子、机械、成形相关构件等的被洗净物，4是装入有被洗净物3的笼框，5是烃系的洗净液，6是收容被洗净物3的洗净槽，7是超声波振动子单元。
真空容器1形成上端开放的圆筒状，内部配置有洗净槽6和超声波振动子单元7，在开放的上端具有以基轴2a1为中心回动的盖子2。即，在将盖子2回动而打开的状态下，放入有被洗净物3的网状的笼框4可以在真空容器1的内外出入，而在关闭的状态下，真空容器1被密闭着。另外，在真空容器1的底壁上形成有真空排气口1a，在盖子2上设置有检测真空容器1内的压力的压力传感器17。
洗净槽6大致分为共用底壁6d的贮留洗净液5的贮槽部6a和对从贮槽部6a溢出的洗净液5回收的溢液回收部6h。在贮槽部6a形成有供给洗净液5的洗净液供给口6g，在其洗净液供给口6g的上方形成有开口6f，并配置有夹入该开口6f的上下一对液位传感器15。此时，贮留在贮槽部6a中的洗净液5一旦超出开口6f，则从开口6f向溢液回收部6h流出，另一方面，由液位传感器15对液位进行检测，当该液位下降时，从洗净液供给口6g供给新的洗净液5，始终保持一定的液位。洗净液供给口6g与后述的连通于洗净液调温槽30的供液配管35连结，在溢液回收部6h的底壁6d上形成有开口6i，在贮槽部6a中设置有检测洗净液5液温的温度传感器16。
又，洗净槽6的侧壁6b的上端部6c向外侧下方折曲，而下端部6e则从底壁6d向下方凸出。
超声波振动子单元7由传递超声波振动的振动板8、安装在该振动板8的下面并发出超声波振动的多个振动子9、以及围住这些各振动子9并安装在振动板8下面的盖体10构成，形成了由振动板8和盖体10围住的内部空间7a。振动板8的安装着各振动子9的中央部8a在高于周缘部8b的上面侧隆起1个台阶，盖体10被安装在该中央部8a上。
在贮槽部6a的底壁6d上形成有开口6j，振动板8配置成由振动板8的中央部8a的上面将该开口6i闭塞的状态，未图示的贯通孔将振动板8的周缘部8b、洗净槽6的底壁6d以及被夹持在这些部位之间的特氟隆(R)制的衬垫13贯通，在该贯通孔中插通螺栓12进行固接。在电气性驱动的各振动子9的端部具有供给其电气驱动的充电部9a，在盖体10上形成有吸气口10a和排气口10b，该排气口10b与只向真空容器1内可开放内部空间7a的止回阀11连结。
真空容器1的真空排气口1a与经路中具有电磁阀21、22的真空排气配管20的一端连结，该真空排气配管20的另一端与真空泵25连结。并且，在真空泵25的下游侧设置有气液分离器26。真空排气配管20在电磁阀21与22之间分支，并形成有与溢液回收部6h的开口6i连结的分支配管20a，在该分支配管20a上具有电磁阀23。即，通过打开电磁阀21、22使真空容器1内减压，在洗净槽6和超声波振动子单元7减压下，也经止回阀11使超声波振动子单元7的内部空间7a减压。另一方面，通过打开电磁阀23，将向溢液回收部6h流出的洗净液5吸引至分支配管20a。
盖体10的吸气口10a的详细内容后述，它可以灵活使用于从减压开始至洗净结束期间中的、超声波振动子单元7的内部空间7a净化之时和洗净结束后的通风之时，并与吸气配管46的一端连接。该吸气配管46在路径中具有流量计47和止回阀48，另一端分支为2路，其一方通过调节器41和电磁阀42与将氮气等的非活性气体封住的储气瓶40连接，另一方通过电磁阀44和止回阀45与压缩空气和被开放的大气等的空气43连通。即，本实施例的洗净装置是一种净化作用和通风作用共用的形态。并且，作为净化和通风用气体是一种可对储气瓶40中的气体和空气43两者进行选择的形态，当然只需具有一方就足够了。另外，从预防安全方面的观点出发，最好是采用非活性气体作为净化和通风用气体。
下面说明这种结构的洗净装置的动作及其动作中的形态。如图1、图2所示，将放入有被洗净物3的笼框4收容在真空容器1内所具有的洗净槽6中，并浸渍在贮留于贮槽部6a的洗净液5中，使盖子2处于关闭状态。其次，若在使真空泵25作动的同时打开电磁阀21、22，则真空容器1内的空气从真空排气口1a经由真空排气配管20吸引至真空泵25，开始真空抽气。此时，通过打开吸气配管46的电磁阀42等或电磁阀44，超声波振动子单元7的内部空间7a在将储气瓶40中的气体或空气43的这种净化气体从吸气口10a导入进行净化的同时从排气口10b经由止回阀11不断地被吸引而减压。又，分支配管20a的电磁阀23也打开，吸引流出到溢液回收部6h的洗净液5。
其后，若在由压力计17检测的真空容器1内的压力达到所定值(真空状态)时点使振动板8作动，则超声波振动通过振动板8的传递而施加给洗净液5，在其洗净液5中发生空穴作用，对浸渍的被洗净物3进行洗净。
经过所定时间之后，结束被洗净物3的洗净并移行至通风。将真空排气配管20的电磁阀22或电磁阀21、23关闭，接着再打开吸气配管46的电磁阀42等或电磁阀44，则储气瓶40中的气体或空气43的这种通风气体经由超声波振动子单元7的吸气口10a及排气口10b从止回阀11导入，使真空容器1内的压力返回常压。然后打开盖子2，将放入有洗净的被洗净物3的笼框4从真空容器1中取出而结束。
流出到溢液回收部6h的洗净液5和存在于压力容器1内的雾状的洗净液5从真空容器1的真空排气口1a和溢液回收部6h的开口6i经过真空排气配管20向真空泵25吸引，并经由气液分离器26和蒸馏部而净化。其后，在设置有加热用线圈31和冷却用线圈32的洗净液调温槽30中调温至约40℃，供液泵36、过滤器37和电磁阀18等通过路径中设置的供液配管35，并从洗净液供给口6g向贮槽部6a供给。该供给通过来自设于贮槽部6a的液位传感器15的输出而使供液泵36的电磁阀18等作动。
作为真空泵25，可列举出往复式、液封式、回转式等的真空泵25，在本实施例的洗净装置中，因以下的原因而采用了液封式的真空泵25。这是由于液封式的真空泵25即使吸入从贮槽部6a的开口6f流出到溢液回收部6h的洗净液5和存在于压力容器1内的雾状的洗净液5也隔开液体而与泵回转部接触，故与通常的密封式的真空泵25不一样，由金属滑动面磨擦而发生的火花和热量少，安全性好，也不会发生障碍。另一方面，液封式的真空泵25若使用真空度达到补给液的饱和蒸气压，则会发生因空穴作用而引起的激烈的噪音，失去使用的耐久性，为了避免这一现象，通常是将空气喷射器配置在路径的前段而将空气吸入，但在本实施例的洗净装置中以净化气体的供给来替代该空气喷射器的作用。
由于超声波振动子单元7的内部空间7a除了净化气体和通风气体的供给以外，将来自外部的侵入中断，因此，存在于压力容器1内的雾状的洗净液5不会侵入该内部空间7a内，又由于始终保持净化和通风状态，故即使因振动板8的缺损等而使洗净液5漏出到内部空间7a内，也可经由排气口10b而强制性地从止回阀11排出。即，完全不会发生下列状态即、该内部空间7a内具有的振动子9的充电部9a成为着火源、使洗净液5着火而引起火灾和爆炸。洗净液5采用烃系时，爆炸范围约为0.8～5.5vol.％左右(参照图10)，本实施例的洗净装置中因可始终将内部空间7a处于净化和通风状态，故可避免这一爆炸范围。
又，由于将形成有超声波振动子单元7的内部空间7a的盖体10安装在比螺栓12更靠近中央侧的振动板8上，故即使洗净液5通过螺栓12的贯通孔和衬垫13而漏出(图3的影线部)，也不会侵入内部空间7a内。并且，通过将振动板8的中央部8a隆起，更加有利于对侵入上述的漏出的洗净液5的内部空间7a内的防止。又由于从其形状方面增大了振动板8本身的变形阻力，故在振动板8的螺栓紧固时，不容易发生因紧固扭矩引起的振动板8的波动和扭曲等的变形，还可获得所谓大幅度削减慎重的紧固扭矩的管理的效果。例如，在本发明者的实验中，实现了安装工时数减少2成程度。
主要构件即洗净槽6和超声波振动子单元7一起被放置在真空容器1内的同一真空下，同时各自的内外均不会发生压力差，故连与其连结的相关部件也不产生负荷。例如，对于振动板8的板厚，通常是考虑了相对压力差的强度以及超声波振动的传递效率，板厚约为3～4mm，但在本实施例的洗净装置中，因不需要考虑压力差，故使用常压下的约2～3mm左右的板厚就足够了。
如图4所示，在将洗净后的被洗净物3从洗净液5向洗净槽6的上方取出时，洗净液5的一部分被附着在被洗净物3和笼框4上，在取出的同时成为滴落的液滴5a，会无规则地弄脏洗净槽6的周围或传向洗净槽6的侧壁6b的外面而流下，造成无意地弄湿设于侧壁6b和底壁6d上的超声波振动子单元7。特别是在超声波振动子单元7的内部空间7a中因具有成为着火源的振动子9的充电部9a，故从对于火灾和爆炸的安全性的观点出发，最好是避免这一状况。为此，在本实施例的洗净装置中，利用向外侧下方折曲的洗净槽6的侧壁6b的上端部6c，可使液滴5a远离洗净槽6的侧壁6b；或者利用从洗净槽6的底壁6d向下方凸出的侧壁6b的下游部6e，使在洗净槽6的侧壁6b的外面传递而流下的液滴5a不向设有超声波振动子单元7的底壁6d回流。
下面参照图5说明本发明第2实施例的洗净装置。图5为表示第2实施例的洗净装置中的洗净槽下部的要部剖面图。另外，图中与第1实施例的洗净装置相同的名称并具有相同功能的部分标记同一符号，省略其重复的说明。对不同点进行说明。后述的第3～第5实施例的洗净装置中也是一样。
第2实施例的洗净装置的特征在于，具有使第1实施例的洗净装置中的洗净槽6的底壁6d的内面成为同一面的超声波振动子单元7。将振动板8的隆起的中央部8a嵌入洗净槽6的开口6j中，将振动板8安装成底壁6d的内面成同一面。这样，因从被洗净物3进入洗净液5中的异物和残渣不容易沉淀，故可快速地扩散至洗净液5全体，确保高品位的洗净性。并且，也便于清扫和维护保养。
下面参照图6、图7说明本发明第3实施例的洗净装置。图6为表示第3实施例的洗净装置中的洗净部的要部剖面图，图7为表示洗净液的漏出的、图6的A部的放大图。
第3实施例的洗净装置的特征在于，将洗净槽6作成纵长形状，在该洗净槽6的侧壁6b上设有超声波振动子单元7。洗净槽将底壁6d和一侧壁6b共用，大致分为贮槽部6a和溢液回收部6h。在贮槽部6a的一侧壁6b上形成有开口6k，振动板8被配置成由振动板8的中央部8a将该开口6k闭塞的形状，未图示的贯通孔将振动板8的周缘部8b、洗净槽6的上侧壁6b以及被夹持在这些部位之间的衬垫13贯通，在该贯通孔中插通螺栓12进行固接。并且，在振动板8的周缘部8b上设置将螺栓12围住状的、凸设于全周的槽沟状的凸起部8c。
这样，当被洗净物3是用于丝网印刷用的丝网板等那种比较大型且细长的形状时，可在该被洗净物3直立的状态下从侧方施加超声波振动，可高效率进行洗净。又，即使洗净液5通过螺栓12的贯通孔和衬垫13而漏出(图3的影线部)，因可由设于振动板8的槽沟状的凸起部8c接受，故不会侵入超声波振动子单元7的内部空间7a内。
又，在本实施例的洗净装置中，可利用向外侧下方折曲的洗净槽6的侧壁6b的上端部6c将洗净后的被洗净物3取出时滴落的液滴回收至洗净槽6或使其远离洗净槽6的侧壁6b，因此，不会无意地弄湿设于侧壁6b和一侧壁6b上的超声波振动子单元7。即，即使洗净液5是可燃性，也不会发生设于超声波振动子单元7的内部空间7a中的振动子9的充电部9a成为着火源那样的状况，可确保对于火灾和爆炸的安全性。
下面参照图8、图9说明本发明第4、5实施例的洗净装置。图8为表示第4实施例的洗净装置中的洗净槽下部的侧面图，图9为表示第5实施例的洗净装置中的洗净液下部的侧面图。
第4、第5实施例的洗净装置的特征在于，将第1实施例中的洗净槽6的下端部6e的边缘作了变形。在第4实施例的洗净装置中，如图8所示，将下端部6e的边缘形成凹凸状，洗净后的被洗净物3取出时滴落的液滴5a导向洗净槽6的侧壁6b的外面而流下，利用自重收集于凸状部分而滴下。在第5实施例的洗净装置中，如图9所示，下端部6e的边缘相对于水平面呈倾斜，液滴5a导向洗净槽6的侧壁6b的外面而流下，利用自重收集于最低的倾斜部分而滴下。这样，因液滴5a滴下的位置固定，故容易回收该液滴5a。
接着，对本发明第6实施例的干燥装置进行说明。图11为表示干燥装置整体结构的构成图，图12为表示图11中的干燥部的要部剖面图。如图11所示，干燥装置大致可分为干燥部和蒸馏部。蒸馏部由蒸馏器，再热器、凝缩器、冷热源、温热源、水分除去单元等构成，因与本发明无直接关系，故省略详细的说明。
先说明干燥部的要部结构。201是真空容器(以下有时称为「洗净用真空容器」，以与后述的真空容器1区别)，202是真空容器201的盖子，203是由洗净液洗净的电子、机械、成形相关构件等的被洗净物(例如使用上述的洗净装置的由洗净液5洗净的被洗净物3)，204是装入有被洗净物203的笼框，205是加热容器，206是烃系的溶液，207是线圈状的加热器，208是加热介质，209是将真空容器201与加热容器205连通的连通配管，210是使连通配管209开闭的气体驱动阀。
真空容器201形成干燥的上部，形成上部开放的圆筒状，在其开放的上部具有以基轴202a为中心回动的盖子202。即，在将盖子202回动而打开的状态下，放入有被洗净物203的网状的笼框204可以在真空容器201的内外出入，而在关闭的状态下，真空容器201被密闭着。另外，在真空容器201的侧面形成有真空排气口201a和吸气口201b，在真空容器201的底面、内侧面上各自设置加热器221、222，又，还设置有压力传感器231、温度传感器232和液位传感器233。
加热容器205形成干燥部的下方，由热传导性优良的金属制的隔壁205a分割为上下2室，在上室205b中收容有溶液206，设置有压力传感器241、温度传感器242和液位传感器243。而在下室205c中设置有加热器207、压力传感器244、温度传感器245和过升温防止开关246，并收纳有加热介质208。即，通过使加热器207作动对加热介质208进行加热，该被加热的加热介质208的热量通过隔壁205a，间接性地对溶液206进行加热，并且，溶液206的加热温度由温度传感器242直接检测，并由温度传感器245间接检测，当该温度出现异常上升时，由过升温防止开关246使加热器207停止，因此可以说是一种火灾和爆炸的危险性极少的构造。另外，在上室205b中形成有排气口205d、供液口205e和排出口205f。
连通配管209是使真空容器201与加热容器205连通，上端209a在真空容器201的底面开口，下端209b浸渍在溶液206中，在其路径中设置有气体驱动阀210。
真空容器201的真空排气口201a和加热容器205的上室205a的排气口205d分别与从真空排气配管250分支的2个端部连结，在其分支的真空排气配管250的路径中各自设置有各气体驱动阀251、252，而真空排气配管250的另一端与真空泵253连结。并且，在真空泵253的下游侧设置有离析器254。即，可通过开闭各气体驱动阀251或252对真空容器201或加热容器205的上室205a进行减压。
真空容器201的吸气口201b可灵活使用于使详细后述的干燥结束后的真空容器201的真空状态返回至常压(通风)之时，并与通风用气体配管261的一端连接。该通风用气体配管261的另一端分支为2路，其一方通过气体驱动阀262和调节器263等与将氮气等的非活性气体封住的储气瓶40连接，另一方通过止回阀265和气体驱动阀266与压缩空气和被开放的大气等的空气287连通。即，本实施例的干燥装置是一种可对作为通风用气体的、储气瓶264中的气体和空气267两者进行选择的形态，当然只需具有一方就足够了。另外，从预防安全方面的观点出发，最好是采用非活性气体作为通风用气体。
下面说明这种结构的干燥装置的动作及其动作中的形态。如图11所示，将放入有被洗净物203的笼框204收容在真空容器201内，将盖子202关闭，在使真空泵253作动的同时打开各气体驱动阀251、252。这样，真空容器201内的空气从真空排气口201a经由真空排气配管250向真空泵253吸引，开始真空抽气，加热容器205的上室205b内的空气从排气口205d经由真空排气配管250向真空泵253吸引而开始减压。又，使加热容器205的下室205c的加热器207作动，对收容于上室205b的溶液206进行加热。
然后，真空容器201内的压力、加热容器205的上室205b内的压力以及溶液206的温度到达所定值之时，将连通配管209的气体驱动阀210打开。这样，如图12所示，溶液206从连通配管209的下端209b急速地上吸到上端209a，在沸腾的状态下向上方喷射，真空容器201内的温度急速上升，同时向位于笼框204内的被干燥物203提供热量，使被干燥物203急速加热。此时，向被干燥物203提供热量的溶液206失去焓而落下，并不断地存积于真空容器201的底面，但对于从连通配管209的上端209a喷射的溶液206来讲，维持着也具有活性的吹泡效果的喷射不会成为实质性的障碍。但若超过一定程度的量，则有不良影响，故采用液位传感器233对其量进行检测。
其次，被干燥物203的温度达到约80～100℃左右，经过了所定时间之后，结束被干燥物203的加热而移行至干燥工序。此时，存积于真空容器201底面的溶液206对于干燥来讲存在着不良的影响，因此，在向干燥移行时，必须预先从真空容器201排出。为此，在本实施例的干燥装置中，再打开设于真空排气配管250上设置的气体驱动阀252，使加热容器205的上室205b内不断减压。这样，来自连通配管209的上端209a的溶液206的喷射逐渐地下降，在等到加热容器205的上室205b内的压力与真空容器201内的压力同等时，存积于真空容器201底面的溶液206可利用自重被引回到加热容器205的上室205b内从真空容器201排出。为了缩短该排出时间，有效的方法是停止真空容器201的真空抽气，也可临时性关闭气体驱动阀251。
在将存积于真空容器201底面的溶液206排出之后，关闭连通配管209的气体驱动阀210，继续进行真空容器201的真空抽气，此时，附着在被加温的被干燥物203上的洗净液(例如、使用上述的洗净装置进行了洗净场合的洗净液5)和溶液206一边从被干燥物203吸走蒸发潜热一边蒸发进行干燥。当然加热容器205的上室205b始终置于负压的环境。
一旦干燥结束，则关闭真空排气配管250的气体驱动阀251。接着，打开通风用气体配管261的气体驱动阀262或266，将气体储气瓶264中的气体或气体267从真空容器201的吸气口201b导入，使真空容器201内的压力返回常压。再打开盖子202，将放有干燥的被干燥物203的笼框204从真空容器201中取出而结束。
在被干燥物203的加热和干燥过程中，存在于真空容器201内的被气化的洗净液和溶液206从真空排气口201a经过真空排气配管250向真空泵253吸引，在经由离析器254和蒸馏部被净化之后，将过滤器256和气体驱动阀257通过经路中设有气体驱动阀257的供液配管255，从供液口205e投入加热容器205的上室205b。由于该投入利用了真空泵253所产生的负压，故即使不设置专用的泵，只需通过气体驱动阀257的开闭动作也可进行。该气体驱动阀257通过来自液位传感器243的输出进行作动。
作为真空泵253，可列举出往复式、液封式、回转式等的真空泵，在本实施例的干燥装置中，因以下的原因而采用了液封式的真空泵。这是由于即使吸入真空容器201内气化的洗净液和溶液206也隔开液体而与泵回转部接触，故与通常的密封式的真空泵不一样，由金属滑动面磨擦而发生的火花和热量少，安全性好，也不会发生障碍。
将存积于真空容器201底面的溶液206重新利用于被干燥物203的加热为其目的，在本实施例的干燥装置中，在真空容器201的底面设置有加热器221。存积于真空容器201底面的溶液206通过加热器221加热而蒸气化，面向真空容器201内扩散，再次向被干燥物203提供热量。在本发明者的实验中，可缩短20～25％的干燥时间，该效果极好，并且，为了使真空容器201内的温度快速升高，在真空容器201的内侧面设置有加热器222。一般来讲，因真空容器201的侧面的热容量大，不容易升温，若存在于真空容器201内的蒸气化的溶液206与其侧面接触、凝缩而残存，则有可能妨碍干燥，但通过设置该加热器222有所改善，在本发明者的实验中，可缩短约5％的干燥时间。
设置于连通配管209的气体驱动阀210，按照从真空容器201的压力传感器231、加热容器205的压力传感器241和温度传感器242输出的值自动调节开闭程度。因此，可将向被干燥物203喷射的沸腾状态的溶液206的状态以及被干燥物203的温度状态始终稳定于适正状态。当然，也可以不具有这种开闭度的调节机构，而是将气体驱动阀210维持于打开状态，始终向溶液206喷射。特别是在复杂形状的被干燥物203场合，例如，在具有使溶液206间隙性喷射那种调节机构时，利用喷射急速上升或下降的作用，扩大溶液206喷射的有效的区域，也可容易地到达常态时喷射难以到达的部位，故可以说该调节机构的效率极高。
下面参照图13说明本发明第7实施例的干燥装置。图13为表示第7实施例的干燥装置中的干燥部的要部剖面图。另外，图中与第6实施例的干燥装置相同的名称并具有相同功能的部分标记同一符号，省略其重复的说明。对不同点进行说明。
首先涉及本实施例的干燥装置的目的。一般来讲，实施过洗净的被洗净物当然不可能将脏污和附着物即异物完全除去。虽然也要根据作为被洗净物的构件的形状、大小或污染程度，但若对脏污和异物的附着重量作为100的指标作出表示，则通过洗净能将70～80％程度脏污和异物除去就算不错了，剩下的20～30％程度的脏污和异物残留于被洗净物而被带入干燥装置中。即，这些被带入的脏污和异物，即使对于1个被洗净物来讲是微量，但对于若干个被洗净物来讲则决不能忽视，随着反复进行干燥，特别是混入加热被洗净物的溶液中积存，最终残存于干燥后的被洗净物的表面而降低外观性。为此，本实施例的干燥装置中，则可解决这一问题。
在本实施例的干燥装置中，在真空容器201的内侧面设置有凝缩线圈271，在该凝缩线圈270的内侧具有圆筒状的隔壁272。在隔壁272的下部形成有槽沟状部分272a，在该槽沟状部分272a的附近形成有真空排气口201a。又，加热容器205由隔壁205g分割为右室205h和左室205i，在右室205h中设置有加热器207，收容着利用该加热器207直接加热的溶液206。当然，即使通过加热介质间接地进行加热也无妨。在右室205h中形成有排气口205jd、供液口205e和排出口205f，设置有温度传感器242、过升温防止开关246和液位传感器243。将真空容器201与加热容器205的右室205h连通的连通配管209其上端209a贯通于真空容器201的底面，向真空容器201的内部开口，下端209b浸渍在溶液206中。
另一方面，左室205i能起到将存积于后述真空容器201底面的溶液206进行回收的回收箱的作用，通过回收配管211与真空容器201连通，该回收配管211的上端211a向真空容器201的底面开口，端211b向左室205i的上面开口。在左室205i中形成有排气口205j和排出口205k，设置有液位传感器247。
下面特意地对这种结构的干燥装置动作进行说明。第1，在被干燥物203的加热和干燥过程中，存在于真空容器201内的气化的洗净液和溶液206利用来自真空排气口201a的吸引力从上方通过真空容器201的侧壁与隔壁272的间隙，并利用凝缩线圈271冷却而液化。该液化的溶液206集中于槽沟状部分272a，从真空排气口201a经由真空排气配管250、通过喷射器257等向真空泵253吸引，在经由离析器254被净化之后，通过路径中设有过滤器256和气体驱动阀257的供液配管255，从供液口205e向加热容器205的右室205h投入。
第2，存积于真空容器201底面的溶液206如第6实施例的干燥装置那样，不能通过连通配管209而返回，而是通过回收配管211被回收至回收箱即左室205i中。这可以通过以下方法来实现打开从排气口205j通向真空泵253的真空排气配管250上设置的气体驱动阀256、258，不断地对左室205i内进行减压。这样，存积于真空容器201底面的溶液206虽然在洗净后残留于被干燥物203而混入有脏污异物和油脂等，但通过被回收至分开的回收箱(左室205i)中，位于右室205h中的溶液206可始终维持不被污染的净化的新液状态，例如，即使反复进行干燥，也完全不会损害干燥后的被洗净物的外观性。
另外，本发明不限定上述第1～第7实施例，在不脱离本发明宗旨的范围内可作各种变更。例如，在第1～第5实施例中的洗净装置中，也可以在洗净槽6的贮槽部6a的内部具有超声波振动子单元7(投入式)，将与该超声波振动子单元7的排气口10b连通的止回阀11贯通于洗净槽6而向真空容器1内开放。又，也可以将振动板8制成中央部8a相对周缘部8b不隆起的平板形状。
另外，在第6、第7实施例的干燥装置中，作为溶液206，也可适用于非燃性的水，以取代烃系的溶液，但考虑到干燥性，最好是使用蒸发潜热相对水只有1/10左右的极低的烃系的溶液。又，也可在干燥装置中不含洗净工序，此时，干燥前的洗净所用的洗净液与干燥工序中使用的溶液206最好是同种。并且，设置于真空容器201底面的加热器221只要可对存积于该真空容器201底面的溶液206进行加热而蒸发化，则也可采用将真空容器底面覆盖的套管型的加热器。
当然，也可将上述实施例的洗净装置与干燥装置适当组合，在此场合，因从洗净至干燥均能高效且安全地实施，故效果极好。
产业上的可利用性本发明的洗净装置及其洗净方法适合电子、机械、成形相关等构件的洗净和干燥使用。
权利要求
1.一种洗净装置，为一种向置于真空下的洗净液施加超声波振动、对浸渍于所述洗净液中的被洗净物进行洗净的装置，其特征在于，在可得到真空状态的洗净用真空容器中具有贮留所述洗净液、收容所述被洗净物的洗净槽；以及内部具有所定空间、向所述洗净液施加超声波振动的振动体，所述振动体的所定空间向所述洗净用真空容器内开口。
2.如权利要求1所述的洗净装置，其特征在于，具有向所述所定空间供给净化所述振动体的所定空间用的净化气体的净化空气供给装置。
3.如权利要求1或2所述的洗净装置，其特征在于，在由传递超声波振动的振动板和安装在该振动板上的盖子形成的所述所定空间中设置有发出超声波振动的振动子，将所述振动板配置成将所述所定空间朝向所述洗净槽外侧，形成将所述洗净槽的底壁或侧壁上的开口闭塞的状态，同时，在从所述振动板的周缘部贯通于所述洗净槽的底壁或侧壁的贯通孔中插通螺栓进行固定，将所述盖体安装在所述振动板上的比所述贯通孔更中央侧。
4.如权利要求3所述的洗净装置，其特征在于，使所述振动板的中央部比具有所述贯通孔的周缘部更相对所述洗净槽向下凹陷，将所述盖体安装在所述振动板的所述中央部上。
5.如权利要求1、2或4任一项所述的洗净装置，其特征在于，将所述洗净槽的侧壁的上端部向外侧下方折曲。
6.如权利要求1、2或4任一项所述的洗净装置，其特征在于，将所述洗净槽的侧壁下端部比底壁更向下方凸出。
7.如权利要求6所述的洗净装置，其特征在于，所述洗净槽的侧壁下端部的边缘是凹凸状。
8.如权利要求6所述的洗净装置，其特征在于，所述洗净槽的侧壁下端部的边缘相对水平面呈倾斜。
9.一种洗净装置，其特征在于，由洗净装置和干燥装置构成，所述洗净装置是在可得到真空状态的洗净用真空容器中具有贮留洗净液、收容被洗净物的洗净槽；以及内部具有所定空间、向所述洗净液施加超声波振动的振动体，所述振动体的所定空间向所述洗净用真空容器内开口，向置于真空下的所述洗净液施加超声波振动，对浸渍于该洗净液中的所述被洗净物进行洗净，所述干燥装置包括将由该洗净装置洗净的所述被洗净物作为被干燥物收容、抽取成真空状态的干燥用真空容器；将加热后的溶液收容的加热容器；以及将所述干燥用真空容器与所述加热容器连通的配管，所述配管的一端朝向所述被干燥物开口，所述配管的另一端浸渍在所述溶液中，当所述干燥的真空容器处于真空状态时，所述配管开放，所述溶液在沸腾状态下从所述配管的所述一端向所述被干燥物喷射，对该被干燥物进行干燥。
10.如权利要求9所述的洗净装置，其特征在于，所述溶液是烷系的溶液。
11.如权利要求9或10所述的洗净装置，其特征在于，将所述加热容器用隔壁分成2个室，一方收容所述溶液，另一方设置热源，来自所述热源的热量通过所述隔壁提供给所述溶液，对所述溶液进行加热。
12.如权利要求9或10所述的洗净装置，其特征在于，在所述配管的路径中设置有驱动阀，根据所述干燥用真空容器内的压力、收容所述溶液的所述加热容器内的压力和所述溶液的温度，对所述驱动阀的开闭程度进行调节。
13.如权利要求9或10所述的洗净装置，其特征在于，在所述干燥用真空容器的内侧面和底面中的至少1个面上设置加热装置。
14.如权利要求9或10所述的洗净装置，其特征在于，设置有向所述被干燥物喷射、对存在于所述干燥真空容器内的蒸气化的所述溶液进行回收而凝缩的溶液凝缩装置；以及将通过所述溶液凝缩装置凝缩的所述溶液向所述加热容器供给的供给装置。
15.如权利要求14所述的洗净装置，其特征在于，还设置有将向所述被干燥物喷射、存积于所述干燥真空容器底面的所述溶液进行回收而排出的溶液排出装置。
16.一种洗净方法，其特征在于，由洗净工序和干燥工序组成，所述洗净工序为在可得到真空状态的洗净用真空容器中具有贮留洗净液、收容被洗净物的洗净槽；以及内部具有所定空间、向所述洗净液施加超声波振动的振动体，所述振动体的所定空间向所述洗净用真空容器内开口，向置于真空下的所述洗净液施加超声波振动，对浸渍于该洗净液中的所述被洗净物进行洗净，所述干燥工序具有将经由该洗净工序的所述被洗净物作为被干燥物收容、抽取成真空状态的干燥用真空容器；将加热后的溶液收容的加热容器；以及将所述干燥用真空容器与所述加热容器连通的配管，所述配管的一端朝向所述被干燥物开口，所述配管的另一端浸渍在所述溶液中，当所述干燥用真空容器处于真空状态时，所述配管开放，所述溶液在沸腾状态下从所述配管的所述一端向所述被干燥物喷射，对该被干燥物进行干燥。
全文摘要
一种洗净装置及其洗净方法，在可得到真空状态的真空容器1中包括具有贮留洗净液(5)的贮槽部(6a)、在该贮槽部(6a)中收容被洗净物(3)的洗净槽(5)；以及内部具有所定空间(7a)、向洗净液(5)施加超声波振动的超声波振动子单元(7)，超声波振动子单元(7)的所定空间(7a)从吸入口(10a)经由止回阀(11)向洗净用真空容器(1)内开口。由此，提供一种可抑止主要构件内外及其这些构件相互间的压力差，不用特意采取措施即可容易地维持气密性，并且即使在使用了可燃性的洗净液的场合对防止火灾和爆炸的安全性也优良的真空超声波方式的洗净装置。
文档编号B08B3/12GK1527749SQ02814099
公开日2004年9月8日 申请日期2002年7月12日 优先权日2001年7月13日
发明者水户清, 太田胜久, 增冈真二, 浅田裕, 久, 二 申请人:夏普株式会社, 夏普工业控制系统株式会社