专利名称：单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及单晶硅制备技术领域，更具体地说，涉及一种单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置。
背景技术：
硅的单晶体，是具有基本完整的点阵结构的晶体，其不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，单晶硅的生产是用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。单晶硅在生产制作过程中会掺杂B、P、Ga、As等元素，这些挥发物大多为剧毒物 质，多晶硅在拉直成单晶后进行排风时，会附带这些元素的挥发物，为了防止这些挥发物进入真空泵，导致真空泵损坏，需要通过单晶炉内的除尘筒滤除这些生产过程中产生的挥发物。除尘筒为单晶炉辅助设备，包括滤芯等主要部件，由单晶炉中出来的气体通过滤芯时，气体中的杂质会留在滤芯上，滤芯表面为褶皱结构，用于增大过滤面积，从而加强了过滤效果。目前，除尘筒滤芯的清理采用的是纯人工方式。每次在单晶炉进行清理时，将滤芯从除尘筒中取出，然后通过吸尘装置来吸收滤芯表面的杂质。吸尘装置上有吸尘管，吸尘管的端口上安装有吸头，吸尘装置通过吸头对滤芯的每个褶皱进行从上到下的清理。然而，滤芯上褶皱较多，且由人工来清理，清理时间长，清理难度较大，同时清理的效果也很难保证，容易出现遗漏的未进行清理的褶皱位置，从而影响了滤芯在使用时的排气效果。同时清理时，由于杂质是粉末状的，容易对操作人员造成危害，同时也在一定程度上影响了周围的环境。滤芯由于清理困难，可以将滤芯放置于喷砂机内，用高压空气对滤芯进行吹扫，可以在一定程度上减少人工操作的难度。然而这种方法仍然需要人工进行吹扫操作，清理效果存在很大的不稳定性；同时喷砂机内的空间小，导致滤芯的移动不便，且喷砂机内无支撑装置，滤芯的移动需要靠操作人员手工实现，容易在滤芯滚动的过程中造成其表面的磨损，影响滤芯的使用质量。因此，如何实现方便、有效的对滤芯进行清理，同时保证滤芯清理质量，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供了一种单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置，以实现方便、有效的对滤芯进行清理，同时保证滤芯清理质量。为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置，用于实现对除尘筒滤芯的清理工作，包括吹扫筒体；[0011]滤芯支架，其设置于所述吹扫筒体的内部，所述滤芯支架的支撑端可转动的与所述吹扫筒体的底部相连；进气通道，其设置于所述吹扫筒体的侧壁上，且所述进气通道的出气端与所述滤芯支架的滤芯安装端相配合；排气通道，其设置于所述吹扫筒体的侧壁上。优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述吹扫筒体包括筒体和筒盖。优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述筒盖上设置有防爆阀。优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述筒体的顶部设置有第一安装耳和第二安装耳，所述筒盖上设置有第一安装柱和第二安装柱，所述第一安装柱和所述第二安装柱分别与所述第一安装耳和所述第二安装耳配合安装。 优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述第二安装耳上设置有安装槽；所述筒盖包括密封盖、旋转盖和连接柄，所述连接柄与所述旋转盖螺纹连接，且其一端与所述密封盖连接；所述第一安装柱和第二安装柱均设置于所述旋转盖上，所述第一安装柱可转动地与所述第一安装耳连接，所述第二安装柱卡设于所述安装槽内。优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述滤芯支架上设置有滤芯支撑盘，所述滤芯支架的顶端设置有滤芯固定件。优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述进气通道的出气端沿所述滤芯的高度方向均匀分布有多个分进气通道。优选地，在上述滤芯的清理装置中，各个所述分进气通道上均设置有调节阀。优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述筒体的底部设置有排污口。优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述吹扫筒体的底部设置有与所述滤芯支架相连的用于带动所述滤芯支架旋转的驱动设备。本实用新型提供的单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置，用于实现对除尘筒滤芯的清理工作，包括吹扫筒体、设置在吹扫筒体内的滤芯支架、设置于吹扫筒体侧壁上的进气通道和排气通道，吹扫筒体为滤芯的吹扫工作提供相对封闭的环境，保证了滤芯的清理工作在密闭空间内进行，而不会对外部环境产生影响。滤芯支架用于提供给滤芯一个支撑结构，滤芯支架的支撑端可转动的与吹扫筒体的底部相连，进气通道提供滤芯清理过程需要的吹扫气体，滤芯支架可在吹扫筒内进行转动，从而带动了滤芯了转动，则当吹扫气体通过进气通道进入吹扫筒体对滤芯进行吹扫时，滤芯在转动过程中保证了滤芯的各个部位都能被吹扫气体进行清理，保证了清理的质量。吹扫筒体的侧壁上还设置有排气通道，气体在不断的进入吹扫筒体的过程中，滤芯表面的气体被不断的清理掉，同时气压会增加，设置有排气通道，在排出滤芯表面的杂质的同时，提供了气体出口，保证了吹扫筒体内部的气压稳定。本实用新型通过滤芯的清理装置完成了滤芯的清理工作，实现了方便、有效的对滤芯进行清理，同时保证滤芯清理质量。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本实用新型提供的单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置的结构示意图；图2为本实用新型提供的单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置的电气原理图。
具体实施方式
本实用新型公开了一种单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置，以实现方便、有效的对滤芯进行清理，同时保证滤芯清理质量。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的事实例仅仅是本实用新型一部分事实例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。 如图I所示，图I为本实用新型提供的单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置的结构示意图。一种单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置，用于实现对除尘筒滤芯13的清理工作，包括吹扫筒体、设置于吹扫筒体内部的滤芯支架4、设置于吹扫筒体侧壁上的进气通道I和设置于吹扫筒体侧壁上的排气通道5。吹扫筒体为滤芯13的清理工作提供相对密封的清理空间，从而保证了在滤芯13的清理过程中，不会对外部环境造成影响。滤芯支架4对滤芯13起到支撑作用，同时，滤芯支架4的支撑端可转动的与吹扫筒体的底部相连，清理滤芯的吹扫气体通过进气通道I进入吹扫筒体内，配合的，当吹扫气体对滤芯13进行吹扫时，滤芯支架4带动滤芯13旋转，吹扫后的杂质由排气通道排出，同时吹扫筒体内的气体也从排气通道5排出，保证其内部的压力。本实用新型提供的单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置的工作过程如下将滤芯13安装到吹扫筒体内的滤芯支架4上，打开进气通道1，吹扫气体由进气通道I进入吹扫筒体的内部，进气通道I的出气端与滤芯支架4的滤芯安装端相配合，气体进入吹扫筒体内后，气体开始对滤芯的外侧褶皱开始进行清理，清理过程中，转动滤芯支架4的底部，滤芯支架4在吹扫筒体内开始进行旋转，从而带动滤芯13发生旋转，吹扫气体对滤芯13的不同部位进行吹扫，同时通过控制吹扫的时间，保证滤芯13清理的彻底。滤芯13上被清理下来的杂质或者污染物通过排气通道排出，气体的排出也保证了吹扫筒体内不会产生过高的气压。通过以上工作过程可以得出，本实用新型提供的滤芯的清理装置，方便、有效的对滤芯进行清理，同时保证滤芯清理质量。为了进一步优化上述技术方案，在上述滤芯的清理装置中，吹扫筒体包括筒体82和筒盖，吹扫筒体设置为筒体82和筒盖的结构，工作时通过打开筒盖将滤芯13放入到筒体内的滤芯支架4上，便于滤芯13的放入和取出。具体的，吹扫筒体的侧壁上可以设置筒体开启门，同时可以利于观察筒体内的情况，达到取放滤芯的目的。筒盖上设置有防爆阀9，气体在不断的输入到吹扫筒体内时，会使得吹扫筒体内的气压增大，为了防止气体经排气通道排出的过程中排气能力不足，增加防爆阀9后，一方面，当吹扫筒体内气体压力过大时，能够通过防爆阀9排放一定的气体，另一方面，可通过防爆阀9实现对吹扫筒体内气体压力进行检测，进而适当调节吹扫气体的压力，保证了吹扫工作的安全。具体的，防爆阀设置与密封盖812上。为了进一步优化上述技术方案，在上述滤芯的清理装置中，筒体82的顶部设置有第一安装耳821和第二安装耳822，筒盖上设置有第一安装柱81a和第二安装柱81b，第一安装柱81a与第一安装耳821配合安装，第二安装柱81b与第二安装耳822配合安装，安装时，可以在每对安装耳和安装柱安装时增加锁紧装置，具体的，可在安装柱与安装耳之间设置固定销或者固定螺栓，从而达到了紧固筒盖与筒体的目的，保证了吹扫筒体的安全性。第二安装耳822上设置有安装槽，用于与第二安装柱81b配合安装。筒盖81包括、旋转盖811和连接柄813，密封盖812和旋转盖811通过连接柄813进行连接，连接柄813通过螺纹连接的方式与旋转盖811连接，且连接柄813的一端与密封盖812连接，第一安装柱81a和第二安装柱81b均设置在旋转盖811上，第一安装柱81a可转动地与第一安装耳821连接，第二安装柱81b卡设于安装槽内。具体的，第一安装耳821上设置有安装孔，第一安装柱81a插入安装孔中，且在孔的两端分别设置有两个轴承，并通过螺母打紧，第一安装柱81a可绕安装孔进行旋转。旋转盖811与密封盖812通过连接柄813连接为一体，工作 时，旋转盖811带动密封盖812绕第一安装柱81a旋转完成吹扫筒体4的开启和关闭，当打开时，旋转盖811上的第二安装柱81b从安装槽中旋出，并绕第一安装柱81a逆时针旋转将吹扫筒体4打开，将需要清理的滤芯13放置到滤芯支架4上后，反向转动旋转盖811，当第二安装柱81b卡设到安装槽中后，旋转连接柄813，连接柄813带动密封盖812 —起向下运动，并与筒体82相抵，在完成密封的同时，保证了筒盖不会在工作过程中旋开。第二安装柱81b卡设在第二安装耳821上开设的安装槽中，旋转盖811通过第一安装柱81a铰接处提供的向下的紧固拉力与密封盖812顶住筒体82的向上反向作用力完成对筒体82的密封和旋转盖811的固定工作。为了使第一安装柱81a和第二安装柱81b的两边受力平衡，第二安装柱81b上设置有固定装置，如定位销或者定位螺栓，当第二安装柱81b卡设到安装槽中后，通过定位销或者定位螺栓进行固定，以防止由于筒体82内气压过大而将密封盖812顶开产生沿筒体82径向的跳动，具体的，第二安装柱81b设计为环形槽结构，工作时，环形槽卡在安装槽之间，从而防止了第二安装柱81b产生沿筒体82径向的跳动。旋转盖811为筒盖提供锁紧功能，其可设置为盘状，也可设置为中部具有螺纹安装孔的长柄状结构。为了便于连接柄813安装到旋转盖811上，旋转盖811与连接柄813之间可设置连接螺母，将连接螺母安装到旋转盖811上，再完成连接柄813的安装。为了进一步优化上述技术方案，在上述滤芯的清理装置中，滤芯支架4上设置有滤芯支撑盘3，滤芯支架4的顶端设置有滤芯固定件41，滤芯13呈筒状结构，其底部设置有安装孔，滤芯13倒置的放置到滤芯支架4上，滤芯的开口架设在滤芯支撑盘3上，滤芯固定件41穿过滤芯13的底部的安装孔将滤芯13固定安装到滤芯支架4上，防止滤芯13在清理时受吹扫气的压力靠向一边而不能随滤芯支架旋转，进而不能起到旋转清理的效果，具体的，滤芯固定件41设置为紧固螺栓，紧固螺栓与滤芯13之间设置有平衡板，增大了螺栓与滤芯13之间的固定面积，增加了滤芯清理过程中的稳固性。滤芯支撑盘3通过螺纹固定件14固定安装到滤芯支架4上，滤芯支撑盘3与滤芯固定件41之间的距离能够进行调节，以适应不同高度的滤芯13的清理需要。为了进一步优化上述技术方案，在上述滤芯的清理装置中，进气通道I的出气端沿滤芯13的高度方向均匀分布有多个分进气通道，具体的，分进气通道包括第一分进气通道11、第二分进气通道12、第三分进气通道13、第四分进气通道14和第五分进气通道15，其沿筒体82的径向按滤芯13的高度均匀的分布在筒体82的外壁上，当外壁上只设置有一个主进气通道时，通过调节主进气通道的吹扫方向能够完成滤芯13的清理工作，然而只设置一个进气通道I时，需要对进气通道I设计合适的位置和吹扫角度，容易造成清理滤芯13不彻底的情况，且操作步骤复杂。将进气通道设计成分进气通道的结构后，可以沿筒体82的径向在不同的滤芯高度位置分别设置分进气通道的入口，第一分进气通道11、第二分进气通道12、第三分进气通道13、第四分进气通道14和第五分进气通道15能够均匀的对滤芯13的外壁进行吹扫，清理位置较为全面，特别的，在滤芯13旋转的过程中进行吹扫清理工作，使清理更加彻底，保证了滤芯13的清理质量。具体的，各个分进气通道均垂直于所述筒体82的外壁。各个分进气通道上分别设置有调节阀，通过调节阀能够调节各个分进气通道中气体的流量，从而满足了对筒体82内气压和吹扫气体流量的调节。具体的，进气通道 可以设置在滤芯13的底部，气体由滤芯13的内部向滤芯13的外部进行吹扫，能够实现对附着在滤芯外壁上的杂质进行全方位的吹扫。为了进一步优化上述技术方案，在上述滤芯的清理装置中，筒体82的底部设置有排污口，在对滤芯13进行清理的过程中，一部分附着在滤芯13表面的杂质随吹扫气体从排气通道5排出，还有一部分杂质由于未被清除到筒体82的外部而沉积在筒体82的底部，增加了排污口后，能够对筒体82内的杂质进行处理。具体的，排污口包括第一排污口 61和第二排污口 62，其对称的分布于筒体82的底壁上。为了进一步优化上述技术方案，在上述滤芯的清理装置中，吹扫筒体的底部设置有与滤芯支架4相连的用于带动滤芯支架4旋转的驱动设备2，增加驱动设备2能够带动滤芯支架4在工作时自由转动，从而达到对滤芯13各个角度的清理工作。驱动设备2可以设置为电动元件或者气动元件，通过外部电源或者其他动力设备来进行驱动。具体的，驱动设备2为驱动电机，由驱动电机带动滤芯支架4进行旋转，进而带动安装在其滤芯支撑盘上的滤芯13发生旋转，完成滤芯13的清理工作。滤芯的清理装置上还设置有支撑腿12，支撑腿12将整个吹扫筒体抬高到一定位置，起到了稳定吹扫筒体的作用，同时，支撑腿12扩大了吹扫筒体底部的空间，便于驱动设备2的安装。驱动设备2上还设置有保护壳体，保护壳体能够保护电机不受到外力的伤害，同时起到防尘的效果。驱动电机与滤芯支架4之间设置有减速器10，增加减速器后，能够对滤芯支架的转速进行调节，以达到滤芯13清理时滤芯13的最佳转速，具体的，滤芯的转速设置为I 10转/min。驱动电机与时间控制器相连，时间控制器能够对滤芯13的吹扫时间进行调节。如图2所示，图2为本实用新型提供的单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置的电气原理图。滤芯的清理装置的时间控制器连通外部电源，并通过内部的24V电源控制滤芯的清理装置的工作，控制器上设置有启动开关、关闭开关，进气通道、排气通道增加有出气电磁阀，用于控制进气、排气的开关。当接通第一启动开关时20时，控制系统依次自动打开排气电磁阀22、进气电磁阀23并控制滤芯旋转，在达到设定时间后控制系统依次关闭进气电磁阀23、停止滤芯旋转和排气电磁阀22，从而完成对滤芯的清理。时间控制器上还设置有紧急停机开关，第二应急开关21，启动时，即可中断清理操作。图中所示的A、B、C、D、E1、F1、G11、E2、F2和G2分别为延时继电器，用于设置不同时间进行各部件的延时操作。本实用新型提供的滤芯的清理装置，减少了人为操作对清理质量的影响，清理的稳定性得到提高，同时，采用密封筒体式的全封闭式的清理环境，减少了对环境的污染。而且，其清理简洁方便，节省了人力，易于短时间进行推广。 对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置，用于实现对除尘筒滤芯(13)的清理工作，其特征在于，包括 吹扫筒体； 滤芯支架(4)，其设置于所述吹扫筒体的内部，所述滤芯支架(4)的支撑端可转动的与所述吹扫筒体的底部相连； 进气通道(1)，其设置于所述吹扫筒体的侧壁上，且所述进气通道(I)的出气端与所述滤芯支架(4)的滤芯安装端相配合； 排气通道(5)，其设置于所述吹扫筒体的侧壁上。
2.根据权利要求I所述的滤芯的清理装置，其特征在于，所述吹扫筒体包括筒体(82)和筒盖。
3.根据权利要求2所述的滤芯的清理装置，其特征在于，所述筒盖上设置有防爆阀(9)。
4.根据权利要求2所述的滤芯的清理装置，其特征在于， 所述筒体(82)的顶部设置有第一安装耳(821)和第二安装耳(822)，所述筒盖上设置有第一安装柱(81a)和第二安装柱(81b)，所述第一安装柱(81a)和所述第二安装柱(81b)分别与所述第一安装耳(821)和所述第二安装耳(822)配合安装。
5.根据权利要求4所述的滤芯的清理装置，其特征在于，所述第二安装耳(822)上设置有安装槽； 所述筒盖包括密封盖(812)、旋转盖(811)和连接柄(813), 所述连接柄(813)与所述旋转盖(811)螺纹连接，且其一端与所述密封盖(812)连接； 所述第一安装柱(81a)和第二安装柱(81b)均设置于所述旋转盖(811)上，所述第一安装柱(81a)可转动地与所述第一安装耳(821)连接，所述第二安装柱(81b)卡设于所述安装槽内。
6.根据根据权利要求I所述的滤芯的清理装置，其特征在于，所述滤芯支架(4)上设置有滤芯支撑盘(3)，所述滤芯支架(4)的顶端设置有滤芯固定件(41)。
7.根据根据权利要求I所述的滤芯的清理装置，其特征在于，所述进气通道(I)的出气端沿所述滤芯(13)的高度方向均匀分布有多个分进气通道。
8.根据根据权利要求7所述的滤芯的清理装置，其特征在于，各个所述分进气通道上均设置有调节阀。
9.根据根据权利要求2所述的滤芯的清理装置，其特征在于，所述筒体(82)的底部设置有排污口。
10.根据根据权利要求I所述的滤芯的清理装置，其特征在于，所述吹扫筒体的底部设置有与所述滤芯支架(4)相连的用于带动所述滤芯支架(4)旋转的驱动设备(2)。
专利摘要本实用新型提供了一种单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置，用于对单晶炉除尘筒中滤芯的清理，包括吹扫筒体、设置于吹扫筒体内部的滤芯支架、设置于吹扫筒体侧壁上的进气通道和排气通道。吹扫筒体为滤芯的清理工作提供相对密封的清理空间，保证了在清理滤芯时不会对外部环境造成影响。滤芯支架对滤芯起支撑作用，滤芯支架的支撑端可转动的与吹扫筒体的底部相连，清理滤芯的吹扫气体通过进气通道进入吹扫筒体内，当吹扫气体对滤芯进行吹扫时，滤芯支架带动滤芯旋转，吹扫后的杂质由排气通道排出，同时吹扫筒体内的气体也从排气通道排出，从而完成了对滤芯的清理。本实用新型提供的滤芯的清理装置，方便、有效的对滤芯进行清理，同时保证滤芯清理质量。
文档编号B08B5/02GK202461050SQ20112056859
公开日2012年10月3日 申请日期2011年12月30日 优先权日2011年12月30日
发明者杨乐 申请人:英利能源(中国)有限公司