便于内部气体管路清洁的氨气洗涤塔的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种便于内部气体管路清洁的氨气洗涤塔，包括塔体、加酸管路、气体管路、开关按钮、操控显示屏和内部压力表，加酸管路通过加酸口与塔体相连接，气体管路通过塔体表面的通孔插入塔体内部，内部压力表、操控显示屏和开关按钮从上至下依次设置于塔体的外壁上，还包括硫酸导向管和阀门，硫酸导向管的一端与所述的加酸管路相通，另一端通过阀门与气体管路相连。有益效果是在对气体管路中的结晶物进行清洁时，无需将MOCVD停机，不会对正常的生产过程造成影响；同时，在进行清洁的过程中操作人员与氨气是隔离开来的，不会对身体造成伤害，操作安全方便。
【专利说明】便于内部气体管路清洁的氨气洗涤塔
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种氨气洗涤塔，具体是一种便于内部气体管路清洁的氨气洗涤塔。
【背景技术】
[0002]目前，LED被业界认为是最理想的传统光源的替代品，这是由于其自身的特点所决定的，LED具有体积小、耗电量低、使用寿命长、高亮度、低热量、环保、坚固耐用和可控性强的特点，可以被广泛应用于显示屏、照明灯具、信号指示灯等领域。LED生产过程中最关键的步骤是嘉晶工艺，目前普遍采用的方法是金属有机物化学气相淀积(Metal-OrganicChemical Vapor Deposition,简称MOCVD),利用该方法生产的设备是一种自动化程度高、价格昂贵、技术集成度高的尖端光电子专用设备。
[0003]在利用MOCVD进行生产的过程中会产生废气，主要是氨气，目前普遍采用氨气洗涤塔对排出的氨气进行后处理，但是长期使用中发现氨气洗涤塔中的气体管路会由于结晶物的形成而堵塞，造成MOCVD在生产时气流不稳定，清洁结晶物时需要先将MOCVD停机，这样就会影响生产；同时，在清洁的过程中操作人员难免会吸入氨气，会对操作人员的身体造成一定的伤害。
【发明内容】
[0004]针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种便于内部气体管路清洁的氨气洗涤塔，无需将MOCVD停机便可以实现氨气洗涤塔内部气体管路的清洁，在进行清洁的过程中操作人员能够与氨气隔离开来，不会对身体造成伤害。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现:一种便于内部气体管路清洁的氨气洗涤塔，包括塔体、加酸管路、气体管路、开关按钮、操控显示屏和内部压力表，加酸管路通过加酸口与塔体相连接，气体管路通过塔体表面的通孔插入塔体内部，内部压力表、操控显示屏和开关按钮从上至下依次设置于塔体的外壁上，还包括硫酸导向管和阀门，硫酸导向管的一端与所述的加酸管路相通，另一端通过阀门与气体管路相连。
[0006]进一步的，所述的塔体的外壁上设置有pH值显示屏，pH值显示屏位于开关按钮的下方，通过pH值显示屏可以了解塔体内部的酸碱度，便于操控。
[0007]进一步的，所述的塔体的底部四个顶角处分别设有滑轮，可以根据生产车间设备的摆放位置或者管路的铺设方向来灵活调节氨气洗涤塔的位置。
[0008]本实用新型的有益效果是:通过在加酸管路和气体管路之间加装硫酸导向管和阀门，可以根据内部压力表的读数显示来控制硫酸导向管的开闭，当压力值达到设定的上限时，将阀门打开，这样加酸管路中的硫酸便可以通过硫酸导向管流入气体管路中，对气体管路中的结晶物进行清理；当压力值恢复正常后，关闭阀门即可，该清洁过程无需将MOCVD停机，不会影响到正常的生产过程；同时，在进行清洁的过程中操作人员能够与氨气隔离开来，不会对身体造成伤害，操作安全方便。【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型的结构示意图。
[0010]图中:1、加酸管路，2、硫酸导向管，3、阀门，4、气体管路，5、塔体，6、滑轮，7、pH值
显示屏，8、开关按钮,9、操控显示屏，10、内部压力表。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
[0012]如图1所示，一种便于内部气体管路清洁的氨气洗涤塔，包括塔体5、加酸管路1、气体管路4、开关按钮8、操控显示屏9和内部压力表10，加酸管路I通过加酸口与塔体5相连接，气体管路4通过塔体5表面的通孔插入塔体5内部，内部压力表10、操控显示屏9和开关按钮8从上至下依次设置于塔体5的外壁上，还包括硫酸导向管2和阀门3，硫酸导向管2的一端与所述的加酸管路I相通，另一端通过阀门3与气体管路4相连。
[0013]进一步的，塔体5的外壁上还设置有pH值显示屏7，pH值显示屏7位于开关按钮8的下方，通过pH值显示屏7可以了解塔体5内部的酸碱度，便于操控。
[0014]进一步的，塔体5的底部四个顶角处分别设有滑轮6，可以根据生产车间设备的摆放位置或者管路的铺设方向来灵活调节氨气洗涤塔的位置。
[0015]使用过程:操作人员通过内部压力表10的读数可以判断气体管路4中是否有结晶物存在，当内部压力表10的读数从正常状态的_50torr上升至64torr，此时就需要将阀门3打开，这样加酸管路I中的硫酸便可以通过硫酸导向管2流入气体管路4中，对气体管路4中的结晶物进行清理；当内部压力表10的读数恢复正常后，关闭阀门3即可；整个清洁过程无需将MOCVD停机，不会影响到正常的生产过程；同时，在进行清洁的过程中操作人员与氨气是隔离开来的，不会对身体造成伤害，操作安全方便。
【权利要求】
1.一种便于内部气体管路清洁的氨气洗涤塔，包括塔体(5)、加酸管路(I)、气体管路(4)、开关按钮(8)、操控显示屏(9)和内部压力表(10)，加酸管路(I)通过加酸口与塔体(5)相连接，气体管路(4 )通过塔体(5 )表面的通孔插入塔体(5)内部，内部压力表(10)、操控显示屏(9)和开关按钮(8)从上至下依次设置于塔体(5)的外壁上，其特征在于，还包括硫酸导向管(2)和阀门(3)，硫酸导向管(2)的一端与所述的加酸管路(I)相通，另一端通过阀门(3)与气体管路(4)相连。
2.根据权利要求1所述的一种便于内部气体管路清洁的氨气洗涤塔，其特征在于，所述的塔体(5)的外壁上设置有pH值显示屏(7)，pH值显示屏(7)位于开关按钮(8)的下方。
3.根据权利要求1或2所述的一种便于内部气体管路清洁的氨气洗涤塔，其特征在于，所述的塔体(5 )的底部四个顶角处分别设有滑轮(6 )。
【文档编号】B08B9/027GK203425679SQ201320536409
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年8月30日 优先权日:2013年8月30日
【发明者】曾绎聪, 孙统畅, 孙益鹏, 孟祥好, 夏友龙 申请人:晶旺光电（徐州）有限公司