石英玻璃布的加热方法和石英玻璃布的制造方法与流程

本发明涉及能够降低介电损耗角正切的石英玻璃布(quartz glass cloth)的加热方法以及石英玻璃布的制造方法。

背景技术：

1、目前，随着智能电话等信息终端的高性能化、高速通信化，在所使用的印刷配线板中，在高密度化、极薄化的同时低介电化、低介电损耗角正切化正在显著发展。作为该印刷配线板的绝缘材料，广泛使用了将使玻璃布含浸于环氧树脂等热固性树脂(以下称为“基体树脂”)而得到的预浸坯料(prepreg)层叠并加热加压固化而成的层叠板。就基板中的信号的传输损耗而言，如edward a.wolff式：传输损耗∝√ε×tanδ所示那样，已知介电常数(ε)和介电损耗角正切(tanδ)越小的材料，传输损耗越得以改善，特别是，由上述的式子可知，对于传输损耗，介电损耗角正切的贡献大。因此，在玻璃布中需要低的介电损耗角正切，提出了d玻璃、ne玻璃、l玻璃、q玻璃等介电特性得到提高的玻璃布(专利文献1～4)。但是，在今后的5g通信用用途等中，从实现充分的传输速度性能的观点出发，即使是这些低介电常数·低介电损耗角正切优异的低介电特性玻璃布，也存在进一步改善的必要性。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开平5-170483号公报

5、专利文献2：日本特开2009-263569号公报

6、专利文献3：日本特开2009-19150号公报

7、专利文献4：日本特开2006-282401号公报

8、专利文献5：日本特开2021-195689号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、石英玻璃是sio2为95质量％以上的玻璃，具有非常优异的电特性。但是，石英玻璃由于其高纯度，容易生成sioh基，即使是组成完全相同的石英玻璃，根据石英玻璃中所含的sioh基的量，介电损耗角正切也会大幅地变动。在专利文献5中，在高温下对石英玻璃进行了处理。但是，存在下述问题：产生了高温加热引起的向玻璃表面的变形(应变)，强度降低，为了除去变形(应变)，在加热后需要进行24小时以上的老化处理。

3、本发明鉴于上述实际情况而完成，目的在于提供能够降低介电损耗角正切的石英玻璃布的加热方法、加热处理后无需进行特别的后处理就能够制造介电损耗角正切低的石英玻璃布的制造方法。

4、用于解决课题的手段

5、石英玻璃的95质量％以上为sio2，认为表面的si-oh基的活性强，特别是在高温气氛中通过氢键将水分收进，使si-o-si键开裂，从而进一步生成si-oh基在此生成的si-oh基使玻璃布的介电损耗角正切变差。在玻璃布的大量生产中，对于将玻璃布加热的加热炉而言，一般使用煤气炉，由于将城市煤气等的燃烧作为热源，因此作为生成物，生成大量的二氧化碳和水。结果发现：由于使用在加热机构中产生水分的加热炉，从而上述反应的平衡向着si-oh基生成的方向倾斜。本发明人认识到：通过将石英玻璃布放入加热炉，使炉内为真空或露点为15℃以下的气体中，在100～600℃、并且由100～600℃的温度(℃)×加热时间(h)表示的加热量为450(℃·h)以上的条件下进行加热，能够使加热炉内的水分量进一步降低，进一步使平衡反应向左倾斜，能够进仅凭加热就使介电损耗角正切降低，通过包括该加热工序，得到40ghz下的介电损耗角正切为0.0015以下的石英玻璃布，完成了本发明。

6、因此，本发明提供下述的石英玻璃布的加热方法和石英玻璃布的制造方法。

7、1.一种石英玻璃布的加热方法，其中，将包含95质量％以上的sio2的石英玻璃布放入加热炉，在真空或露点为15℃以下的气体中，在最高加热温度为100～600℃、并且由100℃以上的加热温度(℃)×加热时间(h)表示的加热量为450(℃·h)以上的条件下进行加热。

8、2.根据1所述的石英玻璃布的加热方法，其中，气体是选自空气和非活性气体并且露点为15℃以下的气体。

9、3.根据1所述的石英玻璃布的加热方法，其中，将露点为0℃以下的干燥气体导入炉内。

10、4.根据3所述的石英玻璃布的加热方法，其中，在加热前、升温中、温度保持中和降温中的任一个以上，将露点为0℃以下的干燥气体导入炉内。

11、5.根据4所述的石英玻璃布的加热方法，其中，在降温中，将露点为0℃以下的干燥气体导入炉内。

12、6.一种40ghz下的介电损耗角正切为0.0015以下的石英玻璃布的制造方法，其包括根据1～5中任一项所述的加热方法作为工序。

13、发明效果

14、能够提供可降低介电损耗角正切的石英玻璃布的加热方法，能够提供在加热处理后无需进行特别的后处理就能够制造低介电化石英玻璃布的制造方法。

技术特征：

1.一种石英玻璃布的加热方法，其中，将包含95质量％以上的sio2的石英玻璃布放入加热炉，在真空或露点为15℃以下的气体中，在最高加热温度为100～600℃、并且由100℃以上的加热温度(℃)×加热时间(h)表示的加热量为450(℃·h)以上的条件下进行加热。

2.根据权利要求1所述的石英玻璃布的加热方法，其中，气体为选自空气和非活性气体并且露点为15℃以下的气体。

3.根据权利要求1所述的石英玻璃布的加热方法，其中，将露点为0℃以下的干燥气体导入炉内。

4.根据权利要求3所述的石英玻璃布的加热方法，其中，在加热前、升温中、温度保持中和降温中的任一个以上，将露点为0℃以下的干燥气体导入炉内。

5.根据权利要求4所述的石英玻璃布的加热方法，其中，在降温中，将露点为0℃以下的干燥气体导入炉内。

6.一种40ghz下的介电损耗角正切为0.0015以下的石英玻璃布的制造方法，其包括根据权利要求1～5中任一项所述的加热方法作为工序。

7.一种石英玻璃布的制造方法，是包括进行加热清洁的工序的、40ghz下的介电损耗角正切为0.0015以下的石英玻璃布的制造方法，其中，所述进行加热清洁的工序为根据权利要求1～5中任一项所述的加热方法。

8.一种40ghz下的介电损耗角正切为0.0015以下的石英玻璃布的制造方法，其包括：将包含95质量％以上的sio2的石英玻璃布加热清洁的工序；和将加热清洁过的石英玻璃布采用根据权利要求1～5中任一项所述的加热方法进行加热的工序。

技术总结
本发明涉及石英玻璃布的加热方法和石英玻璃布的制造方法。提供能够降低介电损耗角正切的石英玻璃布的加热方法、在加热处理后无需进行特别的后处理就能够制造低介电化石英玻璃布的制造方法。石英玻璃布的加热方法，其中，将包含95质量％以上的SiO<subgt;2</subgt;的石英玻璃布放入加热炉，在真空或露点15℃以下的气体中，在最高加热温度为100～600℃、且由100℃以上的加热温度(℃)×加热时间(h)表示的加热量为450(℃·h)以上的条件下进行加热。

技术研发人员：糸川肇,田口雄亮,野村龙之介,浦中宗圣
受保护的技术使用者：信越化学工业株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15