专利名称：形成凹凸图案用压印模、凹凸图案形成方法及磁记录媒体的制作方法
技术领域：
本发明涉及通过按压基材表面树脂层在其表面规定的环形区域形成在树脂层能形成凹凸图案的凹凸图案形成用凸部的形成凹凸图案用压印模、利用该形成凹凸图案用压印模形成凹凸图案的凹凸图案形成方法、及利用按照该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案形成数据记录用磁道的磁记录媒体。
背景技术：
例如在制造半导体元件或记录媒体的工序中，作为在基材表面树脂层上形成微细的(毫微米级)凹凸图案的方法，曾提出有将在压印模(模子)上形成的毫微米级的凹凸部分(凸部)按压在基材表面的树脂层上转印该凹凸部分的凹凸形状的盖印法(Stephen、Y、Chou著“Imprint of sub 25nm vias andtrenches in polymers”，Applied Physics Letters，(美国)，1995年11月20日，第67卷，第21号，p3114-3116)。
该盖印法是先制成在其表面上形成毫微米级(最小宽25nm)凹凸部分的压印模。这时，压印模的凹凸部分是通过用电子束刻蚀装置将图案画在表面形成氧化硅层的硅基板上，再用反应离子腐蚀装置(RIE)进行腐蚀处理后形成。然后用旋涂法将作为树脂材料的PMMA(聚甲异丁烯酸盐)涂布在硅制的基材表面，形成55nm厚的树脂层。接着，对压印模、基材及树脂层加热，使PMMA达到其玻化温度即105℃以上(例如200℃)后，用13.1MPa(1900psi)的压力使压印模的凹凸部分按压树脂层。接着，压印模、基材及树脂层冷却到室温后，将压印模从树脂层上脱开。由此，压印模凹凸部分的凹凸形状转印在树脂层上，形成毫微米级的凹凸图案。
另一方面，如图21所示可知，按照该盖印法在树脂层上形成凹凸图案，利用该凹凸图案通过同心圆状的多条沟槽在盘片状基材101(磁性层112)的表面磁道形成区域102上形成在磁性上互相分离的多条数据记录用分离磁道(以后简称为分离磁道)92，92…的分离磁道型的磁记录媒体(以后简称为磁记录媒体)91。在形成用于这种磁记录媒体91的分离磁道92形成的凹凸图案时，如图17、18所示，可以采用在其表面环形区域43上形成毫微米级的凸部51、51…的压印模41。这时，环形区域43如图19所示，规定为和盘片状基材101的磁道形成区域102相同大小。在采用该压印模41形成凹凸图案时，按照上述盖印法，例如在具有玻璃制的圆板111、磁性层112及金属层113而构成的盘片状基材101的表面上形成树脂层103后，如同一图所示，将压印模41的凸部51，51…按压在树脂层103上。由此，如图19及20所示，在与压印模41的环形区域43对应的树脂层103之凹凸图案形成区域104上形成凹凸图案。
本发明的发明者们对上述已有的压印模41研究后发现存在以下问题。即，如图19所示，该压印模41仅在与磁道形成区域102相同大小所规定的环形区域43上形成凸部51，51……。因此，如图17～19所示，由于在环形区域43之外侧及内侧分别存在未形成凸部51的外侧区域44及内侧区域45，所以会产生一些由于上述两者引起的问题。具体为，由于未在外侧区域44及内侧区域45形成凸部51，所以在压印模41按压在树脂层103上时，压力集中在树脂层103的凹凸形成区域104的外圆周部分104b及内圆周部分104c(均参照图20)。因此，如图20所示，凹凸图案形成区域104的外圆周部分104b及内圆周部分104c处形成的凹部深度(凸部的高度)要比凹凸图案形成区域104中央部104a形成的凹部深度来得深(比凸部的高度来得高)，最终，存在的问题是各凹部的深度不均匀。又因压力集中于凹凸图案形成区域104外圆周部分104b及内圆周部分104c，所以还存在以下两个问题，一是外圆周部分104b及内圆周部分104c的凹凸图案变形，二是在从树脂层103上脱开压印模41时，外圆周部分104b及内圆周部分104c的凹凸图案(树脂材料)粘附在压印模41的凸部51上而剥落。所以，在用该凹凸压印模制造的磁记录媒体91上存在的问题是，由于分离磁道92的高度(将分离磁道92分离的沟槽的深度)不均匀，或在磁道形成区域102的外圆周部分及内圆周部分的分离磁道92上产生的变形或缺损，由此会在记录数据时产生记录错误。
发明内容
本发明为解决上述问题而作，其主要目的在于提供一种使凹凸图案的凹部深度均匀、并能防止凹凸图案变形及剥落的形成凹凸图案用压印模及凹凸图案形成方法。另外一个主要目的在于提供一种能防止发生记录错误的磁记录媒体。
本发明涉及的形成凹凸图案用压印模的构成为，通过按压基材表面的树脂层，在其表面规定环形区域上形成能在该树脂层上形成凹凸图案的形成凹凸图案用凸部，并在相对所述环形区域位于其外侧位置的外侧区域及相对该环形区域位于其内侧位置的内侧区域中至少一个区域上形成能分散按压所述树脂层时的压力的分散压力用凸部。
本发明涉及的凹凸图案形成方法为，在基材表面形成树脂层，将在其表面规定的环形区域形成用于形成凹凸图案用的凸部、同时还在相对该环形区域位于其外侧位置的外侧区域及相对该环形区域位于其内侧位置的内侧区域中至少一个区域上形成分散压力用凸部的形成凹凸图案用压印模按压在所述树脂层上，从而在该树脂层上形成由所述形成凹凸图案用凸部产生的凹凸图案。
根据这种形成凹凸图案用压印模及凹凸图案形成方法，通过在相对环形区域分别位于其外侧及内侧位置的外侧区域及内侧区域中至少一个区域上形成分散压力用凸部，从而在将形成凹凸图案用压印模按压树脂层时，由于能使形成凹凸图案用压印模加在树脂层上的压力分散到树脂层上与形成凹凸图案用压印模的环形区域对应的部位及与外侧区域(或内侧区域)对应的部位，所以能将大致均匀的压力加在树脂层上应形成凹凸图案的整个区域上，其结果，在应形成该凹凸图案的区域能形成深度大致均匀的凹部(或高度大致均匀的凸部)。又因能防止压力集中在应形成凹凸图案区域的外圆周部分及内圆周部分，所以能确实地防止上述部位凹凸图案的变形或在形成凹凸图案用压印模脱开时凹凸图案的剥落。
这种情况下，可在所述外侧区域及所述内侧区域两区域上形成所述压力分散用凸部。通过这样的措施，由于能使按压树脂层时施加在树脂层上的压力分散到树脂层上与形成凹凸图案用压印模的外侧区域对应的部位及与内侧区域对应的部位的两个部位上，故与只在外侧区域及内侧区域的一个区域上形成分散压力用凸部的结构相比，能更进一步将均匀的压力加在应形成凹凸图案的整个区域，其结果，能形成深度更均匀的凹部。
又能将所述分散压力用凸部做成和所述形成凹凸图案用凸部相同形状或大致相同形状。这样，在制作形成凹凸图案用压印模时，由于能用相同加工条件连续加工制成形成凹凸图案用凸部和分散压力用凸部，故能缩短加工时间，其结果，能节省形成凹凸图案用压印模的制作成本。
还能在离所述环形区域仅隔开规定宽度的位置上形成所述分散压力用凸部。这样，由于能减少形成分散压力用凸部的面积，故在制作形成凹凸图案用压印模时，能减少这一部分相应的加工面积，最终能降低形成凹凸图案用压印模的加工成本。
另外，本发明涉及的磁记录媒体是将在其表面规定的环形区域形成凹凸图案形成用凸部、同时在相对该环形区域位于其外侧位置的外侧区域及相对该环形区域位于其内侧位置的内侧区域中至少一个区域上形成分散压力用凸部的形成凹凸图案用压印模进行按压，从而在基材表面树脂层上利用所述形成凹凸图案用凸部形成凹凸图案，利用所述形成的凹凸图案形成数据记录用磁道。
另外，本发明涉及的磁记录媒体的构成为，在表面的规定宽度环形区域内形成数据记录用磁道，同时还在相对所述环形区域位于其外侧位置的外侧区域及相对该环形区域位于其内侧位置的内侧区域中至少一个区域上形成非数据记录用磁道。
该磁记录媒体例如使用上述形成凹凸图案用压印模，形成数据记录用磁道和非数据记录用磁道。因而，该磁记录媒体在将形成凹凸图案用压印模按压树脂层时，将形成凹凸图案用压印模加在树脂层上的压力分散在树脂层上与形成凹凸图案用压印模的环形区域对应的部位及与外侧区域(或内侧区域)对应的部位，在这种状态下，即加在树脂层上应形成凹凸图案的整个区域上的压力大致均匀的状态下，在树脂层上形成凹凸图案。因而，根据这种磁记录媒体，由于能不变形、无剥落，而且以高度(分离磁道的沟槽的深度)大致均匀的状态形成记录用磁道，所以能可靠地防止记录时发生的记录错误。
另外，本揭示与2003年8月26日申请的日本专利申请即特愿2003-300796中的主题相关，上述揭示的全部内容在此作为参照事项明白无误地引入。
图1为表示涂布装置1的构成方框图。
图2为形成树脂层63的盘片状基材61的剖面图。
图3为表示转印装置2的构成方框图。
图4为压印模24的俯视图。
图5为压印模24的剖面图。
图6为形成树脂层25a后基材25的剖面图。
图7为树脂层25a上形成凹凸图案后基材25的剖面图。
图8为形成镍层25b后基材25的剖面图。
图9为进行分离(Lift-off)处理后状态的基材25的剖面图。
图10为压印模24按压树脂层63状态的下剖面图。
图11为树脂层63上已形成凹凸图案的盘片状基材61的剖面图。
图12为除去在树脂层63上形成的凹凸图案的凹部底面部分的金属层73状态下的盘片状基材61的剖面图。
图13为对磁性层72施以腐蚀处理状态下的盘片状基材61的剖面图。
图14为在磁性层72上形成分离磁道4状态下的盘片状基材61的剖面图。
图15为磁记录媒体3的剖面图。
图16为压印模81的剖面图。
图17为已有的压印模41的俯视图。
图18为压印模41的剖面图。
图19为压印模41按压树脂层103状态下的剖面图。
图20为用压印模41在树脂层103上形成凹凸图案的盘片状基材101的剖面图。
图21为已有的磁记录媒体91的剖面图。
具体实施例方式
以下，参照
本发明涉及的形成凹凸图案用压印模、凹凸图案形成方法及磁记录媒体的最佳实施形态。
先参照
涂布装置1及转印装置2的构成。
图1示出的涂布装置1为按照本发明涉及的凹凸图案形成方法将树脂材料涂在盘片状基材61(参照图2)的表面形成树脂层63(参照图2)的装置，由电动机11、转盘12、给料机构13及控制单元14构成。电动机11根据控制单元14的控制信号转动转盘12。转盘12的结构做成能承载盘片状基材61，并靠电动机11转动。给料机构13依照控制部14的控制信号，将树脂材料(例如为聚苯乙烯系共聚物)排放在转盘12承载的盘片状基材61的内圆周部分(较中心部形成的孔稍微偏向外圆周一侧的部分)。控制部14控制电动机11的旋转、及给料机构13的树脂材料的排放，使得树脂层63为规定的厚度(例如65nm(毫微米))。这里，上述盘片状基材61为图15所示的磁记录媒体3用的基材，如图2所示，例如由玻璃制的圆板71构成，在该圆板71的表面上预先形成磁性层72及金属层73。这时，如图15所示，在盘片状基材61(磁性层72)的磁道形成区域62形成以规定的排列间距(例如150nm)互相分离的同心圆状的多条分离磁道(相当于本发明的数据记录用磁道)4、4…，制造磁记录媒体3。还有，实际上在圆板71和磁性层72之间形成有取向层、软磁性层及村底层等，但为了便于对本发明的理解，这部分的图示及说明均省略。
转印装置2为按照本发明涉及的凹凸图案形成方法在盘片状基材61表面形成的树脂层63上形成凹凸图案的装置，如图3所示，由加热台21、加压机构22、控制单元23及压印模24构成。加热台21的构成为能承载形成树脂层63的盘片状基材61，按照来自控制单元23的控制信号，对树脂层63及盘片状基材61加热。加压机构22的构成为能固定压印模24，按照控制单元23来的控制信号，朝着加热台21对压印模24加压(压下)。这时，加压机构22具有对固定的压印模24加热的加热功能。控制单元23控制加热台21进行的加热及加压机构22进行的加热及加压。
压印模24相当于本发明涉及的形成凹凸图案用压印模，如图4所示，其构成为例如用碳化硅整体做成圆板状。另外，压印模24其外径L1比盘片状基材61的外径稍大，例如规定为22.0mm。再有，在压印模24的中心部位形成其直径L2例如为6.0mm的中心孔29(让固定在加压机构22上用的固定夹具插入穿过的孔)。另外，在压印模24的表面上还规定环形区域26、外侧区域27及内侧区域28。这时，环形区域26如图5所示，形成用于在树脂层63上形成凹凸图案的凸部31，31…。凸部31，31…相当于本发明中形成凹凸图案用凸部，将压印模24的中心作为其中心形成同心圆形状而且保持一定间距(例如150nm)。另外，如图10所示，环形区域26规定为和盘片状基材61的磁道形成区域62大致相同的大小。具体如图4所示，环形区域26被规定在其内径L3例如为8.0mm、其外径L4例如为18.0mm的环形区域。还为了便于对本发明的理解，图4中用和各区域26～28之间的实际比率不同的比率表示各区域26～28。另外，在图5中，将凸部31及后述的凸部32作了比实际尺寸大的夸张后画出。
外侧区域27如图4所示，为在压印模24的表面相对环形区域26位于其外侧位置的区域，规定为其宽度L5例如为2.0mm的环形区域。又如图5所示，外侧区域27上形成和凸部31相同形状的多个同心圆状的凸部(相当于本发明中分散压力用凸部)32、32…，而且和凸部31间距相同。内侧区域28如图4所示，为在压印模24的表面相对环形区域26位于其内侧位置的区域，规定为其宽度L6例如为1.0mm的环形区域。又如图5所示，内侧区域28也以同心圆形状并与凸部31相同间距形成多个凸部32，32…(在图5中只示出其中一个)。在这种情况下，形成于外侧区域27及内侧区域28的凸部32将如以后所述，在用加压机构22将压印模24压在树脂层63上时，将通过压印模24加在树脂层63上的压力分散在与压印模24的环形区域26、外侧区域27及内侧区域28分别对应的树脂层63上的凹凸图案形成区域64、外圆周部分65、及内圆周部分66(都参照图11)，从而具有使加在凹凸图案形成区域64上的压力大致均匀的功能。
这里，作为一个例子，利用将凹凸图案作为掩模用的干法蚀刻制作压印模24。具体为如图6所示，将树脂材料涂布在碳化硅制的圆板状基材25的表面，形成树脂层25a。接着例如用电子束刻蚀装置将和凸部31，32的形状相反的图案画在树脂层25a上。然后对树脂层25a实施显影处理。由此，如图7所示，在树脂层25a上形成和凸部31，32…的形状相反的凹凸图案。然后，如图8所示，利用蒸镀法在凹凸图案的凹部底面(基材25表面)及凸部的前端表面形成镍层25b。然后，通过分离处理和树脂材料一起除去凸部前端表面形成的镍层25b。由此，如图9所示，利用镍层25b在基材25的表面形成镍的图案。然后将镍的图案用作为掩模，进行干法刻蚀处理。由此如该图中虚线所示，削低基材25上未形成镍图案的部位，如图5所示，则完成形成有凸部31，32…的压印模24。
接着，按照本发明的凹凸图案形成方法参照
形成凹凸图案的工序。
先将盘片状基材61置于转台12上，让涂布装置1开始处理。据此，控制单元14相应地向电动机11及给料机构13输出控制信号。这时，电动机11遵照控制信号例如使转台12低速仅转5圈，给料机构13根据控制信号向盘片状基材61的中央排出规定量(使树脂层63形成65nm厚度所需的量)的树脂材料(在这种情况为聚苯乙烯系共聚物)。然后，控制单元14对电动机11输出控制信号，用于使转盘12仅在规定时间内以高速旋转。据此，电动机11带动转盘12高速旋转。这时，与转盘12的旋转相对应，盘片状基材61也高速旋转，给出的树脂材料由于离心力的作用向着盘片状基材61的外圆周方向以均匀的厚度向外铺开。通过这样，如图2所示，在盘片状基材61(金属层73)的表面形成厚65nm的树脂层。
然后，把压印模24装在加压机构22上。接着，将形成树脂层63后的盘片状基材61放在加热台21上，让转印装置2开始处理。与此相对应，控制单元23向加热台21及加压机构22输出指示加热的控制信号。这时，加热台21按照控制信号加热树脂层63及盘片状基材61，加压机构22按照控制信号加热压印模24。然后，控制单元23通过监视例如温度传感器(未图示)的输出信号，在确认树脂层63、盘片状基材61及压印模24的温度达到树脂材料的玻化温度以上例如170℃时，向加压机构22输出指示加压的控制信号。据此，加压机构22例如用80kgf/cm2的压力对压印模24加压。
这时，如图10所示，压印模24的凸部31，31…及凸部32，32…被按压入树脂层63，使构成树脂层63的树脂材料变形。这时，如图10所示，由于外侧区域27及内侧区域28上形成凸部32，故加压机构22产生的压力分散到树脂层63的凹凸图案形成区域64、外圆周部分65、及内圆周部分66(均参照图11)。因此，大致一定的压力加在凹凸图案形成区域64的整个区域上。然后，控制单元23在对加压机构22输出指示停止加压的控制信号，同时还向加热台21及加压机构22输出指示停止加热的控制信号。据此，加热台21就停止加热，加压机构22就停止加压与加热。然后将树脂层63、盘片状基材61及压印模24放置，直到其温度低于35℃。在这种情况下，也可以采用设置冷却机构强制使温度降低的方法。然后，将压印模24从树脂层63中脱出。通过这样，如图11所示，在树脂层63的凹凸图案形成区域64上转印凸部31的形状，形成凹凸图案，同时在树脂层63的内圆周部分66及外圆周部分65上也转印凸部32的形状，形成凹凸图案。这时，由于在加压时大致一定的压力加在凹凸图案形成区域64的整个区域上，故如同一图所示，在树脂层63的凹凸图案形成区域64上形成深度大致均匀的凹部(高度大致均匀的凸部)。又因压力未集中在凹凸图案形成区域64的外圆周部分64b及内圆周部分64c上，故能确实地防止外圆周部分64b及内圆周部分64c上凹凸图案变形或压印模24脱开时凹凸图案的剥落。
还有，用扫描电子显微镜观察采用压印模24按照所述凹凸图案形成方法形成的凹凸图案。又用电子扫描显微镜观察在和该凹凸图案形成方法同样的条件下未在外侧区域及内侧区域形成凸部的压印模(上述现有的压印模41)形成的凹凸图案。结果表明，在采用压印模24形成的凹凸图案中，能在凹凸图案形成区域64上形成深度大致均匀的凹部(高度大致均一的凸部)。另外，未能发现在凹凸图案形成区域64的外圆周部分64b及内圆周部分64c上凹凸图案的变形或剥落。另外，在采用压印模41形成的凹凸图案中，凹凸图案形成区域的外圆周部分及内圆周部分形成的凹部比中央部的凹部深。另外，确认在凹凸图案形成区域的外圆周部分及内圆周部分上有凹凸图案的变形及剥落。从以上的结果可知，通过在压印模24的外侧区域27及内侧区域28形成凸部32，从而能形成凹部深度大致均匀、并且无变形或剥落的凹凸图案。
以下，对采用在树脂层63上形成的凹凸图案、在盘片状基材61(磁性层72)上形成磁道读出磁道4而制造磁记录媒体3的工序进行说明。
首先，利用氧等离子处理除去树脂层63上残留于凹凸图案的凹部中的树脂材料。接着，将凹凸图案(凸部)作为掩模使用，利用腐蚀金属用的气体进行腐蚀处理。这时，如图12所示，除去凹凸图案的凹部底面部分的金属层73。接着，将残留的金属层73作为掩模用，采用磁性体用的气体进行腐蚀处理。由此，如图13所示，削低除去磁性层72上金属层73后的部位。然后，通过采用腐蚀金属用气体进行腐蚀处理，除去残留的金属图案。由此，如图14所示，在磁性层72(盘片状基材61)的环形磁道形成区域(本发明的环形区域)62上形成和压印模24上凸部31的排列间距相同间距的沟槽，利用这些沟槽形成互相分离的磁性层72即盘片读出磁道4。同时在相对磁性层72(盘片状基材61)上磁道形成区域62位于其外侧位置的外圆周部65(本发明的外侧区域)及相对磁道形成区域62位于其内侧位置的内圆周部分66分别形成和压印模24的凸部32排列间距相同间距的沟槽，利用所述的沟槽形成互相分离的磁性层72，即非数据记录用图案5。然后，进行表面精加工处理。该表面精加工处理首先例如在将氧化硅充填入沟槽中后用CMP(化学机械抛光)装置将表面整平。然后在整平后的表面上例如用DLC(Diamond Like Carbon类金刚石的碳)形成保护膜，最后涂上润滑剂。通过这样，如图15所示，完成磁记录媒体3。这时，因树脂层63的凹凸图案凹部深度(凸部的高度)为大致均匀，所以也能大致均匀地形成分离磁道4的高度(分离磁道的沟槽的深度)。又因在凹凸图案形成区域64的外圆周部分64b及内圆周部分64c上没有变形或剥落产生，故能形成无变形或无脱落的分离磁道4。因而能造出无记录错误的良好的磁记录媒体3。
这样，根据该凹凸图案形成方法及压印模24，通过在相对环形区域26分别位于其外侧及内侧位置的外侧区域27及内侧区域28形成凸部32，从而在将压印模24按压树脂层63时，因能使该压力分散到树脂层63的凹凸图案形成区域64、外圆周部分65及内圆周部分66，所以能把大致一定的压力加在树脂层63的凹凸图案形成区域64的整个区域，最终在凹凸图案形成区域64上形成深度大致均匀的凹部(高度大致均匀的凸部)。又因能确实地防止压力相对集中于凹凸图案形成区域64的外圆周部分64b及内圆周部分64c，故能确实地防止外圆周部分64b及内圆周部分64c上凹凸图案的变形或剥落。
根据该凹凸图案形成方法及压印模24，由于通过在外侧区域27及内侧区域28两个区域上都形成凸部32，从而能使按压树脂层63时所加的压力分散到外圆周部分65及内圆周部分66两部分上，所以与用外侧区域27及内侧区域28中只有一个区域形成凸部32的压印模的方法相比，能更加进一步均匀地将压力加在凹凸图案形成区域64上，结果，能使凹部深度更加均匀。
再有，根据该凹凸图案形成方法及压印模24，通过以和凸部31相同形状并相同间距来形成凸部32，在形成用于形成凸部31，32的凹凸图案时，例如能利用电子束刻蚀装置按照同一条件连续在树脂层25a上画图案。因此，能缩短制作压印模24所需时间，故能降低压印模24的制作成本。
另外，该磁记录媒体3采用根据上述凹凸图案形成方法在树脂层63上形成的凹凸图案来形成分离磁道4，其结果，分离磁道4即使在位于凹凸图案形成区域64的外圆周部分64b及内圆周部分64c的部位也不会产生变形或剥落，在整个凹凸图案形成区域64上大致均匀地形成其高度(分离磁道的沟槽深度)。因此，根据该磁记录媒体3，能确实地防止记录时记录错误的发生。
还有，本发明不限于上述构成。例如虽然对采用外侧区域27及内侧区域28的两个区域都形成凸部32的压印模24的构成示例进行了说明，但是也能采用仅在外侧区域27及内侧区域28中任何一个区域上形成凸部32的压印模。
另外，虽然以上对在整个外侧区域27及整个内侧区域28形成凸部32的构成示例进行了说明，但也可以如图16所示，例如采用在环形区域26的外圆周一侧(或内圆周一侧)的边缘设置仅规定宽度不形成凸部32的压印模81。尽管是这一构成，在将压印模81按压树脂层63时，因能使压力分散到树脂层63的凹凸图案形成区域64，外圆周部分65及内圆周部分66，故能形成凹部的深度大致均匀的凹凸图案。又因形成凸部32的面积减少，所以在制作压印模81时，能减少相应这部份的加工面积。因此，能降低压印模81的加工成本，其结果也能降低磁记录媒体3的制造成本。
再有，以上以将凸部31，31…同心圆状形成于环形区域26的压印模24为例进行说明，但本发明也适用于将凸部形成螺旋形的压印模。这时，不仅能在外侧区域27及内侧区域28中任何一个区域或两个区域上形成同心圆的凸部32，还能在外侧区域27及内侧区域28中任何一个区域或两个区域上形成螺旋形的凸部取代同心圆的凸部32。另外，还可以在外侧区域27及内侧区域28中任何一个区域形成该螺旋形凸部，而在另一区域形成同心圆形的凸部。此外，虽对以和凸部31相同形状在外侧区域27及内侧区域28上形成相同间距的凸部32的例子进行了说明，但本发明不限于此，也能形成其它形状的凸部。又能以不同于凸部31的间距形成凸部32。这时，也能例如在外侧区域27或内侧区域28形成越是靠近外侧其宽度越宽的凸部。
权利要求
1.一种形成凹凸图案用压印模，其特征在于，通过按压基材表面的树脂层，在其表面规定的环形区域形成能在该树脂层上形成凹凸图案的形成凹凸图案用凸部，并且在相对所述环形区域位于其外侧位置的外侧区域及相对该环形区域位于其内侧位置的内侧区域中至少一个区域上形成能将按压所述树脂层时的压力分散的分散压力用凸部。
2.如权力要求1所述的形成凹凸图案用压印模，其特征在于，所述分散压力用凸部形成于所述外侧区域及所述内侧区域的两个区域。
3.如权力要求1所述的形成凹凸图案用压印模，其特征在于，所述分散压力用凸部做成和所述形成凹凸图案用凸部相同形状或大致相同形状。
4.如权力要求1所述的形成凹凸图案用压印模，其特征在于，所述分散压力用凸部形成于离所述环形区域仅隔开规定宽度的位置。
5.一种凹凸图案形成方法，其特征在于，在基材表面形成树脂层，将在其表面规定的环形区域形成用于形成凹凸图案的凸部、同时在相对该环形区域位于其外侧位置的外侧区域及相对该环形区域位于其内侧位置的内侧区域中至少一个区域上形成分散压力用凸部的形成凹凸图案用压印模按压所述树脂层，从而在该树脂层上形成由所述形成凹凸图案用凸部形成的凹凸图案。
6.一种磁记录媒体，其特征在于，将在其表面规定的环形区域形成用于形成凹凸图案的凸部、同时还在相对该环形区域位于其外侧位置的外侧区域及相对该环形区域位于其内侧位置的内侧区域中至少一个区域上形成分散压力用凸部的形成凹凸图案用压印模进行按压，从而在基材表面的树脂层上利用由所述形成凹凸图案用凸部形成的凹凸图案形成数据记录用磁道。
7.一种磁记录媒体，其特征在于，在表面的规定宽度的环形区域内形成数据记录用磁道，同时还在相对所述环形区域位于其外侧位置的外侧区域及相对该环形区域位于其内侧的内侧区域中至少一个区域上形成非数据记录用的图案。
全文摘要
本发明提供一种能使凹凸图案的凹部深度均匀、并且能防止凹凸图案变形或剥落的形成凹凸图案用压印模。形成凹凸图案用压印模24通过按压基材表面的树脂层，在其表面的环形区域26上形成能在树脂层上形成凹凸图案的形成凹凸图案用的凸部31，并在相对环形区域26位于其外侧位置的外侧区域27及相对环形区域26位于其内侧位置的内侧区域28中至少一个区域上形成能将按压树脂层时的压力分散的分散压力用凸部32。
文档编号C03C17/00GK1591588SQ20041006854
公开日2005年3月9日 申请日期2004年8月26日 优先权日2003年8月26日
发明者藤田实, 高井充 申请人:Tdk股份有限公司