专利名称：在微波、臭氧环境下ito玻璃的处理方法与装置的制作方法
技术领域：
本发明属于半导体器件制造技术领域，具体涉及一种在微 波、臭氧环境下IT0玻璃的处理方法与装置。
背景技术：
ITO ( Indium—Tin—0xide，铟锡氧化物的简称)膜透明 导电玻璃，具有低电阻率、高可见光率和高红外光反射率等优 良特性，已经被广泛应用于固态平板显示器件。应用于彩色显 示器的有机发光器件(0LED)具有优秀的图象质量，特别是在 亮度以及对比度等方面。近十年来，对OLED的研究得到广泛 的关注，对未来的图象显示技术带来无法估量的冲击。
IT0的带隙较宽，因而IT0薄膜对可见光和近红外光具有 很高的透过率。IT0高的透过率和电导率使之在有机太阳能电 池中也有的重要的应用。但是，由于IT0属于非化学计量化合 物，喷涂法、真空蒸发、化学气相淀积、反映离子注入以及磁 控溅射等沉积方法、沉积条件，以及表面处理方法，都将影响
IT0薄膜的性能，导致IT0表面功函数在4 _ 5 eV之间变化。 所以想要改善0LED的性能，需要对IT0的表面进行处理，使 之适应有机物薄膜。
目前对IT0玻璃进行表面处理主要用两种方法，紫外臭氧 处理和等离子体处理。其中等离子体处理是在真空系统中通入 不同的混合气体，并在金属电极上加射频电压将气体电离，形 成等离子体，以非常快的速度轰击IT0基片。为了形成较均匀 的电场，电极采用金属栅网结构。等离子体的作用通常是改变 表面粗糙度和提高功函数。研究发现，等离子作用对表面粗糙 度的影响不大，但对功函数的影响却较大。紫外臭氧处理主要 是利用短波紫外线使环境中的氧气变成臭軋利用臭氧的清洁 作用来清除ITO玻璃表面的杂质，在表面形成了一层富氧层， 并且通过紫外线直接对有机物作用使有机物分解。这两种方法 相比，等离子体处理价格昂贵，而且设备复杂。而紫外臭氧处 理方法设备简单，价格低廉，适于广大科研机构试用。
发明内容
本发明的目的在于提供一种搭建简单，价格低廉，使用方 便的IT0玻璃表面处理方法与装置，其可以利用微波产生臭 氧，来达到清洁IT0玻璃表面，提高玻璃表面含氧量的目的。 为研究性能优良的有机半导体器件打好基础。
本发明一种在微波、臭氧环境下IT0玻璃的处理方法，其 特征在于，包括如下步骤 步骤1 :取 一 微波炉；
步骤2:将样品放置在微波炉的炉体内；
步骤3 :在微波炉的炉体内置放 一 玻璃真空灯管架；
步骤4:将内含稀薄汞蒸气的石英管放在玻璃真空灯管架
上；
步骤5:启动微波炉，对内含稀薄汞蒸气的石英管微波加热。
其中的玻璃真空灯管架摆放在微波炉的炉体中央位置。 其中在微波环境下，内含稀薄汞蒸气的石英管可发出波长
为1 8 5 nm的紫外光。
其中样品放置在炉体内的侧壁处，避免微波直接照射到样 品表面。
其中内含稀薄汞蒸气石英管的长度为1 5 cm，直径为l
cm o
本发明一种在微波、臭氧环境下ITO玻璃的处理装置，其
特征在于，包括 一微波炉；
一样品，该样品放置在微波炉内；
一玻璃真空灯管架，该玻璃真空灯管架置放于微波炉内；
多个汞蒸气石英管，该多个汞蒸气石英管放在玻璃真空灯 管架上。
其中的玻璃真空灯管架摆放在微波炉的炉体中央位置。 其中在微波环境下，内含稀薄汞蒸气的石英管可发出波长
为1 8 5 nm的紫外光。
其中样品摆放在微波炉的炉体内的侧壁处，避免微波直接 照射到样品表面。
其中内含稀薄汞蒸气石英管的长度为1 5 cm，直径为1
cm o
为进一步说明本发明的内容及特点，以下结合附图及实例 对本发明作 一 详细的描述。
图1是本发明装置结构示意图2是未处理的IT0玻璃所制备器件的电流-电压图和电 压-亮度图3是处理后的IT0玻璃做制备器件的电流-电压图和电 压-亮度图。
具体实施例方式
请参阅图l所示，本发明一种在微波、臭氧环境下IT0 玻璃的处理方法，其特征在于，包括如下步骤 步骤1 :取 一 微波炉1 1 ;
步骤2 :将样品1 2放置在微波炉1 1的炉体内，该样品
1 2放置在炉体内的侧壁处，避免微波直接照射到样品1 2表 面；
步骤3:在微波炉11的炉体内置放一玻璃真空灯管架2
2 ，该玻璃真空灯管架2 2摆放在微波炉1 1的炉体中央位 置；
步骤4:将内含稀薄汞蒸气的石英管3 3放在玻璃真空灯 管架2 2上，该内含稀薄汞蒸气的石英管3 3在微波环境下， 可发出波长为l 8 5nm的紫外光，该内含稀薄汞蒸气石英管
3 3的长度为1 5 cm，直径为1 cm;
步骤5:启动微波炉l 1，对内含稀薄汞蒸气的石英管3 3微波加热。
请再参阅图1所示，本发明 一 种在微波、臭氧环境下IT0 玻璃的处理装置，其特征在于，包括
一微波炉11;
一样品1 2 ，该样品1 2放置在微波炉1 1内，该样品1 2摆放在微波炉1 1的炉体内的侧壁处，避免微波直接照射到 样品表面；
一玻璃真空灯管架2 2，该玻璃真空灯管架2 2置放于微
波炉1 1内，该玻璃真空灯管架2 2摆放在微波炉1 1的炉体
中央位置；
多个汞蒸气石英管3 3，该多个汞蒸气石英管3 3放在玻 璃真空灯管架2 2上，该内含稀薄汞蒸气的石英管3 3，在微 波环境下可发出波长为l 8 5nm的紫外光，该内含稀薄汞蒸 气石英管3 3的长度为1 5 cm，直径为1 cm。
本发明涉及的在微波、臭氧环境下ITO玻璃的处理装置， 主要由设备包括微波炉l l一台，玻璃真空灯管架2 2 — 个，汞蒸气石英管3 3三根组成。微波炉的功率可调，可以对 汞蒸气石英管3 3提供不同功率的微波，可以使汞蒸气石英管 3 3发出不同强度的紫外光，从而对需要处理的样品产生不同 的处理效果。汞蒸气石英管3 3的大小首先长度要能放入微波 炉1 1内，直径大概为1 cm。玻璃真空灯管架2 2为放置汞蒸 气石英管3 3而设计，尺寸为长度1 0 cm，高度1 0 cm，宽度
1 0 cm。在玻璃真空灯管架2 2上的平行的两条边上，设计3 个凹陷的小槽。主要为放置汞蒸气石英管3 3时固定汞蒸气石 英管3 3所用。
本发明的工作过程是，首先把样品放置在微波炉1 1发射 微波一侧的侧壁中间处，ITO玻璃样品尽量立起，平行与侧壁 放置，尽量紧贴微波炉1 1的侧壁。然后放入玻璃真空灯管架
2 2 ，放置位置在微波炉1 1炉腔的中央。然后在玻璃真空灯 管架2 2上放置三根汞蒸气石英管3 3。关好炉门。开启微波
炉l 1，使微波炉l l工作，产生微波，利用微波使汞蒸气石
英管3 3发出波长为18 5nm的紫外光，18 5nm的紫外光 可以是环境中的氧气分解然后生成臭氧。在微波加热的条件 下，利用臭氧对样品进行处理。处理时间可以选择，处理结束 后，关闭微波炉1 1 。
处理实例
利用热蒸发方法制备有机发光二极管，器件结构为 IT0/CuPc 5 nm/NPB 4 5 nm/Alq36 Onm/Mg:Ag 5 0 nm/Ag
1 0 0 nm， 2各样品唯一不同之处在于一个样品的生长前工TO 玻璃利用本系统处理过5分钟，另 一 个没有处理，结果如图
2 ，图3所示。
从对比中可以看出，在器件结构和其它工艺条件不变的条 件下，微波紫外灯处理效果明显，有效提高了有机发光二极管 的亮度。
一种在微波、臭氧环境下IT0玻璃的处理装置，装置包 括微波炉1 1 一台，玻璃真空灯管架2 2 —个，玻璃真空灯 管架2 2长度为1 0 cm，宽度1 Q cm，高度1 0 cm。汞蒸气石 英管3 3三只，汞蒸气石英管3 3长度为1 5 cm直径为1 ciik
玻璃真空灯管架2 2摆放在微波炉1 1炉腔中央位置，上 面放置汞蒸气石英管3 3 。样品摆放在炉体右侧内壁处，避免 微波直接照射到样品表面。
在微波环境下，汞蒸气石英管3 3可发出波长为1 8 5nm 的紫外光。
通过微波炉工作时产生的微波，使汞蒸气石英管3 3发出 波长为l 8 5nm的紫外光，紫外光使环境中的氧气变成臭 氧，来达到清洁IT0玻璃表面，提高IT0薄膜含氧量的目的。
权利要求
1、一种在微波、臭氧环境下ITO玻璃的处理方法，其特征在于，包括如下步骤步骤1取一微波炉；步骤2将样品放置在微波炉的炉体内；步骤3在微波炉的炉体内置放一玻璃真空灯管架；步骤4将内含稀薄汞蒸气的石英管放在玻璃真空灯管架上；步骤5启动微波炉，对内含稀薄汞蒸气的石英管微波加热。
2 、根据权利要求1所述的在微波、臭氧环境下IT0玻璃 的处理方法，其特征在于，其中的玻璃真空灯管架摆放在微波 炉的炉体中央位置。
3 、根据权利要求1所述的在微波、臭氧环境下IT0玻璃 的处理方法，其特征在于，其中在微波环境下，内含稀薄汞蒸 气的石英管可发出波长为l 8 5nm的紫外光。
4 、根据权利要求1所述的在微波、臭氧环境下IT0玻璃 的处理方法，其特征在于，其中样品放置在炉体内的侧壁处， 避免微波直接照射到样品表面。
5 、根据权利要求1所述的在微波、臭氧环境下IT0玻璃 的处理方法，其特征在于，其中内含稀薄汞蒸气石英管的长度为1 5 cm， 直径为1 cm。
6、 一种在微波、臭氧环境下ITO玻璃的处理装置，其特 征在于，包括一微波炉；一样品，该样品放置在微波炉内；一玻璃真空灯管架，该玻璃真空灯管架置放于微波炉内；多个汞蒸气石英管，该多个汞蒸气石英管放在玻璃真空灯 管架上。
7 、根据权利要求6所述的在微波、臭氧环境下IT0玻璃 的处理装置，其特征在于，其中的玻璃真空灯管架摆放在微波 炉的炉体中央位置。
8 、根据权利要求6所述的在微波、臭氧环境下IT0玻璃 的处理装置，其特征在于，其中在微波环境下，内含稀薄汞蒸 气的石英管可发出波长为l 8 5nm的紫外光。
9 、根据权利要求6所述的在微波、臭氧环境下IT0玻璃 的处理装置，其特征在于，其中样品摆放在微波炉的炉体内的 侧壁处，避免微波直接照射到样品表面。
10、根据权利要求6所述的在微波、臭氧环境下IT0 玻璃的处理装置，其特征在于，其中内含稀薄汞蒸气石英管的 长度为1 5 cm， 直《5为1 cm
全文摘要
一种在微波、臭氧环境下ITO玻璃的处理方法，其特征在于，包括如下步骤步骤1取一微波炉；步骤2将样品放置在微波炉的炉体内；步骤3在微波炉的炉体内置放一玻璃真空灯管架；步骤4将内含稀薄汞蒸气的石英管放在玻璃真空灯管架上；步骤5启动微波炉，对内含稀薄汞蒸气的石英管微波加热。
文档编号C03C17/23GK101113079SQ20061008895
公开日2008年1月30日 申请日期2006年7月27日 优先权日2006年7月27日
发明者曹国华, 曹峻松, 曾一平, 李晋闵, 秦大山 申请人:中国科学院半导体研究所