钼组透紫外线玻璃的组分和应用的制作方法

文档序号:1939358阅读:486来源:国知局

专利名称::钼组透紫外线玻璃的组分和应用的制作方法
技术领域
:本发明涉及一种钼组透紫外线玻璃的组分和应用,属于电真空玻璃。
背景技术
:我国早在上世纪70年代初期就有厂家生产透紫外线玻璃,但气线、条纹、砂点很多,抗水化学稳定性低,在玻璃厚度为lmm时,波长为253.7nm处的紫外线透过率仅有60%70%,而且紫外曝光透过率衰减大,抗水化学稳定性较差,直至目前基本状况都没有多大改观,总体质量尚达不到制造高端真空器件如光电倍增管等的要求。
发明内容为克服现有技术中的缺陷,本发明提供了一种新的应用在短波段的钼组透紫外线玻璃组分,使得在波长为253.7nm处的紫外线透过率、紫外曝光透过率以及抗水化学稳定性都明显得到了提高。具体的说,本发明涉及一种钼组透紫外线玻璃,包含如下组分(按氧化物计的重量百分比)SiCh为62%65%,A1203为3%~5%,B203为22%24%,Na20为5%~7%,Li20为0.1%~1%,ZnO为0.1%~1%。本发明在保证透过率和膨胀系数及工艺性能满足要求的前提下,玻璃组分中引入了少量Li20和ZnO,用其填充玻璃网络间隙,强化玻璃结构,堵塞离子迁移通道,以提高抗水化学稳定性和抗紫外曝光透过率衰减性能,同时引入的Li20也起到助熔作用,改善了工艺性能。而且在成分设计时相应提高了A1203的含量,这样既有助于强化玻璃结构也有助于提高抗水化学稳定性和抗紫外曝光透过率衰减性能。另外,本发明提高了膨胀系数在50x10—V'C左右的钼组透紫外线玻璃的抗水化学稳定性。本钼组透紫外线玻璃可直接和金属钼或可伐合金封接,在波长为253.7nm处的紫外线透过率大于等于85%。该玻璃适用于光电管、光电倍增管的管壳或光窗材料。具体实施例方式根据本发明的一种钼组透紫外线玻璃,其主要组分的重量百分比为8102为62%~65%,A1203为3%~5%,8203为22%~24%,Na2。为50/。7。/0,1^20为0.1%~1%,ZnO为0.1。/。10/0。由于紫外线透过率受材料的纯度影响很大,任何缺陷和杂质都严重损害材料的紫外线透过率,所以使用材料的纯度级别至少应为优纯级,并且在配料和加料工艺中使用塑料或不锈钢材质的工具,这样在玻璃生产过程中产生的杂质K20和Fe203可控制在极少的含量内,其重量百分比均控制在0.02%以下。为了不影响透紫外线玻璃的透过率,其所有杂质的重量百分比总和不应超过0.03%。本发明具体实施例如下表一(实施例1至实施例3)为本发明提供玻璃组分的具体实施例。3表一<table>tableseeoriginaldocumentpage4</column></row><table>表二为表一中3个实施例对应的物化性能指标表二实施例物化性能指标<table>tableseeoriginaldocumentpage4</column></row><table>表三为表一中3个实施例对应的紫外曝光透过率指标,该指标是将厚度为1mm的透紫外线玻璃片置于距500W紫外灯20cm的位置处进行照射,在玻璃片的同一位置处测试波长为253.7nm处的紫外线透过率。表三紫外曝光透妇〔率<table>tableseeoriginaldocumentpage4</column></row><table>表四为表一的对照表,它为不同于本发明的钼组透紫外线玻璃组分。200810225058.0说明书第3/3页表四比较例表五为表<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>g比较例的物化性能指标表五比较例物化性能指标<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>表六为表四比较例的紫外曝光透过率指标,该指标的测试与表三所用方法完全一致。表六比较例的紫外曝光透过率<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>与比较例相比可以发现,本发明在波长为253.7nm处的紫外线透过率大于85%,由于本发明引入了一定量的氧化锂(Li20)和氧化锌(ZnO),玻璃的抗水化学稳定性明显提高,同时紫外曝光透过率性能也明显提高。表一和表四的玻璃样品,均是以如下方法制造各组分成分取同一厂家同一批次的原料,依对应的重量百分比均匀混合,经石英坩埚熔制后吹制成玻壳,退火,成品入库。表二和表五涉及玻璃的物化性能指标,均是在相同条件下测试,具体依据的测试方法为膨胀系数GB/T16920-1997《玻璃平均线热膨胀系数的测定》。紫外线透过率GB/T7962.12-1987《无色光学玻璃测试方法光谱内透过率测试方法》。抗水化学稳定性GB/T6582-1997《玻璃在98'C耐水性的颗粒试验方法和分级》。软化温度SJ/T11038-96《电子玻璃软化点的测试方法》。热稳定性GB/T15727-1995《实验室仪器玻璃热冲击试验方法(棒状法)》。权利要求1.一种钼组透紫外线玻璃,其特征是包含按重量百分比计的组分SiO2为62%~65%,Al2O3为3%~5%,B2O3为22%~24%,Na2O为5%~7%,Li2O为0.1%~1%,ZnO为0.1%~1%。2.如权利要求1所述的钼组透紫外线玻璃,其特征是紫外线透过率在85%以上。3.如权利要求l所述的钼组透紫外线玻璃,其特征是抗水化学稳定性达到IV级。4.如权利要求1所述的钼组透紫外线玻璃,其特征是其组分中所含杂质的重量百分比总和不超过0.03%。5.如权利要求1或2所述的钼组透紫外线玻璃,其特征是杂质K20和Fe203的重量百分比均控制在0.02%以下。6.如权利要求1或2所述的钼组透紫外线玻璃,其特征是使用的原料纯度至少为优级纯。7.如权利要求1或2所述的钼组透紫外线玻璃,其特征是可直接与金属钼封接。8.如权利要求1或2所述的钼组透紫外线玻璃,其特征是可直接与可伐合金封接。9.如权利要求1或2所述的钼组透紫外线玻璃,其特征是在制造光电倍增管中应用。10.如权利要求1或2所述的钼组透紫外线玻璃,其特征是在制造光电管中应用。全文摘要本发明涉及一种钼组透紫外线玻璃的组分和应用,包含如下组分(按氧化物计的重量百分比)SiO<sub>2</sub>为62%~65%,Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>为3%~5%,B<sub>2</sub>O<sub>3</sub>为22%~24%,Na<sub>2</sub>O为5%~7%,Li<sub>2</sub>O为0.1%~1%,ZnO为0.1%~1%。该玻璃具有与金属钼或可伐合金相近的膨胀系数,属于电真空玻璃。该玻璃适用于光电管、光电倍增管的管壳或光窗材料。文档编号C03C3/093GK101381203SQ200810225058公开日2009年3月11日申请日期2008年10月27日优先权日2008年10月27日发明者王英敏申请人:北京滨松光子技术股份有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1