专利名称：吸附装置的制作方法
技术领域：
本发明是关于一种吸附装置；特别是关于一种用以吸附一基板的吸附装置。
背景技术：
随着科技的发展以及半导体制造的进步，平面显示面板已经在日常生活中具有举 足轻重的角色，举凡用以欣赏影音节目的平面电视，又或者是手机及相机中所搭载的小尺 寸液晶屏幕(LCD)，都隶属于平面显示面板的产品类别。于液晶面板的制造步骤中，多会先制作大尺寸的基板，并根据不同的客户需求依 据不同面板尺寸，进行液晶屏幕单元母板OXD cell mother board)的制造并分割为独立 的液晶屏幕单元，以制造液晶屏幕。详细而言，面板单元切割(Cell cut)步骤是进行于面板单元组立 (Cellassembly)步骤之后。面板单元组立为将具有彩色滤光片(Color Filter)的A面玻璃 与具有液晶单元(LCD Cell)的B面玻璃进行上下对位组合，从而形成液晶屏幕单元母板。 面板单元切割步骤则是切割该液晶屏幕单元母板，以符合特定尺寸液晶屏幕的规格。由于A 面玻璃与B面玻璃间存在有IC搭载区或其它端子线路区，因此当进行面板切割步骤时，需 先完成A面玻璃的切割，继而翻转该面板基板，接续切割B面玻璃，或依相反顺序切割，才能 形成特定尺寸的面板单元，并确保IC搭载区或其它端子线路区不受伤害。公知技术于进行液晶屏幕单元母板切割步骤时，必需使用公知吸盘以进行翻转并 移动液晶屏幕单元母板等等步骤。然因公知吸盘的吸附力是以集中于玻璃基板的一点，容 易造成应力集中，并且使用公知吸盘吸附大型基板时，亦容易发生各点吸盘移动不一致或 移动速度过快，造成基板破裂。囿于上述公知吸盘的限制，目前进行大尺寸的基板切割步骤 时，多事先将大尺寸基板，例如液晶屏幕单元母板，进行四等分切割为四尺寸较小的基板， 或切割为更多尺寸更小的基板，再以人工方式小心进行面板基板的翻转及移动等步骤。然 而上述制造，随着面板基板尺寸的加大以及日渐薄化的基板厚度，已经造成人工成本过高、 生产效率低落以及制造良率偏低等等问题。有鉴于此，提供一种可以稳固吸附大尺寸基板的吸附装置，乃为此一业界亟待解 决的问题。
发明内容
本发明的一目的在于提供一种吸附装置，其可以吸附一大尺寸基板，并且无损伤、 高效率地完成运输及翻转该基板等动作，避免该面板基板破裂，俾提高生产良率、节省人工 成本、并提高生产效率。为达上述目的，吸附装置具有一吸附本体及一气压控制装置。吸附本体包含一平 面及多个孔洞。平面具有一分布范围，并适以与一基板接触。该些孔洞是形成于平面上并 实质上平均分布于平面的分布范围内。气压控制装置是依控制气动连接一低气压源及该些 孔洞，使与平面接触的基板与吸附本体相互稳固。当基板与平面接触并且气压控制装置气动连接该些孔洞与低气压源时，基板与吸附本体相互稳固。藉此，本发明的吸附装置适以避 免应力集中地吸附基板，以利后续自动化基板翻转及基板运输等制造。
为让上述目的、技术特征、和优点能更明显易懂，下文是以较佳实施例配合附图进 行详细说明。
图1为本发明吸附装置的立体图；以及图2为本发明吸附本体的仰视图。符号说明10吸附装置20吸附本体22平面24孔洞26分布范围261第一区262第二区263第三区264第四区加5第五区加6第六区W沟槽30气压控制装置40缓冲装置50支撑结构
具体实施例方式如图1所示，其为本发明的一吸附装置10的立体图。其中吸附装置10适以连接 一低气压源(图未示)，且用以吸附一基板(图未示)。吸附装置10包含一吸附本体20及 一气压控制装置30。请同时参阅图2，吸附本体20包含一平面22及多个孔洞M。平面22 具有一分布范围26，并且平面22适以与基板接触。孔洞M是形成于平面22上，并实质上 平均分布于平面22的分布范围沈内。气压控制装置30依控制气动连接低气压源与该些 孔洞对，使与平面22接触的基板与吸附本体20相互稳固。藉此，当基板与平面22接触并 且气压控制装置30连接该些孔洞M与低气压源时，基板适可与吸附本体20相互稳固而不 掉落。此时，吸附装置10通过实质上平均分布于平面22的分布范围沈内的孔洞M，施加 均勻分布的吸附力于基板的表面上，适可避免应力集中使基板不慎破裂，进一步使基板的 运输及翻转等制造能够机械自动化。需特别说明的是，于本实施例中，基板较佳为可分割并 制造成一液晶显示器的液晶显示器单元母板的一玻璃基板，且低压源较佳为一真空帮浦。于一较佳实施例中，吸附本体20的该些孔洞M可区分为多个群组，且气压控制装 置30相应地包含多个气压控制阀。该些气压控制阀是分别气动连接该些群组，并且各该气 压控制阀适以独立控制各该群组内的该些孔洞M分别与低气压源气动连接。于本发明的 实施例中，较佳地，该些气压控制阀较佳各是为一电磁阀，该些孔洞M较佳可区分为一第 一群组、一第二群组、一第三群组、一第四群组及一第五群组，共五群组。该些气压控制阀较 佳为五气压控制阀，以分别气动连接该五群组。如图2所示，平面22的分布范围沈是区分 为一第一区洸1、一第二区洸2、一第三区洸3、一第四区洸4、一第五区265及一第六区洸6。 第二区沈2、第三区263及第四区264是依序向外环绕第一区261设置，且第五区265及第 六区266是分别设置于第四区264的二相对侧。该些孔洞M的第一群组、第二群组、第三群4组及第四群组是分别实质上平均分布于第一区261内、第二区沈2内、第三区沈3内及第四 区沈4内，并且该些孔洞M的第五群组是实质上平均分布于第五区265及第六区沈6内。藉此，当平面22的分布范围沈与基板接触，并且气压控制装置30分别以该些气 压控制阀气动连接该些孔洞M与低气压源时，吸附本体20适可通过第一区沈1、第二区 沈2、第三区沈3、第四区沈4、第五区265及第六区266与基板相互稳固。如此设置的优点在 于，当上述第一区沈1、第二区沈2、第三区沈3、第四区沈4、第五区265及第六区沈6中有 任一区域，因为气压控制阀发生故障抑或因其它因素无法与基板密封而使低压外泄，造成 无法吸附基板时，其它区域依旧可通过正常运作的该些气压控制阀维持吸附基板的动作， 而不至于失去吸附力道，进而造成基板掉落及损坏基板。同时，该些孔洞M的设置也具有 分散吸附力道，避免吸附应力集中而对基板造成伤害的功效。此外，吸附本体20的平面22 更形成有多个沟槽观，设置于第一区沈1、第二区沈2、第三区沈3、第四区沈4、第五区265 及第六区洸6间。吸附装置10可还包含一缓冲装置40及一支撑结构50，缓冲装置40是设置于支撑 结构50及吸附本体20间。支撑结构50更连接其它机械化设备，以进行翻转及运输基板等 制造。通过缓冲装置40吸收于吸附本体20与基板瞬间触碰时所产生的一冲击力，避免对 基板造成伤害，提高生产良率。本发明的吸附装置10可广泛应用于一液晶屏幕单元母板切割制造中。例如于一 应用中，吸附装置10是设置于一基板翻转装置的一翻转部，并且当吸附装置10吸附并稳固 基板时，翻转部适可带动吸附装置10连同基板翻转。于另一应用中，吸附装置10是设置于 一基板运输装置，并且当吸附装置10吸附并稳固基板时，基板运输装置适以带动吸附装置 10连同基板，由一第一位置移动至一第二位置。综上所述，本发明的吸附装置10是透过气压控制装置30依控制气动连接低气压 源与该些孔洞对，使吸附本体20的接触区域沈适可吸附并稳固基板。由于气压控制装置 20的该些气压控制阀是独立控制各该群组内的孔洞24，因此即便有任一区域或任一气压 控制阀无法正常运作以吸附基板，亦不影响其它气压控制阀或区域的正常运作，从而大幅 增加吸附装置10稳固基板的可靠性，避免对基板产生伤害。再者，平均分布于平面22的分 布范围沈内的该些孔洞对，亦具有平均分散吸附力道，避免吸附应力过于集中而导致损伤 基板的功能，进而提高基板的生产良率。上述的实施例仅用来例举本发明的实施态样，以及阐释本发明的技术特征，并非 用来限制本发明的保护范畴。任何熟悉此技术者可轻易完成的改变或均等性的安排均属于 本发明所主张的范围，本发明的保护范围应根据权利要求所界定的内容为准。
权利要求
1.一种吸附装置，其特征在于，用以吸附一基板，并且适以连接一低气压源，该吸附装 置包含一吸附本体，包含一平面及多个孔洞，其中该平面具有一分布范围，并适以与该基板接 触，并且该些孔洞是形成于该平面上并实质上平均分布于该平面的该分布范围内；以及一气压控制装置，适以依控制气动连接该低气压源与该些孔洞，使与该平面接触的该 基板与该吸附本体相互稳固。
2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，该吸附本体的该些孔洞是区分为多 个群组，该气压控制装置相应地包含多个气压控制阀，该些气压控制阀是分别气动连接该 些群组，并且各该气压控制阀适以独立控制各该群组内的该些孔洞与该低气压源气动连 接。
3.根据权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，该些孔洞是区分为一第一群组、一第 二群组、一第三群组、一第四群组及一第五群组，并且该些气压控制阀是为五气压控制阀， 分别相应气动连接该些群组。
4.根据权利要求3所述的吸附装置，其特征在于，该平面的该分布范围是区分为一第 一区、一第二区、一第三区、一第四区、一第五区及一第六区，该第二区、该第三区及该第四 区是依序向外环绕该第一区设置，该第五区及该第六区是分别设置于该第四区的二相对 侧，该第一群组、该第二群组、该第三群组及该第四群组是分别实质上平均分布于该第一区 内、该第二区内、该第三区内及该第四区内，并且该第五群组是实质上平均分布于该第五区 及该第六区内。
5.根据权利要求4所述的吸附装置，其特征在于，还包含一缓冲装置及一支撑结构，并 且该缓冲装置是设置于该支撑结构与该吸附本体间，以吸收该吸附本体与该基板瞬间触碰 时所产生的一冲击力。
6.根据权利要求5所述的吸附装置，其特征在于，该吸附本体的该平面还形成有多个 沟槽，设置于该第一区、该第二区、该第三区、该第四区、该第五区及该第六区之间。
7.根据权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，该些气压控制阀各为一电磁阀。
8.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，该吸附装置是设置于一基板翻转装 置的一翻转部，并且该翻转部适可带动该吸附装置，连同与该吸附装置吸附并稳固的该基 板翻转。
9.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，该吸附装置是设置于一基板运输装 置，并且该基板运输装置适以带动该吸附装置，连同与该吸附装置吸附并稳固的该基板，由 一第一位置移动至一第二位置。
10.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，该低压源为一真空帮浦。
11.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，该基板为一液晶显示器的一玻璃基板。
全文摘要
本发明是关于一种吸附装置，连接一低气压源，并用以吸附一基板。吸附装置包含一吸附本体及一气压控制装置。吸附本体包含一平面及多个孔洞，其中平面具有一分布范围，并适以与基板接触。该些孔洞是形成于平面上并实质上平均分布于平面的分布范围内。气压控制装置依控制气动连接低气压源与该些孔洞。当基板与平面接触并且气压控制装置气动连接该些孔洞与低气压源时，基板与吸附本体相互稳固。
文档编号C03B33/03GK102050566SQ20091022442
公开日2011年5月11日 申请日期2009年11月20日 优先权日2009年10月30日
发明者孙立璇, 曾世明, 陈瑞玺 申请人:孙月卫