一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，通过将AL2O3与乙醚混合形成AL2O3溶液，将AL2O3溶液喷涂在安装在加工车床上的石英管，然后进行两次烧结后得透明的AL2O3石英管，最后将AL2O3石英管用多次成型车床，从而使AL2O3与石英管结合形成方石英晶层网，得成品。本发明可耐高温1280℃，还能提高使用寿命，降低扩散石英管成本。
【专利说明】一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种耐高温石英管的制造方法，特别是一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法。
【背景技术】
[0002]石英玻璃管是用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃，是一种非常优良的基础材料。石英玻璃具有一系列优良的物理、化学性能，其耐高温，耐腐蚀，热稳定性好，透光性好，电绝缘性好。由石英玻璃制成的石英管大致可分为透明石英管、滤紫外石英管以及彩色石英管等。其中，透明石英管在应用最为广泛。目前市场上，透明石英管在用于电子材料时，使用寿命在3个月左右，而且生产成本较高。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于，提供一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法。本发明可耐高温1280°C，还能提高使用寿命，降低扩散石英管成本。
[0004]本发明的技术方案:一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，其特征在于:通过将AL2O3与乙醚混合形成AL2O3溶液，将AL2O3溶液喷涂在安装在加工车床上的石英管，然后进行两次烧结后得透明的AL2O3石英管，最后将AL2O3石英管用多次成型车床，从而使AL2O3与石英管结合形成方石英晶层网，得成品。
[0005]前述的方石英晶层网耐高温石英管的制造方法中，具体按下述步骤进行:
[0006]①将AL2O3在滚磨装置中汽化成均匀粉末与乙醚混合，再采用滚动式磨床进行高度混合，形成AL2O3密度为60-62%的AL2O3溶液；
[0007]②将石英管用18兆高纯水冲洗，再用氮气饱和烘干，将石英管安装在加工车床上进行喷涂AL2O3溶液；
[0008]③再用温度为1800°C的氢氧火焰烧结两次后得透明的AL2O3石英管，最后将AL2O3石英管用3-8次成型车床使AL2O3熔合在石英管中，从而保证AL2O3与石英管结合形成方石英晶层网，得成品。
[0009]前述的方石英晶层网耐高温石英管的制造方法中，所述两次烧结依次为:
[0010]第一步烧结:烧干喷涂在石英管上的AL2O3溶液得喷涂层，喷涂层厚度为2um ；
[0011]第二步烧结:将喷涂层烧结至透明，透明度为95-99%。
[0012]前述的方石英晶层网耐高温石英管的制造方法中，所述乙醚的纯度为99.5%。
[0013]与现有技术相比，本发明通过将AL2O3溶液喷涂在石英管上，并依次进行多次烧结与多次成型车床，从而使AL2O3熔合在石英管中，保证AL2O3与石英管结合形成方石英晶层网(方石英晶体网)，使石英管可耐高温1280°C，符合VDMOS器件电路扩散要求，同时还大幅延长使用寿命，在原来基础3个月上延长一倍(即6个月)，还为生产厂家节约了 40-50%的扩散石英管成本，从而大大降低了生产成本。本发明工艺简单，操作便利。【具体实施方式】
[0014]下面结合实施例对本发明作进一步的说明，但并不作为对本发明限制的依据。
[0015]实施例1。一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，
[0016]具体按下述步骤进行:
[0017]①将八。03在滚磨装置中汽化成均匀粉末与乙醚混合，再采用滚动式磨床进行高度混合，形成八。03密度为60%的八。03溶液；
[0018]②将石英管用18兆高纯水冲洗，再用氮气饱和烘干，将石英管安装在加工车床上进行喷涂41203溶液；
[0019]③再用温度为18001的氢氧火焰烧结两次后得透明的八1203石英管，最后将八1203石英管用8次成型车床使八1203熔合在石英管中，从而保证八1203与石英管结合形成方石英晶层网，得成品；
[0020]所述两次烧结依次为:
[0021]第一步烧结:烧干喷涂在石英管上的八。03溶液得喷涂层，喷涂层厚度为；
[0022]第二步烧结:将喷涂层烧结至透明，透明度为95% ；
[0023]所述乙醚的纯度为99.5%。
[0024]实施例2。一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，
`[0025]具体按下述步骤进行:
[0026]①将八。03在滚磨装置中汽化成均匀粉末与乙醚混合，再采用滚动式磨床进行高度混合，形成八。03密度为62%的八。03溶液；
[0027]②将石英管用18兆高纯水冲洗，再用氮气饱和烘干，将石英管安装在加工车床上进行喷涂41203溶液；
[0028]③再用温度为18001的氢氧火焰烧结两次后得透明的从203石英管，最后将八1203石英管用3次成型车床使八1203熔合在石英管中，从而保证八1203与石英管结合形成方石英晶层网，得成品；
[0029]所述两次烧结依次为:
[0030]第一步烧结:烧干喷涂在石英管上的八。03溶液得喷涂层，喷涂层厚度为；
[0031]第二步烧结:将喷涂层烧结至透明，透明度为99% ；
[0032]所述乙醚的纯度为99.5%。
[0033]实施例3。一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，
[0034]具体按下述步骤进行:
[0035]①将八。03在滚磨装置中汽化成均匀粉末与乙醚混合，再采用滚动式磨床进行高度混合，形成八。03密度为61%的八。03溶液；
[0036]②将石英管用18兆高纯水冲洗，再用氮气饱和烘干，将石英管安装在加工车床上进行喷涂41203溶液；
[0037]③再用温度为18001的氢氧火焰烧结两次后得透明的从203石英管，最后将八1203石英管用5次成型车床使八1203熔合在石英管中，从而保证八1203与石英管结合形成方石英晶层网，得成品；
[0038]所述两次烧结依次为:
[0039]第一步烧结:烧干喷涂在石英管上的八。03溶液得喷涂层，喷涂层厚度为；[0040]第二步烧结:将喷涂层烧结至透明，透明度为97% ；
[0041]所述乙醚的纯度为99.5%。
【权利要求】
1.一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，其特征在于:通过将八。03与乙醚混合形成八1203溶液，将八1203溶液喷涂在安装在加工车床上的石英管，然后进行两次烧结后得透明的从203石英管，最后将从203石英管用多次成型车床，从而使从203与石英管结合形成方石英晶层网，得成品。
2.根据权利要求1所述的方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，其特征在于，具体按下述步骤进行: ①将八。03在滚磨装置中汽化成均匀粉末与乙醚混合，再采用滚动式磨床进行高度混合，形成从203密度为60-62%的从203溶液； ②将石英管用18兆高纯水冲洗，再用氮气饱和烘干，将石英管安装在加工车床上进行喷涂从203溶液； ③再用温度为18001的氢氧火焰烧结两次后得透明的八。03石英管，最后将八。03石英管用3-8次成型车床使八。03熔合在石英管中，从而保证八。03与石英管结合形成方石英晶层网，得成品。
3.根据权利要求2所述的方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，其特征在于，所述两次烧结依次为: 第一步烧结:烧干喷涂在石英管上的八。03溶液得喷涂层，喷涂层厚度为； 第二步烧结:将喷涂层烧 结至透明，透明度为95-99%。
4.根据权利要求1、2或3所述的方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，其特征在于:所述乙醚的纯度为99.5%。
【文档编号】C03C17/23GK103833232SQ201410007376
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2014年1月7日 优先权日:2014年1月7日
【发明者】张彩根 申请人:湖州东科电子石英有限公司