石英加热清洗槽内胆的制造方法
【专利摘要】一种石英加热清洗槽内胆的制造方法，其特殊之处是：将作为清洗槽内胆底板的石英玻璃板与石英玻璃棒放在高温炉中加热，温度为800℃－1200℃，加热1小时－2小时，取出；将加热后的石英玻璃板和石英玻璃棒分别放在二个石英夹具内并对正、靠近；采用喷灯将石英玻璃棒前端与石英玻璃板继续烧结，至开始熔化时对二个石英夹具施加相向力，使其对接，将两者熔为一体；将对接后的带有石英玻璃棒的石英玻璃板放入退火炉中高温退火；自然冷却后放在铣床上，在石英玻璃板内表面对应石英玻璃棒位置铣出多个通孔；将作为清洗槽内胆侧板的四块石英玻璃板与清洗槽内胆底板焊接成石英加热清洗槽内胆。有益效果是：通过烧结使两者一次成型熔为一体，连接处表面光滑平整，工序简单，无需使用石英玻璃焊条，节省原材料，能耗低，制造成本低。
【专利说明】石英加热清洗槽内胆的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种石英加热清洗槽内胆的制造方法。
【背景技术】
[0002]石英玻璃加热清洗槽应用于清洗半导体芯片，现有的清洗槽内胆是由槽体和排液口构成，所述槽体与排液口为分体结构，加工时采用石英玻璃焊条手工焊接而成。其存在的问题是:连接处粗糙，焊接过程上操作不当易爆裂；操作时间长，消耗石英玻璃焊条，原材料耗费大，能耗高。
【发明内容】
[0003]本发明是要解决现有技术存在的上述问题，提供一种石英加热清洗槽内胆的制造方法。
[0004]本发明的技术解决方案是:
一种石英加热清洗槽内胆的制造方法，其特殊之处是:
1、将作为清洗槽内胆底板的石英玻璃板与直径为20mm— 60mm且空心石英玻璃棒放在高温炉中加热，温度为800°C — 1200°C，加热I小时一 2小时，取出；
2、将加热后的石英玻璃板和石英玻璃棒分别放在二个石英夹具内，将二个石英夹具对正，使石英玻璃棒中心与石英玻璃板中心同心，靠近至石英玻璃棒前端与石英玻璃板相距15cm — 20cm ；
3、采用喷灯将火焰朝向石英玻璃棒前端与石英玻璃板的对接位置继续烧结，至石英玻璃棒前端与石英玻璃板的中心位置开始熔化，对二个石英夹具施加相向力，使石英玻璃棒和石英玻璃板对接，将两者熔为一体，然后撤掉喷灯火焰，拆除石英夹具；
4、将对接后的带有石英玻璃棒的石英玻璃板放入退火炉中高温退火，升温至1100°C—1200°C，恒温4小时一6小时，降温至150°C— 250°C，取出；
5、自然冷却后放在铣床上，在石英玻璃板内表面对应石英玻璃棒位置铣出多个通孔，其中一个孔为中心孔，其它孔以中心孔为中心沿圆周方向分布且斜置并与石英玻璃棒内腔相通；
6、将作为清洗槽内胆侧板的四块石英玻璃板与清洗槽内胆底板用石英玻璃焊条焊接成石英加热清洗槽内胆。
[0005]所述通孔为5个一12个。
[0006]本发明的有益效果是:通过对石英玻璃板与石英玻璃棒高温加热，然后用喷灯使其处于熔化的临界状态，再用石英夹具对接，通过烧结使两者一次成型熔为一体从而制成石英加热清洗槽内胆，连接处表面光滑平整，工序简单，无需使用石英玻璃焊条，节省原材料，能耗低，制造成本低。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]图1是本发明的清洗槽内胆底板与石英玻璃棒对接前状态示意图；
图2是本发明制得的清洗槽内胆示意图；
图3是图2的俯视图。
【具体实施方式】
[0008]实施例1
如图所示，该石英加热清洗槽内胆的制造方法，其步骤如下:
1、将作为清洗槽内胆底板的石英玻璃板与直径为20mm且空心石英玻璃棒放在高温炉中加热，温度为800°C，加热2小时，取出；
2、将加热后的石英玻璃板2和石英玻璃棒I分别放在二个石英夹具内，将二个石英夹具对正，使石英玻璃棒I中心与石英玻璃板2中心同心，靠近至石英玻璃棒I前端与石英玻璃板2相距15cm ；
3、采用喷灯将火焰朝向石英玻璃棒I前端与石英玻璃板2的对接位置继续烧结，至石英玻璃棒I前端与石英玻璃板2的中心位置开始熔化，对二个石英夹具施加相向力，使石英玻璃棒I和石英玻璃板2对接，将两者熔为一体，然后撤掉喷灯火焰，拆除石英夹具；
4、将对接后的带有石英玻璃棒的石英玻璃板放入退火炉中高温退火，升温至1100°C，恒温6小时，降温至150°C，取出；
5、自然冷却后放在铣床上，在石英玻璃板2内表面对应石英玻璃棒I位置铣出7个孔，其中一个孔为中心孔，其它孔以中心孔为中心沿圆周方向分布且斜置并与石英玻璃棒I内腔相通；
6、将作为清洗槽内胆侧板的四块石英玻璃板3与清洗槽内胆底板用石英玻璃焊条焊接成石英加热清洗槽内胆。
[0009]实施例2
该石英加热清洗槽内胆的制造方法，其步骤如下:
1、将作为清洗槽内胆底板的石英玻璃板与直径为60_且空心石英玻璃棒放在高温炉中加热，温度为1200°C，加热I小时，取出；
2、将加热后的石英玻璃板和石英玻璃棒分别放在二个石英夹具内，将二个石英夹具对正，使石英玻璃棒中心与石英玻璃板中心同心，靠近至石英玻璃棒前端与石英玻璃板相距20cm ；
3、采用喷灯将火焰朝向石英玻璃棒前端与石英玻璃板的对接位置继续烧结，至石英玻璃棒前端与石英玻璃板的中心位置开始熔化，对二个石英夹具施加相向力，使石英玻璃棒和石英玻璃板对接，将两者熔为一体，然后撤掉喷灯火焰，拆除夹具；
4、将对接后的带有石英玻璃棒的石英玻璃板放入退火炉中高温退火，升温至1200°C，恒温4小时，降温至250°C，取出；
5、自然冷却后放在铣床上，在石英玻璃板内表面对应石英玻璃棒位置铣出12个孔，其中一个孔为中心孔，其它孔以中心孔为中心沿圆周方向分布且斜置并与石英玻璃棒内腔相通；
6、将作为清洗槽内胆侧板的四块石英玻璃板与清洗槽内胆底板用石英玻璃焊条焊接成石英加热清洗槽内胆。
[0010] 实施例3
该石英加热清洗槽内胆的制造方法，其步骤如下:
1、将作为清洗槽内胆底板的石英玻璃板与直径为40mm且空心石英玻璃棒放在高温炉中加热，温度为1000°C，加热1.5小时，取出；
2、将加热后的石英玻璃板和石英玻璃棒分别放在二个石英夹具内，将二个石英夹具对正，使石英玻璃棒中心与石英玻璃板中心同心，靠近至石英玻璃棒前端与石英玻璃板相距18cm ；
3、采用喷灯将火焰朝向石英玻璃棒前端与石英玻璃板的对接位置继续烧结，至石英玻璃棒前端与石英玻璃板的中心位置开始熔化，对二个石英夹具施加相向力，使石英玻璃棒和石英玻璃板对接，将两者熔为一体，然后撤掉喷灯火焰，拆除夹具；
4、将对接后的带有石英玻璃棒的石英玻璃板放入退火炉中高温退火，升温至1150°C，恒温5小时，降温至200°C，取出；
5、自然冷却后放在铣床上，在石英玻璃板内表面对应石英玻璃棒位置铣出9个孔，其中一个孔为中心孔，其它孔以中心孔为中心沿圆周方向分布且斜置并与石英玻璃棒内腔相通；
6、将作为清洗槽内胆侧板的四块石英玻璃板与底板用石英玻璃焊条焊接成石英加热清洗槽内胆。
【权利要求】
1.一种石英加热清洗槽内胆的制造方法，其特征是: 1)、将作为清洗槽内胆底板的石英玻璃板与直径为20mm— 60mm且空心石英玻璃棒放在高温炉中加热，温度为800°C — 1200°C，加热I小时一 2小时，取出； 2)、将加热后的石英玻璃板和石英玻璃棒分别放在二个石英夹具内，将二个石英夹具对正，使石英玻璃棒中心与石英玻璃板中心同心，靠近至石英玻璃棒前端与石英玻璃板相距 15cm — 20cm ； 3)、采用喷灯将火焰朝向石英玻璃棒前端与石英玻璃板的对接位置继续烧结，至石英玻璃棒前端与石英玻璃板的中心位置开始熔化，对二个石英夹具施加相向力，使石英玻璃棒和石英玻璃板对接，将两者熔为一体，然后撤掉喷灯火焰，拆除石英夹具； 4)、将对接后的带有石英玻璃棒的石英玻璃板放入退火炉中高温退火，升温至IlOO0C- 1200°C，恒温4小时一6小时，降温至150°C— 250°C，取出； 5)、自然冷却后放在铣床上，在石英玻璃板内表面对应石英玻璃棒位置铣出多个通孔，其中一个孔为中心孔，其它孔以中心孔为中心沿圆周方向分布且斜置并与石英玻璃棒内腔相通； 6)、将作为清洗槽内胆侧板的四块石英玻璃板与清洗槽内胆底板用石英玻璃焊条焊接成石英加热清洗槽内胆。
2.根据权利要求1所述的石英加热清洗槽内胆的制造方法，其特征是:所述通孔为5个一 12个。
【文档编号】C03B20/00GK104310763SQ201410488695
【公开日】2015年1月28日 申请日期:2014年9月23日 优先权日:2014年9月23日
【发明者】张明 申请人:锦州凌河石英设备科技有限公司