冷却槽的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种冷却槽，用于对热处理后的玻璃板进行冷却，其具备：板状构件，构成收容所述玻璃板的收容室的顶部，且具有多个开口部；以及排气单元，经由所述多个开口部而将所述收容室的空气排出，由所述多个开口部产生的所述板状构件的开口率在所述板状构件的长度方向的中央部比在所述板状构件的长度方向的端部大。
【专利说明】冷却槽
【技术领域】
[0001]本发明涉及冷却槽，尤其是涉及用于对热处理后的玻璃板进行冷却的冷却槽。
【背景技术】
[0002]在例如便携电话或便携信息终端(PDA:Personal Data Assistance)等便携设备中，显示器的罩盖、基板使用玻璃板。近年来，由于便携设备的薄型化/轻量化的要求，对于玻璃板也使用强度高的强化玻璃板，由此能够实现薄型化/轻量化。而且，例如作为在便携设备等中使用的比较薄的玻璃板的强化法，化学强化法逐渐成为主流。
[0003]在此，参照图9，说明通过化学强化法能够得到的强化玻璃板的结构。图9是强化玻璃板的剖视图。在图9中，箭头的方向表示残留应力的作用方向，箭头的大小表示应力的大小。如图9所示，强化玻璃板具有表面层13及背面层15、设置在表面层13与背面层15之间的中间层17。因化学强化法而在表面层13及背面层15残留有压缩应力。而且，作为其反作用，在中间层17残留有拉伸应力。
[0004]在化学强化法中，使玻璃板浸溃在例如被加热成450°C左右的KN03的盐浴中，在玻璃板的表面及背面进行离子交换。由此，玻璃中包含的小的离子半径的离子(例如，Li离子、Na离子)被置换成大的离子半径的离子(K离子)，从而形成压缩应力残留的表面层13及1?面层15。
[0005]在上述的基于盐浴的热处理后，为了防止急剧的温度变化引起的玻璃板的破损等，在冷却槽中对玻璃板进行缓冷。
[0006]然而，专利文献I中公开了一种用于将几十张?几百张化学强化玻璃板一次制造的制造装置。
[0007]【在先技术文献】
[0008]【专利文献】
[0009]【专利文献I】日本国特开2004-161540号公报
[0010]
【发明者】对于用于冷却热处理后的玻璃板的冷却槽发现了以下的课题。
[0011]冷却槽的冷却时的温度分布较大地影响化学强化玻璃板的特性尤其是表面压缩应力(CS:Compressive Stress)。在专利文献I公开那样的用于将多个强化玻璃板一次制造的大型的制造装置中，冷却槽内的温度的偏差增大。其结果是，存在所制造的强化玻璃板的特性偏差也增大这样的问题。
【发明内容】
[0012]本发明鉴于上述情况而作出，其目的在于提供一种能够抑制制造的强化玻璃板的特性偏差的冷却槽。
[0013]本发明的方案I的冷却槽是用于对热处理后的玻璃板进行冷却的冷却槽，其具备:
[0014]板状构件，构成收容所述玻璃板的收容室的顶部，且具有多个开口部；以及
[0015]排气单元，经由所述多个开口部而将所述收容室的空气排出，
[0016]由所述多个开口部产生的所述板状构件的开口率在所述板状构件的长度方向的中央部比在所述板状构件的长度方向的端部大。
[0017]【发明效果】
[0018]根据本发明，能够提供一种对制造的强化玻璃板的特性偏差进行抑制的冷却槽。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1是示意性地表示适用了本发明的第一实施方式的冷却槽的玻璃强化热处理装置的立体图。
[0020]图2是本发明的第一实施方式的冷却槽的纵向剖视图。
[0021]图3是本发明的第一实施方式的冷却槽的纵向剖视图。
[0022]图4是图2、3的IV-1V剖视图。
[0023]图5是图2、3的V-V剖视图。
[0024]图6是图2、3的V1-VI剖视图。
[0025]图7是顶板110的平面图。
[0026]图8是开口率调整板的代表性的变形例。
[0027]图9是强化玻璃板的剖视图。
【具体实施方式】
[0028]以下，关于适用了本发明的具体的实施方式，参照附图进行详细说明。但是，本发明并未限定为以下的实施方式。而且，为了使说明明确，以下的记载及附图适当简化。
[0029](实施方式I)
[0030]首先，参照图1，说明适用了本发明的第一实施方式的冷却槽的玻璃强化热处理装置。图1是示意性地表示本发明的第一实施方式的玻璃强化热处理装置的立体图。需要说明的是，当然图1所示的xyz坐标是用于方便说明位置关系。
[0031]如图1所示，第一实施方式的玻璃强化热处理装置具备热风循环槽100、盐浴槽200、轨道300。热风循环槽100兼具备用于进行盐浴槽200的热处理前的预热的作为预热槽的功能和用于进行盐浴槽200的热处理后的缓冷的作为缓冷槽的功能。即，热风循环槽100兼具备作为加热槽的加热功能和作为冷却槽的冷却功能。并且，本发明的第一实施方式的冷却槽与热风循环槽100相当。
[0032]首先，参照图1，说明第一实施方式的由玻璃强化热处理装置进行的玻璃板的热处理的概要。
[0033]首先，收纳于架400的热处理前的玻璃板组500收纳在热风循环槽100的内部。具体而言，玻璃板组500由热风循环槽100内置有的起重机构(未图示)向z轴方向正方向提升，收纳在热风循环槽100的内部。需要说明的是，玻璃板组500始终以收纳于架400的状态进行移送。
[0034]接着，热风循环槽100在内部收容有玻璃板组500的状态下，沿着轨道300向x轴方向正方向滑动，而移动至盐浴槽200的紧上方。并且，在盐浴槽200的紧上方，玻璃板组500由热风循环槽100预热。
[0035]接着，预热后的玻璃板组500通过热风循环槽100的起重机构，向盐浴槽200的内部下降(向z轴方向负方向移动)，被进行热处理。通过该热处理，使玻璃板组500强化。
[0036]最后，热处理后的玻璃板组500由热风循环槽100的起重机构而再次提升到热风循环槽100的内部，进行缓冷。
[0037]接着，参照图1，说明各个构成要素。
[0038]热风循环槽100是底部敞开的箱形的加热槽，设置成能够通过与X轴方向平行地延伸设置的一对轨道300而在X轴方向上滑动。经由敞开的底部，取出放入玻璃板组500。利用热风循环槽100，将热处理前的玻璃板组500从常温预热至热处理温度，并且将在盐浴槽200中进行了热处理后的玻璃板组500缓冷至常温附近。关于热风循环槽100的详细情况在后文叙述。
[0039]盐浴槽200是顶部敞开的箱形的加热槽。经由敞开的顶部，取出放入玻璃板组500。在盐浴槽200的内部，在例如不锈钢制的容器内收纳有保持为规定的温度(例如450°C左右)的ΚΝ03。将由热风循环槽100预热后的玻璃板组500在该KNO3的盐浴201 (参照图2?6)内浸溃规定的时间。如上述那样，通过各个玻璃板的表面及背面处的离子交换，形成压缩应力层(图9的表面层13及背面层15)。
[0040]如图1所示，在热风循环槽100的上侧(z轴方向正侧)，与X轴方向平行地延伸设置有一对(2条)轨道300。轨道300未必一定由2条轨道构成，也可以由I条轨道或平行设置的3条以上的轨道构成。
[0041]接着，参照图2?6，详细说明第一实施方式的冷却槽即热风循环槽100。图2、3是本发明的第一实施方式的冷却槽的纵向剖视图。在此，纵向剖视图是长度方向的剖视图，具体而目是基于yz平面的剂视图。而且，图2是图4?6的I1-1I剂视图。图3是图4?6的II1-1II剖视图。图4是图2、3的IV-1V剖视图。图5是图2、3的V-V剖视图。图6是图2、3的V1-VI剖视图。图4?6是横向剖视图，具体而言是基于XZ平面的剖视图。需要说明的是，图2?6中的xyz坐标与图1 一致。
[0042]如图2?6所示，热风循环槽100具备顶板110、排气室120、排气收集凹处121a、121b、排气用鼓风机 122a、122b、排气口 123a、123b、循环用鼓风机 131a、131b、132a、132b、分隔板133a、133b、134a、134b、收容室外循环通路135a、135b、136a、136b、循环用开口部137a、137b、整流板 138、吸气口 141a、141b、142a、142b、框体 150、及侧壁 160a、160b。
[0043]图2?6中，通过粗箭头示出冷却过程中的冷却槽内的空气的流动。
[0044]顶板110是构成收容玻璃板组500的收容室的顶部的板状构件。顶板110优选为例如不锈钢制。如图2?6所示，在顶板110的整面上形成有多个排气用开口部110a。因此，能够从收容室的顶部整体将收容室内的空气排出。关于顶板110的详细情况在后文叙述。
[0045]在冷却过程中，图2所不的排气用鼓风机122a及图3所不的排气用鼓风机122b动作，因此如图2?6所示，经由排气用开口部IlOa将收容室内的空气向排气室120排出。具体而言，如图2?6所示，收容室内的空气经由排气用开口部IlOa而向z轴方向正方向流动。另一方面，在加热过程中，排气用鼓风机122a、122b停止，因此收容室内的空气不向排气室120排气。
[0046]排气室120是用于对从收容室排出的空气进行暂时收容的空间。排气室120设于顶板110的上部整体。
[0047]如图2所示，在热风循环槽100的一方(X轴方向正侧)的侧面侧，在长度方向(y轴方向)的中央部且上部形成有排气收集凹处121a。在此，如图4所示，该排气收集凹处121a设置在收容室上部的一方(X轴方向正侧)的侧面。
[0048]另一方面，如图3所示，在热风循环槽100的另一方(X轴方向负侧)的侧面侧，在长度方向(y轴方向)的中央部且上部形成有排气收集凹处121b。在此，如图4所示，该排气收集凹处121b设于收容室上部的另一方(X轴方向负侧)的侧面。
[0049]S卩，如图4所示，排气收集凹处121a、121b隔着收容室而相对配置。排气收集凹处121a、121b是用于将积存于排气室120的空气收集并分别导向排气用鼓风机122a、122b的凹部。
[0050]如图2所示，在热风循环槽100的一方(X轴方向正侧)的侧面侧，对应于排气收集凹处121a的形成位置而设有排气用鼓风机122a。在此,如图4所不,该排气用鼓风机122a设置在比排气收集凹处121a靠外侧(X轴方向正侧)的位置。
[0051]另一方面，如图3所示，在热风循环槽100的另一方(X轴方向负侧)的侧面侧，对应于排气收集凹处121b的形成位置而设有排气用鼓风机122b。在此，如图4所示，该排气用鼓风机122b设置在比排气收集凹处121b靠外侧(X轴方向负侧)的位置。
[0052]S卩，如图4所示，排气用鼓风机122a、122b隔着收容室、排气收集凹处121a、121b而相对配置。如图4所示，通过排气用鼓风机122a、122b将从排气收集凹处121a、121b吸引的空气分别经由在热风循环槽100的上表面设置的排气口 123a、123b而向槽外排出。
[0053]如图2所示，在热风循环槽100的一方(X轴方向正侧)的侧面侧，在中央的排气用鼓风机122a的y轴方向的两侧设有两个循环用鼓风机131a、132a。在此，如图5所示，循环用鼓风机131a设于构成收容室的侧壁160a。而且，如图6所示，循环用鼓风机132a也设于构成收容室的侧壁160a。
[0054]另一方面，如图3所示，在热风循环槽100的另一方(X轴方向负侧)的侧面侧，在中央的排气用鼓风机122b的y轴方向的两侧设有两个循环用鼓风机131b、132b。在此，如图5所示，循环用鼓风机131b设于构成收容室的侧壁160b。而且，如图6所示，循环用鼓风机132b也设于构成收容室的侧壁160b。
[0055]S卩，如图5所示，循环用鼓风机131a、131b隔着收容室而彼此相对配置。而且，如图6所示，循环用鼓风机132a、132b隔着收容室而彼此相对配置。
[0056]如图5所示，利用循环用鼓风机131a从收容室吸引的空气经由收容室外循环通路135a及循环用开口部137a而再次向收容室流入。另一方面，利用循环用鼓风机131b从收容室吸引的空气经由收容室外循环通路135b及循环用开口部137b而再次向收容室流入。
[0057]同样，如图6所示，利用循环用鼓风机132a从收容室吸引的空气经由收容室外循环通路136a及循环用开口部137a而再次向收容室流入。另一方面，利用循环用鼓风机132b从收容室吸引的空气经由收容室外循环通路136b及循环用开口部137b而再次向收容室流入。这样，循环用鼓风机131a、131b、132a、132b使收容室内的空气循环，由此实现收容室内的温度的均匀化。
[0058]如图2、5所示，收容室外循环通路135a是为了将由循环用鼓风机131a从收容室吸引的空气导向循环用开口部137a而设置在收容室的外部的流路。如图2所示，收容室外循环通路135a由分隔板133a构成。
[0059]如图2所示，收容室外循环通路135a的上端(z轴方向正侧的端部)以包围循环用鼓风机131a的方式形成。而且，收容室外循环通路135a的上端与吸气口 141a连接。另一方面，收容室外循环通路135a的下端(z轴方向负侧的端部)以从循环用开口部137a的一端(y轴方向负侧的端部)至中央部的宽度形成。即，收容室外循环通路135a以从上端朝向下端而逐渐变宽的方式形成。
[0060]如图2、6所示，收容室外循环通路136a是为了将由循环用鼓风机132a从收容室吸引的空气导向循环用开口部137a而设置在收容室的外部的流路。如图2所示，收容室外循环通路136a由分隔板134a构成。
[0061]如图2所示，收容室外循环通路136a的上端(z轴方向正侧的端部)以包围循环用鼓风机132a的方式形成。而且，收容室外循环通路136a的上端与吸气口 142a连接。另一方面，收容室外循环通路136a的下端(z轴方向负侧的端部)以从循环用开口部137a的另一端(y轴方向正侧的端部)至中央部的宽度形成。即，收容室外循环通路136a以从上端朝向下端而逐渐变宽的方式形成。在此，如图2所示，收容室外循环通路135a、136a处于以剖切线IV-1V为轴的线对称的位置关系。
[0062]如图3、5所示，收容室外循环通路135b是为了将由循环用鼓风机131b从收容室吸引的空气导向循环用开口部137b而设置在收容室的外部的流路。如图3所示，收容室外循环通路135b由分隔板133b构成。
[0063]如图3所示，收容室外循环通路135b的上端(z轴方向正侧的端部)以包围循环用鼓风机131b的方式形成。而且，收容室外循环通路135b的上端与吸气口 141b连接。另一方面，收容室外循环通路135b的下端(z轴方向负侧的端部)以从循环用开口部137b的一端(y轴方向负侧的端部)至中央部的宽度形成。即，收容室外循环通路135b以从上端朝向下端而逐渐变宽的方式形成。在此，如图5所示，收容室外循环通路135a、135b隔着收容室而彼此相对配置。
[0064]如图3、6所示，收容室外循环通路136b是为了将由循环用鼓风机132b从收容室吸引的空气导向循环用开口部137b而设置在收容室的外部的流路。如图3所示，收容室外循环通路136b由分隔板134b构成。
[0065]如图3所示，收容室外循环通路136b的上端(z轴方向正侧的端部)以包围循环用鼓风机132b的方式形成。而且，收容室外循环通路136b的上端与吸气口 142b连接。另一方面，收容室外循环通路136b的下端(z轴方向负侧的端部)以从循环用开口部137b的另一端(y轴方向正侧的端部)至中央部的宽度形成。即，收容室外循环通路136b以从上端朝向下端而逐渐变宽的方式形成。在此，如图3所示，收容室外循环通路135b、136b处于以剖切线IV-1V为轴的线对称的位置关系。而且，如图6所示，收容室外循环通路136a、136b隔着收容室而彼此相对配置。
[0066]如图2所示，循环用开口部137a是为了将在收容室外循环通路135a、136a中流动的空气导向收容室而设于侧壁160a的开口部。在图示的例子中，循环用开口部137a是设置在侧壁160a的下端的切口部。循环用开口部137a优选在热风循环槽100的长度方向(y轴方向)整体上形成。
[0067]如图3所示，循环用开口部137b是为了将在收容室外循环通路135b、136b中流动的空气导向收容室而设于侧壁160b的开口部。在图示的例子中，循环用开口部137b是设置在侧壁160b的下端的切口部。循环用开口部137b优选在热风循环槽100的长度方向(y轴方向)整体形成。如图4?6所示，循环用开口部137a、137b隔着收容室而彼此相对配置。
[0068]如图5、6所示，整流板138是用于对在收容室的内部循环的空气进行整流的板状构件。优选在热风循环槽100的长度方向(y轴方向)整体形成。如图5、6所示，利用整流板138，收容室的X轴方向正侧的空气借助循环用鼓风机131a、132a而进行循环。另一方面，收容室的X轴方向负侧的空气借助循环用鼓风机131b、132b而进行循环。
[0069]如图2、3所示，吸气口 141a、141b、142a、142b分别与循环用鼓风机131a、131b、132a、132b连接。对应于经由排气口 123a、123b而向热风循环槽100的外部排出的空气的量，经由吸气口 141a、141b、142a、142b从热风循环槽100的外部导入空气。即，从热风循环槽100的收容室将高温的空气排出，从热风循环槽100的外部将低温(室温程度)的空气向收容室导入。通过这样的结构，将收容于收容室的玻璃板组500强制冷却。
[0070]框体150是在热风循环槽100的下端整周设置的框体。框体150设置成在z轴方向上能够滑动。如图2?6所示，在玻璃板组500的冷却过程中，框体150成为向下侧(z轴方向负侧)滑动的状态，热风循环槽100和盐浴槽200成为密闭结构。即，利用框体150防止空气从热风循环槽100与盐浴槽200之间的出入。需要说明的是，优选从玻璃板组500的热处理过程开始，利用框体150预先将热风循环槽100和盐浴槽200形成为密闭结构。
[0071]如图4?6所示，侧壁160a、160b是对收容室进行划分的侧壁。具体而言，如图5、6所示，利用侧壁160a划分收容室与收容室外循环通路135a、136a。而且，在侧壁160a的开口部设有循环用鼓风机131a、132a。另一方面，利用侧壁160b划分收容室与收容室外循环通路135b、136b。而且，在侧壁160b的开口部设有循环用鼓风机131b、132b。
[0072]需要说明的是，在加热过程中，排气用鼓风机122a、122b停止，但是循环用鼓风机131a、131b、132a、132b动作。并且，在加热过程中，利用加热器(未图示)，将例如在收容室外循环通路135a、135b、136a、136b中流动的空气加热。
[0073]接着，参照图7，说明顶板110的详细情况。图7是顶板110的平面图。图7是从下侧(Z轴方向负侧)向上观察到的平面图。顶板I1由I张主板111和12张开口率调整板112构成。如图7所示，顶板110具有将主板111与开口率调整板112重叠2张而成的结构。在图7中，为了便于理解，仅在附图的下侧(X轴方向负侧)示出6张开口率调整板112。S卩，附图的上侧(X轴方向正侧)的6张开口率调整板112省略。未图示的上侧的6张开口率调整板112以与单点划线所示的y轴平行的中心轴为对称轴，与下侧的6张开口率调整板112呈线对称地配置。需要说明的是，图7中的xyz坐标与图1 一致。
[0074]如图7所示，主板111为大致矩形形状的多孔板，但具有与图2?4所示的排气收集凹处121a、121b对应的切口部113a、113b。主板111具有多个圆形形状的开口部111a。开口部Illa优选彼此为同一形状。而且，开口部Illa优选等间隔地配置。
[0075]开口率调整板112是将主板111分割为12个部分的矩形形状的多孔板。开口率调整板112能够相对于主板111滑动。在图7的例子中，各开口率调整板112能够相对于主板111在X轴方向上滑动。并且，开口率调整板112例如螺纹紧固于主板111。开口率调整板112具有开口部112a。开口部112a优选与主板111的开口部Illa为相同形状。而且，开口部112a的形成间距优选与主板111的开口部Illa的形成间距相等。
[0076]通过调整开口率调整板112相对于主板111的固定位置，能够按照开口率调整板112来调整顶板110的排气用开口部IlOa的大小。即，能够按照开口率调整板112而使顶板110的开口率变化。
[0077]在图7的例子中，在主板111的长度方向(y轴方向)中央部设置的4张开口率调整板112(在图7中仅图示2张)以其开口部112a与主板111的开口部Illa完全一致的方式固定。因此，顶板110的开口率在中央部成为最大。
[0078]另一方面，在主板111的长度方向(y轴方向)的两端部设置的4张开口率调整板112 (在图7中仅图示2张)以其开口部112a从主板111的开口部Illa沿x轴方向比较大地偏离的方式固定。因此,顶板110的开口率在两端部成为最小。
[0079]并且，在主板111的长度方向(y轴方向)的中央部与两端部之间设置的4张开口率调整板112(在图7中仅图示2张)也以其开口部112a从主板111的开口部Illa沿x轴方向偏离的方式固定。在此，这4张的偏离量比上述的两端部的4张的偏离量小。因此，在中央部与两端部之间，顶板110的开口率比中央部小且比两端部大。即，顶板110的开口率从两端部朝向中央部逐级地增大。需要说明的是，开口率调整板112的张数只要根据使开口率以何种程度逐级变化而适当决定即可。
[0080]以往，位于冷却槽的收容室的中央部的玻璃板难以冷却，位于端部的玻璃板容易冷却，因此存在产生特性偏差的问题。然而，在本实施方式的冷却槽中，增大顶板110的中央部的开口率，从而促进收容室中央部的冷却。另一方面，减小顶板110的端部的开口率，从而抑制收容室端部的冷却。因此，收容室内的温度的偏差减小，所制造的强化玻璃板的特性偏差也能够减小。
[0081]在此，收容室的纵横比(进深相对于宽度之比)越大，收容室内的温度的偏差越容易变大。因此，收容室的纵横比为1.5以上时特别优选。收容室的纵横比为2以上时更优选。
[0082]在本实施方式的顶板110中，由于是将主板111与开口率调整板112重叠2张而成的结构，因此能够调整开口率，从而优选。然而，顶板110的开口率也可以不必设为能够调整的结构。例如,可以仅由图7所示的主板111构成顶板，并使主板111的开口部Illa的孔径自身变化，由此能够增大顶板的中央部的开口率，并减小顶板110的端部的开口率。或者，也可以使同一孔径的开口部Illa的个数变化，由此也能够增大顶板的中央部的开口率，并减小顶板110的端部的开口率。
[0083]需要说明的是，当然主板111的开口部11 la、开口率调整板112的开口部112a的形状没有限定为圆形，可以是任意的形状。图8是开口率调整板的代表性的变形例。图8所示的开口率调整板212是图7所示的开口率调整板112的变形例。开口率调整板212具有作为长方形形状的狭缝的开口部212a。这种情况下，虽然未图示，但只要使主板的开口部也为同样的形状即可。
[0084]需要说明的是，本发明并不局限于上述实施方式，在不脱离主旨的范围内能够适当变更。
[0085]例如，本发明不仅适用于化学强化玻璃板的制造，也可以适用于物理强化玻璃板的制造。
[0086]本申请基于2013年9月26日提出申请的日本专利申请2013-199165，并将其内容作为参照而援引于此。
[0087]【标号说明】
[0088]100热风循环槽
[0089]110 顶板
[0090]IlOa排气用开口部
[0091]111 主板
[0092]Illa 开口部
[0093]112,212开口率调整板
[0094]112a,212a 开口部
[0095]113a、113b 切口部
[0096]120排气室
[0097]121a、121b排气收集凹处
[0098]122a、122b排气用鼓风机
[0099]123a、123b 排气口
[0100]131a、131b、132a、132b 循环用鼓风机
[0101]133a、133b、134a、134b 分隔板
[0102]135a、135b、136a、136b 收容室外循环通路
[0103]137a、137b 循环用开口部
[0104]138整流板
[0105]141a、141b、142a、142b 吸气口
[0106]150 框体
[0107]160a、160b 侧壁
[0108]200盐浴槽
[0109]201 盐浴
[0110]300 轨道
[0111]400 架
[0112]500玻璃板组
【权利要求】
1.一种冷却槽，用于对热处理后的玻璃板进行冷却，所述冷却槽具备: 板状构件，构成收容所述玻璃板的收容室的顶部，且具有多个开口部；以及 排气单元，经由所述多个开口部而将所述收容室的空气排出， 由所述多个开口部产生的所述板状构件的开口率在所述板状构件的长度方向的中央部比在所述板状构件的长度方向的端部大。
2.根据权利要求1所述的冷却槽,其中， 所述开口率从所述端部朝向所述中央部逐级增大。
3.根据权利要求1或2所述的冷却槽，其中， 所述板状构件具备: 第一多孔板；以及 分别相对于所述第一多孔板以能够滑动的方式重叠、固定的多个第二多孔板。
4.根据权利要求3所述的冷却槽，其中， 所述第一多孔板的孔与所述多个第二多孔板的孔为同一形状。
5.根据权利要求3或4所述的冷却槽，其中， 所述第一多孔板的孔的形成间距与所述多个第二多孔板的孔的形成间距相等。
6.根据权利要求3?5中任一项所述的冷却槽，其中， 所述第一多孔板的孔与所述多个第二多孔板的孔为圆形形状。
7.根据权利要求1?6中任一项所述的冷却槽，其中， 所述收容室的进深相对于宽度之比为1.5以上。
8.根据权利要求1?7中任一项所述的冷却槽，其中， 所述排气单元具备第一排气用鼓风机和第二排气用鼓风机， 所述第一排气用鼓风机与所述第二排气用鼓风机隔着所述收容室而相对配置。
9.根据权利要求8所述的冷却槽，其中， 所述冷却槽还具备使所述收容室的空气循环的循环单元。
10.根据权利要求9所述的冷却槽，其中， 所述循环单元具备第一循环用鼓风机和第二循环用鼓风机， 所述第一循环用鼓风机与所述第二循环用鼓风机隔着所述收容室而相对配置。
11.根据权利要求10所述的冷却槽,其中， 所述板状构件在所述第一循环用鼓风机与所述第二循环用鼓风机之间的中央部具备对所述收容室内的空气进行整流的整流板。
12.根据权利要求10或11所述的冷却槽，其中， 所述循环单元具备第三循环用鼓风机和第四循环用鼓风机， 所述第三循环用鼓风机与所述第四循环用鼓风机隔着所述收容室而相对配置。
13.根据权利要求12所述的冷却槽，其中， 所述第一排气用鼓风机设置在所述第一循环用鼓风机与所述第三循环用鼓风机之间， 所述第二排气用鼓风机设置在所述第二循环用鼓风机与所述第四循环用鼓风机之间。
【文档编号】C03B27/04GK104513003SQ201410502620
【公开日】2015年4月15日 申请日期:2014年9月26日 优先权日:2013年9月26日
【发明者】平田厚, 渡边和也 申请人:旭硝子株式会社