硅棒开断装置制造方法
【专利摘要】本实用新型的目的是提供一种硅棒开断装置。本实用新型所提供的硅棒开断装置，包括：框架、硅棒固定装置和带锯（5），其特征在于：所述硅棒开断装置还包括一垂直检测仪，所述垂直检测仪设置在所述带锯（5）的上方。所述框架包括底板（2）、顶板（1）、第一滑轨（6）和支撑杆（3）；所述第一滑轨（6）设置在所述底板（2）上；所述支撑杆（3）的底端通过所述第一滑轨（6）滑动连接在所述底板（2）上；所述顶板（1）固定在所述支撑杆（3）的顶部。本实用新型所提供的硅棒开断装置，可保证开断后硅片成品率高，提高生产效率，减少不良率和材料浪费，节省生产成本。
【专利说明】硅棒开断装置【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体材料的生产加工领域，尤其涉及一种硅棒开断装置。【背景技术】
[0002]随着电子、半导体、光伏产业的发展，各种晶体材料，特别是以单晶硅为代表的高科技附加值材料及其相关高技术产业的发展，成为当代信息技术产业的支柱，并使信息产业成为全球经济发展中增长最快的先导产业。单晶硅作为一种极具潜能，亟待开发利用的高科技资源，正引起越来越多的关注和重视。与此同时，鉴于常规能源供给的有限性和环保压力的增加，世界上许多国家正掀起开发利用太阳能的热潮并成为各国制定可持续发展战略斩重要内容。在跨入21世纪门槛后，世界大多数国家踊跃参与以至在全球范围掀起了太阳能开发利用的“绿色能源热”，一个广泛的大规模的利用太阳能的时代正在来临，太阳能级单晶硅产品也将因此炙手可热。硅片是由硅棒开断而成，现有技术中的硅棒切割成硅片，常常会由于切割角度或切割位置的偏差造成硅片合格率低的问题。
实用新型内容 [0003]本实用新型的目的是提供一种硅棒开断装置。
[0004]本实用新型所提供的硅棒开断装置，包括:框架、硅棒固定装置和带锯(5)，其特征在于:所述硅棒开断装置还包括一垂直检测仪，所述垂直检测仪设置在所述带锯(5)的上方。
[0005]所述框架包括底板(2)、顶板(I)、第一滑轨(6)和支撑杆(3);所述第一滑轨(6)设置在所述底板(2)上；所述支撑杆(3)的底端通过所述第一滑轨(6)滑动连接在所述底板
(2)上；所述顶板(I)固定在所述支撑杆(3)的顶部。所述第二滑轨与所述第一滑轨(6)相垂直且设置在所述顶板(I)上，所述带锯(5 )通过所述第二滑轨滑动连接在所述顶板(I)上且与所述底板(2)相垂直。所述硅棒固定装置包括沿所述第一滑轨(6)长度方向依次排列的底座、第一夹紧装置和第二夹紧装置；所述底座固定在所述底板(2)上且所述底座上设有一弧形凹槽。所述第一夹紧装置和第二夹紧装置均包括第一固定部件、第二固定部件和调节部件；所述第一固定部件和第二固定部件的底部均设有螺孔，所述调节部件包括螺杆和固定在螺杆端部的调节把手。
[0006]本实用新型所提供的硅棒开断装置，可保证开断后硅片成品率高，提高生产效率，减少不良率和材料浪费，节省生产成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]图1为本实用新型实施例所述的硅棒开断装置结构示意图。
【具体实施方式】
[0008]为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0009]本实施例提供的硅棒开断装置，包括:框架、硅棒固定装置和带锯5，其特征在于:所述硅棒开断装置还包括一垂直检测仪，所述垂直检测仪设置在所述带锯5的上方。本领域技术人员可以理解，通过所述垂直检测仪可检测硅棒与带锯5的夹角，保证二者保持垂直，以确保开断后硅片成品率，提高生产效率，减少不良率和材料浪费，节省生产成本。
[0010]所述框架包括底板2、顶板1、第一滑轨6和支撑杆3 ;所述第一滑轨6设置在所述底板2上；所述支撑杆3的底端通过所述第一滑轨6滑动连接在所述底板2上；所述顶板I固定在所述支撑杆3的顶部。本领域技术人员可以理解，这样可实现顶板I沿所述第一滑轨6的滑动，从而带动所述带锯5沿第一滑轨6长度方向即硅棒的轴向方向滑动，便于对硅棒进行连续多次的切割，提高开断效率。
[0011]所述第二滑轨与所述第一滑轨6相垂直且设置在所述顶板I上，所述带锯5通过所述第二滑轨滑动连接在所述顶板I上且与所述底板2相垂直。本领域技术人员可以理解，这样可实现所述带锯5沿所述第二滑轨的长度方向即硅棒的径向方向滑动，便于带锯5对硅棒进行切割开断。
[0012]所述硅棒固定装置包括沿所述第一滑轨6长度方向依次排列的底座、第一夹紧装置和第二夹紧装置；所述底座固定在所述底板2上且所述底座上设有一弧形凹槽。本领域技术人员可以理解，对硅棒进行切割时，首先将硅棒防止在所述底座上的凹槽中，在利用第一夹紧装置和第二夹紧装置将所述硅棒进行夹紧固定。通过第一滑轨6和第二滑轨调节所述带锯5的位置，保持带锯5在切割位置与硅棒相垂直，从而便于后续进行开断切割。
[0013]所述第一夹紧装置和第二夹紧装置均包括第一固定部件、第二固定部件和调节部件；所述第一固定部件和第二固定部件的底部均设有螺孔，所述调节部件包括螺杆和固定在螺杆端部的调节把手。本领域技术人员可以理解，操作人员通过调节把手旋转所述螺杆，从而可调节苏搜狐第一固定部件和第二固定部件之间的距离，从而对硅棒的加紧程度，对不同直径的硅棒均可以进行加紧固定。
[0014]最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
【权利要求】
1.一种硅棒开断装置，包括:框架、硅棒固定装置和带锯(5)，其特征在于:所述硅棒开断装置还包括一垂直检测仪，所述垂直检测仪设置在所述带锯(5)的上方。
2.如权利要求1所述的硅棒开断装置，其特征在于:所述框架包括底板(2)、顶板(I)、第一滑轨(6)和支撑杆(3);所述第一滑轨(6)设置在所述底板(2)上；所述支撑杆(3)的底端通过所述第一滑轨(6 )滑动连接在所述底板(2 )上；所述顶板(I)固定在所述支撑杆(3 )的顶部。
3.如权利要求2所述的硅棒开断装置，其特征在于:所述第二滑轨与所述第一滑轨(6)相垂直且设置在所述顶板(I)上，所述带锯(5 )通过所述第二滑轨滑动连接在所述顶板(I)上且与所述底板(2)相垂直。
4.如权利要求3所述的硅棒开断装置，其特征在于:所述硅棒固定装置包括沿所述第一滑轨(6)长度方向依次排列的底座、第一夹紧装置和第二夹紧装置；所述底座固定在所述底板(2)上且所述底座上设有一弧形凹槽。
5.如权利要求4所述的硅棒开断装置，其特征在于:所述第一夹紧装置和第二夹紧装置均包括第一固定部件、第二固定部件和调节部件；所述第一固定部件和第二固定部件的底部均设有螺孔，所述调节部件包括螺杆和固定在螺杆端部的调节把手。
【文档编号】B28D5/04GK203739034SQ201420076323
【公开日】2014年7月30日 申请日期:2014年2月21日 优先权日:2014年2月21日
【发明者】范桂林, 李茂欣 申请人:上海磐盟电子材料有限公司