一种多线切割机的喷液装置的制作方法

本实用新型涉及一种多线切割机，尤其是一种多线切割机的喷液装置，属于脆性材料加工技术领域。

背景技术：

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，可将半导体等硬脆材料同时切割为数百片薄片的一种切割加工方法。随着多线切割技术的日益成熟，出现了多种不同的切割方式，目前传统的油砂线切片加工和新兴的金刚石线切片加工为两种主流切割方式。

在上述背景条件下，为减少生产企业设备投入，降低生产成本，适用于油砂线切片加工与金刚石线切片加工的通用型多线切割机也应运而生。但由于油砂线切片加工与金刚石线切片加工两种切割方式对砂液或者切割液的喷淋要求不同，因此需要研发一种能方便操作，并可实现多种喷液方式的喷液装置。

技术实现要素：

本实用新型提供一种多线切割机的喷液装置，以适应油砂线切片与金刚石线切片两种切割加工方式，达到匹配通用型多线切割机、降低生产成本的目的。

本实用新型上述目的是通过以下技术方案实现的：

一种多线切割机的喷液装置，包括进液口安装座、喷液管组件和喷液盒组件；所述进液口安装座上设有与多线切割机储液装置连接的进液口、与喷管组件连接的出液口；所述喷液管组件设有喷液管和堵头，所述喷液管一端与进液口安装座上的出液口连通，另一端通过堵头密封，在喷液管的管壁上设置若干喷液口；所述喷液盒组件由喷液盒和底板组成，所述喷液盒套装在喷液管外面，喷液盒可沿喷液管平行滑动，所述底板安装在喷液盒底部，在底板上设置若干喷液孔。

上述多线切割机的喷液装置，所述喷液管组件平行布置两组，所述喷液口开设在喷液管与底板相对一侧的管壁上。

上述多线切割机的喷液装置，所述喷液盒组件还设有密封垫，所述密封垫套装在喷液管外面，位于喷液管与进液口安装座上出液口连接的一端。

上述多线切割机的喷液装置，所述底板与喷液盒扣合装配。

本实用新型将匹配油砂线切片加工方式的喷液管组件和匹配金刚石线切片加工方式的喷液盒组件集成为一体，当采用油砂线切片加工方式对半导体等脆性材料切割时，将喷液盒组件滑动至喷液管尾部，此时通过喷液管向多线切割机的切割室喷射砂液；当采用金刚石线切片加工方式对半导体等脆性材料切割时，将喷液盒组件滑动至喷液管前部，并通过挤压密封垫将喷液盒与喷液管之间的间隙密封，此时首先通过喷液管将切割液喷入喷液盒中，再通过底板上的喷液孔向多线切割机的切割室喷射切割液。本实用新型将喷液盒组件中的底板与喷液盒扣合装配，便于拆装操作，因此可针对不同被切割材料，选择开设有不同尺寸及密度喷液孔的底板，从而进一步提高了本实用新型的通用性。由此可见，本实用新型能够适应油砂线切片与金刚石线切片两种切割加工方式，达到了匹配通用型多线切割机、降低生产成本的目的。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是图1的爆炸结构图；

图3是本实用新型的俯视图；

图4是本实用新型匹配油砂线切片加工方式示意图；

图5是本实用新型匹配金刚石线切片加工方式示意图。

附图中标号如下：1、进液口安装座，1-1、进液口，1-2、出液口，2、密封垫，3、喷液管，3-1、喷液口，4、喷液盒，5、底板，5-1、喷液孔，6、堵头。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型进一步说明：

参看图1、图2、图3，本实用新型将喷液管组件和喷液盒组件集成为一体，能匹配油砂线切片与金刚石线切片两种切割加工方式，所述多线切割机的喷液装置包括进液口安装座1、喷液管组件和喷液盒组件；所述进液口安装座1上设有与多线切割机储液装置连接的进液口1-1、与喷管组件连接的两个出液口1-2；所述喷液管组件平行布置两组，在每一组喷液管组件中均设有喷液管3和堵头6，其中喷液管3一端与进液口安装座1上的出液口1-2连通，另一端通过堵头6密封，在喷液管3的与底板5相对一侧的管壁上设置若干喷液口3-1；所述喷液盒组件由喷液盒4、底板5和密封垫组成，所述密封垫2套装在喷液管3外面，位于喷液管3与进液口安装座1上出液口1-2连接的一端，所述喷液盒4套装在喷液管3外面，喷液盒4可沿喷液管3平行滑动，所述底板5安装在喷液盒4底部，两者以扣合方式装配，在底板5上设置若干喷液孔5-1。

参看图4，当多用切割机采用油砂线切片加工方式对半导体等脆性材料切割时，将喷液盒组件滑动至喷液管尾部，此时通过喷液管3向多线切割机的切割室喷射砂液。

参看图5，当多用切割机采用金刚石线切片加工方式对半导体等脆性材料切割时，将喷液盒组件滑动至喷液管3前部，并通过挤压密封垫2将喷液盒4与喷液管3之间的间隙密封，此时首先通过喷液管3将切割液喷入喷液盒4中，再通过底板5上的喷液孔5-1向多线切割机的切割室喷射切割液。