切割线的喷淋结构、工件切割系统及喷淋方法与流程

文档序号:17324080发布日期:2019-04-05 21:41阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种切割线的喷淋结构、工件切割系统及喷淋方法,其中,切割线的喷淋结构应用于工件切割系统,所述工件切割系统包括:切割结构,包括两个线辊和缠绕在所述线辊上的切割线,所述线辊包括线槽,所述切割线缠绕在所述线槽内;工件供给结构,用于承载工件并控制所述工件向靠近所述切割线的方向进给;所述喷淋结构包括:第一喷嘴结构,所述第一喷嘴结构包括第一喷嘴,用于向所述线辊的线槽及所述切割线喷淋研磨液,以清洗所述线槽和所述切割线;第二喷嘴结构,所述第二喷嘴结构包括第二喷嘴,用于向邻近工件的所述切割线喷淋研磨液。根据本发明实施例的切割线的喷淋结构强化了清洗能力,提高了切割效率。

技术研发人员:姜镕
受保护的技术使用者:西安奕斯伟硅片技术有限公司
技术研发日:2018.12.27
技术公布日:2019.04.05
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