用于半导体石墨晶圆的加工处理装置及其加工方法与流程

文档序号:23062589发布日期:2020-11-25 17:46阅读:来源:国知局

技术特征:

1.用于半导体石墨晶圆的加工处理装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)为横向放置的矩形板,所述底座(1)的顶面中部开设有矩形槽,所述矩形槽的底面两端对称纵向开设有第一t形槽,每个所述第一t形槽内均滑动连接有第一t形滑块,每块所述第一t形滑块的顶面均固接在活动板(35)的底面上,所述活动板(35)的顶面一侧边缘处设有调节组件,所述活动板(35)的顶面中部设有旋转组件,所述旋转组件中的固定轴(38)的顶部固接有工作台(17),所述工作台(17)的顶面中部开设有卡槽,所述卡槽的顶面中部轴向开设有负压槽(16),所述工作台(17)的一侧面固接有导气管的一端,且导气管与负压槽(16)连通,所述导气管的另一端固接有风机(13),所述风机(13)固接在工作台(17)的顶面一侧的边缘处;

在所述底座(1)的顶面一侧边缘处纵向固接有第一支撑杆(3),每根所述第一支撑杆(3)的顶面均纵向开设有第一方形槽,每个所述第一方形槽内均滑动连接有第二支撑杆(4),每根所述第二支撑杆(4)的顶部均固接在第一连接板(6)的底部,所述第一连接板(6)的底部固接有第一电动推杆(2)的顶部,且第一电动推杆(2)的底部安装在底座(1)的顶面一侧边缘处,在所述第一连接板(6)的一侧面底部横向固接有固定板(5),所述固定板(5)的顶面中部横向开设有若干个限位孔(18),在所述底座(1)的顶面另一侧边缘处纵向固接有第三支撑杆(11),每根所述第三支撑杆(11)的顶面均纵向开设有第二方形槽,每个所述第二方形槽内均滑动连接有第四支撑杆(10),每根所述第四支撑杆(10)的顶部均固接在第二连接板(7)的底部,所述第二连接板(7)的底面中部固接有第二电动推杆(9)的顶部,且第二电动推杆(9)的底部固接在底座(1)的顶面另一侧边缘处,所述第一连接板(6)和第二连接板(7)一侧面均开设有第二t形槽,每个所述第二t形槽内均滑动连接有第二t形滑块,每块所述第二t形滑块的顶面均固接在支撑板(8)的两侧,在所述第一连接板(6)的一侧面中部开设有第二条形槽,且第二条形槽与第二t形槽连通,所述第二t形滑块的一侧面固接有第一拉杆,且第一拉杆与第二条形槽配合,所述第一拉杆的顶面设有固定组件,在所述支撑板(8)的顶部中部固接有切割组件,所述切割组件中的刀盖(15)一侧外面贯穿有导水管,所述导水管的中部设有出水管的一端,且出水管与导水管连通,所述出水管的另一端位于切刀的一侧面。

2.根据权利要求1所述的用于半导体石墨晶圆的加工处理装置,其特征在于:所述调节组件包括齿条板(26)、弧形齿板(25)、第三连接板(19)、短杆(20)、第一电机(22)、圆形板(21)、支撑座(24),所述活动板(35)的顶面一侧边缘处纵向固接有齿条板(26),在所述齿条板(26)一侧面的活动板(35)的顶面上固接有支撑座(24),所述支撑座(24)的顶面通过短轴转动连接有弧形齿板(25),所述弧形齿板(25)与齿条板(26)啮合,所述弧形齿板(25)的顶面纵向固接有第三连接板(19),所述第三连接板(19)的一侧面中部开设有第一条形槽,且第一条形槽贯穿第三连接板(19),所述第一条形槽滑动连接有短杆(20)的一端,且所述短杆(20)的另一端固接在圆形板(21)的边缘处,所述圆形板(21)的一侧面中部固接在第一电机(22)的输出轴的端部上,所述第一电机(22)安装在安装板(23)的顶面上,所述安装板(23)的底面中部固接有第一支撑柱(12)的一端,所述第一支撑柱(12)的另一端固接在底座(1)的顶面上。

3.根据权利要求1所述的用于半导体石墨晶圆的加工处理装置,其特征在于:所述旋转组件包括第二电机(28)、第一圆形转盘(27)、第一短圆柱、连接杆(37)、第二短圆柱、第二圆形转盘(36)、固定轴(38),所述活动板(35)的顶面中部纵向固接有第二支撑柱,所述第二支撑柱的顶部固接有l形板,所述l形板的顶面纵向安装有第二电机(28),所述第二电机(28)的输出轴的端部固接有第一圆形转盘(27),所述第一圆形转盘(27)的边缘处等间距固接有第一短圆柱,每根所述第一短圆柱的顶面均固接有连接杆(37)的一端,每根所述连接杆(37)另一端均固接有第二短圆柱,每根所述第二短圆柱的顶面均固接在第二圆形转盘(36),所述第二圆形转盘(36)的顶面中部固接有固定轴(38)。

4.根据权利要求1所述的用于半导体石墨晶圆的加工处理装置,其特征在于:所述固定组件包括方形块(32)、第一限位板(31)、第二限位板(33)、第二拉杆(29)、圆形挡柱(34)、弹簧(30),所述第一拉杆的顶面固接有方形块(32),所述方形块(32)的顶面中部开设有圆柱孔,且圆柱孔贯穿方形块(32),所述圆柱孔内的中部设有第二拉杆(29),所述第二拉杆(29)的外壁上分别设有第一限位板(31)和第二限位板(33),且所述第二拉杆(29)的底部固接有圆形挡柱(34),在所述第一限位板(31)和第二限位板(33)之间的拉杆的外壁上设有弹簧(30)。

5.根据权利要求4所述的用于半导体石墨晶圆的加工处理装置,其特征在于:所述第二拉杆(29)的一端外壁上滑动连接有第一限位板(31),且第一限位板(31)固接在圆柱孔的外端部,所述第二拉杆(29)的另一端端部固接有第二限位板(33),且第二限位板(33)滑动连接在圆柱孔内,所述弹簧(30)的一端固接在第一限位板(31)的一侧面,另一端固接在第二限位板(33)的一侧面,且所述弹簧(30)在自然状态下,圆形挡柱(34)位于限位孔(18)内。

6.根据权利要求1所述的用于半导体石墨晶圆的加工处理装置,其特征在于:所述切割组件包括第三电机(14)、切刀、刀盖(15),刀轴、端盖,所述支撑板(8)的顶部中部安装有第三电机(14),所述第三电机(14)的一端侧壁固接有刀盖(15),所述第三电机(14)的输出轴端部固接有刀轴的一端,且所述刀轴的另一端转动连接在刀盖(15)的一侧上,所述刀轴的一端外闭上固接有切刀,所述刀轴的另一端外壁上固接有端盖,且端盖与切刀接触。

7.根据权利要求1-6任一所述的用于半导体石墨晶圆的加工处理装置的加工方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤一,第一电机(22)、第二电机(28)、第三电机(14)、风扇分别通过导线与外部电源电性连接,导水管与外部水源连接,再将圆形晶片放入卡槽内,通过负压槽(16)将圆形晶片固定;

步骤二,通过控制第一电动推杆(2)和第二电动推杆(9)分别带动第二支撑杆(4)和第四支撑杆(10)上下移动,第二支撑杆(4)和第四支撑杆(10)带动支撑板(8)上下移动,再推动支撑板(8)将切割组件移动到圆形晶片上。

8.步骤三,通过第三电机(14)的输出轴带动刀轴转动,刀轴带动切刀转动,打开外部水源的阀门,清水顺着导水管进入出水管,从而流到晶圆片被切割的部位;

步骤四,通过第一电机(22)的输出轴带动圆形板(21)转动,圆形板(21)带动短杆(20)圆周转动,短杆(20)带动第三连接板(19)往复运动,第三连接板(19)带动弧形齿板(25)往复运动,弧形板带动齿条板(26)往复运动,齿条板(26)带动活动板(35)往复运动;

步骤五,通过第二电机(28)的输出轴带动第一圆形转盘(27)转动,第一圆形转盘(27)带动第一短圆柱转动,第一短圆柱带动连接杆(37)转动,连接杆(37)带动第二短圆柱转动,第二短圆柱带动第二圆形转盘(36)转动,第二圆形转盘(36)带动固定轴(38)转轴,固定轴(38)带动工作旋转;

步骤六,在加工完成后关闭全部电源开关,关闭外部水源的阀门。


技术总结
本发明公开了用于半导体石墨晶圆的加工处理装置及其加工方法,包括底座,每块第一T形滑块的顶面均固接在活动板的底面上,活动板的顶面一侧边缘处设有调节组件,活动板的顶面中部设有旋转组件,旋转组件中的固定轴的顶部固接有工作台,工作台的顶面中部开设有卡槽,卡槽的顶面中部轴向开设有负压槽,支撑板的顶部中部固接有切割组件,切割组件中的刀盖一侧贯穿有导水管,导水管的中部设有出水管的一端,出水管的另一端位于切刀的一侧面;本发明通过调节装置能够使工作台前后移动,通过旋转装置可以使工作台旋转,便于从不同方向对晶圆进行切割,提高工作效率,避免切割误差;同时切刀可以升降,便于对晶圆片进行切割。

技术研发人员:柴利春;张培林;武建军;张作文;王志辉
受保护的技术使用者:大同新成新材料股份有限公司
技术研发日:2020.07.13
技术公布日:2020.11.24
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