一种硅片切割用夹持装置的制作方法

1.本实用新型涉及夹持技术领域，具体为一种硅片切割用夹持装置。


背景技术：

2.硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，且硅片的导电效果好，已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防。
3.硅片易碎裂，在对硅片进行切割时，往往使用激光对其进行分离，但在对硅片进行切割时，硅片的切割台上没有对硅片的夹持机构，在切割台移动时，易造成硅片的移动，影响对硅片的切割精度，且在对切割后的硅片进行拾取时，切割掉的多余部分容易留存在切割台上，需要手动对其清理，影响切割的效率，且存在安全隐患，因此亟需设计一种硅片切割用夹持装置来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种硅片切割用夹持装置，以解决上述背景技术中提出的没有对硅片的夹持机构，影响对硅片的切割精度，留存在切割台上的硅片，需要手动对其清理，影响切割的效率，且存在安全隐患的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案，一种硅片切割用夹持装置，包括架体、激光切割机、伸缩气缸和气泵，所述架体包括底座、支撑板、转板、固定板、固定环和限位块，所述底座的表面固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端活动连接有转板，所述底座的上表面固定连接有固定板，所述固定板的表面通过螺栓固定连接有固定环，所述底座的内侧固定连接有限位块，所述底座的上表面滑动连接有切割台，所述切割台的表面活动连接有转柄，所述伸缩气缸的底端滑动连接有调节槽，所述切割台的底端固定连接有移动块，所述切割台的表面开设有移动槽，所述移动槽的表面滑动连接有夹杆，所述夹杆的表面固定连接有螺纹杆，所述夹杆的外表面固定连接有夹盘，所述夹盘的表面固定连接有弹簧，所述弹簧的底端固定连接有夹板，所述夹杆表面套接有螺套，所述螺套的内侧固定连接有螺纹槽，所述夹杆的底端活动连接有转筒。
6.优选的，所述支撑板呈两组连接在底座的表面，所述转板和支撑板一一对应连接，所述固定环的表面呈圆弧形，且固定环的尺寸和激光切割机的尺寸吻合，所述限位块呈两组分布在底座的内侧。
7.优选的，所述切割台呈两组连接在移动块的表面，所述转柄分布在转柄两个相邻的表面上，所述调节槽呈网格状分布在切割台的底端，所述移动块在底座表面的滑槽内连接，所述伸缩气缸连接在切割台的两侧，所述伸缩气缸一组固定在切割台的表面，所述伸缩气缸一组连接在调节槽内，且和转柄连接。
8.优选的，所述移动槽呈网格状分布在切割台的表面，且移动槽和调节槽的位置对应，所述夹杆通过转筒和伸缩气缸连接，所述夹盘呈圆形，所述夹盘和夹杆的偏心连接，所述螺纹杆和螺纹槽啮合连接，所述转筒的两端分别连接在夹杆的底端和伸缩气缸的输出
端。
9.优选的，所述转板的内侧固定连接有气泵，所述气泵的一端固定连接有吸气管，所述转板的表面固定连接有支撑杆，所述支撑杆的表面固定连接有吸盘，所述气泵的另一端固定连接有出气管，所述出气管的表面固定连接有伸缩管，所述出气管的一端固定连接有连接盘，所述底座的表面固定连接有放置台，所述切割台的表面开设有气孔。
10.优选的，所述吸气管和吸盘连接，所述吸盘的表面呈圆盘性，所述出气管连接在支撑板的内侧，所述伸缩管连接在出气管的中部，所述连接盘的表面开设有孔，且连接盘上的孔和气孔一一对应连接，所述气孔就均匀分布在切割台的表面。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：切割台上连接有对硅片进行夹持的机构，有效的防止硅片的移动，提高硅片的切割精度，且在对切割掉的多余部分的硅片能够及时有效的清理，无需人工的清理，提高切割的效率。
12.(1)通过伸缩气缸的伸缩，使夹杆和夹盘在切割台上伸缩，经夹盘表面的夹板对切割台上的硅片进行夹持，使硅片在切割台上固定，不会在切割台移动时，造成切割台上的硅片移动，影响对硅片的切割，经弹簧的作用，使夹板可伸缩，不会造成夹板对硅片的夹持力过大，造成硅片的破裂，经螺纹杆和螺纹槽的啮合连接，使夹杆在螺套内转动，螺套固定在切割台的内表面，使夹盘转动，夹杆和夹盘使偏心连接，通过夹盘的转动，便于夹盘对切割台上的硅片进行夹持，通过转柄对伸缩气缸的位置进行移动，进而对夹盘的夹持尺寸进行调节，使夹盘的适用范围更加的广泛。
13.(2)通过气泵的作用，经吸气管和吸盘，使吸盘对切割台和放置台上的硅片进行吸附，方便对其进行拾取，通过伸缩管的作用，使出气管和连接盘的连接距离变长，便于切割台的移动，经连接盘上的孔和气孔对应连接，使切割台表面上残留的硅片能够及时的得到清理，不会影响切割台的使用，且提高了对硅片的切割效率。
附图说明
14.图1为本实用新型的结构正视剖视示意图；
15.图2为本实用新型的结构俯视示意图；
16.图3为本实用新型的图1中a处的放大结构示意图；
17.图4为本实用新型的图3中夹杆和螺套的连接结构示意图。
18.图中：1、架体；11、底座；12、支撑板；13、转板；14、固定板；15、固定环；16、激光切割机；17、限位块；2、切割台；21、转柄；22、伸缩气缸；23、调节槽；24、移动块；25、移动槽；26、夹杆；261、螺纹杆；27、夹盘；271、弹簧；272、夹板；28、螺套；281、螺纹槽；29、转筒；3、气泵；31、吸气管；32、支撑杆；33、吸盘；34、出气管；35、伸缩管；36、连接盘；37、放置台；38、气孔。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1
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4，本实用新型提供的一种实施例：一种硅片切割用夹持装置，包括架
体1、激光切割机16、伸缩气缸22和气泵3，架体1包括底座11、支撑板12、转板13、固定板14、固定环15和限位块17，底座11的表面固定连接有支撑板12，支撑板12的顶端活动连接有转板13，底座11的上表面固定连接有固定板14，固定板14的表面通过螺栓固定连接有固定环15，固定环15对激光切割机16进行固定，底座11的内侧固定连接有限位块17，底座11的上表面滑动连接有切割台2，切割台2的表面活动连接有转柄21，伸缩气缸22的底端滑动连接有调节槽23，切割台2的底端固定连接有移动块24，经限位块17的作用，对移动块24的滑动距离进行限定，切割台2的表面开设有移动槽25，移动槽25的表面滑动连接有夹杆26，夹杆26的表面固定连接有螺纹杆261，夹杆26的外表面固定连接有夹盘27，夹盘27的表面固定连接有弹簧271，弹簧271的底端固定连接有夹板272，夹杆26表面套接有螺套28，螺套28的内侧固定连接有螺纹槽281，夹杆26的底端活动连接有转筒29，经转筒29的作用，使夹杆26转动，进而使夹盘27转动。
21.在其中一条实施例中，支撑板12呈两组连接在底座11的表面，转板13和支撑板12一一对应连接，固定环15的表面呈圆弧形，且固定环15的尺寸和激光切割机16的尺寸吻合，限位块17呈两组分布在底座11的内侧，经固定环15对激光切割机16的连接，使激光切割机16固定在固定板14上，固定板14在底座11上通过滑槽连接，且固定板14在底座11上左右前后的滑动，进而使激光切割机16对硅片进行全方位的切割。
22.在其中一条实施例中，切割台2呈两组连接在移动块24的表面，转柄21分布在转柄21两个相邻的表面上，调节槽23呈网格状分布在切割台2的底端，移动块24在底座11表面的滑槽内连接，伸缩气缸22连接在切割台2的两侧，伸缩气缸22一组固定在切割台2的表面，伸缩气缸22一组连接在调节槽23内，且和转柄21连接，伸缩气缸22的输入端通过导线和外部电源的输出端电连接，使伸缩气缸22伸缩，经伸缩气缸22连接在调节槽23内，伸缩气缸22通过转柄21连接，在转柄21的作用下，使伸缩气缸22在调节槽23上滑动，进而使伸缩气缸22在切割台2内的位置发生改变。
23.在其中一条实施例中，移动槽25呈网格状分布在切割台2的表面，且移动槽25和调节槽23的位置对应，夹杆26通过转筒29和伸缩气缸22连接，夹盘27呈圆形，夹盘27和夹杆26的偏心连接，螺纹杆261和螺纹槽281啮合连接，转筒29的两端分别连接在夹杆26的底端和伸缩气缸22的输出端，经伸缩气缸22的伸缩，使夹杆26和夹盘27在切割台2上伸缩，经螺纹杆261和螺纹槽281的啮合连接，使夹杆26在螺套28内转动，进而使夹盘27转动，夹杆26和夹盘27偏心连接，在夹盘27的转动下，使夹盘27方便对切割台2上的硅片进行夹持，通过夹盘27的转动，不会影响硅片放入切割台2上。
24.在其中一条实施例中，转板13的内侧固定连接有气泵3，气泵3的输入端通过导线和外部电源的输出端电连接，使气泵3工作，气泵3的一端固定连接有吸气管31，转板13的表面固定连接有支撑杆32，支撑杆32的表面固定连接有吸盘33，气泵3的另一端固定连接有出气管34，出气管34的表面固定连接有伸缩管35，出气管34的一端固定连接有连接盘36，底座11的表面固定连接有放置台37，切割台2的表面开设有气孔38，通过吸气管31和出气管34连接在气泵3上，使吸盘33对切割台2和放置台37上的硅片进行夹持，经转板13的转动，使支撑杆32转动，便于对切割台2和放置台37内的硅片进行吸附和放入。
25.在其中一条实施例中，吸气管31和吸盘33连接，吸盘33的表面呈圆盘性，出气管34连接在支撑板12的内侧，伸缩管35连接在出气管34的中部，连接盘36的表面开设有孔，且连
接盘36上的孔和气孔38一一对应连接，气孔38就均匀分布在切割台2的表面，经伸缩管35的作用，使出气管34和连接盘36的连接距离加长，方便切割台2的移动，通过出气管34和连接盘36的连接，连接盘36和气孔38的对应连接，方便对切割台2上的硅片进行清理，提高激光切割机16对切割台2上硅片的切割效率。
26.工作原理：使用时，通过伸缩气缸22的伸缩，使夹杆26和夹盘27伸缩，夹杆26和夹盘27是偏心连接，在螺纹杆261和螺纹槽281的啮合连接作用下，使夹杆26在螺套28内转动，螺套28固定在切割台2的内表面，经夹杆26的转动，使夹盘27转动，方便夹盘27对切割台2上的硅片进行夹持，且不会对硅片放入切割台2上造成影响，经弹簧271和夹板272的连接，使夹板272在对硅片进行夹持时的力进行缓冲，防止造成对硅片的破坏，经转柄21的转动，方便对伸缩气缸22在调节槽23上的位置移动，通过移动槽25的作用，可改变夹杆26和夹盘27在切割台2上的位置，进而可对夹杆26和夹盘27的夹持尺寸进行调节，便于对不同尺寸的硅片进行夹持切割。
27.通过转板13在支撑板12上转动，使支撑杆32上的吸盘33对切割台2和放置台37上的硅片进行交替吸附和放入，提高工作效率，经气泵3的作用，使吸气管31对吸盘33提供吸力，便于吸盘33对硅片的吸附，通过出气管34对连接盘36和气孔38进行吹气，经伸缩管35的作用，使出气管34和连接盘36的连接距离变长，且不会影响移动块24在底座11上的移动，经气孔38的作用，可对切割台2上的残留硅片进行及时的清理，防止残留的硅片对切割台2上的硅片切割精度造成影响，影响切割台2的使用，较为实用。
28.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。