一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构的制作方法

本实用新型涉及载具移动领域，具体为一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构。

背景技术：

晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99%，晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，在切片的过程中的要求很高，在移动晶圆过程中不稳定，会使加工精度受到很大影响为了解决目前市场上存在的人工操作的问题，并要能够更好的保证晶圆切割的安全作业，促进晶圆切割行业的发展。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，以解决上述背景技术中提出的在移动晶圆过程中不稳定等问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，包括底座，所述底座上设置有气缸二，气缸二上方设置有旋转支柱，旋转支柱上方安装有气缸一，气缸一左侧安装有移动托盘，且气缸一左侧通过弹簧一连接有橡胶条，所述底座上安装有料仓底座，料仓底座上设置有料仓框架，且料仓框架内设置有滑槽，滑槽内设置有滑块，所述底座上设置有凹槽，凹槽上安装有气缸三，气缸三上连接有提升托盘，提升托盘上设置有弹簧二，提升托盘上方安装有存放托盘，所述存放托盘上设置有梯形凸起块和梯形凹槽，存放托盘上放置有晶圆，所述底座右侧通过定滑轮连接有固定支架，底座上方设置有弧形凸起，且固定支架下方设置有弧形凹槽。

优选的，所述料仓框架为不锈钢材质左右镂空的半封闭式结构，且料仓框架高度为50cm、宽度为30cm、厚度为1cm。

优选的，所述梯形凸起块设置有两组，存放托盘左右两边各一组，且梯形凸起块与梯形凹槽贴合。

优选的，所述橡胶条呈矩形结构，且在移动晶圆时橡胶条与晶圆贴合，所述弹簧一设置有两组，分别设置在橡胶条的两端。

优选的，所述滑槽材质为不锈钢，且滑槽设置有两组料仓框架前后两面各一组，所述滑块材质为不锈钢材质，且滑块设有两组，存放托盘左右两边各一组。

优选的，所述提升托盘为不绣钢材质的矩形结构，提升托盘设置有一组，分别设置于弹簧二的上下两端。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该晶圆切割用柔性存料载具移动结构，结构设置合理，利用伸缩杆使晶圆移动的过程中更加稳定，使工作过程智能化，通过带有弹簧的缓冲结构进行载具的存放和移动，更好的进行柔性载具的输送工作，起到保护载具的效果。

附图说明

图1为本实用新型结构正视示意图；

图2为本实用新型结构俯视示意图；

图3为本实用新型结构料仓底座示意图。

图中：1、移动托盘；2、橡胶条；3、弹簧一；4、气缸一；5、旋转支柱；6、气缸二；7、底座；8、料仓底座；9、气缸三；10、凹槽；11、提升托盘；12、弹簧二；13、晶圆；14、滑块；15、滑槽；16、存放托盘；17、梯形凸起块；18、梯形凹槽；19、料仓框架；20、固定支架；21、定滑轮；22、弧形凸起；23、弧形凹槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1—3，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，包括底座7，底座7上设置有气缸二6，气缸二6上方设置有旋转支柱5，旋转支柱5上方安装有气缸一4，气缸一4左侧安装有移动托盘1，且气缸一4左侧通过弹簧一3连接有橡胶条2，底座7上安装有料仓底座8，料仓底座8上设置有料仓框架19，且料仓框架19内设置有滑槽15，滑槽15内设置有滑块14，底座7上设置有凹槽10，凹槽10上安装有气缸三9，气缸三9上连接有提升托盘11，提升托盘11上设置有弹簧二12，提升托盘11上方安装有存放托盘16，存放托盘16上设置有梯形凸起块17和梯形凹槽18，存放托盘16上放置有晶圆13，底座7右侧通过定滑轮21连接有固定支架20，底座7上方设置有弧形凸起22，且固定支架20下方设置有弧形凹槽23，料仓框架19为不锈钢材质左右镂空的半封闭式结构，左面镂空为了方便添加新的物料，右边镂空方便晶圆13的移动，且料仓框架19高度为50cm、宽度为30cm、厚度为1cm，梯形凸起块17设置有两组，存放托盘16左右两边各一组，且梯形凸起块17与梯形凹槽18贴合，橡胶条2呈矩形结构，且在移动晶圆13时橡胶条2与晶圆13贴合橡胶材质柔软，可以很好的保护晶圆13不受损坏，弹簧一3设置有两组，分别设置在橡胶条2的两端，滑槽15材质为不锈钢，且滑槽15设置有两组料仓框架19前后两面各一组，滑块14材质为不锈钢材质，且滑块14设有两组，存放托盘16左右两边各一组，设置滑块方便使存放托盘上下移动，当取走一块晶圆13后，下一块晶圆13提升至指定位置，大大提高了工作效率，提升托盘11为不绣钢材质的矩形结构，提升托盘11设置有一组，分别设置于弹簧二12的上下两端。

工作原理：在使用该晶圆切割用柔性存料载具移动结构时，操控气缸二，将移动托盘提升至指定高度，随后旋转支柱，将移动托盘旋转至指定角度，然后操控气缸一，将移动托盘伸进料晶圆与梯形凸起块中间的空隙中，当橡胶条与晶圆接触时操控气缸二，使移动托盘略微提升，随后操控气缸一，使移动托盘缩回，然后操作气缸三，使提升托盘推动存放托盘向上移动，存放托盘上安装的滑块通过滑槽，向上移动至指定位置，这就是该晶圆切割用柔性存料载具移动结构的使用过程。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，包括底座（7），其特征在于：所述底座（7）上设置有气缸二（6），气缸二（6）上方设置有旋转支柱（5），旋转支柱（5）上方安装有气缸一（4），气缸一（4）左侧安装有移动托盘（1），且气缸一（4）左侧通过弹簧一（3）连接有橡胶条（2），所述底座（7）上安装有料仓底座（8），料仓底座（8）上设置有料仓框架（19），且料仓框架（19）内设置有滑槽（15），滑槽（15）内设置有滑块（14），所述底座（7）上设置有凹槽（10），凹槽（10）上安装有气缸三（9），气缸三（9）上连接有提升托盘（11），提升托盘（11）上设置有弹簧二（12），提升托盘（11）上方安装有存放托盘（16），所述存放托盘（16）上设置有梯形凸起块（17）和梯形凹槽（18），存放托盘（16）上放置有晶圆（13），所述底座（7）右侧通过定滑轮（21）连接有固定支架（20），底座（7）上方设置有弧形凸起（22），且固定支架（20）下方设置有弧形凹槽（23）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，其特征在于：所述料仓框架（19）为不锈钢材质左右镂空的半封闭式结构，且料仓框架（19）高度为50cm、宽度为30cm、厚度为1cm。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，其特征在于：所述梯形凸起块（17）设置有两组，存放托盘（16）左右两边各一组，且梯形凸起块（17）与梯形凹槽（18）贴合。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，其特征在于：所述橡胶条（2）呈矩形结构，且在移动晶圆（13）时橡胶条（2）与晶圆（13）贴合，所述弹簧一（3）设置有两组，分别设置在橡胶条（2）的两端。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，其特征在于：所述滑槽（15）材质为不锈钢，且滑槽（15）设置有两组料仓框架（19）前后两面各一组，所述滑块（14）材质为不锈钢材质，且滑块（14）设有两组，存放托盘（16）左右两边各一组。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，其特征在于：所述提升托盘（11）为不绣钢材质的矩形结构，提升托盘（11）设置有一组，分别设置于弹簧二（12）的上下两端。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，包括底座，所述底座上设置有气缸二，气缸二上方设置有旋转支柱，旋转支柱上方安装有气缸一，气缸一左侧安装有移动托盘，且气缸一左侧通过弹簧一连接有橡胶条，所述底座上安装有料仓底座，料仓底座上设置有料仓框架，且料仓框架内设置有滑槽，滑槽内设置有滑块，所述底座上设置有凹槽，凹槽上安装有气缸三，气缸三上连接有提升托盘，提升托盘上设置有弹簧二，提升托盘上方安装有存放托盘，所述存放托盘上设置有梯形凸起块和梯形凹槽，存放托盘上放置有晶圆，所述底座右侧通过定滑轮连接有固定支架，底座上方设置有弧形凸起，且固定支架下方设置有弧形凹槽。

技术研发人员：巩铁建;陶为银
受保护的技术使用者：河南通用智能装备有限公司
技术研发日：2020.09.03
技术公布日：2021.08.03