一种适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构的制作方法

文档序号:26151194发布日期:2021-08-06 12:43阅读:109来源:国知局
一种适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构的制作方法

本实用新型涉及一种切割石英晶片的罗拉线槽结构,尤其是一种适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构。



背景技术:

目前针对石英晶片的切割加工,大多采用砂浆多线切割的方法,而砂浆多线切割石英晶片的方法是通过罗拉上的线槽来限制钢线的运行轨迹,并通过钢线的快速往复运行带动油砂进行磨削切割,由于采用砂浆多线切割方法切割的晶片厚度和角度公差较大,甚至有部分晶片厚度或角度超差无法使用,造成原材料的浪费;另外,切割用的砂浆对环境有污染,需专业人员进行处理,由此进一步增加了晶片切割的成本。

为解决上述问题,人们采用金刚线切割石英晶片的方法,由直径φ=0.21mm金刚线替代原“直径0.12mm钢线+研磨油砂”进行石英晶片的切割,但是现有的匹配金刚线切割方法的罗拉线槽为“v”型凹槽结构,凹槽两侧壁的夹角θ=75º,凹槽开口宽度尺寸b=0.44mm,凹槽深度尺寸a=0.29mm,由于“v”型凹槽结构底部尺寸较小,而开口宽度尺寸较大,切割过程中容易出现夹线、跳线等问题,使切割线的运行不稳定,影响了石英晶片的切割质量。



技术实现要素:

本实用新型提供一种适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构,旨在通过对罗拉线槽结构的优化设计,使其与金刚线切割方法相适应,达到保证切割过程中金刚线稳定运行的目的。

为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:

一种适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构,包括底部“v”型槽和上部梯形开口;所述底部“v”型槽的两侧壁夹角β=90º;所述上部梯形开口的开口端向外扩张,在底部“v”型槽和上部梯形开口的接合处形成折线。

上述适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构,所述罗拉线槽的总体深度尺寸a=0.3mm;所述上部梯形开口两侧壁夹角α=36º,其上端宽度尺寸b=0.41mm,上部梯形开口的深度尺寸h=0.17mm。

上述适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构,与之匹配的金刚线直径尺寸φ=0.21mm。

上述适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构,相邻两个线槽之间距离l=0.47mm。

本实用新型提供了一种适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构,它采用底部“v”型槽和上部梯形开口配合结构,与现有“v”型凹槽结构比较,由于增大了底部“v”型槽两侧壁的夹角,避免了切割过程中夹线的问题,同时上部梯形开口两侧壁夹角小于现有“v”型凹槽两侧壁夹角,具有收口作用,从而减少了切割过程中跳线现象。由此可见,本实用新型通过对罗拉线槽结构的优化设计,使其与金刚线切割方法相适应,达到了保证切割过程中金刚线稳定运行的目的。

附图说明

图1是现有金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构示意图;

图2是本实用新型所述适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构示意图。

图中各标号清单为:

1、罗拉线槽,1-1、底部“v”型槽,1-2、上部梯形开口,1-3、折线;

2、金刚线。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明。

参看图1,现有技术中匹配金刚线切割方法的罗拉线槽1为“v”型凹槽结构,凹槽两侧壁的夹角θ=75º,凹槽开口宽度尺寸b=0.44mm,凹槽深度尺寸a=0.29mm,由于“v”型凹槽结构底部尺寸较小,而开口宽度尺寸较大,在石英晶片切割过程中容易出现夹线、跳线等问题。

参看图2,本实用新型为一种适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构,其罗拉线槽1包括底部“v”型槽1-1和上部梯形开口1-2;所述底部“v”型槽1-1的两侧壁夹角β=90º;所述上部梯形开口1-2的开口端向外扩张,在底部“v”型槽1-1和上部梯形开口1-2的接合处形成折线1-3。在本实用新型的优选实施例中,所述罗拉线槽1的总体深度尺寸a=0.3mm;所述上部梯形开口1-2两侧壁夹角α=36º,其上端宽度尺寸b=0.41mm,上部梯形开口1-2的深度尺寸h=0.17mm;匹配本实用新型所述罗拉线槽1的金刚线2直径尺寸φ=0.21mm。

参看图2,当切割后石英晶片厚度为0.25~0.27mm时,可将本实用新型所述的罗拉线槽2设计为相邻两个罗拉线槽1之间距离l=0.47mm的结构。

参看图1、图2,本实用新型所述的适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构,其罗拉线槽1采用底部“v”型槽1-1和上部梯形开口1-2配合结构,与现有技术中的“v”型凹槽结构比较,由于底部“v”型槽1-1两侧壁的夹角由θ=75º增大为β=90º,避免了切割过程中夹线的问题,同时上部梯形开口1-2两侧壁夹角α=36º,远小于现有“v”型凹槽两侧壁夹角θ,即上部梯形开口1-2具有收口作用,从而减少了切割过程中跳线现象。



技术特征:

1.一种适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构,其特征是,所述罗拉线槽(1)包括底部“v”型槽(1-1)和上部梯形开口(1-2);所述底部“v”型槽(1-1)的两侧壁夹角β=90º;所述上部梯形开口(1-2)的开口端向外扩张,在底部“v”型槽(1-1)和上部梯形开口(1-2)的接合处形成折线(1-3)。

2.根据权利要求1所述的适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构,其特征是,所述罗拉线槽(1)的总体深度尺寸a=0.3mm;所述上部梯形开口(1-2)两侧壁夹角α=36º,其上端宽度尺寸b=0.41mm,上部梯形开口(1-2)的深度尺寸h=0.17mm。

3.根据权利要求2所述的适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构,其特征是,与之匹配的金刚线(2)直径尺寸φ=0.21mm。

4.根据权利要求3所述的适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构,其特征是,相邻两个罗拉线槽(1)之间距离l=0.47mm。


技术总结
一种适于金刚线切割石英晶片的罗拉线槽结构,包括底部“V”型槽和上部梯形开口;所述底部“V”型槽的两侧壁夹角β=90º;所述上部梯形开口的开口端向外扩张,在底部“V”型槽和上部梯形开口的接合处形成折线。本实用新型通过对罗拉线槽结构的优化设计,使其与金刚线切割方法相适应,达到了保证切割过程中金刚线稳定运行的目的。

技术研发人员:赵桂红;郑玉南;张立强;丁洁;郝建军;李永斌;崔立志;张勇;周志勇;杨秀霞;杨涛;杨铁生
受保护的技术使用者:唐山国芯晶源电子有限公司
技术研发日:2020.10.30
技术公布日:2021.08.06
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