技术特征：
1.一种晶圆切割机，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上设有移动台(11)，所述移动台(11)与所述底座(1)间连接有用于移动所述移动台(11)的第一移动组件(2)，所述移动台(11)顶面上固定有多个用于夹紧晶圆框架的夹紧组件(3)，所述夹紧组件(3)分布于以晶圆框架的直径为直径的圆周上，所述底座(1)上方设有用于切割晶圆边缘的切割组件(4)，所述切割组件(4)与所述底座(1)间连接有用于移动所述切割组件(4)的第二移动组件(5)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机，其特征在于：所述切割组件(4)包括安装块(41)和切割轮(42)，所述切割轮(42)绕所述切割轮(42)中心轴转动设置于所述安装块(41)底端。3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割机，其特征在于：所述第一移动组件(2)包括第一滑台(21)和第一电机(22)，所述第一滑台(21)上设有第一滑块(211)，所述第一滑块(211)与所述移动台(11)相连接，所述第一电机(22)包括第一丝杆(221)，所述第一丝杆(221)与所述第一滑块(211)螺纹连接；所述第二移动组件(5)包括第二滑台(51)和第二电机(52)，所述第二滑台(51)上设有第二滑块(511)，所述第二滑块(511)与所述安装块(41)相连接，所述第二电机(52)包括第二丝杆(521)，所述第二丝杆(521)与所述第二滑块(511)螺纹连接。4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机，其特征在于：所述夹紧组件(3)包括固定块(31)和夹片(32)，所述固定块(31)固定连接于所述移动台(11)顶面，所述夹片(32)铰接于所述固定块(31)顶面，所述固定块(31)顶面还设有用于限定所述夹片(32)位置的弹片(33)，所述弹片(33)设置于所述夹片(32)长度方向的侧边。5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机，其特征在于：所述移动台(11)顶面还连接有用于吸紧晶圆的吸盘(111)。6.根据权利要求2所述的一种晶圆切割机，其特征在于：所述切割组件(4)下方连接有用于检查晶圆切割状态的检查组件(43)，所述检查组件(43)包括照明灯(431)和摄像头(432)，所述照明灯(431)和摄像头(432)均连接于所述安装块(41)底面。7.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机，其特征在于：所述底座(1)上设有清洗台(14)，所述清洗台(14)上方设有用于清洁切割后晶圆的清洗组件(9)，所述清洗组件(9)包括多个用于喷出高压气体的高压喷头(92)，所述高压喷头(92)和所述底座(1)间连接有用于支撑所述高压喷头(92)的支撑架(91)。8.根据权利要求7所述的一种晶圆切割机，其特征在于：所述底座(1)上设有用于将晶圆移动至所述清洗组件(9)上方的第三移动组件(6)，所述第三移动组件(6)包括第三滑台(61)和第三电机(62)，所述第三滑台(61)上设有第三滑块(611)，所述第三电机(62)包括第三丝杆(621)，所述第三丝杆(621)与所述第三滑块(611)螺纹连接；所述第三滑块(611)上连接有用于将晶圆上下移动的第四移动组件(7)，所述第四移动组件(7)包括第四滑台(71)和第四电机(72)，所述第四滑台(71)上设有第四滑块(711)，所述第四电机(72)包括第四丝杆(721)，所述第四丝杆(721)与所述第四滑块(711)螺纹连接；所述第四移动组件(7)下方连接有用于夹持晶圆的夹持组件(8)，所述夹持组件(8)包括夹持板(81)、第一夹持块(82)和第二夹持块(83)，所述夹持板(81)连接至所述第四滑块(711)的顶面，所述第一夹持块(82)连接于所述夹持板(81)末端的底面，所述第二夹持块
(83)沿所述夹持板(81)长度方向滑移设置于所述夹持板(81)底面，所述第二夹持块(83)上连接有用于驱动所述第二夹持块(83)沿所述夹持板(81)长度方向滑移的电缸(84)。
技术总结
本申请涉及晶圆生产的领域，尤其是一种晶圆切割机，其包括底座，所述底座上设有移动台，所述移动台与所述底座间连接有用于移动所述移动台的第一移动组件，所述移动台顶面上固定有多个用于夹紧晶圆框架的夹紧组件，所述夹紧组件分布于以晶圆框架的直径为直径的圆周上，所述底座上方设有用于切割晶圆边缘的切割组件，所述切割组件与所述底座间连接有用于移动所述切割组件的第二移动组件。本申请具有减少晶圆边缘的毛刺，提高晶圆的产品质量的效果。提高晶圆的产品质量的效果。提高晶圆的产品质量的效果。
技术研发人员：李志卫 张仕俊 何浪
受保护的技术使用者：苏州新米特电子科技有限公司
技术研发日：2021.02.26
技术公布日：2021/11/15