晶棒配棒方法以及晶棒配棒系统与流程

文档序号:29964521发布日期:2022-05-11 09:57阅读:204来源:国知局
晶棒配棒方法以及晶棒配棒系统与流程

1.本技术实施例涉及太阳能技术领域,特别涉及一种晶棒配棒方法以及晶棒配棒系统。


背景技术:

2.硅片的生产工序包括粘棒工序、切片工序、脱胶工序、插片清洗工序、分选工序以及包装工序。其中,晶棒在按标准晶棒的长度进行截断以得到标准晶棒后,最终剩下的一根晶棒的长度通常会不符合标准晶棒的长度,成为一根非标棒。因此,需要进行粘棒工序,将相匹配的非标棒按标准晶棒的长度进行粘结,以得到标准晶棒,通常,寻找两个相匹配的非标棒的过程被称为配棒。


技术实现要素:

3.本技术实施例提供一种晶棒配棒方法以及晶棒配棒系统,至少有利于提高晶棒配棒效率。
4.本技术实施例提供一种晶棒配棒方法,包括:建立信息库,信息库存储有:多个原始晶棒信息,且每一原始晶棒信息与至少一个第一晶棒对应;筛选出在信息库中的存储时间达到预设配棒时间的原始晶棒信息,作为第一晶棒信息;基于第一晶棒信息以及预设匹配信息,制备第二晶棒,第二晶棒对应的第二晶棒信息与第一晶棒信息匹配;提供多个待配棒的第三晶棒,所述第三晶棒至少包括第二晶棒;对第三晶棒进行识别,获取与每一第三晶棒对应的第三晶棒信息;基于预设匹配信息,判断第三晶棒信息与信息库中的原始晶棒信息是否匹配,若第三晶棒信息与任一原始晶棒信息匹配,则将与第三晶棒信息对应的第三晶棒以及与原始晶棒信息对应的第一晶棒进行粘结,以获得标准棒。
5.另外,制备第二晶棒的方法包括:基于第一晶棒信息,获取与第一晶棒信息相匹配的第二晶棒信息;提供初始晶棒,对初始晶棒进行截断,以制备与第二晶棒信息对应的第二晶棒。
6.另外,信息库包括:线上库,线上库中存储有用于进行自动匹配的第一原始晶棒信息;线下库,线下库中存储有用于进行人工匹配的第二原始晶棒信息;判断第三晶棒信息与信息库中的原始晶棒信息是否匹配的方法包括:基于第三晶棒信息,对线上库中存储的第一原始晶棒信息进行查找,以获取满足预设匹配信息的原始晶棒信息,若第三晶棒信息与线上库中的第一原始晶棒信息匹配,则将与第三晶棒对应的第三晶棒和与第一原始晶棒信息对应的第一晶棒筛出至自动下料输送线,以对第三晶棒以及第一晶棒进行粘结;若第三晶棒信息与线上库中的第一原始晶棒信息不匹配,则基于第三晶棒信息,对线下库中存储的第二原始晶棒信息进行查找,以获取满足预设匹配信息的原始晶棒信息,若第三晶棒信息与线下库中的第二原始晶棒信息匹配,则采用人工方式对第三晶棒以及与第二原始晶棒信息对应的第一晶棒进行粘结。
7.另外,若第三晶棒信息与线上库中的第一原始晶棒信息以及线下库中的第二原始
晶棒信息均不匹配,则将该第三晶棒信息录入线上库中,作为第一原始晶棒信息。
8.另外,基于预设下线时间,将线上库中存储时间达到预设下线时间的第一原始晶棒信息移出至线下库。
9.另外,采用射频识别技术对第三晶棒进行识别。
10.另外,还包括:对粘结后的第三晶棒对应的第三晶棒信息以及第一晶棒对应的第一晶棒信息与预设匹配信息进行比对,以验证粘结后的第三晶棒以及第一晶棒是否符合预期。
11.相应地,本技术实施例还提供一种晶棒配棒系统,包括:信息库,信息库存储有:多个原始晶棒信息,且每一原始晶棒信息与至少一个第一晶棒对应;信息反馈单元,信息反馈单元用于筛选出在信息库中的存储时间达到预设配棒时间的原始晶棒信息,作为第一晶棒信息;晶棒截断装置,晶棒截断装置用于基于第一晶棒信息以及预设匹配信息,制备第二晶棒,第二晶棒对应的第二晶棒信息与第一晶棒信息匹配;运输线,运输线用于运输第三晶棒,第三晶棒至少包括第二晶棒;识别单元,识别单元用于对第三晶棒进行识别,获取与每一第三晶棒对应的第三晶棒信息;匹配单元,匹配单元用于基于预设匹配信息,判断第三晶棒信息与信息库中的原始晶棒信息是否匹配,若第三晶棒信息与任一原始晶棒信息匹配,则将与第三晶棒信息对应的第三晶棒以及与原始晶棒信息对应的第一晶棒进行粘结,以获得标准棒。
12.另外,运输线包括:自动运输线,自动运输线用于运输进行自动匹配的第三晶棒;人工运输线,人工运输线用于运输进行人工匹配的第三晶棒。
13.另外,信息库包括:线上库,线上库中存储有用于进行自动匹配的第一原始晶棒信息;线下库:线下库中存储有用于进行人工匹配的第二原始晶棒信息;晶棒配棒系统还包括:上料口,上料口与自动运输线相连通,并位于自动运输线一侧,上料口用于放置第三晶棒,且识别单元设置于上料口;线上库位,线上库位的一端与上料口相连,线上库位用于存放与线上库中的第一原始晶棒信息对应的第一晶棒;线下库位,线下库位用于存放与线下库中的第二原始晶棒信息对应的第一晶棒。
14.另外,还包括:下线工位,下线工位用于放置线上库中存储时间达到预设下线时间的第一原始晶棒信息所对应的第一晶棒。
15.另外,还包括:制造执行单元,制造执行单元与信息反馈单元通讯连接,且制造执行单元与晶棒截断装置通讯连接,制造执行单元用于基于第一晶棒信息,获取与第一晶棒信息相匹配的第二晶棒信息,并将第二晶棒信息反馈至晶棒截断装置。
16.本技术实施例提供的技术方案至少具有以下优点:
17.本技术实施例提供的晶棒配棒方法的技术方案中,晶棒配棒方法包括:筛选出在信息库中的存储时间达到预设配棒时间的原始晶棒信息,作为第一晶棒信息;基于第一晶棒信息以及预设匹配信息,制备第二晶棒,第二晶棒对应的第二晶棒信息与第一晶棒信息匹配;提供多个待配棒的第三晶棒,第三晶棒至少包括第二晶棒;对第三晶棒进行识别,获取与每一第三晶棒对应的第三晶棒信息;基于预设匹配信息,判断第三晶棒信息与信息库中的原始晶棒信息是否匹配,若第三晶棒信息与任一原始晶棒信息匹配,则将与第三晶棒信息对应的第三晶棒以及与原始晶棒信息对应的第一晶棒进行粘结,以获得标准棒。也就是说,利用信息库整合第一晶棒的信息,一方面当对待配棒的第三晶棒进行识别后,可以直
接从信息相对完备的信息库中,寻找与第三晶棒信息匹配的原始晶棒信息,省去人力进行一一统计并比对,提高生产效率,另一方面,为了避免信息库中的第一晶棒信息滞留,并减少配对成功所消耗时间,将达到预设配棒时间的第一晶棒信息筛选出来,并基于第一晶棒信息,制备与该第一晶棒匹配的第二晶棒,即响应于达到预设配棒时间的第一晶棒的需求,主动制备与之匹配的第二晶棒,有利于加快信息库中达到预设配棒时间的第一晶棒的配棒速率,一方面可以清理信息库的原始晶棒信息的数量,另一方面,也可以提高配棒成功率,提高整个晶棒配棒工序的速度。
附图说明
18.一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明,这些示例性说明并不构成对实施例的限定,除非有特别申明,附图中的图不构成比例限制。
19.图1为本技术一实施例提供的一种晶棒配棒方法的方法流程图;
20.图2为本技术一实施例提供的另一种晶棒配棒方法的方法流程图;
21.图3为本技术一实施例提供的一种晶棒翻转系统的结构示意图。
具体实施方式
22.由背景技术可知,现有技术存在晶棒配棒速率较低的问题。
23.分析发现,导致晶棒配棒速率较低的原因之一在于,目前,在对晶棒进行配棒时,需要工作人员将非标棒组合成标准晶棒,而非标棒由现场人工统计组合,通常,工作人员需要统计非标棒的尺寸、型号等参数,计算复杂,导致人员作业效率低,且搬运强度大,导致晶棒配棒的效率较低。
24.本技术实施例提供一种晶棒配棒方法,包括:通过建立信息库,利用信息库整合第一晶棒的信息,一方面当对待配棒的第三晶棒进行识别后,可以直接从信息相对完备的信息库中,寻找与第三晶棒匹配的第一晶棒,省去人力进行一一统计并比对,提高生产效率,另一方面,为了避免信息库中的第一晶棒信息滞留,并减少配对成功所消耗时间,将达到预设配棒时间的第一晶棒信息筛选出来,并基于第一晶棒信息,制备与该第一晶棒匹配的第二晶棒,即响应于达到预设配棒时间的第一晶棒的需求,主动制备与之匹配的第二晶棒,有利于加快信息库中达到预设配棒时间的第一晶棒的配棒速率,一方面可以清理信息库的原始晶棒信息的数量,另一方面,也可以提高配棒成功率,提高整个晶棒配棒工序的速度。
25.下面将结合附图对本技术的各实施例进行详细的阐述。然而,本领域的普通技术人员可以理解,在本技术各实施例中,为了使读者更好地理解本技术而提出了许多技术细节。但是,即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改,也可以实现本技术所要求保护的技术方案。
26.图1为本技术一实施例提供的晶棒配棒方法的一种方法流程图。
27.参考图1,建立信息库,信息库存储有:多个原始晶棒信息,且每一原始晶棒信息至少与一个第一晶棒对应,其中,第一晶棒为经历过配棒步骤且未配棒成功,从而等待配棒的非标棒,在一些实施例中,原始晶棒信息可以是第一晶棒的长度、直径尺寸、参数及型号,其中,型号指的是第一晶棒为n型半导体或者p型半导体,参数包括第一晶棒的掺杂源如p型半导体的硼或镓以及掺杂浓度等。在一些实施例中,信息库中的原始晶棒信息可以由系统自
动录入,例如,可以在第一晶棒上设置载码体,且载码体携带了每一第一晶棒的信息,再采用rfid(radio frequency identification,射频识别技术)对载码体进行自动扫码,以识别出每一第一晶棒的信息,并作为原始晶棒信息,录入信息库中。利用载码体携带第一晶棒的信息,并采用rfid技术对载码体进行自动识别,使得信息录入的过程实现高度自动化,从而可以提高信息录入的效率。在另一些实施例中,也可以采用人工方式对原始晶棒信息进行一一录入。
28.筛选出在信息库中的存储时间达到预设配棒时间的原始晶棒信息,作为第一晶棒信息;也就是说,将信息库中已经达到预设配棒时间但还未配棒成功的原始晶棒信息筛选出来,相当于定期清理信息库的信息存量,防止造成信息库信息滞留的问题。在一些实施例中,可以设置信息反馈单元,用于记录原始晶棒信息在信息库中的存储时间,并筛选出在信息库中的存储时间达到预设配棒时间的原始晶棒信息。在一些实施例中,预设配棒时间可以根据工艺进度来设置,例如,当需要工期进度较快时,可以将预设配棒时间设置的较短,如此,可以较多地筛选出第一晶棒信息,后续再定向制备与第一晶棒信息对应的第一晶棒相匹配的第二晶棒,有利于提高整个晶棒配棒工序的配棒效率,从而加快工期进度;再例如,当工期时间较为宽裕时,也可以设置预设配棒的时间较长,使得信息库中的原始晶棒信息较多,如此,后续在将待配棒的第三晶棒信息与信息库中的原始晶棒信息进行匹配时,可以增加第三晶棒的配对成功率。
29.基于第一晶棒信息以及预设匹配信息,制备第二晶棒,第二晶棒对应的第二晶棒信息与第一晶棒信息匹配。在一些实施例中,预设匹配信息为预先确定的用于匹配并粘结成标准棒所需的两根晶棒的信息组合标准,也就是说,若待配棒的第三晶棒信息与任一原始晶棒信息满足预设匹配信息所预设的组合,则当该第三晶棒信息对应的第三晶棒与原始晶棒信息对应的第一晶棒粘结后,将得到一根标准棒。可以理解的是,在一些实施例中,预设匹配信息可以包括多种不同组合标准,例如,预设匹配信息可以为基于晶棒的长度设置的组合标准,即组合标准为两根晶棒粘结后的长度是否满足标准棒的长度;再例如,预设匹配信息也可以为基于晶棒的型号设置的组合标准,其中,型号包括:n型半导体或者p型半导体,即组合标准可以为将相同型号的晶棒粘结,以获得一根标准棒;又例如,预设匹配信息还可以同时基于晶棒的长度以及晶棒的型号设置的组合标准,即组合标准为:两根晶棒进行粘接后的长度需要满足标准棒的长度,且晶棒的型号需要相同;再例如,预设匹配信息还可以是基于切片工序中的刀型设置的组合标准,这是因为,当两根晶棒粘结成标准棒后,即需要对标准棒进行切片工序,切片工序中,有多种进行切片的刀型,且不同刀型可以对应于不同的标准棒,因此,设置组合标准为:将对应于同一刀型的晶棒进行匹配,以获得标准棒。
30.制备第二晶棒,且第二晶棒所对应的第二晶棒信息与第一晶棒信息满足预设匹配信息,也就是说,将信息库中较长时间未匹配成功的原始晶棒信息筛选出来,作为第一晶棒信息,并响应于第一晶棒信息的匹配需求,定向制备与第一晶棒相匹配的第二晶棒,不仅较大地提高第一晶棒信息的匹配成功率,并且还可以改善信息库中出现信息过多滞留的问题。
31.在一些实施例中,制备第二晶棒的方法可以包括:基于第一晶棒信息,获取与第一晶棒信息相匹配的第二晶棒信息,其中,第一晶棒信息可以通过信息反馈单元,对在信息库中达到预设配棒时间的原始晶棒信息进行筛选而得到。在一些实施例中,可以设置mes
(manufacturing execution system,制造执行系统)系统以获取第二晶棒信息,mes系统用于记录生产过程的数据,还可用于数据获取以及进行数据分析。具体地,获取第二晶棒信息的方法可以为:mes系统中存储有预设匹配信息,信息反馈单元将筛选得到的第一晶棒信息反馈至mes系统中,mes系统对第一晶棒信息进行分析,并基于预设匹配信息获取与第一晶棒信息匹配的第二晶棒信息。
32.提供初始晶棒,对初始晶棒进行截断,以制备与第二晶棒信息对应的第二晶棒。在一些实施例中,可以设置晶棒截断装置对初始晶棒进行截断,以获取第二晶棒,晶棒截断装置可以是截断机。值得注意的是,初始晶棒的直径尺寸、参数以及型号需要与第一晶棒相匹配。具体地,在一些实施例中,可以设置mes系统与晶棒截断装置通讯连接,mes系统获取第二晶棒信息后,将第二晶棒信息反馈至晶棒截断装置,晶棒截断装置基于第二晶棒信息,对初始晶棒进行截断,制备得到第二晶棒。在一些实施例中,在第一晶棒信息对应的第一晶棒等待配棒期间,也可能存在暂时没有与第一晶棒的直径尺寸、参数以及型号相匹配的初始晶棒可用。利用mes进行自动分析并将信息反馈至晶棒截断装置,晶棒截断装置基于第二晶棒信息自动制备第二晶棒,实现了高度的自动化工艺,较大地提高了工艺效率。
33.提供多个待配棒的第三晶棒,第三晶棒至少包括第二晶棒。第三晶棒为等待进行配棒的非标棒,在一些实施例中,第三晶棒除了响应于第一晶棒信息的定向需求而制备的第二晶棒之外,还包括在制备标准棒的工艺过程中产生的非标棒,且第三晶棒为未经历过配棒工序的非标棒。
34.对第三晶棒进行识别,获取与每一第三晶棒对应的第三晶棒信息。具体地,在一些实施例中,可以将第三晶棒置于传输线上,以对第三晶棒进行一一识别,并获取第三晶棒信息,如此,后续可以将第三晶棒信息与信息库中的原始晶棒信息进行一一匹配,提高配棒工序的有序性以及配棒效率。
35.在一些实施例中,可以采用射频识别技术对第三晶棒进行识别。射频识别技术属于无线识别技术,通过无线射频方式进行非接触双向数据通信,且可以进行自动识别。具体地,可以在第三晶棒表面设置载码体,载码体带有每一第三晶棒的信息,包括长度以及型号等信息。同时,设置阅读器,阅读器用于对载码体进行扫描并提取载码体中的信息,当位于运输线上的第三晶棒经过阅读器时,阅读器通过对第三晶棒表面的载码体进行信息读取,从而对第三晶棒进行识别,以获取第三晶棒信息。利用射频识别技术,可以实现对第三晶棒进行自动识别,而无需采用人工方式对晶棒信息进行一一统计,有利于提高晶棒配棒效率。可以理解的是,在另一些实施例中,也可以仅在第三晶棒表面设置载码体,通过人工对载码体进行一一扫码,以获取第三晶棒信息。
36.基于预设匹配信息,判断第三晶棒信息与信息库中的原始晶棒信息是否匹配,若第三晶棒信息与任一原始晶棒信息匹配,则将与第三晶棒信息对应的第三晶棒以及与原始晶棒信息对应的第一晶棒进行粘结,以获得标准棒。设置信息库,对已有的未配棒成功的第一晶棒所对应的原始晶棒信息进行信息整合,当获取第三晶棒信息后,可以直接从信息相对完备的信息库中,寻找与第三晶棒信息相匹配的原始晶棒信息,省去人力进行一一统计并比对,提高了晶棒配棒效率。
37.在一些实施例中,可以采用自动匹配或者人工匹配中的任一种方法判断第三晶棒信息与信息库中的原始晶棒信息是否匹配。具体地,在一些实施例中,自动匹配的方法可以
包括:设置自动运输线,自动运输线用于对第三晶棒进行传输,且自动运输线上设置有阅读器,用于对第三晶棒进行一一识别,此外,还可以在自动运输线上设置匹配单元,用于对第三晶棒信息以及信息库中的原始晶棒信息进行匹配。具体地,自动匹配的过程可以为:将第三晶棒置于自动运输线上,位于自动运输线上的第三晶棒被一一传输至阅读器,由阅读器对第三晶棒上的载码体进行识别并提取第三晶棒信息,匹配单元将第三晶棒信息与信息库中的原始晶棒信息进行匹配。可以理解的是,在一些实施例中,在采用自动运输线对第三晶棒进行运输并识别时,还可以设置第四晶棒与第三晶棒同时置于自动运输线上,与第三晶棒同时进行运输并识别。其中,第四晶棒为制备标准晶棒的工艺过程中所获取的标准晶棒,也就是说,将第四晶棒以及第三晶棒同时置于自动运输线上,再对第四晶棒以及第三晶棒进行识别。具体地,在对第三晶棒以及第四晶棒进行识别后,筛选出第三晶棒信息,以进行后续的匹配工序,这是因为第四晶棒本身为标准晶棒,无需进行配棒工序。将第三晶棒以及第四晶棒共同放置于自动运输线上进行识别,如此可以无需再增加一步分选标准晶棒以及非标棒的工序,在对第三晶棒进行信息识别的过程中,同时筛选出标准晶棒,可以节省工序,从而加快工艺进度。
38.在一些实施例中,人工匹配的方法可以包括:将第三晶棒置于人工运输线上,工作人员使用扫码器对人工运输线上的第三晶棒上的载码体进行扫码,以识别出第三晶棒信息;工作人员基于第三晶棒信息以及预设匹配信息,在信息库中查找是否具有满足预设匹配信息的原始晶棒信息。
39.在一些实施例中,基于自动匹配以及人工匹配这两种匹配方式,可以将信息库分为:线上库,线上库中存储有用于进行自动匹配的第一原始晶棒信息;线下库,线下库中存储有用于进行人工匹配的第二原始晶棒信息。也就是说,针对自动匹配以及人工匹配这两种方式,分别建立信息库,如此,有利于对信息库中的信息进行管理。
40.图2为本技术一实施例提供的另一种晶棒配棒方法的方法流程图,参考图2,在一些实施例中,判断第三晶棒信息与信息库中的原始晶棒信息是否匹配的方法包括:基于第三晶棒信息,对线上库中存储的第一原始晶棒信息进行查找,以获取满足预设匹配信息的原始晶棒信息,若第三晶棒信息与线上库中的所述第一原始晶棒信息匹配,则将与第三晶棒对应的第三晶棒和与第一原始晶棒信息对应的第一晶棒筛出至自动下料输送线,以对第三晶棒以及第一晶棒进行粘结。自动下料输送线为用于进行粘结工艺的位置,具体地,在一些实施例中,可以设置线上库位,用于放置与线上库中第一原始晶棒信息对应的第一晶棒,还可以设置夹持部件,夹持部件与匹配单元通讯连接,当匹配单元判断线上库中存在与第三晶棒信息相匹配的第一原始晶棒信息时,向夹持部件发送第一反馈信号,夹持部件基于第一反馈信号将相匹配的第三晶棒以及第一晶棒传输至自动下料输送线。在采用自动匹配的方式时,首先将第三晶棒信息与线上库中的第一原始晶棒信息进行匹配,如此,若线上库中具有与第三晶棒信息匹配的第一原始晶棒信息,可以自动将第一原始晶棒信息所对应的第一晶棒筛选出来并自动运输至自动下料输送线,同时将第三晶棒运输至自动下料输送线,以对第三晶棒以及第一晶棒进行粘结,实现匹配步骤至粘结步骤的自动化,提高工艺效率。
41.在一些实施例中,若第三晶棒信息与线上库中的第一原始晶棒信息不匹配,则基于第三晶棒信息,对线下库中存储的第二原始晶棒信息进行查找,以获取满足预设匹配信
息的原始晶棒信息,若第三晶棒信息与线下库中的第二原始晶棒信息匹配,则采用人工方式对第三晶棒以及与第二原始晶棒信息对应的第一晶棒进行粘结。也就是说,在采用自动匹配方式时,若线上库中的第一原始晶棒信息均不与第三晶棒信息相匹配,则还可以将第三晶棒信息与线下库中的第二原始晶棒信息进行比对,如此,可以提高第三晶棒的配棒成功率。具体地,在一些实施例中,可以设置hmi(human machine interface,人机界面),hmi与匹配单元通讯连接,当匹配单元判断线下库中具有与第三晶棒信息相匹配的第二原始晶棒信息时,向hmi发送第二反馈信号,其中,第二反馈信号包括与第三晶棒信息相匹配的第二原始晶棒信息,hmi基于第二反馈信号,将第二原始晶棒的信息显示在界面上,当工作人员接收到该第二原始晶棒信息时,可以将与该第三晶棒信息对应的第三晶棒移出自动运输线,并基于该第二原始晶棒信息,查找第二原始晶棒信息所对应的第一晶棒,以与该第三晶棒进行粘结。
42.在一些实施例中,若第三晶棒信息与线上库中的第一原始晶棒信息以及线下库中的第二原始晶棒信息均不匹配,则将该第三晶棒信息录入线上库中,作为第一原始晶棒信息。如此,即使在当前的配棒工序中,第三晶棒未配棒成功,由于第三晶棒信息被录入线上库作为第一原始晶棒信息,因此,可以等待配棒,即等待与该第一原始晶棒信息相匹配的第三晶棒信息的出现。设置将未在配棒工序中匹配成功的第三晶棒信息录入线上库,可以增加每一未匹配成功的第三晶棒信息的匹配次数,从而增加第三晶棒的匹配成功率。
43.在一些实施例中,还包括:基于预设下线时间,将线上库中存储时间达到预设下线时间的第一原始晶棒信息移出至线下库。预设下线时间为预先设定的下线时间,在一些实施例中,预设下线时间可以设置得较长,为待匹配的原始晶棒信息提供较长的匹配时间,从而增加匹配成功率。当线上库中的第一原始晶棒信息的存储时间达到预设下线时间时,说明该第一原始晶棒信息在较长时间内均未匹配成功,可以认为该第一原始晶棒信息匹配成功的概率较小。因此,将该第一原始晶棒信息移出线上库,再录入线下库中,以进行人工匹配,一方面可以为等待录入的第一原始晶棒信息提供内存空间,合理利用线上库的存储空间,可以提高自动匹配成功率,另一方面,将该第一原始晶棒信息录入线下库中,作为第二原始晶棒信息以进行人工匹配,使得其仍然具有配棒的机会,从而合理规划整个信息库的存储空间,以提高原始晶棒信息整体的配棒成功率。可以理解的是,预设下线时间大于预设配棒时间,即未配棒成功的第一原始晶棒信息在达到预设下线时间之前,首先需要达到预设配棒时间,从而可以基于该达到预设配棒时间的第一原始晶棒信息,定向制备第二晶棒,即对该第一原始晶棒信息的匹配过程进行人为干预,从而较大地提高该第一原始晶棒信息对应的第一晶棒匹配成功的概率。若制备了第二晶棒后,该第一原始晶棒信息仍未匹配成功,再将该第一原始晶棒信息移出线上库,并录入线下库中,以进行人工匹配。
44.在一些实施例中,还包括:对粘结后的第三晶棒对应的第三晶棒信息以及第一晶棒对应的第一晶棒信息与预设匹配信息进行比对,以验证粘结后的第三晶棒以及第一晶棒是否符合预期。具体地,在一些实施例中,由于第三晶棒以及第一晶棒表面均设有载码体,因此,可以对第三晶棒表面的载码体以及第一晶棒表面的载码体进行扫码,以获取第三晶棒信息以及第一晶棒信息,并将第三晶棒信息以及第一晶棒信息与预设匹配信息进行比对。在一些实施例中,可以在mes系统中输入获取的第三晶棒信息或者第一晶棒信息中的任一信息,例如,可以在mes系统中输入获取的第三晶棒信息,mes系统基于预设匹配信息将自
动显示出与第三晶棒信息匹配的预设第一晶棒信息,再将实际获取的第一晶棒信息与mes系统显示的预设第一晶棒信息进行比对,若实际获取的第一晶棒信息与预设第一晶棒信息相匹配,则认为粘结后的第三晶棒以及第一晶棒符合预期。对粘结后的第三晶棒以及第一晶棒是否符合预期进行验证,如此,可以较好地保证粘结后的第三晶棒以及第一晶棒符合标准晶棒的要求,从而有利于提高后续对标准晶棒进行切片工序的良率。
45.在一些实施例中,还包括:对粘结后的第三晶棒的信息以及第一晶棒的信息进行绑定,即对粘结后的第三晶棒以及第一晶棒的组合信息进行更新。具体地,以粘结后的第三晶棒以及第一晶棒形成第一标准晶棒为例进行说明。相匹配的第三晶棒以及第一晶棒粘结形成第一标准晶棒后,对第一标准晶棒的长度、型号以及适用刀型等信息进行更新,如此,当第一标准晶棒进入切片工序前,可以基于第一标准晶棒的信息,为第一标准晶棒选择合适的刀型,有利于提高切片产品的良率。在一些实施例中,还可以在自动运输线上设置分选模块,当对第一标准晶棒的信息进行更新后,可以将第一标准晶棒的信息反馈至分选模块,分选模块基于第一标准晶棒的信息,对第一标准晶棒进行分选,为第一标准晶棒进行切片工序挑选合适的刀型。
46.上述实施例提供的晶棒配棒方法中,通过建立信息库,利用信息库整合第一晶棒的信息,一方面当对待配棒的第三晶棒进行识别后,可以直接从信息相对完备的信息库中,寻找与第三晶棒匹配的第一晶棒,省去人力进行一一统计并比对,提高生产效率。另一方面,为了避免信息库中的第一晶棒信息滞留,并减少配对成功所消耗时间,将达到预设配棒时间的第一晶棒信息筛选出来,并基于第一晶棒信息,制备与该第一晶棒匹配的第二晶棒,即对长时间未匹配成功的第一晶棒信息进行人为干预,并响应于第一晶棒的需求,主动制备与之匹配的第二晶棒,有利于加快信息库中达到预设配棒时间的第一晶棒的配棒速率,一方面可以清理信息库的内存空间,另一方面,也可以提高配棒成功率,提高整个晶棒配棒工序的速度。
47.相应地,本技术实施例还提供一种晶棒配棒系统,该晶棒配棒系统可用于实现上一实施例提供的晶棒配棒方法,以下将结合附图对本技术另一实施例提供的晶棒配棒系统进行详细说明。
48.晶棒配棒系统包括:信息库,信息库存储有:多个原始晶棒信息,且每一原始晶棒信息与至少一个第一晶棒对应;信息反馈单元,信息反馈单元用于筛选出在信息库中的存储时间达到预设配棒时间的原始晶棒信息,作为第一晶棒信息;晶棒截断装置,晶棒截断装置用于基于第一晶棒信息以及预设匹配信息,制备第二晶棒,第二晶棒对应的第二晶棒信息与第一晶棒信息匹配;运输线,运输线用于运输第三晶棒,第三晶棒至少包括第二晶棒;识别单元,识别单元用于对第三晶棒进行识别,获取与每一第三晶棒对应的第三晶棒信息;匹配单元,匹配单元用于基于预设匹配信息,判断第三晶棒信息与信息库中的原始晶棒信息是否匹配,若第三晶棒信息与任一原始晶棒信息匹配,则将与第三晶棒信息对应的第三晶棒以及与原始晶棒信息对应的第一晶棒进行粘结,以获得标准棒。
49.设置信息库,对第一晶棒对应的原始晶棒信息进行整合,如此,在配棒步骤中,可以直接从信息相对完备的信息库中,查找与第三晶棒匹配的第一晶棒,省去人力进行一一统计并比对,提高配棒效率。另一方面,设置信息反馈单元以及晶棒截断装置,将达到预设配棒时间的第一晶棒信息筛选出来,并基于第一晶棒信息,制备与该第一晶棒匹配的第二
晶棒,即对长时间未匹配成功的第一晶棒信息进行人为干预,主动制备与第一晶棒匹配的第二晶棒,可以避免信息库中的第一晶棒信息滞留,并减少配对成功所消耗时间,提高整个晶棒配棒工序的速度。
50.在一些实施例中,信息库中的原始晶棒信息可以由系统自动录入,例如,可以采用射频识别技术对第一晶棒进行识别,并获取原始晶棒信息,再将原始晶棒信息自动录入信息库中。在另一些实施例中,也可以采用人工方式对原始晶棒信息进行一一录入。
51.在一些实施例中,预设匹配信息为预先确定的用于匹配并粘结成标准棒所需的两根晶棒的信息组合标准,也就是说,若待配棒的第三晶棒信息与任一原始晶棒信息满足预设匹配信息所预设的组合,则当该第三晶棒信息对应的第三晶棒与原始晶棒信息对应的第一晶棒粘结后,将得到一根标准棒。可以理解的是,在一些实施例中,预设匹配信息可以包括多种不同组合标准,例如,预设匹配信息可以为基于晶棒的长度设置的组合标准;再例如,预设匹配信息也可以为基于晶棒的型号设置的组合标准,其中,型号包括:n型半导体或者p型半导体;又例如,预设匹配信息还可以同时基于晶棒的长度以及晶棒的型号设置的组合标准;再例如,预设匹配信息还可以是基于切片工序中的刀型设置的组合标准。
52.信息反馈单元用于记录原始晶棒信息在信息库中的存储时间,并筛选出第一晶棒信息。晶棒截断装置定向制备与第一晶棒信息对应的第一晶棒相匹配的第二晶棒,即对长时间未匹配成功的第一晶棒信息进行人为干预,以提高匹配成功率。
53.在一些实施例中,还包括:制造执行单元,制造执行单元与信息反馈单元通讯连接,且制造执行单元与晶棒截断装置通讯连接,制造执行单元用于基于第一晶棒信息,获取与第一晶棒信息相匹配的第二晶棒信息,并将第二晶棒信息反馈至所述晶棒截断装置。在一些实施例中,制造执行单元中存储有预设匹配信息,且制造执行单元具有数据分析功能,从而可以基于获得的第一晶棒信息以及预设匹配信息,分析并得到与第一晶棒信息相匹配的第二晶棒信息。在一些实施例中,制造执行单元可以是ems系统。具体地,信息反馈单元筛选出信息库中存储时间达到预设配棒时间的原始晶棒信息作为第一晶棒信息,并将第一晶棒信息反馈至制造执行单元;制造执行单元对第一晶棒信息进行分析,并基于预设匹配信息获取与第一晶棒信息匹配的第二晶棒信息;制造执行单元将第二晶棒信息反馈至晶棒截断装置,晶棒截断装置基于第二晶棒信息,对初始晶棒进行截断,制备得到第二晶棒,如此,实现了高度的自动化工艺,较大地提高了工艺效率。
54.在一些实施例中,可以通过mes系统对预设匹配信息进行更新,还可以通过mes系统对预设配棒时间进行设置,具体地,在一些实施例中,可以在mes系统中设置用户交互界面,工作人员可通过该用户交互界面对预设匹配信息以及预设配棒时间进行设置。
55.图3为本技术一实施例提供的晶棒配棒系统的一种结构示意图。
56.参考图3,在一些实施例中,运输线包括:自动运输线1,自动运输线1用于运输进行自动匹配的第三晶棒;人工运输线(未图示),人工运输线用于运输进行人工匹配的第三晶棒10。自动运输线1用于对第三晶棒10进行传输,并对第三晶棒10进行一一识别。具体地,在一些实施例中,晶棒配棒系统还包括:上料口2,上料口2与自动运输线1相连通,并位于自动运输线1一侧,上料口2用于放置第三晶棒10,且识别单元设置于上料口2,具体地,识别过程可以为:将第三晶棒10置于自动运输线1上,位于自动运输线1上的第三晶棒10被一一传输至上料口2,由设置于上料口2的识别单元(未图示)对第三晶棒10进行识别并提取第三晶棒
10信息。在一些实施例中,可以采用射频识别技术对第三晶棒10进行识别,识别单元可以为阅读器以及载码体的组合,其中,阅读器设置于上料口2,载码体位于第三晶棒10表面。此外,还可以将匹配单元设置于自动运输线1上的上料口2,当对第三晶棒10进行识别后,便对第三晶棒10信息以及信息库中的原始晶棒信息进行匹配。采用自动匹配的方式对第三晶棒10进行匹配,实现了匹配过程的高度自动化,有利于提高配棒效率。
57.在一些实施例中,人工匹配的方法可以包括:将第三晶棒10置于人工运输线上,工作人员使用扫码器对人工运输线上的第三晶棒10上的载码体进行扫码,以识别出第三晶棒10信息;工作人员基于第三晶棒10信息以及预设匹配信息,在信息库中查找是否具有满足预设匹配信息的原始晶棒信息。
58.基于自动匹配以及人工匹配两种方式,在一些实施例中,可以设置信息库包括:线上库,所述线上库中存储有用于进行自动匹配的第一原始晶棒信息;线下库:所述线下库中存储有用于进行人工匹配的第二原始晶棒信息,基于自动匹配以及人工匹配这两种方式,分别建立信息库,如此,有利于对信息库中的信息进行管理。
59.在一些实施例中,为了对线上库中存储的第一原始晶棒信息对应的第一晶棒以及线下库中存储的第二原始晶棒信息对应的第一晶棒进行分别管理,晶棒配棒系统还可以包括:线上库位3,线上库位3的一端与上料口2相连,线上库位3用于存放与线上库中的第一原始晶棒信息对应的第一晶棒;线下库位,线下库位用于存放与线下库中的第二原始晶棒信息对应的第一晶棒。
60.设置线上库位3与上料口2的一端相连,使得在执行自动匹配步骤时,可以实现较高的自动化水平。具体地,当位于上料口2的第三晶棒10经过识别以及匹配过程后,若第三晶棒10与线上库中的任一第一原始晶棒信息匹配,则可以将选中的第一原始晶棒信息对应的第一晶棒从线上库位3中抓取出来,用于与第三晶棒10进行粘结步骤。具体地,在一些实施例中,晶棒配棒系统还可以包括:自动下料输送线4以及夹持部件5,自动下料输送线4为用于进行粘结工艺的位置,夹持部件5与匹配单元通讯连接,当匹配单元判断线上库中存在与第三晶棒10信息相匹配的第一原始晶棒信息时,向夹持部件5发送第一反馈信号,夹持部件5基于第一反馈信号将相匹配的第三晶棒10以及第一晶棒传输至自动下料输送线4,实现匹配步骤至粘结步骤的自动化。具体地,在一些实施例中,夹持部件5可以设置于线上库位3的两侧,由于线上库位3的一端与上料口2相连,即夹持部件5还位于上料口2的两侧,如此,使得夹持部件5与第三晶棒10以及第一晶棒之间的距离较近,当夹持部件5接收到第一反馈信号时,可以较快捷地夹持住第三晶棒10以及第一晶棒并传输至自动下料输送线4。在一些实施例中,自动下料输送线4可以设置于线上库位3远离上料口2的一端,即上料口2、线上库位3以及自动下料输送线4相接,使得上料口2、线上库位3以及自动下料输送线4之间的距离较近,从而夹持部件5可以在较短的时间内,将第三晶棒10以及第一晶棒夹持至自动下料输送线4,加快工艺进度。具体地,在一些实施例中,夹持部件5可以是自动桁架机械手。
61.当在进行人工匹配步骤时,通过工作人员对第三晶棒10进行识别后,在线下库中寻找与是否有满足预设匹配信息的第二原始晶棒信息,若线下库中的任一第二原始晶棒信息与第三晶棒10匹配,则工作人员可以在线下库位中寻找选中的第二原始晶棒信息对应的第一晶棒,以进行粘接步骤。设置线上库位3以及线下库位,使得可以有序地进行自动匹配过程以人工匹配过程,提高后续对相匹配的第三晶棒10以及第一晶棒进行粘结后得到的标
准晶棒的良品率。
62.在一些实施例中,还包括:下线工位6,下线工位6用于放置线上库中存储时间达到预设下线时间的第一原始晶棒信息所对应的第一晶棒。预设下线时间为预先设定的下线时间,当线上库中的第一原始晶棒信息的存储时间达到预设下线时间时,说明该第一原始晶棒信息在较长时间内均未匹配成功,可以认为该第一原始晶棒信息匹配成功的概率较小。因此,将该第一原始晶棒信息移出线上库,可以为等待录入的第一原始晶棒信息提供内存空间,合理利用线上库的存储空间。由于信息反馈单元用于记录第一原始晶棒信息在线上库中的存储时间,因此,在一些实施例中,可以设置信息反馈单元与夹持部件5通讯连接,信息反馈单元记录并筛选出线上库中存储时间达到预设下线时间的第一原始晶棒信息,并向夹持部件5发送第三反馈信号,夹持部件5基于第三反馈信号,从线上库位3中,将选中的第一原始晶棒信息对应的第一晶棒夹持至下线工位6,用于暂时存放该第一晶棒。也就是说,设置下线工位6,使得夹持部件5在基于第三反馈信号自动夹持存储时间达到预设下线时间的第一晶棒时,可以为该第一晶棒提供存储空间,从而无需工作人员将存储时间达到预设下线时间的第一晶棒手动挑选出来。
63.在一些实施例中,可以通过mes系统的用户交互界面,对预设下线时间进行设置。
64.为了使被移出线上库位3的第一晶棒仍然具有配棒的机会,在一些实施例中,可以将线上库中存储时间达到预设下线时间的第一原始晶棒信息移出至线下库,相应地,可以将被移出线上库位3的第一晶棒存入线下库位中。在一些实施例中,由于将线上库中存储时间达到预设下线时间的第一原始晶棒信息所对应的第一晶棒移出至下线工位6,用于暂时存放,因此,后续可以通过工作人员将下线工位6中的第一晶棒搬运至线下库中,使得其仍然具有配棒的机会,提高原始晶棒信息整体的配棒成功率。
65.在一些实施例中,还包括:上料运输线7,上料运输线7用于在相匹配的第三晶棒10以及第一晶棒粘接完成,并得到一根标准晶棒后,将该标准晶棒运输至下一工序,例如可以是切片工序。
66.上述申请实施例提供的晶棒配棒系统中,设置信息库,对第一晶棒对应的原始晶棒信息进行整合,如此,在配棒步骤中,可以直接从信息相对完备的信息库中,查找与第三晶棒10匹配的第一晶棒,省去人力进行一一统计并比对,提高配棒效率。另一方面,设置信息反馈单元以及晶棒截断装置,将达到预设配棒时间的第一晶棒信息筛选出来,并基于第一晶棒信息,制备与该第一晶棒匹配的第二晶棒,即对长时间未匹配成功的第一晶棒信息进行人为干预,主动制备与第一晶棒匹配的第二晶棒,可以避免信息库中的第一晶棒信息滞留,并减少配对成功所消耗时间,提高整个晶棒配棒工序的速度。
67.本领域的普通技术人员可以理解,上述各实施方式是实现本技术的具体实施例,而在实际应用中,可以在形式上和细节上对其作各种改变,而不偏离本技术的精神和范围。任何本领域技术人员,在不脱离本技术的精神和范围内,均可作各自更动与修改,因此本技术的保护范围应当以权利要求限定的范围为准。
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