一种用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置的制作方法

1.本实用新型涉及机械手技术领域，具体说是一种用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置。


背景技术：

2.传统半导体晶圆划片机都是由人工实现上料和下料，导致人工成本高，加工效率慢，针对这种问题，已经开始了针对传统划片机的改造，通过外置机械手的方式实现自动上料和下料；现有的机械手夹料方式有很多种，但是结构较为复杂，成本高，且体积大、占地面积广，适用场地有所局限，不利于推广使用，因此针对这一问题进行了改进。


技术实现要素：

3.针对上述问题，本实用新型提供一种结构简单，操作方便，可以同时实现上下升降和旋转夹料的用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置。
4.本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置，包括上下气缸、旋转组件和抬料组件，所述旋转组件包括旋转气缸安装座、旋转气缸和设于旋转气缸下方的转盘，所述抬料组件包括抬料夹爪安装板和沿抬料夹爪安装板圆周周设的数个抬料夹爪，所述旋转气缸安装座固定设于抬料夹爪安装板上，且所述旋转气缸安装座顶部通过直线光轴与上下气缸活动相连，所述旋转气缸安装座底部固定连接有旋转气缸，所述旋转气缸通过旋转轴与转盘相连，同时所述转盘上沿圆周均设有数个与抬料夹爪一一对应的弧形滑槽，每一所述弧形滑槽均同向沿转盘外周向圆心呈弧形斜向设置，每一所述抬料夹爪均通过连杆连接于对应弧形滑槽，每一所述抬料夹爪均与连杆一端固定相连，所述连杆水平贯穿抬料夹爪安装板侧面且与抬料夹爪安装板活动相连，所述连杆另一端与卡合弧形滑槽的凸轮相连。
5.作为优选，所述弧形滑槽由左下向右上斜向设置，所述旋转气缸带动转盘顺时针旋转，所述连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘圆心并带动抬料夹爪夹紧，所述旋转气缸带动转盘逆时针旋转，所述连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘外周并带动抬料夹爪松开。
6.作为优选，所述弧形滑槽由右下向左上斜向设置，所述旋转气缸带动转盘逆时针旋转，所述连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘圆心并带动抬料夹爪夹紧，所述旋转气缸带动转盘顺时针旋转，所述连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘外周并带动抬料夹爪松开。
7.作为优选，所述转盘与所述抬料夹爪安装板沿旋转轴同轴圆心设置。
8.作为优选，所述抬料夹爪一侧设有传感器，所述传感器通过传感支架连接于抬料夹爪安装板。
9.作为优选，所述上下气缸通过气缸支架固定于推料装置上，所述抬料夹爪夹取工件盘。
10.与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：
11.1、本实用新型通过上下气缸可以带动整个装置上下升降同时通过旋转气缸带动
转盘旋转，从而带动连杆随卡合转盘滑槽的凸轮来回滑动，因此带动抬料夹爪夹紧或松开工件盘实现夹料；
12.2、本实用新型结构简单，便于操作，且体积小，成本低，适用于各种小空间安装，便于推广使用；
13.3、本实用新型通过随凸轮在滑槽的运动而进行水平活动的连杆可以调节抬料夹爪与抬料夹爪安装板间连杆的长度，从而实现抬料夹爪夹取不同规格大小的工件盘；
14.4、本实用新型通过传感器可以及时感应抬料夹爪是否夹到料，若未夹到料可以及时发出报警信息，从而避免操作失误，提高安全性。
附图说明
15.图1是本实用新型立体结构示意图；
16.图2是本实用新型旋转组件和抬料组件连接结构示意图；
17.图3是本实用新型后视图；
18.图4是本实用新型仰视图。
具体实施方式
19.下面将结合图1-4详细说明本实用新型，在此本实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。
20.一种用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置，其包括上下气缸501、旋转组件和抬料组件，其中上下气缸通过气缸支架502固定于推料装置上，旋转组件包括旋转气缸安装座503、旋转气缸504和设于旋转气缸下方的转盘505，抬料组件包括抬料夹爪安装板506和沿抬料夹爪安装板圆周周设的数个夹取工件盘6的抬料夹爪507，旋转气缸安装座固定设于抬料夹爪安装板上，且所述旋转气缸安装座顶部通过直线光轴513与上下气缸活动相连，旋转气缸安装座底部固定连接有旋转气缸，旋转气缸通过旋转轴508与转盘相连，转盘与抬料夹爪安装板沿旋转轴同轴圆心设置，同时转盘上沿圆周均设有数个与抬料夹爪一一对应的弧形滑槽512，每一弧形滑槽均同向沿转盘外周向圆心呈弧形斜向设置，每一抬料夹爪均通过连杆509连接于对应弧形滑槽，每一抬料夹爪均与连杆一端固定相连，连杆水平贯穿抬料夹爪安装板侧面且与抬料夹爪安装板活动相连，连杆另一端与卡合弧形滑槽的凸轮相连，其中上下气缸和旋转气缸均与控制器电性相连，上下气缸可以带动整个装置上下升降同时通过旋转气缸带动转盘旋转，从而带动连杆随卡合转盘滑槽的凸轮来回滑动，因此带动抬料夹爪夹紧或松开工件盘，同时通过随凸轮在滑槽的运动而进行水平活动的连杆可以调节抬料夹爪与抬料夹爪安装板间连杆的长度，从而实现抬料夹爪夹取不同规格大小的工件盘，抬料夹爪一侧设有与控制器电性相连的传感器510，传感器通过传感支架511连接于抬料夹爪安装板，通过传感器可以及时感应抬料夹爪是否夹到工件盘，若未夹到工件盘可以及时发出报警信息，从而避免操作失误，提高安全性。
21.弧形滑槽由左下向右上斜向设置，如本实用新型实施例图1-4所示，旋转气缸带动转盘顺时针旋转，连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘圆心并带动抬料夹爪夹紧，旋转气缸带动转盘逆时针旋转，连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘外周并带动抬料夹爪松开。
22.弧形滑槽由右下向左上斜向设置，旋转气缸带动转盘逆时针旋转，连杆随凸轮沿
弧形滑槽滑向转盘圆心并带动抬料夹爪夹紧，旋转气缸带动转盘顺时针旋转，连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘外周并带动抬料夹爪松开。
23.工作原理：上下气缸推动直线光轴向下运动，从而带动旋转组件和抬料组件下降到物料工件盘的位置，再通过旋转气缸带动转盘旋转，从而连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘圆心并带动抬料夹爪夹紧工件盘，之后上下气缸再带动旋转组件和抬料组件上升到一定位置，通过与上下气缸相连的推料装置输送到指定的待切割工作台，上下气缸再次带动旋转组件和抬料组件下降到指定的待切割工作台位置，旋转气缸带动转盘反向旋转，从而连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘外周并带动抬料夹爪松开工件盘，最后上下气缸带动旋转组件和抬料组件上升后再随推料装置返回原位置，如此不断循环实现不断夹料。
24.以上对本实用新型实施例所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型实施例的原理以及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只适用于帮助理解本实用新型实施例的原理；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例，在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。


技术特征：
1.一种用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置，其特征在于：包括上下气缸(501)、旋转组件和抬料组件，所述旋转组件包括旋转气缸安装座(503)、旋转气缸(504)和设于旋转气缸下方的转盘(505)，所述抬料组件包括抬料夹爪安装板(506)和沿抬料夹爪安装板圆周周设的数个抬料夹爪(507)，所述旋转气缸安装座固定设于抬料夹爪安装板上，且所述旋转气缸安装座顶部通过直线光轴(513)与上下气缸活动相连，所述旋转气缸安装座底部固定连接有旋转气缸，所述旋转气缸通过旋转轴(508)与转盘相连，同时所述转盘上沿圆周均设有数个与抬料夹爪一一对应的弧形滑槽(512)，每一所述弧形滑槽均同向沿转盘外周向圆心呈弧形斜向设置，每一所述抬料夹爪均通过连杆(509)连接于对应弧形滑槽，每一所述抬料夹爪均与连杆一端固定相连，所述连杆水平贯穿抬料夹爪安装板侧面且与抬料夹爪安装板活动相连，所述连杆另一端与卡合弧形滑槽的凸轮相连。2.根据权利要求1所述用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置，其特征在于：所述弧形滑槽由左下向右上斜向设置，所述旋转气缸带动转盘顺时针旋转，所述连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘圆心并带动抬料夹爪夹紧，所述旋转气缸带动转盘逆时针旋转，所述连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘外周并带动抬料夹爪松开。3.根据权利要求1所述用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置，其特征在于：所述弧形滑槽由右下向左上斜向设置，所述旋转气缸带动转盘逆时针旋转，所述连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘圆心并带动抬料夹爪夹紧，所述旋转气缸带动转盘顺时针旋转，所述连杆随凸轮沿弧形滑槽滑向转盘外周并带动抬料夹爪松开。4.根据权利要求1所述用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置，其特征在于：所述转盘与所述抬料夹爪安装板沿旋转轴同轴圆心设置。5.根据权利要求1所述用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置，其特征在于：所述抬料夹爪一侧设有传感器(510)，所述传感器通过传感支架(511)连接于抬料夹爪安装板。6.根据权利要求1所述用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置，其特征在于：所述上下气缸通过气缸支架(502)固定于推料装置上，所述抬料夹爪夹取工件盘(6)。

技术总结
本实用新型涉及一种用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置，其包括上下气缸、旋转组件和抬料组件，旋转组件包括旋转气缸安装座、旋转气缸和转盘，抬料组件包括抬料夹爪安装板和数个抬料夹爪，旋转气缸安装座固定设于抬料夹爪安装板上，且旋转气缸安装座顶部通过直线光轴与上下气缸活动相连，旋转气缸安装座底部固定连接有旋转气缸，旋转气缸通过旋转轴与转盘相连，同时转盘上设有数个与抬料夹爪一一对应的弧形滑槽，每一抬料夹爪均与连杆一端固定相连，连杆另一端穿过夹爪安装板侧面与卡合弧形滑槽的凸轮相连。本实用新型通过简单的结构可以同时实现上下升降和旋转夹料，且体积小，成本低，适用于各种小空间安装，便于推广使用。便于推广使用。便于推广使用。


技术研发人员：胡天 龚胜 徐志强
受保护的技术使用者：合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司
技术研发日：2022.10.12
技术公布日：2023/1/24