线切割机的制作方法

本发明涉及线切割设备，具体提供一种线切割机。

背景技术：

1、线切割机是通过切割线的高速往复运动对待切割材料(比如硅棒、半导体、碳化硅、蓝宝石、磁材等材料)进行切割的设备，切片工艺是通过切片机实现的，切片机的切割区域内需要喷淋切削液，切割工作之后产生的粉末(比如硅粉)也悬浮在切割区域并混入切削液中，喷淋后的切削液会沿着切割线流入到走线机构上，切割线离开切割机构后首先绕经转向组件，因此切削液以及混入切削液的硅粉会影响转向轮的正常工作，甚至对转向轮造成损伤。切片机只是线切割机的一种，其他线切割机例如开方机也存在上述问题。

2、相应的，本领域需要一种新的线切割机来解决现有的线切割机不能很好的保护转向组件或转向组件不能稳定工作的问题。

技术实现思路

1、本发明旨在解决上述技术问题，即，解决现有的线切割机不能很好的保护转向组件或转向组件不能稳定工作的问题。

2、在第一方面，本发明提供一种线切割机，所述线切割机包括切割腔室、防护腔室、切割机构和走线机构；所述走线机构包括转向组件，所述转向组件被配置为使得切割线转向之后绕设于所述切割机构，以使所述切割机构能够通过所述切割线进行切割工作；所述防护腔室设置在所述切割腔室内，所述切割机构设置在所述切割腔室内；所述转向组件设置在所述防护腔室内。

3、将转向组件设置在防护腔室内，与现有技术中直接将转向组件设置在切割腔室相比，设置在防护腔室内的转向组件受到切削液的影响大大降低，因此，转向组件工作的稳定性增加，同时切割腔室还可以减少硅粉的进入，降低了硅粉对转向组件内的切割线的损伤，因此，延长了转向组件与切割线的使用寿命。

4、在上述的线切割机的优选技术方案中，所述切割腔室与外侧之间设置有隔离门，所述防护腔室设置在所述隔离门的内侧，所述隔离门的内侧设置有遮挡沿，所述遮挡沿形成所述防护腔室的顶盖；并且/或者，所述转向组件包括转向轮。

5、通过遮挡沿的设置可以遮挡住大部分液体，从而有效防止液体进入到防护腔室内。

6、在上述的线切割机的优选技术方案中，所述转向组件还包括固定支架和穿线支架，所述固定支架可滑动地设置在所述线切割机上，所述转向轮可自转地设置在所述固定支架上，所述穿线支架固定设置在所述固定支架上，所述穿线支架上具有穿线槽，所述穿线槽用于引导切割线从防护腔室的内侧延伸至防护腔室的外侧。

7、通过将转向轮与穿线支架固定设置在可滑动连接的固定支架上，可以根据切割线所需的位置调整固定支架的位置，从而使切割线以最佳位置进入到切割腔室内。

8、在上述的线切割机的优选技术方案中，穿线支架的部分设置在遮挡沿和转向轮防水组件之间，穿线支架从防护腔室的内侧延伸至防护腔室的外侧。

9、在上述的线切割机的优选技术方案中，所述转向组件还包括滑轨和滑块，所述滑轨固定设置在所述线切割机上，所述滑块可滑动地设置在所述滑轨上，所述固定支架固定设置在所述滑块上。

10、在上述的线切割机的优选技术方案中，所述转向组件还包括高度调节块，所述高度调节块可滑动地设置在所述固定支架上，并且所述高度调节块的滑动方向与所述固定支架的滑动方向垂直，所述转向轮可自转地设置在所述高度调节块上，所述穿线支架固定设置在所述高度调节块上。

11、在上述的线切割机的优选技术方案中，所述穿线支架包括相互连接的固定部和承载部，所述承载部远离所述固定部的一侧还设置有止挡部，穿线槽穿过所述固定部、所述承载部和所述止挡部。

12、穿线支架上设置穿线槽可以保证切割线经过穿线槽后进入到切割腔室内，增加了切割线运行中的稳定性。

13、在上述的线切割机的优选技术方案中，还包括主框架，所述走线机构位于主框架的内侧，所述走线机构还包括收放线组件、导向组件、张力组件。

14、在上述的线切割机的优选技术方案中，所述转向轮在所述防护腔室内设置在靠近所述隔离门的一侧。

15、在上述的线切割机的优选技术方案中，所述防护腔室还包括侧挡水板、转向轮防水组件和挡水盘，所述转向轮防水组件设置在所述遮挡沿的下方，所述侧挡水板设置在与所述转向轮防水组件相对的一侧且位于所述隔离门的下方，所述挡水盘设置在所述侧挡水板的下方靠内侧的位置，所述隔离门、所述遮挡沿、所述转向轮防水组件、所述挡水盘和所述侧挡水板共同围设出所述防护腔室。

16、在上述的线切割机的优选技术方案中，所述线切割机还包括排水排气单元，所述排水排气单元包括主排气管路、主排液管路、辅排气管路和辅排液管路；所述主排气管路的第一端与所述切割腔室连通，第二端与外侧连通；所述主排液管路的第一端与所述切割腔室连通，第二端与外侧连通；所述辅排气管路的第一端与所述防护腔室连通，第二端与所述主排气管路连通；所述辅排液管路的第一端与所述防护腔室连通，第二端与所述主排液管路连通。

17、将防护腔室与辅排气管路和辅排液管路连通，可以保证防护腔室内的液体与硅粉被有效排出，降低了液体与硅粉对防护腔室内的转向组件的影响，从而增加了转向组件工作的稳定性。

18、在上述的线切割机的优选技术方案中，所述辅排气管路的第一端与所述辅排液管路的第一端连通后再与所述防护腔室连通，以使所述辅排气管路的第一端和所述辅排液管路的第一端共用一个气液进口。

19、排气管路与辅排液管路共用一个出口，即气液进口，可以减小排气与排液的出口数量的设置，从而更有利于将防护腔室内设置成负压。

20、在上述的线切割机的优选技术方案中，所述辅排液管路设置在所述辅排气管路的下方。

21、液体向下流动，将辅排液管路设置在辅排气管路下方更有利于液体的排出，同时降低了硅粉进入到辅排液管路中的含量，也降低了液体进入到辅排气管路的含量。

22、在上述的线切割机的优选技术方案中，所述辅排气管路的直径大于所述辅排液管路的直径。

23、利于辅排液管路中的泵装置的运行，降低泵装置空转的可能，同时减小了辅排液管路占用的空间，节约了成本。

24、在上述的线切割机的优选技术方案中，所述主排气管路的位置高于所述辅排气管路的位置；并且/或者，所述主排液管路的位置低于所述辅排液管路的位置。

25、由于硅粉向上飘，将主排气管路设置在高于辅排气管路的位置，更有利于对硅粉从辅排气管路向主排气管路中汇集；由于液体向下汇集，因此将主排液管路设置在低于辅排液管路的位置更有利于辅排液管路中的液体向主排液管路中汇集。

26、在上述的线切割机的优选技术方案中，所述防护腔室的底部为挡水盘，所述气液进口设置在所述挡水盘上，并且，所述气液进口设置在所述防护腔室的最低处。

27、由于液体向下流动，因此气液进口应设置在防护腔室的最低处。

28、通过上述设置方式，使得本发明的转向组件在防护腔室的保护下尽量小的受到切割腔室内的切削液与硅粉的影响，从而保证了转向组件工作的稳定性，并且防护腔室的设置还减小了硅粉对转向组件上的切割线的损伤，由于转向组件还包括固定支架、穿线支架及转向轮，转向轮可以在固定支架的带动下在滑轨上运动，从而保证了转向轮上的切割线可以以最佳位置进入到切割腔室内或从切割腔室离开，同时切割线还可以通过穿线槽进入到切割腔室内，穿线槽的设置保证了切割线更稳定的进入到切割腔室内，另外，为了对切割线进行更好的位置调节，转向组件还包括能够调整转向轮角度的角度调节块和可以调整转向轮高度的高度调节块。另外，防护腔室还与辅排液管路与辅排气管路连通，辅排液管路可以将进入到防护腔室内的切削液排出，而辅排气管路可以将防护腔室内的硅粉排出，上述设置可以使转向组件的工作更加稳定。