线锯及线锯的制造方法与流程

本申请涉及半导体，具体涉及一种线锯及线锯的制造方法。

背景技术：

1、近十几年来，太阳能光伏发电得到了飞速发展。固结磨料金刚石线锯由于其切割效率高、切片形状精度高、环境友好等优点，成为主流切割技术并向细线化发展。目前常规金刚线是通过在金属线上镀金属镍的同时固结金刚砂。在线锯切割过程，单一镍层存在硬度低易开裂脱落、固结力低、强度损失高、耐蚀性差等缺陷，造成切割线耗高、断线率高等问题。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种线锯及线锯的制造方法，可以解决上述技术问题。

2、本申请实施例提供了一种线锯，包括芯线，所述芯线外层设置有复合层，所述复合层包括第一金属层以及分散于所述第一金属层的第一颗粒；所述第一金属层包括镍元素和钴元素中的至少一种；满足：

3、8≤d1≤80，其中，d1为所述第一颗粒的平均粒径，单位为nm。

4、在一些实施例中，以所述复合层的总质量计，所述第一颗粒的质量百分含量≤30％。

5、在一些实施例中，所述第一颗粒选自氧化铝、氧化钇、氧化钛、氧化锆、碳化钨、碳化钛、碳化硅、氧化镧中的至少一种。

6、在一些实施例中，所述复合层的厚度为0.1μm～100μm。

7、在一些实施例中，所述复合层的硬度≥170hv。

8、在一些实施例中，所述芯线外周设置有第二颗粒，所述第二颗粒的基部与所述复合层结合，满足：

9、0.1d2≤h1≤0.5d2，其中，d2为所述第二颗粒的平均粒径，单位为μm，h1为所述复合层的厚度，单位为μm。

10、在一些实施例中，线锯在第一方向具有长度，以所述线锯的长度计，所述第二颗粒的分布量为150颗/mm～200颗/mm。

11、在一些实施例中，所述第二颗粒的平均粒径为3μm～80μm。

12、在一些实施例中，所述第二颗粒选自金刚石颗粒、氮化硼颗粒、氮化硅颗粒、碳化硼颗粒、碳化硅颗粒、刚玉颗粒、碳化钨颗粒中的至少一种。

13、在一些实施例中，所述芯线与所述复合层之间设置有中间层；所述中间层包括镍元素。

14、在一些实施例中，所述中间层的厚度≤1μm。

15、在一些实施例中，所述芯线包括单股芯线、多股芯线或环状芯线中的至少一种。

16、在一些实施例中，所述芯线选自钢线和钨合金线中的至少一种。

17、相应的，本申请实施例还提供了一种线锯的制造方法，包括以下步骤：

18、提供第一溶液，所述第一溶液中包括含有镍元素的盐或钴元素的盐，所述第一溶液中分散有第一颗粒；

19、采用所述第一溶液在芯线外周制备复合层，得到线锯。

20、本申请的有益效果在于：与现有技术相比，本申请提供了一种线锯及线锯的制造方法。本申请的线锯包括芯线，芯线外层设置有复合层，复合层包括第一金属层以及分散于第一金属层的第一颗粒；第一金属层包括镍元素和钴元素中的至少一种；满足：8≤d1≤80，其中，d1为第一颗粒的平均粒径，单位为nm。本申请通过在芯线外层设置有高硬度和高耐蚀性的复合层，增加了颗粒固结能力，降低了线锯的断线率，提升了线锯的破断拉力，能适应更高的切割张力及切割速度。

技术特征：

1.一种线锯，其特征在于，包括芯线(10)，所述芯线(10)外层设置有复合层(20)，所述复合层(20)包括第一金属层(201)以及分散于所述第一金属层(201)的第一颗粒(202)；所述第一金属层(201)包括镍元素和钴元素中的至少一种；满足：

2.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，以所述复合层(20)的总质量计，所述第一颗粒(202)的质量百分含量≤30％。

3.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，所述第一颗粒(202)选自氧化铝、氧化钇、氧化钛、氧化锆、碳化钨、碳化钛、碳化硅、氧化镧中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，所述复合层(20)的厚度为0.1μm～100μm。

5.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，所述复合层(20)的硬度≥170hv。

6.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，所述芯线(10)外周设置有第二颗粒(30)，所述第二颗粒(30)的基部与所述复合层(20)结合，满足：

7.根据权利要求6所述的线锯，其特征在于，所述线锯在第一方向(x)具有长度，以所述线锯的长度计，所述第二颗粒(30)的分布量为150颗/mm～200颗/mm。

8.根据权利要求6所述的线锯，其特征在于，所述第二颗粒(30)的平均粒径为3μm～80μm；和/或，

9.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，所述芯线(10)与所述复合层(20)之间设置有中间层(40)；所述中间层(40)包括镍元素。

10.根据权利要求9所述的线锯，其特征在于，所述中间层(40)的厚度≤1μm。

11.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，所述芯线(10)包括单股芯线、多股芯线或环状芯线中的至少一种；和/或，

12.一种线锯的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

技术总结
本申请公开了一种线锯及线锯的制造方法。本申请的线锯包括芯线，芯线外层设置有复合层，复合层包括第一金属层以及分散于第一金属层的第一颗粒；第一金属层包括镍元素和钴元素中的至少一种；满足：8≤D<subgt;1</subgt;≤80，其中，D<subgt;1</subgt;为第一颗粒的平均粒径，单位为nm。本申请通过在芯线外层设置有高硬度和高耐蚀性的复合层，增加了颗粒固结能力，降低了线锯的断线率，提升了线锯的破断拉力，能适应更高的切割张力及切割速度。

技术研发人员：闵学刚,张磊,卞林芝,周坤,张泽亚,黄忍
受保护的技术使用者：镇江原轼新型材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/29