一种线锯及线锯的制造方法与流程

本申请涉及半导体，具体涉及一种线锯及线锯的制造方法。

背景技术：

1、金刚线通过在碳钢或钨钢基线上镀金属镍固结金刚砂。随着细线化的推进，导致金刚线强度降低，破断拉力也随着线径的变细而减小，在切割过程中，由于金刚线强度变低的缺陷，导致断线率高，切割线损耗高等问题。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种线锯及线锯的制造方法，可以解决上述技术问题。

2、本申请实施例提供一种线锯，包括：芯线和设置于所述芯线外周的复合层；所述复合层包括镍元素、铁元素和钴元素，以所述复合层的总质量计，所述钴元素的质量百分比为5wt％～50wt％，所述铁元素的质量百分比为0.1wt％～5wt％。

3、在一些实施例中，所述复合层的厚度为0.5μm～10μm。

4、在一些实施例中，所述铁元素与所述钴元素的总质量占所述复合层总质量的5.1wt％～55wt％。

5、在一些实施例中，所述铁元素与所述钴元素的质量比为(1～5):(10～50)。

6、在一些实施例中，所述复合层的硬度为150hv～800hv。

7、在一些实施例中，所述复合层的破断拉力增量为0.2n～2.0n。

8、在一些实施例中，所述线锯的破断拉力为4.0n～300.0n。

9、在一些实施例中，所述线锯包括磨粒，所述磨粒分布于所述复合层；以所述芯线在第一方向的长度计，所述磨粒的分布数量的范围为120颗/mm～400颗/mm。

10、在一些实施例中，所述磨粒的平均粒径为2μm～55μm。

11、在一些实施例中，所述磨粒选自金刚石颗粒、氮化硼颗粒、氮化硅颗粒、碳化硼颗粒、碳化硅颗粒、刚玉颗粒和碳化钨颗粒中的至少一种。

12、在一些实施例中，所述芯线选自单股芯线、多股芯线和环状芯线中的至少一种。

13、在一些实施例中，所述芯线选自碳钢线、钨丝线和钨合金线中的至少一种。

14、在一些实施例中，所述芯线的直径为20μm～370μm。

15、在一些实施例中，所述芯线与所述复合层之间设置有中间层。

16、在一些实施例中，所述中间层包括镍元素；所述中间层的厚度为0.1μm～1μm。

17、相应的，本申请实施例提供了一种芯线的制造方法，包括：

18、提供第一溶液，所述第一溶液中包括含有镍元素的盐、钴元素的盐和铁元素的盐；

19、采用所述第一溶液在芯线外周制备复合层，得到线锯。

20、在一些实施例中，所述第一溶液中分散有磨粒。

21、在一些实施例中，所述第一溶液包括：镍离子浓度为54g/l～126g/l六水合氨基磺酸镍、20g/l～30g/l四水合氨基磺酸钴、0.3g/l-10g/l四水合氯化亚铁和20g/l-30g/l硼酸。

22、在一些实施例中，所述复合层的制备参数包括：电镀温度为55℃～65℃，电镀电流密度为10a/dm2～25a/dm2，电镀时间为40s～50s。

23、在一些实施例中，所述芯线经过预处理，所述预处理包括：碱洗、第一次水洗、酸洗、第二次水洗处理。

24、在一些实施例中，采用第二溶液对所述芯线表面进行碱洗，所述第二溶液包括：10g/l～100g/l氢氧化钠、5g/l～15g/l磷酸三钠、10g/l-20g/l偏硅酸钠、6g/l-8g/l柠檬酸钠和1ml/l～5ml/l乳化表面活性剂；所述碱洗的温度为50℃～60℃；所述碱洗的时间为15s～30s。

25、本申请的有益效果在于：相较于现有技术，本申请提供了一种线锯及线锯的制造方法。本申请的线锯包括芯线和设置于芯线外周的复合层；复合层包括镍元素、铁元素和钴元素，以复合层的总质量计，铁元素的质量百分比为5wt％～50wt％，铁元素的质量百分比为0.1wt％～5wt％。本申请的复合层包括铁钴镍合金，具有更好的弹性，可以提升线锯的破断拉力，从而减少线锯的断线率。

技术特征：

1.一种线锯，其特征在于，包括：芯线(100)和设置于所述芯线(100)外周的复合层(200)；所述复合层(200)包括镍元素、铁元素和钴元素；以所述复合层(200)的总质量计，所述钴元素的质量百分比为5wt％～50wt％，所述铁元素的质量百分比为0.1wt％～5wt％。

2.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，所述复合层(200)的厚度为0.5μm～10μm。

3.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，所述铁元素与所述钴元素的总质量占所述复合层(200)总质量的5.1wt％～55wt％；和/或，所述铁元素与所述钴元素的质量比为(1～5):(10～50)。

4.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，所述复合层(200)的硬度为150hv～800hv；和/或，所述复合层(200)的破断拉力增量为0.2n～2.0n；和/或，

5.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，包括磨粒(300)，所述磨粒(300)分布于所述复合层(200)；以所述芯线(100)在第一方向(x)的长度计，所述磨粒(300)的分布数量的范围为120颗/mm～400颗/mm。

6.根据权利要求5所述的线锯，其特征在于，所述磨粒(300)的平均粒径为2μm～55μm。

7.根据权利要求5所述的线锯，其特征在于，所述磨粒(300)选自金刚石颗粒、氮化硼颗粒、氮化硅颗粒、碳化硼颗粒、碳化硅颗粒、刚玉颗粒和碳化钨颗粒中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，所述芯线(100)选自单股芯线、多股芯线和环状芯线中的至少一种；和/或，

9.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，所述芯线(100)的直径为20μm～370μm。

10.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，所述芯线(100)与所述复合层(200)之间设置有中间层(400)；和/或，

11.一种线锯的制造方法，其特征在于，包括：

12.根据权利要求11所述的线锯的制造方法，其特征在于，所述第一溶液中分散有磨粒(300)；和/或，

13.根据权利要求11所述的线锯的制造方法，其特征在于，所述芯线(100)经过预处理，所述预处理包括：碱洗、第一次水洗、酸洗、第二次水洗处理；和/或，

技术总结
本申请公开了一种线锯及线锯的制造方法。本申请的线锯包括芯线和设置于芯线外周的复合层；复合层包括镍元素、铁元素和钴元素，以复合层的总质量计，钴元素的质量百分比为5wt％～50wt％，铁元素的质量百分比为0.1wt％～5wt％。本申请的复合层包括铁钴镍合金，具有更好的弹性，可以提升线锯的破断拉力，从而减少线锯的断线率。

技术研发人员：周坤,闵学刚,周泽亚,张磊,卞林芝,陈忠余,杨楷文,黄忍,魏亚慧,肖翔
受保护的技术使用者：镇江原轼新型材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/29