一种坩埚破碎装置的制作方法

本技术涉及单晶炉设备，具体涉及一种坩埚破碎装置。

背景技术：

1、目前，单晶炉拉制单晶硅棒时，由于炉内温度高达1500℃左右，经过长时间的高温烧结，放置于碳碳埚帮内的石英坩埚软化，要靠外面的碳碳埚帮承托。

2、由于石英坩埚是一次性工装，必须逐炉更换，而埚帮可重复利用，因此，需要将石英坩埚破碎后从碳碳埚帮内取出。但是，出炉冷却以后，加之石英坩埚内硅液的向外应力，石英坩埚与碳碳埚帮的内壁贴得很紧，破碎石英坩埚非常困难，传统的破碎方式为用人工大力的锤击石英坩埚，人工锤击在使石英坩埚发生碎裂的同时，必然会导致碳碳埚帮内部振动、瞬间膨胀变形，甚至直接导致碳碳埚帮内部出现破损，使碳碳埚帮使用寿命降低。

3、人工敲击整个操作过程劳动强度大，操作稳定性低，工作效率较低；敲击操作会产生硅粉、石英粉和石墨粉等有害粉尘，导致石英坩埚破碎间粉尘超标，工作环境不合格，员工存在职业病患病风险，对正在工作的工人造成安全隐患。针对上述缺点，有必要作出改进。

技术实现思路

1、鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种坩埚破碎装置，可以自动破碎石英坩埚，同时避免损坏碳碳埚帮。

2、本申请提供了一种坩埚破碎装置，包括机架以及设置在所述机架上的回转机构、切割机构和撑开机构，其中：

3、所述回转机构用于夹持埚帮并带动埚帮转动；

4、所述切割机构用于对所述埚帮内的坩埚进行切割以在所述坩埚上形成切割槽；

5、所述撑开机构包括第一撑开件和第二撑开件，所述第一撑开件和第二撑开件用于在所述切割槽内沿第一方向相对运动以使所述坩埚破碎。

6、可选地，所述坩埚的外层设置有埚帮，所述回转机构包括沿所述埚帮的外壁周向设置的多个夹紧轮，其中至少一个所述夹紧轮上设置有用于驱动所述夹紧轮转动的转动组件。

7、可选地，所述回转机构包括设置在所述机架上的第一夹紧臂、第二夹紧臂以及驱动所述第一夹紧臂和所述第二夹紧臂相对运动的夹紧组件，所述多个夹紧轮设置在所述第一夹紧臂和所述第二夹紧臂上。

8、可选地，所述回转机构包括对正组件，所述对正组件包括齿轮以及与所述齿轮啮合的两个齿条，所述两个齿条分别位于所述齿轮的两侧且在所述齿轮转动时沿相反方向运动，其中一所述齿条与所述第一夹紧臂固定连接，另一所述齿条与所述第二夹紧臂固定连接。

9、可选地，还包括设置在所述机架上的升降机构，所述升降机构用于驱动所述回转机构沿第一方向运动，所述升降机构包括升降组件以及与所述升降组件固定连接的升降板，所述回转机构设置在所述升降板上。

10、可选地，还包括设置在所述机架上的进刀组件，所述进刀组件用于驱动所述切割机构沿靠近和远离所述坩埚内壁的第二方向运动。

11、可选地，所述切割机构包括：

12、刀架，所述刀架与所述进刀组件固定连接；

13、设置在所述刀架上的切割片和切割电机，所述切割电机用于驱动所述切割片绕其轴线转动。

14、可选地，还包括设置在所述机架上的进给组件，所述进给组件用于驱动所述撑开机构沿靠近和远离所述坩埚内壁的第二方向运动。

15、可选地，所述撑开机构包括：

16、悬臂，所述悬臂与所述进给组件固定连接；

17、设置在所述悬臂两相对面上的第一滑动组件和第二滑动组件，所述第一滑动组件包括固定在所述悬臂第一面上的第一滑轨以及与所述第一滑轨滑动连接的第一滑块，所述第一滑块与所述第一撑开件固定连接；所述第二滑动组件包括固定在所述悬臂第二面上的第二滑轨以及与所述第二滑轨滑动连接的第二滑块，所述第二滑块与所述第二撑开件固定连接；

18、驱动组件，包括缸体以及与所述缸体滑动连接的传力杆，所述缸体与所述第一滑块固定连接，所述传力杆与所述第二撑开件固定连接。

19、可选地，所述第一撑开件上设置有用于所述传力杆通过的导向孔；

20、所述第一撑开件与所述缸体之间设置有第一复位弹簧，所述第一复位弹簧套设在所述传力杆上且所述第一复位弹簧设置在第一撑开件远离所述第二撑开件的一侧；

21、所述第二撑开件与所述悬臂之间设置有第二复位弹簧，所述第二复位弹簧通过导向杆设置在所述第二撑开件远离所述第一撑开件的一侧。

22、本实用新型的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：

23、本实用新型实施例提供的坩埚破碎装置，通过对坩埚采用撑开的方式进行破碎，减少作用在埚帮上的力以减少埚帮损伤，提高埚帮使用寿命；还可以有效的降低坩埚去除人员的劳动强度，从而提高效率；减少人员接触有害粉尘的几率，减少职业病患病风险，从而提高安全性。

技术特征：

1.一种坩埚破碎装置，其特征在于，包括机架以及设置在所述机架上的回转机构、切割机构和撑开机构，其中：

2.根据权利要求1所述的坩埚破碎装置，其特征在于，所述坩埚的外层设置有埚帮，所述回转机构包括沿所述埚帮的外壁周向设置的多个夹紧轮，其中至少一个所述夹紧轮上设置有用于驱动所述夹紧轮转动的转动组件。

3.根据权利要求2所述的坩埚破碎装置，其特征在于，所述回转机构包括设置在所述机架上的第一夹紧臂、第二夹紧臂以及驱动所述第一夹紧臂和所述第二夹紧臂相对运动的夹紧组件，所述多个夹紧轮设置在所述第一夹紧臂和所述第二夹紧臂上。

4.根据权利要求3所述的坩埚破碎装置，其特征在于，所述回转机构包括对正组件，所述对正组件包括齿轮以及与所述齿轮啮合的两个齿条，所述两个齿条分别位于所述齿轮的两侧且在所述齿轮转动时沿相反方向运动，其中一所述齿条与所述第一夹紧臂固定连接，另一所述齿条与所述第二夹紧臂固定连接。

5.根据权利要求1所述的坩埚破碎装置，其特征在于，还包括设置在所述机架上的升降机构，所述升降机构用于驱动所述回转机构沿第一方向运动，所述升降机构包括升降组件以及与所述升降组件固定连接的升降板，所述回转机构设置在所述升降板上。

6.根据权利要求1所述的坩埚破碎装置，其特征在于，还包括设置在所述机架上的进刀组件，所述进刀组件用于驱动所述切割机构沿靠近和远离所述坩埚内壁的第二方向运动。

7.根据权利要求6所述的坩埚破碎装置，其特征在于，所述切割机构包括：

8.根据权利要求1所述的坩埚破碎装置，其特征在于，还包括设置在所述机架上的进给组件，所述进给组件用于驱动所述撑开机构沿靠近和远离所述坩埚内壁的第二方向运动。

9.根据权利要求8所述的坩埚破碎装置，其特征在于，所述撑开机构包括：

10.根据权利要求9所述的坩埚破碎装置，其特征在于，所述第一撑开件上设置有用于所述传力杆通过的导向孔；

技术总结
本技术公开了一种坩埚破碎装置，包括机架以及设置在所述机架上的回转机构、切割机构和撑开机构，其中：所述回转机构用于夹持埚帮并带动埚帮转动；所述切割机构用于对所述埚帮内的坩埚进行切割以在所述坩埚上形成切割槽；所述撑开机构包括第一撑开件和第二撑开件，所述第一撑开件和第二撑开件用于在所述切割槽内沿第一方向相对运动以使所述坩埚破碎。

技术研发人员：余飞,朱明智,涂准,匡志宗,包健,王德涛,彭邦呈,杨吉祥,王立华,黄自刚,胡永娇,寸路华
受保护的技术使用者：腾冲隆基硅材料有限公司
技术研发日：20230504
技术公布日：2024/1/15