一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置的制作方法

本技术涉及碳化硅承片台的制造领域，尤其涉及一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置。

背景技术：

1、碳化硅承片台是用来承载硅片，方便对硅片进行光刻处理，例如硅片放置在碳化硅承片台上进行光刻处理，因此碳化硅承片台需要非常高的表面精度才能保证硅片放置平稳，而一旦碳化硅承片台的表面精度不够，硅片的放置不平整，那么光刻的质量就存在问题。而碳化硅承片台一般都是通过高纯硅粉与高纯碳粉按一定比例混合并搅拌均匀，导入预制的磨具中，形成一个圆盘，进行凝固，倒出磨具进行平面打磨，保证碳化硅毛坯平行度，此时对碳化硅毛坯进行打孔，由于碳化硅毛坯打孔时需要多个不同角度的切换才能满足打孔需求，并且钻孔切削时钻孔深度过深还会导致钻孔屑留在孔内，无法排出，影响钻孔质量，从而影响使用效果。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是：一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，该装置能在碳化硅承片台钻孔时进行吹气排屑，有效提高钻孔效率和质量。

2、为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，包括外罩壳，所述外罩壳内壁上设有纵向导轨，所述纵向导轨上安装有连接架，所述连接架通过纵向动力装置驱动在纵向导轨上往复滑动，所述连接架上安装有升降导轨，所述升降导轨上设有与碳化硅承片台的气孔对应的吹嘴，所述吹嘴通过升降动力装置驱动在升降导轨上往复升降，所述吹嘴连通进气管路，所述进气管路上穿过外罩壳内壁。

3、作为一种优选的方案，所述纵向导轨和升降导轨上均设有驱动丝杠和驱动螺母，所述纵向导轨上设有纵向滑块，所述升降导轨上设有升降滑块，所述连接架固定安装在纵向滑块上。

4、作为一种优选的方案，所述进气管路的管长与吹嘴纵向滑动和升降滑动的距离对应。

5、作为一种优选的方案，所述进气管路采用pu软管，所述进气管路与吹嘴之间设有快插接头。

6、作为一种优选的方案，所述升降滑块上设有固定进气管路的支撑板，所述进气管路通过固定结构固定安装在支撑板上。

7、作为一种优选的方案，所述吹嘴为l形结构，所述吹嘴的出气口为圆锥状。

8、采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于碳化硅承片台的钻孔夹持装置，包括外罩壳，所述外罩壳内壁上设有纵向导轨，所述纵向导轨上安装有连接架，所述连接架通过纵向动力装置驱动在纵向导轨上往复滑动，所述连接架上安装有升降导轨，所述升降导轨上设有与碳化硅承片台的气孔对应的吹嘴，所述吹嘴通过升降动力装置驱动在升降导轨上往复升降，所述吹嘴连通进气管路，所述进气管路上穿过外罩壳内壁；首先通过纵向动力装置驱动吹嘴纵向移动靠近碳化硅承片台，接着升降动力装置驱动吹嘴升降从而调整吹嘴高度进一步调整吹气位置；该装置能在碳化硅承片台钻孔时进行吹气排屑，有效提高钻孔效率和质量，保证能随碳化硅承片台位置的变化而变化，不使用时还能有效避让。

9、又由于所述纵向导轨和升降导轨上均设有驱动丝杠和驱动螺母，所述纵向导轨上设有纵向滑块，所述升降导轨上设有升降滑块，所述连接架固定安装在纵向滑块上；通过驱动丝杠和驱动螺母能准确控制转动移动距离，提高吹嘴与碳化硅承片台的之间相距的准确度。

10、又由于所述进气管路的管长与吹嘴纵向滑动和升降滑动的距离对应；这样在吹嘴移动时有足够的长度进行移动，保证能有效进行供气。

11、又由于所述进气管路采用pu软管，所述进气管路与吹嘴之间设有快插接头，在滑动时能有效提高柔韧性，不会因弯折而影响使用，同时也能方便安装。

12、又由于所述升降滑块上设有固定进气管路的支撑板，所述进气管路通过固定结构固定安装在支撑板上；通过支撑板能方便进气管路的安装，提高实用性。

13、又由于所述吹嘴为l形结构，所述吹嘴的出气口为圆锥状；这样能确保吹嘴能有效对准气孔，并且不会弯曲进气管路，还能提高吹气压力。

技术特征：

1.一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，包括外罩壳，其特征在于：所述外罩壳内壁上设有纵向导轨，所述纵向导轨上安装有连接架，所述连接架通过纵向动力装置驱动在纵向导轨上往复滑动，所述连接架上安装有升降导轨，所述升降导轨上设有与碳化硅承片台的气孔对应的吹嘴，所述吹嘴通过升降动力装置驱动在升降导轨上往复升降，所述吹嘴连通进气管路，所述进气管路上穿过外罩壳内壁。

2.如权利要求1中所述的一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，其特征在于：所述纵向导轨和升降导轨上均设有驱动丝杠和驱动螺母，所述纵向导轨上设有纵向滑块，所述升降导轨上设有升降滑块，所述连接架固定安装在纵向滑块上。

3.如权利要求2中所述的一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，其特征在于：所述进气管路的管长与吹嘴纵向滑动和升降滑动的距离对应。

4.如权利要求3中所述的一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，其特征在于：所述进气管路采用pu软管，所述进气管路与吹嘴之间设有快插接头。

5.如权利要求4中所述的一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，其特征在于：所述升降滑块上设有固定进气管路的支撑板，所述进气管路通过固定结构固定安装在支撑板上。

6.如权利要求5中所述的一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，其特征在于：所述吹嘴为l形结构，所述吹嘴的出气口为圆锥状。

技术总结
本技术公开了一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，包括外罩壳，所述外罩壳内壁上设有纵向导轨，所述纵向导轨上安装有连接架，所述连接架通过纵向动力装置驱动在纵向导轨上往复滑动，所述连接架上安装有升降导轨，所述升降导轨上设有与碳化硅承片台的气孔对应的吹嘴，所述吹嘴通过升降动力装置驱动在升降导轨上往复升降，所述吹嘴连通进气管路，所述进气管路上穿过外罩壳内壁；该装置能在碳化硅承片台钻孔时进行吹气排屑，有效提高钻孔效率和质量。

技术研发人员：刘毅,宋欢
受保护的技术使用者：江苏晋誉达半导体股份有限公司
技术研发日：20230703
技术公布日：2024/1/15