多点钻石工具的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明是涉及一种用于借由钻石尖点刻划玻璃基板或硅晶圆等脆性材料基板的多点钻石工具。
【背景技术】
[0002]现有习知为了刻划玻璃基板或硅晶圆，采用使用有刻划轮、或单结晶钻石的钻石尖点的工具。针对玻璃基板，一直以来主要是采用相对于基板滚动的刻划轮，但从提高刻划后的基板强度等优点来看，也被检讨使用固定刀刃的钻石尖点。在专利文献1、2中提及有用于刻划蓝宝石晶圆或氧化招晶圆(alumina wafer)等高硬度的基板的尖点刀具。在这些专利文献中，使用有在角锥的棱线上设置有切割用尖点的工具、或前端成为圆锥的工具。此夕卜，在专利文献3中，为了刻划玻璃板而提及有一种刻划装置，该刻划装置示使用具有圆锥形前端的玻璃划线具。
[0003]专利文献1:日本特开2003-183040号公报
[0004]专利文献2:日本特开2005-079529号公报
[0005]专利文献3:日本特开2013-043787号公报
【发明内容】
[0006]由于若以现有习知的固定刀刃的工具进行刻划则尖点将产生磨耗(磨损)，因此有必要变更尖点。在角锥形或圆锥形的工具中成为可使用的顶点的尖点为二个部位或最多四个部位。因此存在有如下的问题:当变更二个部位或四个部位的尖点时必须更换工具，且更换频度高。此外，在利用工具进行的刻划中，尖点必须以适切的角度接触基板。然而，在现有习知的工具中，在变更尖点的情形时必须使工具绕轴方向旋转，且不容易精度佳地调整该接触角度。
[0007]本发明是有鉴于上述现有习知问题而完成，其目的在于提供一种即使在刻划中所使用的尖点磨耗，也能够容易地变更尖点位置并减少交换频度的多点钻石工具。
[0008]本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种多点钻石工具，具备:基座，呈旋转对称且至少外周的棱线部分以钻石形成；及多个缺口，形成于该基座的棱线部分。
[0009]本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
[0010]前述的多点钻石工具，其中，该各缺口，等间隔地形成于该基座的外周上。
[0011]前述的多点钻石工具，其中，该基座，在其棱线部分形成有钻石层。
[0012]前述的多点钻石工具，其中，在该各缺口的两端部分具有更微小缺口。
[0013]前述的多点钻石工具，其中，该各缺口借由激光加工而形成。
[0014]前述的多点钻石工具，其中，该各微小缺口借由机械加工而形成。
[0015]本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本发明多点钻石工具至少具有下列优点及有益效果:本发明借由在钻石工具周围形成有多个缺口，而能够设置多个尖点。因此能够获得如下的效果:即使一个尖点磨耗(磨损)，也能够借由使钻石工具的固定角度改变而使用新的尖点，且能够减少钻石工具的交换频度。进一步地，由于能够在相对于基板使工具的安装角度维持一定的状态下变更尖点，因此能够容易地调整尖点的接触角度。
[0016]综上所述，本发明是有关于一种即使因进行刻划而使尖点磨耗，也能够减少工具交换次数的多点钻石工具。在钻石工具(10)的基座(11)的外周上设置多个缺口(14?19)，以各缺口的端部作为尖点。钻石工具(10)，使尖点接触基板且不滚动地进行刻划。在尖点因刻划而磨耗的情形时，借由使钻石工具(10)旋转而将别的缺口的端部作为刻划的尖点。借此能够利用一个钻石工具使用多个尖点，能够减少交换频度。本发明在技术上有显著的进步，并具有明显的积极效果，诚为一新颖、进步、实用的新设计。
[0017]上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
【附图说明】
[0018]图1A及图1B是本发明的第1实施形态的多点钻石工具的主视图及侧视图。
[0019]图2是表不本实施形态的多点钻石工具的缺口的第一实施例的放大图。
[0020]图3是表示本实施形态的多点钻石工具的缺口的第二实施例的放大图。
[0021]图4A是表示使用本发明的第1实施形态的多点钻石工具进行刻划的主视图。
[0022]图4B是表示使用本发明的第1实施形态的多点钻石工具进行刻划的侧视图。
[0023]图5A及图5B是表示本发明的第2实施形态的多点钻石工具的主视图、及使用该多点钻石工具进行刻划的图。
[0024]图6A及图5B是表示本发明的第3实施形态的多点钻石工具的主视图、及使用该多点钻石工具进行刻划的图。
[0025]10、30、40:多点钻石工具
[0026]11、31、41:基座
[0027]12、32、42:贯通孔
[0028]13、33、43:研磨面
[0029]14 ?19、34 ?37、44 ?47:缺口
[0030]44a、44b、45a、45b、46a、46b、47a、47b:微小缺口
【具体实施方式】
[0031]为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的多点钻石工具其【具体实施方式】、结构、特征及其功效，详细说明如后。
[0032]接着，针对本发明的第1实施形态进行说明。图1A及图1B是表示本实施形态的多点钻石工具(以下，简称钻石工具)10的主视图及侧视图。该钻石工具10是由单结晶钻石构成的旋转对称形的圆板的基座11，且在其中心具有贯通孔12。单结晶钻石的基座11的直径，例如为2mm?20mm。如图1A的侧视图所示，从圆周部分的两侧研磨成V字形而成为由棱线13a与倾斜面13b构成的刃前端部13。而且如图示般在刃前端部13的六个部位，借由激光加工而形成缺口 14?19。图2是表不缺口 14的第一实施例的缺口 14A的放大图。如图2所示，对由实线与一点链线所示的原本的圆周部形成如图示般的缺口 14A，且以棱线13a与缺口 14A相交的部分作为尖点P1。从该尖点P1起例如以将相对于切线的角度α设为35°的方式切至例如约5 μπι的深度，进一步从该处起相对于原切线例如以3.5°的角度切开，而形成缺口 14Α。关于其他的五个缺口也相同，并将棱线13a与缺口 15A?19A的交点分别设为尖点P2?P6。
[0033]图3是表示缺口 14的第二实施例的缺口 14B的放大图。在该情形，从尖点P1起例如以将相对于切线的角度α设为35°的方式切至深度10 μπι后，呈阶段状地切开，而构成缺口。关于其他的五个缺口也相同，并将棱线13a与缺口 15B?19B的交点分别设为尖点P2?P6。
[0034]针对使用该实施形态的钻石工具10进行刻划的情形，使用图4A、图4B进行说明。此外，在图4A、图4B中夸张放大表示圆周部的缺口，而图4A是从正面(主视)观察下的示意图，图4B是从图4A的右侧观察下的示意图。在进行刻划时，如图4A(a)、图4B(