一种微动平台的制作方法

文档序号:13088043阅读:228来源:国知局

本发明属于精密测量技术领域,具体涉及一种微动平台。



背景技术:

具有高精度和快速响应的微动工作台在现代制造技术中具有极其重要的地位,被视为一个国家高技术发展水平的重要标志。在超精密机床中,超精密微动工作台用于对进给系统进行误差补偿,实现超精密加工;在大规模集成电路制造中,超精密微动工作台用于光刻设备中进行微定位和微进给;在扫描探针显微镜中,超精密微动工作台用于测量样品表面形貌,进行纳米加工;在生物工程方面,超精密微动工作台用于完成对细胞的操作,实现生物操作工程化;在医疗科学方面,超精密微动工作台用于显微外科手术,以便减轻医生负担,缩短手术时间,提高成功率。超精密微动工作台还被广泛应用于光纤对接,mems系统加工、封装及装配,以及电化学加工等领域中。目前,市场上的微动工作台多为x、y轴的水平调平,不具有调转角度的功能,不足以满足实际工作需要。



技术实现要素:

本发明为了解决现有技术的上述的问题,提供一种微动平台,在二轴微型工作平台的上方增设旋转机构,使微动平台可以调转角度,能够适应多角度的调整。

为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种微动平台,包括包括能对x轴和y轴调平的二轴微型工作平台,所述二轴微型工作平台包括放置工件的第一层平台、基座和调节旋钮,所述第一层平台与基座之间柔性铰接,所述调节旋钮设于基座,所述第一层平台的上方设有第二层平台,所述第一层平台的上表面内凹形成旋转机构容纳腔,所述旋转机构容纳腔内设有齿轮组和旋钮,所述齿轮组包括相互啮合的主动齿轮和从动锥形齿,所述第二层平台的转轴与主动齿轮连接,所述从动锥形齿的输入轴与旋钮连接。

进一步地说,所述旋转机构容纳腔的截面为方形。

进一步地说,所述第二层平台的上表面设有防滑纹。

进一步地说,所述旋钮和所述调节旋钮皆为金属旋钮。

进一步地说,所述调节旋钮与所述调节旋钮的表面设有防滑纹。

进一步地说,所述调节旋钮与所述旋钮的截面为圆形,所述调节旋钮与所述旋钮的端部皆周向设有刻度线。

本发明的有益效果至少具有以下几点:

一、本发明在二轴微动平台第一层平台的上方设有第二层平台,第二层平台的上表面下凹形成旋转机构容纳腔,旋转机构容纳腔内设有齿轮组和旋钮,齿轮组包括相互啮合的主动齿轮和从动锥形齿,第二层平台的转轴与主动齿轮连接,从动锥形齿的输入轴与旋钮连接,使用时,通过扭动旋钮带动齿轮组转动,从而带动上方的二轴微动平台转动,从而实现微动平台多角度调整;

二、本发明的调节旋钮和旋钮上设有防滑纹,避免使用者在使用微动平台时手打滑导致调错角度和位置,人性化设置,方便使用。

附图说明

图1为本发明的结构示意图一;

图中各部分的附图标记如下:

第一层平台1、基座2、调节旋钮3、第二平台4、旋转机构容纳腔5、旋钮6、主动齿轮7和从动锥形齿8,。

具体实施方式

以下实施例用于说明本发明,但不用来限制本发明的范围。在不背离本发明精神和实质的情况下,对本发明方法、步骤或条件所作的修改或替换,均属于本发明的保护范围。

实施例:一种微动平台,如图1所示,包括能对x轴和y轴调平的二轴微型工作平台,所述二轴微型工作平台包括放置工件的第一层平台1、基座2和调节旋钮3,所述第一层平台与基座之间柔性铰接,所述调节旋钮设于基座,所述第一层平台的上方设有第二层平台4,所述第一层平台的上表面内凹形成旋转机构容纳腔5,所述旋转机构容纳腔内设有齿轮组和旋钮6,所述齿轮组包括相互啮合的主动齿轮7和从动锥形齿8,所述第二层平台的转轴与主动齿轮连接,所述从动锥形齿的输入轴与旋钮连接。

所述旋转机构容纳腔的截面为方形。

所述第二层平台的上表面设有防滑纹。

所述旋钮和所述调节旋钮皆为金属旋钮。

所述调节旋钮与所述调节旋钮的表面设有防滑纹。

所述调节旋钮与所述旋钮的截面为圆形,所述调节旋钮与所述旋钮的端部皆周向设有刻度线。

本发明的工作原理或工作流程如下:

本发明在二轴微动平台第一层平台的上方设有第二层平台,第二层平台的上表面下凹形成旋转机构容纳腔,旋转机构容纳腔内设有齿轮组和旋钮,齿轮组包括相互啮合的主动齿轮和从动锥形齿,第二层平台的转轴与主动齿轮连接,从动锥形齿的输入轴与旋钮连接,使用时,通过扭动旋钮带动齿轮组转动,从而带动上方的二轴微动平台转动,从而实现微动平台多角度调整。

显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。



技术特征:

技术总结
本发明公开了一种微动平台,包括能对x轴和y轴调平的二轴微型工作平台,所述二轴微型工作平台包括放置工件的第一层平台、基座和调节旋钮,所述平台与基座之间柔性铰接,所述第一层平台的上方设有第二层平台,所述第一层平台上表面内凹形成旋转机构容纳腔,所述旋转机构容纳腔内设有齿轮组和旋钮,所述齿轮组包括相互啮合的主动齿轮和从动锥形齿,所述基座的转轴与主动齿轮连接,所述从动锥形齿的输入轴与旋钮连接。本发明提供一种微动平台,在二轴微型工作平台的上方增设旋转机构,使微动平台可以调转角度,能够适应多角度的调整。

技术研发人员:王振华;钟博文;孙立宁
受保护的技术使用者:苏州迈客荣自动化技术有限公司
技术研发日:2017.09.13
技术公布日:2017.12.05
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