一种安装工具的制作方法

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，尤其涉及一种应用于干法刻蚀设备的绝缘盘的安装工具。

背景技术：

在半导体干法刻蚀设备中有上部电极和下部电极，绝缘盘是将上部电极与下部电极隔离并绝缘，其绝缘盘的安装的位置至关重要。

现有技术中，绝缘盘的安装顺序是，先放置绝缘盘的下部固定圈，接着放置绝缘盘本体，然后放置绝缘盘的上部固定圈，最后要用肉眼观察绝缘盘与多个固定螺栓是否在同心圆位置来进行调整。由于绝缘盘上面的凹槽比较多，无法准确的观察到固定螺栓与绝缘盘是否在同心圆位置，用肉眼观察调整不是很准确，如果不在同心圆位置，则上部电极也会跟着偏离，在关闭反应室时会导致无法顺畅的关闭，会造成零件损坏，影响机台正常的跑货时间。同时在垫子的上面拆卸上部遮蔽环的四个螺丝时，由于四个螺丝与地面的垫子很近，导致拆卸时不在同一水平面上，容易造成螺丝损坏。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的上述问题，现提供旨在实现准确地对应绝缘盘与固定螺栓的位置，并使绝缘盘与固定螺栓处于同心圆的位置，减少绝缘盘组装过程中不必要的零件损坏的安装工具。

具体技术方案如下：

一种安装工具，适用于半导体工艺的干法刻蚀设备中上下电极之间绝缘盘的安装过程中，其中，包括：

环形架，所述环形架提供一承托面用以承托所述绝缘盘；

支撑结构，设置于所述环形架背向所述承托面的一面上，用以支撑所述环形架；

第一定位结构，均布于所述承托面的周向，用以定位所述绝缘盘；

第二定位结构，均布于所述承托面边缘的周向，用以定位固定所述绝缘盘的螺栓；

对准结构，设置于所述承托面，用以对准所述绝缘盘。

优选的，所述环形架的外直径为900MM，及所述环形架的内直径为600MM。

优选的，所述第一定位结构为定位孔，所述定位孔至少设置有三个。

优选的，所述定位孔的直径为5MM。

优选的，所述第二定位结构包括：

连杆，一端径向铰接于所述承托面边缘；

定位凹槽，设置于所述连杆背向所述承托面的一端；

所述定位凹槽用以定位固定所述绝缘盘的螺栓。

优选的，所述第二定位结构至少设置三个。

优选的，所述连杆长度为14MM，和/或

所述定位凹槽槽底宽度为8MM。

优选的，所述对准结构为设置于所述承托面上的凹槽标记，所述凹槽标记用以配合所述绝缘盘上的对准标记进行对准。

优选的，所述支撑结构为支腿，所述支腿垂直的设置于所述环形架背向所述承托面的一面。

优选的，所述支腿至少设置三个。

其有益效果在于：可以准确地对应绝缘盘与固定螺栓的位置，并使绝缘盘与固定螺栓处于同心圆的位置，减少不必要的零件损坏和提高最大跑货时间。

附图说明

图1为本实用新型一种安装工具的实施例的整体结构示意图；

图2为本实用新型中，关于环形架的俯视图；

图3为本实用新型中，关于第二定位结构的横截面图。

上述说明书中附图标记表示说明：

环形架(1)；承托面(10)；支撑结构(2)；第一定位结构(3)；第二定位结构(4)；连杆(40)；定位凹槽(41)；对准结构(5)。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

如图1所示，一种安装工具的实施例，其中包括，

环形架1，环形架1提供一承托面10用以承托绝缘盘；

支撑结构2，设置于环形架1背向承托面10的一面上，用以支撑环形架1；

第一定位结构3，均布于承托面10的周向，用以定位绝缘盘；

第二定位结构4，均布于承托面10边缘的周向，用以定位固定绝缘盘的螺栓；

对准结构5，设置于承托面10，用以对准绝缘盘。

通过上述技术方案提供的安装工具，在绝缘盘安装过程中，由环形架1的承托面10承托绝缘盘，支撑结构2支撑环形架1，当承托面10承托绝缘盘时，第一定位结构3对绝缘盘进行定位，同时，由第二定位结构4对固定绝缘盘的螺栓进行定位，对准结构5则配合绝缘盘上的对准标记，使绝缘盘安置在承托面10上时可被对准。

在一种较优的实施例中，如图2所示，环形架1的外直径为900MM，及环形架1的内直径为600MM，该尺寸的环形架1可配合通常的干法刻蚀设备的绝缘盘的尺寸。

在一种较优的实施例中，第一定位结构3为定位孔，定位孔至少设置有三个。

在一种较优的实施例中，定位孔的直径为5MM。

在一种较优的实施例中，如图3所示，第二定位结构4包括：

连杆40，一端径向铰接于承托面10边缘；

定位凹槽41，设置于连杆40背向承托面10的一端；

定位凹槽41用以定位固定绝缘盘的螺栓。

在一种较优的实施例中，第二定位结构4至少设置三个。

在一种较优的实施例中，连杆长度40为14MM，和/或

定位凹槽41槽底宽度为8MM。

在一种较优的实施例中，如图2所示，对准结构5为设置于承托面10上的凹槽标记，凹槽标记用以配合绝缘盘上的对准标记进行对准。

在一种较优的实施例中，如图1所示，支撑结构2为支腿，支腿垂直的设置于环形架1背向承托面10的一面。

在一种较优的实施例中，支腿至少设置三个。

在本实用新型的一种较优的实施例中，首先将绝缘盘的下部固定圈放置在环形架1的承托面10上，下部固定圈的对准标记对准第一定位结构3，同时下部固定圈的边缘凹槽对准环形架上1承托面10上的对准结构5，然后绝缘盘对应下部固定圈的圆形槽放置，接着将绝缘盘的上部固定圈对准绝缘盘的圆形槽放置，同时绝缘盘与上部固定圈的边缘凹槽对准环形架1承托面10上的对准结构5放置。

进一步地，安装对应在绝缘盘上的十个用以固定绝缘盘的螺栓，先不拧紧，接着以铰接于承托面10边缘的连杆40的铰接部为轴，翻转连杆40，将定位凹槽41卡住螺栓，使被定位凹槽41卡住的螺栓与绝缘盘上对应螺栓的螺孔处于同心的位置，由于部分螺栓与绝缘盘精确对位，使剩余的螺栓也能够处在与绝缘盘上对应的螺孔同心的位置。

进一步地，通过定位凹槽41固定三个螺栓后拧紧其余七个螺栓，最后还原连杆40，将之前被定位凹槽41固定的三个螺栓旋紧，最后安装四个上部遮蔽环的固定螺丝。

其有益效果在于：可以准确地对应组装绝缘盘与固定螺栓的位置，并使绝缘盘与固定螺栓处于同心圆的位置，减少不必要的零件损坏和提高最大跑货时间。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。