排气式矩形工作台的制作方法

本实用新型涉及一种排气式矩形工作台，具体涉及一种结构合理，紧凑稳定，经济方便的用于储存半导体多晶硅芯片的排气式矩形工作台。

背景技术：

中国专利申请号：201320863303.7，公开了一种磨边设备真空平台，包括真空平台本体，所述真空平台本体一端面为工作台面，所述工作台面间隔设置有多个真空吸嘴，所述真空吸嘴顶部凸出于所述工作台面，所述真空吸嘴开设有真空吸附孔，所述真空吸附孔连通真空发生装置。

中国专利申请号：201520709994.4，公开了一种组合式多用磁性真空工作平台，包括工作台底座，所述工作台底座上安装有底板、前挡板、后挡板、左侧板和右侧板，所述底板水平固定安装在所述工作台底座上，所述前挡板、后挡板、左侧板和右侧板与所述工作台底座垂直设置；所述左侧板和右侧板将所述底板分成第一工作台面、第二工作台面、第三工作台面、第四工作台面、以及第五工作台面，所述第三工作台面设置在所述第二工作台面和第四工作台面之间，所述第三工作台面的下方设有真空腔体。

中国专利申请号：201220438895.3，公开了一种防尘工作台，其包括工作台本体及与工作台本体连接的吸尘系统，所述工作台本体上设置有工作台面，所述工作台面上罩设有挡尘罩；所述吸尘系统包括吸尘主管、吸尘支管、连接管、吸尘器和电动机支座，所述吸尘主管下方连接至少一个吸尘支管，所述吸尘支管的一端与吸尘主管连通，另一端与工作台本体连通，所述连接管一端连接在吸尘主管上，另一端连接在吸尘器上，所述电动机与吸尘器连接，用于驱动吸尘器运转，所述吸尘器上开设有排气口，用于将烟尘排出。

上述发明创造结构复杂，稳定性及可靠性较差。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于，克服现有技术的上述缺陷，提供一种结构合理，紧凑稳定，高可利用率，经济方便的用于半导体多晶硅芯片加工的排气式矩形工作台。

为实现上述目的，本实用新型提供的技术方案如下：一种排气式矩形工作台，包括工作台本体，所述工作台本体的横截面呈矩形状，工作台本体中开有若干第一轴向排气槽及第二轴向排气槽，第一轴向排气槽与第二轴向排气槽相互垂直交叉，工作台本体上开有一排气孔及多个放电通气孔，排气孔、多个放电通气孔均分别设置于第一轴向排气槽与第二轴向排气槽交叉处，工作台本体的中部设有连接头，连接头上设有多个通孔，通孔与放电通气孔相贯通。

根据以上技术要求，所述若干第一轴向排气槽相互平行且等距排列设置于工作台本体上，若干第二轴向排气槽相互垂直且等距排列设置于工作台本体上。

根据以上技术要求，所述工作台本体上开有一矩形排气槽，第一轴向排气槽与第二轴向排气槽设置于矩形排气槽的内侧。

根据以上技术要求，所述若干第一轴向排气槽将矩形排气槽的两条相邻边槽相互贯通，若干第二轴向排气槽将矩形排气槽的两条相邻边相互贯通。

根据以上技术要求，所述工作台本体的底沿凹设有多个定位槽，定位槽内开有一销槽及一连接槽。

根据以上技术要求，所述销槽中能设置定位销或定位螺丝，所述连接槽中能设置有磁铁或连接螺栓。

根据以上技术要求，所述工作台本体的底端还凹设有限位槽，限位槽中能设置磁铁。

根据以上技术要求，所述工作台本体的底端还凹设有限位槽，限位槽中能设置磁铁。

根据以上技术要求，所述工作台本体的尺寸为275MM*275MM。

本实用新型的有益之处是：工作台本体中的连接头可与外部机体的抽气装置连接，抽气装置开启使连接头中的四个通孔与工作台本体的四个放电通气孔、若干第一轴向排气槽、若干第二轴向排气槽、矩形排气槽形成气道，将位于工作台本体上方的待加工半导体多晶硅芯片与工作台本体之间的空气排空，从而形成真空，利用气压差便于半导体多晶硅芯片在工作台本体上固定从而进行二次加工，结构合理，工作稳定性及可靠性高，工作面具有高利用率，经济方便。

附图说明

图1是本实用新型排气式矩形工作台的立体示意图；

图2是本实用新型排气式矩形工作台的俯视示意图图；

图3是本实用新型排气式矩形工作台的仰视图。

具体实施方式

下面结合附图及较佳实施例就本实用新型的技术方案作进一步的说明。

如图1-图3所示，本实用新型所述的一种排气式矩形工作台，包括工作台本体1，所述工作台本体1的横截面呈矩形状，工作台本体1中开有若干相互平行且等距排列的第一轴向排气槽11及若干相互平行且等距排列的第二轴向排气槽12，第一轴向排气槽11与第二轴向排气槽12相互垂直交叉，工作台本体1上开有一排气孔21及四个放电通气孔22，排气孔21、四个放电通气孔22均分别设置于第一轴向排气槽11与第二轴向排气槽12交叉处，工作台本体1的中部设有圆盘状的用于连接固定外部机体的连接头3，连接头3上设有四个通孔31，通孔31与放电通气孔22相贯通。

进一步地，所述工作台本体1的顶端边沿上开有一矩形排气槽10，第一轴向排气槽11与第二轴向排气槽12设置于矩形排气槽10的内侧。

具体地，所述若干第一轴向排气槽11将矩形排气槽10的两条相邻边槽相互贯通，若干第二轴向排气槽12将矩形排气槽10的两条相邻边相互贯通。

进一步地，所述工作台本体1的四条底沿上分别凹设有两个定位槽4，定位槽4内开有一销槽41及一连接槽42。

具体地，所述销槽41中能设置定位销将工作台本体与外部机体连接定位，所述连接槽42中能设置有磁铁与外部机体连接固定。

进一步地，所述工作台本体1的底端还凹设有限位槽40，限位槽40中能设置磁铁(附图为标注)进一步与外部机体连接固定，减少机体工作时的晃动避免误差。

进一步地，所述工作台本体1的尺寸为275MM*275MM，较现有的圆形工作台面加大了作业面积。

以上，作为优选的实施例，工作台本体1中的连接头3可与外部机体的具有抽气装置连接，抽气装置开启使连接头3中的四个通孔31与工作台本体1的四个放电通气孔22、若干第一轴向排气槽11、若干第二轴向排气槽12、矩形排气槽10形成气道，将位于工作台本体1上方的待加工半导体多晶硅芯片与工作台本体1之间的空气排空，从而形成真空，利用气压差便于半导体多晶硅芯片在工作台本体1上固定从而进行二次加工，结构合理，工作稳定性及可靠性高，工作面具有高利用率，经济方便。

以上所述的仅是本实用新型的原理和较佳实施例。应当指出，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还能做出若干的变型和改进，也应视为属于本实用新型的保护范围。