异常噪声检查设备、异常噪声检查方法、程序和工件制造方法与流程

本技术涉及例如基于噪声对工件进行检查的噪声检查设备的技术。

背景技术：

在常规的噪声检查设备中，在将工件固定在噪声检查设备中的预定位置的状态下进行噪声检查(例如，参考以下所示的专利文献1)。此外，在对工件执行常规的噪声检查的情况下，检测到由于诸如发动机、压缩机和光盘驱动器之类的驱动单元被实际驱动而产生的噪声。

注意，专利文献2被作为与本申请相关的技术的示例。

引文清单

专利文献

专利文献1：日本专利申请特开no.2014-142290

专利文献2：日本专利申请特开no.2013-193158

技术实现要素：

技术问题

对于常规的噪声检查设备，由于检查是在工件被固定在噪声检查设备中的预定位置的状态下进行的，所以存在不能有效地进行噪声检查的问题。

鉴于上述情况，本技术的目的是提供一种例如可以有效地检查工件的噪声的检查设备的技术。

问题的解决方案

根据本技术的噪声检查设备包括机械臂部、声音检测部和控制单元。

机械臂部包括臂部和设置在臂部上并能够保持工件的保持部。

声音检测部设置在机械臂部上并检测来自工件的声音。

控制单元使用臂部使在保持工件的状态下的保持部移动以运送工件；使用声音检测部，在工件的运送期间检测工件的声音；并且根据检测到的声音的信号，检查从工件产生的噪声。

噪声检查设备既具有运送工件的运送设备的功能，又具有对由工件产生的噪声进行检查的噪声检查设备的功能。因此，噪声检查设备能够在工件的运送期间检查工件的噪声。这样，可以有效地检查工件的噪音。

在噪声检查设备中，控制单元可以使用臂部，使保持部沿第一方向和第二方向移动以运送工件，该保持部处于保持工件的状态，第二方向是与第一方向相反的方向；可以使用声音检测部检测由于工件沿第一方向移动而从工件产生的声音和由于工件沿第二方向移动而从工件产生的声音；以及可以根据检测到的声音的信号，检查从工件产生的噪声。

在噪声检查设备中，控制单元可以使保持部沿第一方向移动，以将工件运送至不是噪声检查设备的第一设备，并且可以使保持部沿第二方向移动，以将工件从所述第一设备运送到不是噪声检查设备的第二设备。

在该噪声检查设备中，控制单元可以使用臂部改变在保持工件的状态下的保持部的姿势；可以使用声音检测部检测由于工件的姿态变化而从工件产生的声音；并且可以根据检测到的声音的信号，检查从工件产生的噪声。

在噪声检查设备中，控制单元可以改变保持部的姿势，以使不是噪声检查设备的第一设备能够在工件被保持部保持的状态下对工件进行处理。

在噪声检查设备中，声音检测部可以设置在保持部上。

在噪声检查设备中，声音检测部可以检测与工件接触的声音。

在噪声检查设备中，声音检测部分可以是声发射(ae)传感器。

在噪声检查设备中，声音检测部可以在不与工件接触的情况下检测声音。

在噪声检查设备中，声音检测部分可以是麦克风。

在噪声检查设备中，控制单元可以基于使用声音检测部检测出的声音的信号中的特定频带的信号，检查从工件产生的噪声。

在噪声检查设备中，控制单元可以对特定频带上的信号进行积分，并且可以根据积分值检查从工件产生的噪声。

根据本技术的噪声检查方法包括：使用机械臂部的臂部使在保持工件的状态下的保持部移动以运送工件，该保持部包括在机械臂部中；使用声音检测部，在工件的运送期间检测工件的声音，该声音检测部设置在机械臂部上；并且根据检测到的声音的信号，检查从工件产生的噪声。

根据本技术的程序使计算机用作执行处理的控制单元，该程序执行包括以下内容的处理：使用机械臂部的臂部使在保持工件的状态下的保持部移动以运送工件，该保持部包括在机械臂部中；使用声音检测部，在工件的运送期间检测工件的声音，该声音检测部设置在机械臂部上；并且根据检测到的声音的信号，检查从工件产生的噪声。

根据本技术的工件制造方法包括：使用机械臂部的臂部使在保持工件的状态下的保持部移动以运送工件，该保持部包括在机械臂部中；使用声音检测部，在工件的运送期间检测工件的声音，该声音检测部设置在机械臂部上；根据检测到的声音的信号，检查从工件产生的噪声；以及根据检查结果来判断工件是否合格。

发明的有益效果

如上所述，本技术使得可以提供例如可以有效地检查工件的噪声的检查设备的技术。

附图说明

图1是示出根据本技术的第一实施例的检查系统的俯视图。

图2是示出噪声检查设备和标签粘贴设备的透视图。

图3是示出噪声检查设备的保持部的放大图。

图4是示出噪声检查设备的电气结构的框图。

图5是外观检查设备的透视图。

图6是工件壳体的展开图。

图7是示出了线相机的图像捕获角度和发光部的照射角度的图。

图8是示出了线相机的另一图像捕获角度和发光部的另一照射角度的图。

图9是示出外观检查设备的电气结构的框图。

图10是示出噪声检查设备的控制单元进行的处理的流程图。

图11是示出外观检查设备的控制单元进行的处理的流程图。

图12是示出第一外观检查设备的第一扫描部和第二扫描部的扫描轨迹的图。

图13是示出第一外观检查设备的第一扫描部和第二扫描部的扫描动作的图。

图14是示出第一外观检查设备的第一扫描部和第二扫描部的扫描动作的另一图。

图15是示出第一外观检查设备的第一扫描部和第二扫描部的扫描动作的再一图。

图16是示出第一外观检查设备的第一扫描部和第二扫描部的扫描动作的又一图。

图17是示出第一外观检查设备的第一扫描部和第二扫描部的扫描动作的又一图。

图18是示出第一外观检查设备的第一扫描部和第二扫描部的扫描动作的又一图。

图19是示出第一外观检查设备的第一扫描部和第二扫描部的扫描动作的又一图。

具体实施方式

现在，参考附图描述根据本技术的实施例。

《第一实施方式》

<检查系统100的整体配置和每个单元/部分>

图1是示出根据本技术的第一实施例的检查系统100的俯视图。如图1所示，根据本技术的检查系统100包括噪声检查设备10、标签粘贴设备40、第一外观检查设备50a、第一运送设备80、第二外观检查设备50b和第二运送设备90。该检查系统100例如配置在工件1的生产线上的最下游侧附近，并进行工件1的最后检查。

注意，这里，将两个外观检查设备50a和50b简单地统称为外观检查设备50。为了将两个外观检查设备50a和50b彼此区分开，分别将这些外观检查设备称为作为第一外观检查设备50a和第二外观检查设备50b。

在图1中，用虚线箭头表示工件1的运送路径。在本实施例中，将静止的游戏设备假设为作为被检体的工件1。该工件1包括壳体2，该壳体2具有大致长方体形状并且在其厚度方向上较薄。

图6是工件1的壳体2的展开图。该壳体2总共具有六个面，具体地，是正面3、背面4和四个侧面5。游戏设备所需的各种电子组件内置在壳体2中。

注意，在此，四个侧面5中的任何侧面简称为侧面5。为了有意地将四个侧面5彼此区分开，这些侧面分别称为第一侧面5a、第二侧面5b、第三侧面5c和第四侧面5d。

现在，为了更好地理解检查系统100，简要描述了检查系统100如何检查工件1的整体过程(参见图1中的虚线箭头)。

首先，通过噪声检查设备10将工件1从布置在上游侧的另一设备(未示出)运送到标签粘贴设备40，并且通过标签粘贴设备40粘贴标签。完成标签的粘贴后，通过噪声检查设备10将工件1从第一标签粘贴设备40运送到第一外观检查设备50a。

注意，如下所述，噪声检查设备10具有在工件1的运送期间检查工件1的噪声的功能。由此，工件1在由噪声检查设备10运送的同时经受噪声检查。

通过第一外观检查设备50a对工件1的六个面中的三个面进行检查。当该检查完成时，工件1被第一运送设备80从第一外观检查设备50a运送到第二外观检查设备50b。

通过第二外观检查设备50b对该工件1的六个面中的其他三个面进行检查。当该检查完成时，工件1通过第二运送设备90从第二外观检查设备50b运送到布置在下游侧的又一设备(诸如包装设备，存放设备等)。

注意，在通过第二外观检查设备50b检查工件的同时，通过第一外观检查设备50a对随后的一个工件1进行外观检查。另外，此时，通过噪声检查设备10和标签粘贴设备40对工件1中的另一个随后的工件1进行噪声检查和标签粘贴的处理。

【噪声检查设备10】

图2是示出噪声检查设备10和标签粘贴设备40的透视图。如图2所示，噪声检查设备10包括基座11和设置在基座11上的机械臂部12。机械臂部12包括铰接臂部21和设在该臂部21的远端的手部31(保持部)。

臂部21包括安装成可绕z轴在基座11上枢转的近端部22，以及相对于近端部22可挠曲地安装的上臂部23。此外，臂部21包括相对于上臂部23可挠曲地安装的前臂部24和相对于前臂部24可挠曲地安装的的腕部25。保持部31被安装成能够绕腕部25旋转(绕其对应于腕部25的纵向的轴线旋转)。

臂部21能够通过近端部22的枢转运动、上臂部23的挠曲运动、前臂部24的挠曲运动、腕部25的挠曲运动以及保持部31的旋转运动而使保持部31(以及被保持部31保持的工件1)在三维空间内自由移动。此外，臂部21还能够通过所有上述移动将保持部31(以及被保持部31保持的工件1)的姿势改变为任意姿势。

注意，臂部21可以具有任何类型的结构，只要至少可以自由地控制保持部31的移动(即，被保持部31保持的工件1的运送)即可。(例如，可以省略上臂部23。)

图3是示出保持部31的放大图。如图2和图3所示，保持部31包括被安装为能够绕腕部25旋转的保持部主体32以及设置到保持部主体32的第一卡盘机构33和第二卡盘机构34。另外，在保持部31上设有检测来自工件1的声音的声音检测部35。

第一卡盘机构33和第二卡盘机构34相对于保持部主体32相互正交地设置。第一卡盘机构33能够从两侧将工件1的四个侧面5中的两个相对的侧面5夹在中间。同时，第二卡盘机构34能够从两侧夹住工件1的四个侧面5中的另外两个相对的侧面5。

保持部31能够通过第一卡盘机构33和第二卡盘机构34保持和释放工件1。

注意，只要能够保持和释放工件1，保持部31就不必包括卡盘机构33和34，并且可以具有任何类型的构造。(例如，可以通过抽吸来保持工件1。)

臂部21和保持部31分别包括诸如电动机的各种驱动系统，并且该驱动系统由控制单元13(参考图4)控制。由此，控制臂部21和保持部31的移动。

声音检测部35检测例如由于工件1的移动(运送)和工件1的姿势的变化(包括旋转)而从工件1产生的声音。声音检测部35能够将从工件1产生的声音转换(检测)为电信号，放大这些电信号并将这些电信号输出至控制单元13(参照图4)。

在这种情况下，例如，在其中异物陷入工件1中的状态下，工件1被移动(运送)或工件1的姿势改变的情况下，异物可能在工件1中移动以产生噪声。注意，异物的示例包括从工件1中的内部电子部件脱离的螺钉，由损坏的电子部件之一形成的碎屑，从外部进入工件1的灰尘等。

另外，例如，在使电缆1的端部的连接器在工件1上断开的状态下使工件1移动(运送)或改变工件1的姿势的情况下，电缆和连接器可能会在工件1中移动以产生噪声。

在根据本实施例的噪声检查设备10中，声音检测部35如上所述检测在各种情况下产生的噪声。注意，在本实施例中，噪声是指即使通过机械臂部12移动(运送)一个正常工件1或改变一个正常工件1的姿势也不会产生的声音，并且是在通过机械臂部12移动(运送)工件1中的一个异常工件(其中陷有异物的工件、断开了连接器的工件等)或改变工件1中的一个异常工件的的姿势的情况下产生的声音。

在该实施例中，声音检测部35包括ae(声发射)传感器，并且布置成在工件1被保持部31保持的状态下与工件1接触。ae传感器包括压电元件(例如pzt)，该压电元件将通过工件1的壳体2传播的ae弹性波转换为电信号。

声音检测部35布置在由保持部31保持的工件1的中心附近的位置处，使得即使在工件1中的任何位置处产生噪声的情况下，也能够适当地检测噪声。同时，如果预先掌握了在工件1中的哪个区域中容易产生噪声(例如，由于螺钉、连接器等密集布置的原因)，则可以将声音检测部35布置在与该区域相对应的位置。

图4是示出噪声检查设备10的电气结构的框图。如图4所示，噪声检查设备10不仅包括上述的机械臂部12和声音检测部35，还包括控制单元13、存储单元14和通信单元15。

控制单元13包括cpu(中央处理单元)等，并且根据存储在存储单元14中的各种程序执行各种计算，从而协同控制噪声检查设备10中的所有单元和部分。

典型地，该控制单元13使用臂部21在保持工件1的状态下移动保持部31以运送工件1，并使用声音检测部35来检测工件1的运送过程中来自工件1的声音。然后，控制单元13基于检测到的声音的信号，检查工件1中产生的噪声。注意，下面描述控制单元13执行的处理的细节。

存储单元14包括存储控制单元13执行的处理所需的各种程序和各种数据项的非易失性存储器以及用作控制单元13的工作区的易失性存储器。程序可以从诸如半导体存储器或光盘的便携式记录介质中读取或者可以从网络上的服务器设备下载。

通信单元15在生产线上以有线或无线方式与其他设备通信。

【标签粘贴设备40】

如图2所示，标签粘贴设备40包括基座41和设置在该基座41上的机械臂部42。机械臂部42包括铰接臂部43和设置在臂部43的远端的作业保持部44。

注意，标签粘贴设备40的机械臂部42的臂部43的构造和噪声检查设备10的机械臂部12的臂部21的构造基本相同，除了设置在臂部43的远端处的保持部44的构造和设置在臂部21的远端处的保持部31的构造之外。注意，这同样适用于第一外观检查设备50a、第一运送设备80、第二外观检查设备50b和第二运送设备90的机械臂部。

臂部43包括安装成可绕基座41上的z轴枢转的近端部45以及相对于近端部45可挠曲地安装的上臂部46。此外，臂部43包括相对于上臂部46可挠曲地安装的前臂部47和相对于前臂部47可挠曲地安装的腕部48。作业保持部44以能够绕腕部25旋转的方式安装(围绕其对应于腕部25的纵向的轴线可旋转)。

作业保持部44能够从标签存放部(未示出)取出标签，并且在工件1被噪声检查设备10的保持部31保持的状态下，能够从上方将标签粘贴到工件1的侧面5。

注意，尽管未示出，但是标签粘贴设备40包括例如协同控制标签粘贴设备40中的所有单元和部分的控制单元，存储通过控制单元执行的处理所需的各种程序和各种数据项的存储单元，以及与其他设备进行通信的通信单元。

【外观检查设备50】

图5是示出外观检查设备50(第一外观检查设备50a或第二外观检查设备50b)的透视图。第一外观检查设备50a和第二外观检查设备50b分担任务并协同工作以检查工件1的外观。第一外观检查设备50a和第二外观检查设备50b基本上具有相同的构造。

第一外观检查设备50a对工件1的壳体2的总共6个面中的3个面，具体地，正面3，第一侧面5a以及第二侧面5b进行外观检查。(这三个面彼此相邻。)同时，第二外观检查设备50b执行其他三个面的外观检查，具体地，背面4、第三侧面5c和第四侧面5d的总共三个面。(这三个面彼此相邻。)

第一外观检查设备50a以正面3朝上的方式进行检查，第二外观检查设备50b以背面4朝上的方式进行检查。第一外观检查设备50a和第二外观检查设备50b例如检查工件1的每个面是否具有诸如缺陷(划痕和凹痕)和带痕的外观异常。

注意，由外观检查设备50检查的外观异常不限于缺陷或带痕。通常，外观异常包括在正常工件1上未发现的任何类型的外观异常。

外观检查设备50包括基座51、用于工件1的工作台52、第一机械臂部60和第二机械臂部70。

第一外观检查设备50a的第一机械臂部60进行正面3的扫描以及第二侧面5b的扫描的一部分。同时，第一外观检查设备50a的第二机械臂部70执行对第一侧面5a的扫描和对第二侧面5b的扫描的另一部分。

另外，第二外观检查设备50b的第一机械臂部60进行背面4的扫描以及第四侧面5d的扫描的一部分。同时，第二外观检查设备50b的第二机械臂部70执行第三侧面5c的扫描和第四侧面5d的扫描的另一部分。

第一机械臂部60和第二机械臂部70具有基本相同的构造。

第一机械臂部60包括铰接的第一臂部61和设置在第一臂部61的远端处的第一扫描部62。类似地，第二机械臂部70包括铰接的第二臂部71和设置在第二臂部71的远端的第二扫描部72。

第一臂部61(第二臂部71)包括被安装成能够绕z轴在基座51上旋转的近端部63(近端部73)和相对于近端部63(近端部73)可挠曲地安装的上臂部64(上臂部74)。

另外，第一臂部61(第二臂部71)包括相对于上臂部64(上臂部74)可挠曲地安装的前臂部65(前臂部75)和相对于前臂部65(前臂部75)可挠曲地安装的腕部66(腕部76)。第一扫描部(第二扫描部72)以能够绕腕部66(腕部76)旋转(绕着与腕部的纵轴方向对应的轴旋转)的方式安装。

第一臂部61(第二臂部71)能够通过近端部63(近端部73)的枢转运动、上臂部64(上臂部74)的挠曲运动、前臂部65(前臂部75)的挠曲运动、腕部66(腕部76)的挠曲运动以及第一扫描部62(第二扫描部72)的旋转而在三维空间内自由地移动第一扫描部62(第二扫描部72)。另外，第一臂部61(第二臂部71)也能够通过上述所有动作将第一扫描部62(第二扫描部72)的姿势改变为任意姿势。

注意，第一臂部61(第二臂部71)可以具有任何类型的结构，只要至少可以自由地控制第一扫描部62(第二扫描部72)的移动即可。(例如，可以省略上臂部。)

第一扫描部62包括附接成可绕腕部66旋转的支撑构件69、固定至支撑构件69的第一线相机67以及固定至支撑构件69的第一发光部68。类似地，第二扫描部72包括附接成可绕腕部76旋转的支撑构件79、固定在该支撑构件79上的第二线相机77；以及固定在该支撑构件79上的第二发光部78。

第一线相机67(第二线相机77)包括沿一个方向排列的多个成像元件以及各种光学透镜，例如成像透镜。第一线相机67(第二线相机77)通过第一臂部61(第二臂部71)沿与该一个方向(排列成像元件的方向)正交的方向移动，同时，通过在工件1的壳体2的特定面上进行图像捕获来获取图像，并将该图像输出到控制单元53(参照图9)。

第一发光部68(第二发光部78)具有在一个方向(在线相机中排列成像元件的方向)上细长的形状。第一发光部68(第二发光部78)包括例如各种发光器，诸如led(发光二极管)和白灯。该第一发光部68(第二发光部78)通过第一臂部61(第二臂部71)与第一线相机67(第二线相机77)一体地一起移动，并且同时将光照射到第一线相机67(第二线相机77)进行图像捕获的部位。

当第一扫描部62(第二扫描部72)在工件1的特定面上沿扫描方向移动时，第一扫描部62(第二扫描部72)以距离特定面的固定间隔平行于特定面移动。

第一扫描部62(第二扫描部72)的扫描方向由第一臂部61(第二臂部71)调节。另外，第一扫描部62(第二扫描部72)的第一线相机67(第二线相机77)的图像捕获角度，以及第一扫描部62(第二扫描部72)的第一发光部68(第二发光部78)相对于工件1的壳体2的特定面的照射角度由第一臂部61(第二臂部71)调节。

图7和图8是分别示出线相机的图像捕获角度和发光部的照射角度的图。

图7示出了将第一线相机67(第二线相机77)的图像捕获角度设定为90°，将第一发光部68(第二发光部78)的照射角度设定为30°的示例情况。同时，图8示出了一种示例情况，其中第一线相机67(第二线相机77)的图像捕获角度设置为60°，第一发光部68(第二发光部78)的照射角度设置为60°。

在本实施例中，首先，如图7所示，将第一线相机67(第二线相机77)的图像捕获角度设为90°，将第一发光部68(第二发光部78)的照射角度设为30°。在这种状态下，第一扫描部62(第二扫描部72)扫描特定面。然后，将第一线相机67(第二线相机77)的图像捕获角度设为60°，将第一发光部68(第二发光部78)的照射角度设为60°。在这种状态下，第一扫描部62(第二扫描部72)扫描特定面。换句话说，在本实施例中，以第一线相机67(第二线相机77)的不同的图像捕获角度和第一发光部68(第二发光部78)的不同的照射角度扫描工件1中的相同区域。

注意，如图7和图8所示，在本实施例中，第一线相机67(第二线相机77)和第一发光部68(第二发光部78)相对于特定面的角度彼此同步地改变。可选地，第一线相机67(第二线相机77)和第一发光部68(第二发光部78)相对于特定面的角度可以彼此独立地调节。

在下文中，在第一次执行扫描时第一线相机67(第二线相机77)的图像捕获角度被称为第一图像捕获角度(在该实施例中为90°)，并且第二次进行扫描时的第一线相机67(第二线相机77)的图像捕获角度称为第二图像捕获角度(在本实施例中为60°)。

类似地，将第一次进行扫描时的第一发光部68(第二发光部78)的照射角度称为第一照射角度(在本实施例中为30°)，将第二次进行扫描时的第一发光部68(第二发光部78)的照射角度称为第二照射角度(在本实施例中为60°)。

注意，可以适当地改变第一图像捕获角度、第二图像捕获角度、第一照射角度和第二照射角度的所有值。通常，所有这些值例如根据工件1的壳体2的材料，以及要通过外观检查而检测的异常的类型(诸如缺陷，带痕等)适当地设定。

图9是示出外观检查设备50(第一外观检查设备50a或第二外观检查设备50b)的电气结构的框图。如图9所示，外观检查设备50不仅包括上述的第一机械臂部60和第二机械臂部70，还包括控制单元53、存储单元54以及通信单元55。

控制单元53包括cpu(中央处理单元)等，并且根据存储在存储单元54中的各种程序执行各种计算，从而协同控制外观检查设备50中的所有单元和部分。

在外观检查设备50中，控制单元13在使用第一臂部61使第一扫描部62沿第一扫描部62的扫描方向在工件1的特定面上移动时，使用第一线相机67对工件1的特定面进行图像捕获，并且使用第一扫描部62对工件1的特定面进行扫描。

另外，在使用第一扫描部62扫描工件1的特定面时，控制单元13在使用第二臂部71使第二扫描部72沿第二扫描部72的扫描方向在工件1的另一特定面上移动的同时，使用第二线相机77在工件1的另一特定面上进行图像捕获，并且使用第二扫描部72对另一特定面进行扫描。注意，下面描述控制单元53执行的处理的细节。

图9示出了其中第一机械臂部60和第二机械臂部70由单个控制单元53控制的示例。然而，第一机械臂部60和第二机械臂部70可以分别由独立的控制单元控制。

存储单元54包括非易失性存储器，该非易失性存储器存储控制单元53执行的处理所需的各种程序和各种数据项，以及用作控制单元53的工作区域的易失性存储器。程序可以从诸如半导体存储器或光盘的便携式记录介质中读取，或者可以从网络上的服务器设备下载。

通信单元55在生产线上以有线或无线方式与其他设备通信。

【第一运送设备80】

如图1所示，第一运送设备80包括基座81和设置在基座81上的机械臂部82。机械臂部82包括铰接的臂部83和设置在臂部83的远端部的保持部84。

臂部83的构造与噪声检查设备10以及外观检查设备50的机械臂部的臂部21、61和71的构造相同。保持部84包括卡盘机构，该卡盘机构能够从两侧夹住工件1的四个侧面5的两个相对的侧面5。

第一运送设备80的机械臂部82保持被载置在第一外观检查设备50a的工作台52上的工件1，在使工件1倒置时运送工件1，然后将工件1载置于第二外观检查设备50b的工作台52上。

注意，尽管未示出，但是第一运送设备80包括协同控制第一运送设备80的控制单元，存储例如由控制单元执行的处理所需的各种程序和各种数据项的存储单元，以及与生产线上其他设备进行通信的通信单元。

【第二运送设备90】

如图1所示，第二运送设备90包括基座91和设置在基座91上的机械臂部92。机械臂部92包括铰接臂部93和设置在臂部93的远端部的保持部94。

除了没有设置声音检测部35之外，第二运送设备90的机械构造和电气构造与噪声检查设备10的机械构造和电气构造相同。

第二运送设备90的机械臂部92保持放置在第二外观检查设备50b的工作台52上的工件1，然后将工件1运送到布置在下游侧的其他设备(包装设备或存放设备)上，从而使工件1前进到后续步骤。

注意，从噪声检查设备10、第一外观检查设备50a和第二外观检查设备向第二运送设备90通知要运送的工件1是否合格。

当所有三个设备10、50a或50b都确定工件1合格时，第二运送设备90的机械臂部92使该工件1前进到后续步骤。同时，当三个设备10、50a和50b中的至少一个确定工件1不合格时，机械臂部92不允许该工件1前进到后续步骤，并且将该工件1运送到用于存放不合格产品的存放架(未示出)。

注意，已经确定为不合格的工件1可以根据缺陷的原因布置在存放架上的不同区域中。

<操作说明>

现在，描述检查系统100中的处理。

【噪声检查设备10进行的处理】

以下，描述由噪声检查设备10执行的处理。图10是示出由噪声检查设备10的控制单元13执行的处理的流程图。

首先，噪声检查设备10的控制单元13控制机械臂部12的臂部21以将保持部31移动到保持工件1的位置(步骤101)。然后，控制单元13使保持部31保持工件1(步骤102)。如图3所示，当通过保持部31保持工件1时，声音检测部35与工件1的中心附近接触。

接下来，控制单元13开始从声音检测部35获取声音的信号的处理(步骤103)。此后，控制单元13基于检测到的声音的信号开始检查工件1的噪声(步骤104)。注意，以下描述该噪声检查的细节。

然后，控制单元13使臂部21顺时针枢转，从而使得在保持工件1的状态下的保持部31顺时针枢转(在第一方向上移动)。由此，将工件1运送到标签粘贴设备40中的处理位置(步骤105)。

注意，在通过使臂部21枢转来运送工件1的同时，控制单元13通过臂部21的各个部分的挠曲运动以及通过保持部31相对于臂部21的旋转运动而将工件1的姿势改变为用于施加标签的任意姿势。注意，此时，工件1以直立姿势被保持，在该姿势下，工件1的侧面5中的特定一个侧面朝上(请参考图2)。

在控制单元13将工件1运送到标签粘贴设备40中的处理位置之后，控制单元13停止机械臂部12的移动，从而使机械臂部12在工件1被保持部31保持的状态下待机(步骤106)。在这种状态下，标签粘贴设备40将标签粘贴到工件1的侧面5的顶面。

接下来，控制单元13确定由标签粘贴设备40执行的处理是否已经完成(步骤107)。注意，如果标签粘贴设备40执行的处理已经完成，则标签粘贴设备40发送指示完成的信号，并且噪声检查设备10接收该信号。

如果已经完成由标签粘贴设备40执行的处理(步骤107中为是)，则控制单元13前进至步骤108。在步骤108中，控制单元13使臂部21逆时针枢转，从而使在保持工件1的状态下的保持部31逆时针枢转(沿第二方向移动)。以这种方式，将工件1从标签粘贴设备40运送到第一外观检查设备50a。然后，控制单元13使保持部31释放工件1，从而将工件1放置在第一外观检查设备50a的工作台52上。

注意，在通过使臂部21逆时针枢转来运送工件1的同时，控制单元13通过臂部21的每个部分的挠曲运动以及通过保持部31相对于臂部21的旋转运动而将工件1的姿势改变为用于将工件1放置在工作台52上的任意姿势。注意，在此时工件1的姿势下，工件1的正面3朝上。

当将工件1放置在工作台52上，然后从保持部31释放工件1时，声音检测部35与工件1分离。此时，控制单元13结束从声音检测部35获取声音的信号的处理(步骤109)。然后，控制单元13结束基于声音的信号对工件1的噪声检查(步骤110)。

接下来，控制单元13确定是否已经通过噪声检查检测到噪声(步骤111)。如果未检测到噪声(步骤111中为“否”)，则控制单元13将工件1的识别信息和指示工件1合格的信息两者发送至第二运送设备90(步骤112)。同时，如果已经检测到噪声(步骤111中为“是”)，则控制单元13将工件1的识别信息和指示工件1不合格的信息两者发送至第二运送设备90(步骤113)。

如果通过噪声检查确定工件1不合格，则在通过第一外观检查设备50a和第二外观检查设备50b进行外观检查之后，通过第二运送设备90该工件1存放在用于存放不合格产品的存放架中。以这种方式，将不合格产品与合格产品分离。

注意，在本实施例中，通过第二运送设备90将通过噪声检查判断为合格或不合格的工件1分离，但也可以由噪声检查设备10的机械臂部12自身进行该分离。在这种情况下，用于存放不合格产品的存放架被安装在噪声检查设备10的机械臂部12的操作范围内。

(噪声检查技术)

接下来，描述基于声音的信号的噪声检查方法的细节。如上所述，在诸如异物陷入工件1中的状态以及工件1中连接器被断开的状态下的各种情况下，当工件1被移动(运送)或工件1的姿势改变时，在工件1中，可能产生噪声。

同时，对于正常工件1，即使当工件1移动(运送)时，或者甚至当工件1的姿势改变时，也不会产生这种噪声。因此，通常，通过将来自作为检查目标的工件1的声音的信号的波形与来自正常工件1的声音的信号的波形进行比较来执行噪声检查。

具体地，在来自异常工件1的声音的信号的波形中，指示噪声的特定频带中的声音的音量变得比来自正常工件1的声音的信号的波形中的声音的音量更高。更具体地，对于其中截留有螺钉的工件1，获得了由声音的信号表示的值在1.5khz、3khz、6khz、12khz和24khz的频率下增加的实验结果。

更具体地，在其中截留有螺钉的工件1中，由于工件1的移动(运送)和工件1的姿势的变化，通过螺钉与工件1的内壁或其他构件碰撞而产生1.5khz、3khz、6khz、12khz和24khz的频率的噪声。注意，作为特定频带中的噪声的声音例如根据工件1的移动(运送)的速度、工件1的姿势变化的速度、工件1的壳体2的材料、工件1的内部结构以及截留在工件1中的异物的类型而变化。

当已经预先掌握了噪声的频带时，可以从噪声检测部35检测到的声音的整个信号中提取(通过例如fft(快速傅立叶变换))与噪声相对应的特定频带中的声音的信号。然后，可以基于特定频带中的声音的该信号来确定是否已经产生了噪声。另外，在这种情况下，可以对特定频带中的声音的信号进行积分，并且可以基于通过积分获得的值来确定是否已经产生了噪声。

例如，当产生频率为1.5khz、3khz、6khz、12khz和24khz的噪声时，从噪声检测部35检测到的声音的信号中提取在1khz至30khz的频带中的声音的信号。然后，可以基于在1khz至30khz的频带中的声音的该信号来确定是否已经产生了噪声。另外，在这种情况下，例如，可以对1khz至30khz的频带中的声音的信号进行积分，并且可以基于通过积分获得的值是否超过阈值来确定是否产生了噪声。

(工件1的顺时针或逆时针运送等)

如上所述，当将工件1运送到标签粘贴设备40时，通过顺时针枢转来运送工件1。同时，当将工件1从标签粘贴设备40运送到第一外观检查设备50a时，通过逆时针枢转来运送工件1。

注意，存在虽然通过工件1的顺时针运送不产生噪声，但是通过工件1的逆时针运送产生噪声的情况。相反，也存在虽然通过工件1的逆时针运送不会产生噪声，但是通过工件1的顺时针运送会产生噪声的情况。

例如，对于其中截留有异物的工件1，根据异物在工件1中的位置，可以仅通过顺时针运送和逆时针运送中的一种来移动异物，并且仅通过顺时针运送和逆时针运送之一产生噪声。

同时，在本实施例中，由于工件1在顺时针方向和逆时针方向上都被运送，所以可以适当地检测噪声。

另外，如上所述，在将工件1运送到标签粘贴设备40的同时，以及在将工件1从标签粘贴设备40运送到第一外观检查设备50a的同时，工件1的姿势改变。

在这种情况下，可能存在这样的情况，尽管仅通过运送工件1不会产生噪声，但是一旦改变了工件1的姿势便会产生噪声。例如，对于截留有异物的工件1，根据异物在工件1中位置的不同，有可能异物在壳体1内不移动，直到改变工件1的姿势才产生噪声。

因此，如本实施例那样，通过在工件1的运送中改变工件1的姿势，能够进一步正确地检测噪声。

【外观检查设备50的处理】

接下来，描述由第一外观检查设备50a和第二外观检查设备50b执行的处理。注意，除了要检查哪一侧以外，由第一外观检查设备50a执行的处理和由第二外观检查设备50b执行的处理基本上彼此相同。

因此，以下，除非另有说明，否则代表性地描述由第一外观检查设备50a执行的处理。注意，关于第二外观检查设备50b执行的处理，正面3对应于背面4，第一侧面5a对应于第三侧面5c，并且第二侧面5b对应于第四侧面5d。

图11是表示外观检查设备50的控制单元53进行的处理的流程图。首先，第一外观检查设备50a的控制单元53判断是否已将工件1载置于工作台52上(步骤201)。

基于要从噪声检查设备10发送的信号来确定是否放置了工件1。例如，当噪声检查设备10将工件1放置在工作台52上时，从噪声检查设备10向第一外观检查设备50a发送指示工件1已被放置的信号。

注意，在第二外观检查设备50b中，当第一运送设备80将工件1放置在工作台52上时，指示工件1已经被放置的信号从第一运送设备80发送到第二外观检查设备50b。

如果将工件1放置在工作台52上(步骤201中为是)，则控制单元53控制第一机械臂部60和第二机械臂部70总共扫描三个面，具体地，扫描壳体2的正面3、第一侧面5a和第二侧面5b(步骤202)。注意，下面参考图12至图19描述这三个面的扫描的细节。

然后，控制单元53基于由第一线相机67和第二线相机77拍摄的图像，确定是否已经从工件1中检测到外观异常(工件1是否合格)(步骤203)。

例如，如果在三个面上发现了具有一定尺寸或更大尺寸(用户可以一眼就能识别的尺寸)的单个缺陷或单个带痕，则控制单元53确定已检测到外观异常(步骤203中为是)。

另外，如果在三个面上发现预定数量或更大数量的具有一定尺寸或更小尺寸(用户一眼无法识别的尺寸)的缺陷或带痕，则控制单元53确定已检测到外观异常(步骤203中为是)。

如果未检测到外观异常(步骤203中为“否”)，则控制单元53将工件1的识别信息和指示工件1合格的信息两者发送至第二运送设备90(步骤204)。

同时，如果已经检测到外观异常(步骤203中为“是”)，则控制单元53将工件1的识别信息和指示工件1不合格的信息两者发送至第二运送设备90(步骤205)。

如果通过第一外观检查设备50a确定工件1不合格，则在通过第二外观检查设备50b进行外观检查后，通过第二运送设备90将该工件1存放在用于存放不合格产品的存放架中。以这种方式，将不合格产品与合格产品分离。

接下来，对由第一外观检查设备50a进行的外观检查的细节进行说明。图12是示出由第一外观检查设备50a的第一扫描部62和第二扫描部72进行的扫描的轨迹的图。

在图12中，实线箭头指示通过第一扫描部62进行的扫描的轨迹，而虚线箭头指示通过第二扫描部72进行的扫描的轨迹。

实线箭头由数字1.至12.表示。这些数字表示由第一扫描部62进行的扫描顺序。同时，虚线箭头由数字“1”至“8”表示。这些数字表示第二扫描部72进行的扫描顺序。

另外，将符号(1)、(2)、(1′)、(2′)、(1″)和(2″)中的任何一个添加到数字1.至12.和“1”至“8”

带括号的数字1表示线相机67和77相对于工件1的特定面的图像捕获角度分别被设置为第一图像捕获角度(90°)，并且发光部68和78相对于工件1的特定面的照射角度分别被设置为第一照射角度(30°)(参考图7)。同时，带括号的数字2表示线相机67和77相对于工件1的特定面的图像捕获角度分别被设置为第二图像捕获角度(60°)，并且发光部68和78相对于工件1的特定面的照射角度分别被设置为第二照射角度(60°)(参见图8)。

在带括号的数字1或2的右上角，不添加任何内容，或添加“′”和“″”中的任何一个。当在带括号的数字1或2的右上角未添加任何内容时，带括号的数字1或2表示相对于正面3的图像捕获角度和照射角度。

另外，当在带括号的数字1或2的右上角加上“′”时，数字1或2表示相对于第一侧面5a的图像捕获角度和照射角度。同时，当在带括号的数字1或2的右上角添加“″”时，数字1或2表示相对于第二侧面5b的图像捕获角度和照射角度。

作为示例，描述了添加了符号11.(2″)的实线箭头的示例性情况。在这种情况下，箭头是实心的，因此所指示的轨迹是由第一扫描部62进行扫描的轨迹。此外，数字11.表示由第一扫描部62进行的第十一次扫描的轨迹。进一步地，(2″)表示相对于第二侧面5b，第一扫描部62的第一线相机67的图像捕获角度被设置为第二图像捕获角度(60°)，并且第一扫描部62的第一发光部68相对于第二侧面5b的照射角度被设定为第二照射角度(60°)。

在图12中，在正面3、第一侧面5a和第二侧面5b中的每一个上示出了“上”、“下”、“左”和“右”。参照图12进行描述的前提是，针对正面3、第一侧面5a和第二侧面5b中的每一个，术语“上”、“下”、“左”和“右”代表图12中所示的方向。(在以下描述中，这同样适用于图13至图19。)

注意，正面3的上下方向和左右方向是指在地球坐标系中在水平面中彼此正交的方向。同时，第一侧面5a和第二侧面5b中的每个的上下方向是指地球坐标系中的上下方向，并且第一侧面5a和第二侧面5b中每个的左右方向是指地球坐标系中的水平面内的方向。

如图12所示，相对于工件1的正面3的扫描通过第一扫描部62进行(参见正面3上的实线箭头)，并且相对于工件1的第一侧面5a的扫描由第二扫描部72执行(参见第一侧面5a上的虚线箭头)。同时，第二侧面5b由共享任务并协同工作的第一扫描部62和第二扫描部72进行扫描(参考第二侧面5b上的实线箭头和虚线箭头)。

在该实施例中，以不同的图像捕获角度(第一图像捕获角度和第二图像捕获角度)和不同的照射角度(第一照射角度和第二照射角度)对工件1中的同一区域进行多次扫描。注意，尽管在本实施例中以两种模式使用图像捕获角度和照射角度(参照图7和图8)，但是可以以三或更多种模式使用图像捕获角度和照射角度。

具体地，例如，如1.(1)和4.(2)所示，通过第一扫描部62以不同的图像捕获角度和不同的照射角度对正面3上的相同区域(正面3的左侧)进行两次扫描。另外，具体而言，例如，如“1”(1′)和“4”(2′)所示，通过第二扫描部72以不同的图像捕获角度和不同的照射角度对第一侧面5a上的相同区域(第一侧面5a的左侧)扫描两次。

另外，在本实施例中，对工件1中的相同区域进行多次扫描的扫描方向包括不同的扫描方向(上下方向和左右方向)。注意，尽管在本实施例中使用两个方向，具体地，上下方向和左右方向作为扫描方向，但是可以使用两个或更多方向作为扫描方向。

注意，在本实施例的描述中，当扫描方向是上下方向时，上方向和下方向都被视为相同的扫描方向。类似地，当扫描方向是左右方向时，左手方向和右手方向都视为相同的扫描方向。

例如，如1.(1)、2.(1)、3.(2)和4.(2)所示，通过第一扫描部62沿上下方向扫描工件1的正面3。同时，如5.(1)、8.(1)、9.(2)和12.(2)所示，通过第一扫描部62沿左右方向扫描工件1的正面3。另外，例如，如“1”(1′)，“2”(1′)，“3”(2′)和“4”(2′)所示，通过第二扫描部72沿上下方向扫描工件1的第一侧面5a。同时，如“5”(1′)和“6”(2′)所示，通过第二扫描部72沿左右方向扫描工件1的第一侧面5a。

注意，在本实施例中，将第二侧面5b上的扫描方向分别分配给第一扫描部62和第二扫描部72。具体地，第一扫描部62沿第二侧面5b的上下方向进行扫描(参见6.(1″)、7.(1″)、10.(2″)和11.(2″))，第二扫描部72沿第二侧面5b的左右方向进行扫描(参见“7”(1″)和“8”(2″))。

在这种情况下，正面3沿左右方向的宽度和上下方向上的宽度、第一侧面5a沿左右方向的宽度、第二侧面5b沿左右方向的宽度均超过了可以由扫描部62或72一次扫描的宽度。因此，正面3的沿上下方向的扫描和沿左右方向的扫描，第一侧面5a的沿上下方向的扫描，以及第二侧面5b的沿上下方向的扫描分别沿相同的扫描方向执行两次。(图像捕获角度和照射角度需要设置为彼此不同，因此，沿相同的扫描方向总共执行四次扫描。)

同时，第一侧面5a的沿上下方向的宽度和第二侧面5b的沿上下方向的宽度均被设置为等于或小于可以由扫描部62或72一次扫描的宽度。因此，无论是在第一侧面5a的左右方向上的扫描还是在第二侧面5b的左右方向上的扫描都不需要在每个相同的扫描方向上执行两次。(图像捕获角度和照射角度需要设置为彼此不同，因此，沿相同的扫描方向总共进行两次扫描。)

图13至图19分别是示出第一外观检查设备50a中的第一扫描部62和第二扫描部72的扫描运动的图。注意，在图13至图19中，为了更好的可见性，仅示出了第一扫描部62的第一发光部68和第二扫描部72的第二发光部78，第一线相机67和第二线相机77未示出。另外，图13至图19中使用的符号(1)，(2)，(1′)，(2′)，(1″)和(2″)具有与图12中相同的含义。

如图13的(a)所示，首先，控制单元53控制第一臂部61以使第一扫描部62移动到正面3的左上角位置。(注意，对于正面3，术语“上”、“下”、“左”和“右”参见图12。)然后，控制单元53将第一线相机67相对于正面3的图像捕获角度设置为第一图像捕获角度(90°)，并且将第一发光部68相对于正面3的照射角度设置为第一照射角度(30°)。

同时，控制单元53控制第二臂部71以使第二扫描部72移动到第一侧面5a的左上角位置。(注意，对于第一侧面5a，术语“上”、“下”、“左”和“右”参见图12。)然后，控制单元53将第二线相机77相对于第一侧面5a的图像捕获角度设置为第一图像捕获角度(90°)，并且将第二发光部78相对于第一侧面5a的照射角度设为第一照射角度(30°)。

然后，控制单元53使第一扫描部62的第一发光部68发光。接下来，控制单元53使用第一扫描部62的第一线相机67在工件1的正面3上执行图像捕获，同时使用第一臂部61使第一扫描部62在工件1的正面3上沿向下方向(地球坐标系中水平面的方向)移动。以这种方式，通过第一扫描部62以第一图像捕获角度和第一照射角度沿向下方向扫描工件1的正面3的左侧(参见图12中的1.(1))。

控制单元53使第一发光部68发光，同时使第二扫描部72的第二发光部78发光。然后，控制单元53使用第二扫描部72的第二线相机77在工件1的第一侧面5a上进行图像捕获，同时使用第二臂部71使第二扫描部72在工件1的第一侧面5a上沿向下方向(也对应于地球坐标系中的向下方向)移动。以这种方式，通过第二扫描部72以第一图像捕获角度和第一照射角度沿向下方向扫描工件1的第一侧面5a的左侧(参见图12中的“1”(1′))。

如图13的(b)所示，当第二扫描部72到达第一侧面5a的左下角位置时，控制单元53停止第二扫描部72沿向下方向的移动。然后控制单元53停止使用第二扫描部72的第二线相机77执行的图像捕获，并且使第二扫描部72的第二发光部78灭光。此时，第一扫描部62扫描单元72仍然在扫描工件1的正面3。接下来，控制单元53控制第二臂部71以使第二扫描部72沿向右方向移动。

如图13的(c)所示，当第二扫描部72到达第一侧面5a的右下角位置时，控制单元53停止第二扫描部72沿向右方向的移动。然后，控制单元53使第二扫描部72的第二发光部78发光。

接着，控制单元53在使用第二臂部71使第二扫描部72在第一侧面5a上沿向上方向(也对应于地球坐标系中的向上方向)移动时，使用第二扫描部72的第二线相机77对工件1的第一侧面5a进行图像捕获。这样，通过第二扫描部72以第一图像捕获角度和第一照射角度沿向上方向扫描工件1的第一侧面5a的右侧(参照图12中的“2”(1′))。

在第二扫描部72到达第一侧面5a的右下角位置的时间点，第一扫描部62已经到达正面3的左下角位置。当第一扫描部62到达正面3的左下角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向下方向上的移动。然后，控制单元53停止使用第一扫描部62的第一线相机67执行的图像捕获，并且使第一扫描部62的第一发光部68灭光。接下来，控制单元53控制第一臂部61以使第一扫描部62沿向右方向移动。

如图13的(d)所示，当第一扫描部62到达正面3的右下角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向右方向的移动。然后，控制单元53使第一扫描部62的第一发光部68发光。

然后，控制单元53在使用第一臂部61使第一扫描部62在工件1的正面3上沿向上方向(地球坐标系中水平面的方向)移动时，使用第一扫描部62的第一线相机67在正面3上进行图像捕获。这样，通过第一扫描部62以第一图像捕获角度和第一照射角度沿向上方向扫描工件1的正面3的右侧(参见图12的2.(1))。

在第一扫描部62到达正面3的右下角位置的时间点，第二扫描部72已经到达第一侧面5a的右上角位置。当第二扫描部72到达第一侧面5a的右上角位置时，控制单元53停止第二扫描部72沿向上方向的移动。然后，控制单元53停止使用第二扫描部72的第二线相机77进行的图像捕获，并且使第二扫描部72的第二发光部78灭光。接下来，控制单元53使第二扫描部72在第一侧面5a的右上角位置待机。

如图13的(e)所示，当第一扫描部62到达正面3的右上角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向上方向的移动。然后，控制单元53停止使用第一扫描部62的第一线相机67执行的图像捕获，并且使第一扫描部62的第一发光部68灭光。此时，第二扫描部72仍然在第一侧面5a的右上角位置待机。

如图13的(f)所示，接下来，控制单元53将第一线相机67的图像捕获角度从相对于正面3的第一图像捕获角度(90°)切换到相对于正面3的第二图像捕获角度(60°)。另外，控制单元53将第一发光部68的照射角度从相对于正面3的第一照射角度(30°)切换到相对于正面3的第二照射角度(60°)。

同时，控制单元53将第二线相机77的图像捕获角度从相对于第一侧面5a的第一图像捕获角度(90°)切换到相对于第一侧面5a的第二图像捕获角度(60°)。另外，控制单元53将第二发光部78的照射角度从相对于第一侧面5a的第一照射角度(30°)切换到相对于第一侧面5a的第二照射角度(60°)。

然后，如图14的(g)所示，控制单元53使第一扫描部62的第一发光部68发光。接下来，控制单元53使用第一扫描部62的第一线相机67在在工件1的正面3上执行图像捕获，同时使用第一臂部61使第一扫描部62在工件1的正面3上沿向下方向(地球坐标系中水平面的方向)移动。这样，通过第一扫描部62以第二图像捕获角度和第二照射角度沿向下方向扫描工件1的正面3的右侧(参见图12中的3.(2))。

控制单元53使第一发光部68发光，同时使第二扫描部72的第二发光部78发光。然后，控制单元53使用第二扫描部72的第二线相机77在工件1的第一侧面5a上进行图像捕获，同时使用第二臂部71使第二扫描部72在工件1的第一侧面5a上沿向下方向(也对应于地球坐标系中的向下方向)移动。以这种方式，通过第二扫描部72以第二图像捕获角度和第二照射角度沿向下方向扫描工件1的第一侧面5a的右侧(参见图12中的“3”(2′))。

如图14的(h)所示，当第二扫描部72到达第一侧面5a的右下角位置时，控制单元53停止第二扫描部72沿向下方向的移动。然后，控制单元53停止使用第二扫描部72的第二线相机77执行的图像捕获，并且使第二扫描部72的第二发光部78灭光。此时，第一扫描部62仍然在扫描工件1的正面3。接下来，控制单元53控制第二臂部71以使第二扫描部72沿向左方向移动。

如图14的(i)所示，当第二扫描部72到达第一侧面5a的左下角位置时，控制单元53停止第二扫描部72沿向左方向的移动。然后，控制单元53使第二扫描部72的第二发光部78发光。

接着，控制单元53在使用第二臂部71使第二扫描部72在第一侧面5a上沿向上方向(也对应于地球坐标系中的向上方向)移动时，使用第二扫描部72的第二线相机77对工件1的第一侧面5a进行图像捕获。这样，通过第二扫描部72以第二图像捕获角度和第二照射角度沿向上方向扫描工件1的第一侧面5a的左侧(参考图12中的“4”(2′))。

在第二扫描部72到达第一侧面5a的左下角位置的时间点，第一扫描部62已经到达正面3的右下角位置。当第一扫描部62到达正面3的右下角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向下方向的移动。然后，控制单元53停止使用第一扫描部62的第一线相机67执行的图像捕获，并使第一扫描部62的第一发光部68灭光。接下来，控制单元53控制第一臂部61以使第一扫描部62沿向左方向移动。

如图14的(j)所示，当第一扫描部62到达正面3的左下角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向左方向的移动。然后，控制单元53使第一扫描部62的第一发光部68发光。

接着，控制单元53在使用第一臂部61使第一扫描部62在正面3上沿向上方向(地球坐标系中水平面的方向)移动时，使用第一扫描部62的第一线相机67对工件1的正面3进行图像捕获。这样，通过第一扫描部62以第二图像捕获角度和第二照射角度沿向上方向扫描工件1的正面3的左侧(参照图12的4.(2))。

在第一扫描部62到达正面3的左下角位置的时间点，第二扫描部72已经到达第一侧面5a的左上角位置。当第二扫描部72到达第一侧面5a的左上角位置时，控制单元53停止第二扫描部72沿向上方向的移动。然后，控制单元53停止使用第二扫描部72的第二线相机77进行的图像捕获，并且使第二扫描部72的第二发光部78灭光。

如图14的(k)所示，接下来，控制单元53使用第二臂部71旋转第二扫描部72，从而将第二扫描部72放置在第一侧面5a的左侧。这样，第二扫描部72相对于第二侧面5b的扫描方向从上下方向切换为左右方向。

此外，此时，控制单元53将第二线相机77的图像捕获角度从相对于第一侧面5a的第二图像捕获角度(60°)切换到相对于第一侧面5a的第一图像捕获角度(90°)。此外，控制单元53将第二发光部78的照射角度从相对于第一侧面5a的第二照射角度(60°)切换到相对于第一侧面5a的第一照射角度(30°)。

在第二扫描部72的旋转以及第二扫描部72的图像捕获角度和照射角度的切换完成的时间点，第一扫描部62已经到达正面3的左上角位置。当第一扫描部62到达正面3的左上角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向上方向的移动。然后，控制单元53停止使用第一扫描部62的第一线相机67进行的图像捕获，并使第一扫描部62的第一发光部68灭光。

如图14的(l)所示，当第二扫描部72的旋转以及第二扫描部72的图像捕获角度和照射角度的切换完成时，控制单元53使第二扫描部72的第二发光部78发光。然后，控制单元53使用第二扫描部72的第二线相机77在工件1的第一侧面5a上进行图像捕获，同时使用第二臂部71使第二扫描部72在工件1的第一侧面5a上沿向右方向移动。这样，通过第二扫描部72以第一图像捕获角度和第一照射角度沿向右方向扫描工件1的第一侧面5a(参见图12中的“5”(1′))。

如图15的(m)所示，在第二扫描部72沿向右方向对第一侧面5a进行扫描时，控制单元53使用第一臂部61使第一扫描部62旋转，从而将第一扫描部62置于第一侧面5a的左上方。以这种方式，第一扫描部62相对于正面3的扫描方向从上下方向切换为左右方向。

此外，此时，控制单元53将第一线相机67的图像捕获角度从相对于正面3的第二图像捕获角度(60°)切换为相对于正面3的第一图像捕获角度(90°)。此外，控制单元53将第一发光部68的照射角度从相对于正面3的第二照射角度(60°)切换到相对于正面3的第一照射角度(30°)。

在第一扫描部62的旋转以及第一扫描部62的图像捕获角度和照射角度的切换完成的时间点，第二扫描部72仍在沿向右方向扫描第一侧面5a。

如图15的(n)所示，当第一扫描部62的旋转以及第一扫描部62的图像捕获角度和照射角度的切换完成时，控制单元53使第一扫描部62的第一发光部68发光。然后，控制单元53使用第一扫描部62的第一线相机67在工件1的正面3上进行图像捕获，同时使用第一臂部61使第一扫描部62在工件1的正面3上沿向右方向移动。以这种方式，通过第一扫描部62以第一图像捕获角度和第一照射角度沿向右方向扫描工件1的正面3的上侧(参见图12的5.(1))。

如图15的(o)所示，当第二扫描部72到达第一侧面5a的右侧的位置时，控制单元53停止第二扫描部72沿向右方向的移动。然后，控制单元53停止使用第二扫描部72的第二线相机77执行的图像捕获，并且使第二扫描部72的第二发光部78灭光。此时，第一扫描部62仍在沿向右方向扫描工件1的正面3。

如图15的(p)所示，接下来，控制单元53将第二线相机77的图像捕获角度从相对于第一侧面5a的第一图像捕获角度(90°)切换为相对于第一侧面5a的第二图像捕获角度(60°)。另外，控制单元53将第二发光部78的照射角度从相对于第一侧面5a的第一照射角度(30°)切换到相对于第一侧面5a的第二照射角度(60°)。

在第二扫描部72的图像捕获角度和照射角度的切换完成的时间点，第一扫描部62已经到达正面3的右上角位置。

如图15的(q)所示，当第一扫描部62到达正面3的右上角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向右方向的移动。然后，控制单元53停止由第一扫描部62的第一线相机67进行的图像捕获，并且使第一扫描部62的第一发光部68灭光。

此时，控制单元53使第二扫描部72的第二发光部78发光。然后，控制单元53使用第二扫描部72的第二线相机77在工件1的第一侧面5a上执行图像捕获，同时使用第二臂部71使第二扫描部72在工件1的第一侧面5a上沿向左方向移动。这样，通过第二扫描部72以第二图像捕获角度和第二照射角度沿向左方向扫描工件1的第一侧面5a(参见图12中的“6”(2′))。

如图15的(r)所示，在第二扫描部72沿向左方向扫描第一侧面5a时，控制单元53将第一线相机67的图像捕获角度从相对于正面3的第一图像捕获角度(90°)切换为相对于第二侧面5b的第一图像捕获角度(90°)。另外，控制单元53将第一发光部68的照射角度从相对于正面3的第一照射角度(30°)切换为相对于第二侧面5b的第一照射角度(30°)。此时，第一扫描部62位于相对于第二侧面5b的右上角位置(对于第二侧面5b，术语“上”、“下”、“左”和“右”请参见图12)。

在第一扫描部62的图像捕获角度和照射角度的切换完成的时间点，第二扫描部72仍在沿向左方向扫描第一侧面5a。

如图16的(s)所示，当完成第一扫描部62的图像捕获角度和照射角度的切换时，控制单元53使第一扫描部62的第一发光部68发光。然后，控制单元53在使用第一臂部61使第一扫描部62在工件1的第二侧面5b上沿向下方向(也对应于地球坐标系中的向下方向)移动时，使用第一扫描部62的第一线相机67对工件1的第二侧面5b进行图像捕获。以这种方式，通过第一扫描部62以第一图像捕获角度和第一照射角度沿向下方向扫描工件1的第二侧面5b的右侧(参见图12中的6.(1″))。

如图16的(t)所示，当第一扫描部62到达第二侧面5b的右下角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向下方向的移动。然后，控制单元53停止使用第一扫描部62的第一线相机67执行的图像捕获，并且使第一扫描部62的第一发光部68灭光。接下来，控制单元53控制第一臂部61使第一扫描部62沿第二侧面5b的向左方向移动。

在第一扫描部62到达第二侧面5b的右下角位置的时刻，第二扫描部72到达工件1的第一侧面5a的左侧的位置。当第二扫描部72到达第一侧面5a的左侧位置时，控制单元53停止第二扫描部72沿左侧方向的移动。然后，控制单元53停止使用第二扫描部72的第二线相机77执行的图像捕获，并且使第二扫描部72的第二发光部78灭光。

如图16的(u)所示，当第一扫描部62到达第二侧面5b的左下角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向左方向的移动。然后，控制单元53使第一扫描部62的第一发光部68发光。

接着，控制单元53在使用第一臂部61使第一扫描部62在第二侧面5b上沿向上方向(也对应于地球坐标系中的向上方向)移动时，使用第一扫描部62的第一线相机67对工件1的第二侧面5b进行图像捕获。这样，通过第一扫描部62以第一图像捕获角度和第一照射角度沿向上方向扫描工件1的第二侧面5b的左侧(参见图12的7.(1″))。

注意，此时，控制单元53使用第二臂部71将第二扫描部72移动到待机位置，从而使第二扫描部72进入待机模式。

如图16的(v)所示，当第一扫描部62到达第二侧面5b的左上角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向上方向的移动。然后，控制单元53停止使用第一扫描部62的第一线相机67执行的图像捕获，并且使第一扫描部62的第一发光部68灭光。

如图16的(w)所示，接下来，控制单元53将第一线相机67的图像捕获角度从相对于第二侧面5b的第一图像捕获角度(90°)切换为相对于正面3的第一图像捕获角度(90°)。此外，控制单元53将第一发光部68的照射角度从相对于第二侧面5b的第一照射角度(60°)切换为相对于正面3的第一照射角度(60°)。这时，第一扫描部62位于相对于正面3的右下角位置(对于正面3的术语“上”、“下”、“左”和“右”参见图12)。

如图16的(x)所示，当完成第一扫描部62的图像捕获角度和照射角度的切换时，控制单元53使第一扫描部62的第一发光部68发光。然后，控制单元53在使用第一臂部61使第一扫描部62在工件1的正面3上沿向左方向移动时，使用第一扫描部62的第一线相机67对工件1的正面3进行图像捕获。这样，通过第一扫描部62以第一图像捕获角度和第一照射角度沿向左方向扫描工件1的正面3的下侧(参见图12的8.(1))。

如图17的(y)所示，当第一扫描部62到达正面3的左下角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向左方向的移动。然后，控制单元53停止使用第一扫描部62的第一线相机67执行的图像捕获，并且使第一扫描部62的第一发光部68灭光。

如图17的(z)所示，接下来，控制单元53将第一线相机67的图像捕获角度从相对于正面3的第一图像捕获角度(90°)切换到相对于正面3的第二图像捕获角度(60°)。另外，控制单元53将第一发光部68的照射角度从相对于正面3的第一照射角度(30°)切换为相对于正面3的第二照射角度(60°)。

如图17的(a′)所示，接下来，控制单元53使第一扫描部62的第一发光部68发光。然后，控制单元53使用第一扫描部62的第一线相机67在工件1的正面3上进行图像捕获，同时使用第一臂部61使第一扫描部62在工件1的正面3上沿向右方向移动。这样，通过第一扫描部62以第二图像捕获角度和第二照射角度沿向右方向对工件1的正面3的下侧进行扫描(参照图12的9.(2)))。

如图17的(b′)所示，当第一扫描部62到达正面3的右下角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向右方向的移动。然后，控制单元53停止使用第一扫描部62的第一线相机67执行的图像捕获，并且使第一扫描部62的第一发光部68灭光。

如图17的(c′)所示，接下来，控制单元53将第一线相机67的图像捕获角度从相对于正面3的第二图像捕获角度(60°)切换到相对于第二侧面5b的第二图像捕获角度(60°)。另外，控制单元53将第一发光部68的照射角度从相对于正面3的第二照射角度(60°)切换到相对于第二侧面5b的第二照射角度(60°)。此时，第一扫描部62位于相对于第二侧面5b的左上角位置(对于第二侧面5b，术语“上”、“下”、“左”和“右”参见图12)。

如图17的(d′)所示，接着，控制单元53使第一扫描部62的第一发光部68发光。然后，控制单元53使用第一扫描部62的第一线相机67在工件1的第二侧面5b上进行图像捕获，同时使用第一臂部61使第一扫描部62在工件1的第二侧面5b上沿向下方向(也对应于地球坐标系的向下方向)移动。以这种方式，通过第一扫描部62以第二图像捕获角度和第二照射角度沿向下方向扫描工件1的第二侧面5b的左侧(参考图12中的10.(2″))。

如图18的(e′)所示，当第一扫描部62到达第二侧面5b的左下角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向下方向的移动。于是，控制单元53停止使用第一扫描部62的第一线相机67执行的图像捕获，并且使第一扫描部62的第一发光部68灭光。接下来，控制单元53控制第一臂部61使第一扫描部62沿第二侧面5b的向右方向移动。

如图18的(f′)所示，当第一扫描部62到达第二侧面5b的右下角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向右方向的移动。然后，控制单元53使第一扫描部62的第一发光部68发光。

接着，控制单元53在使用第一臂部61使第一扫描部62在第二侧面5b上沿向上方向(也对应于地球坐标系中的向上方向)移动时，使用第一扫描部62的第一线相机67对工件1的第二侧面5b进行图像捕获。这样，通过第一扫描部62以第二图像捕获角度和第二照射角度沿向上方向扫描工件1的第一侧面5a的右侧(参见图12的11.(2″))。

如图18的(g′)所示，当第一扫描部62到达第二侧面5b的右上角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向上方向的移动。于是，控制单元53停止使用第一扫描部62的第一线相机67执行的图像捕获，并且使第一扫描部62的第一发光部68灭光。

如图18的(h′)所示，接下来，控制单元53将第一线相机67的图像捕获角度从相对于第二侧面5b的第二图像捕获角度(60°)切换为相对于正面3的第二图像捕获角度(60°)。另外，控制单元53将第一发光部68的照射角度从相对于第二侧面5b的第二照射角度(60°)切换为相对于正面3的第二照射角度(60°)。这时，第一扫描部62位于相对于正面3的右上角位置(针对正面3，术语“上”、“下”、“左”和“右”参见图12)。

如图18的(i′)所示，接下来，控制单元53使第一扫描部62的第一发光部68发光。然后，控制单元53使用第一扫描部62的第一线相机67对工件1的正面3进行图像捕获，同时使用第一臂部61使第一扫描部62在工件1的正面3上沿向左方向移动。这样，通过第一扫描部62以第二图像捕获角度和第二照射角度沿向左方向对工件1的正面3的上侧进行扫描(参见图12的12.(2))。

如图18的(j′)所示，当第一扫描部62到达正面3的左上角位置时，控制单元53停止第一扫描部62沿向左方向的移动。然后，控制单元53停止使用第一扫描部62的第一线相机67执行的图像捕获，并且使第一扫描部62的第一发光部68灭光。

此时，控制单元53控制第二臂部71以将第二扫描部72定位在第二侧面5b的左侧位置(对于第二侧面5b，术语“上”、“下”、“左”和“右”参见图12)。然后，控制单元53将第二线相机77的图像捕获角度设置为相对于第二侧面5b的第一图像捕获角度(90°)，并将第二发光部78的照射角度设置为相对于第二侧面5b的第一照射角度(30°)。

接下来，控制单元53使第二扫描部72的第二发光部78发光。其后，控制单元53使用第二扫描部72的第二线相机77在工件1的第二侧面5b上进行图像捕获，同时使用第二臂部71使第二扫描部72在工件1的第二侧面5b上沿向右方向移动。这样，通过第二扫描部72以第一图像捕获角度和第一照射角度沿向右方向扫描工件1的第二侧面5b(参考图12中的“7”(1″))。

如图19的(k′)所示，当第二扫描部72到达第二侧面5b的右侧位置时，控制单元53停止第二扫描部72沿向右方向的移动。然后，控制单元53停止使用第二扫描部72的第二线相机77执行的图像捕获，并且使第二扫描部72的第二发光部78灭光。

注意，此时，控制单元53使用第一臂部61将第一扫描部62移动到待机位置，从而使第一扫描部62进入待机模式。

如图19的(l′)所示，接下来，控制单元53将第二线相机77的图像捕获角度从相对于第二侧面5b的第一图像捕获角度(90°)切换为相对于第二侧面5b的第二图像捕获角度(60°)。另外，控制单元53将第二发光部78的照射角度从相对于第二侧面5b的第一照射角度(30°)切换到相对于第二侧面5b的第二照射角度(60°)。

如图19的(m′)所示，接着，控制单元53使第二扫描部72的第二发光部78发光。此后，控制单元53使用第二扫描部72的第二线相机77在工件1的第二侧面5b上进行图像捕获，同时使用第二臂部71使第二扫描部72在工件1的第二侧面5b上沿向左方向移动。这样，通过第二扫描部72以第二图像捕获角度和第二照射角度沿向左方向扫描工件1的第二侧面5b(参见图12中的“8”(2″))。

如图19的(n′)所示，当第二扫描部72到达第二侧面5b的左侧位置时，控制单元53停止第二扫描部72沿向左方向的移动。于是，控制单元53停止使用第二扫描部72的第二线相机77执行的图像捕获，并且使第二扫描部72的第二发光部78灭光。

如图19的(o′)所示，接下来，控制单元53使用第二臂部71将第二扫描部72移动到待机位置，从而使第二扫描部72进入待机模式。

注意，此后，工件1通过第一运送设备80倒置，然后以背面4朝上的方式放置在第二外观检查设备50b的工作台52上。然后，通过与上述步骤相同的步骤，由第二外观检查设备50b对工件1的背面4、第三侧面5c以及第四侧面5d进行检查。

(通过图12至图19所示的动作检查工件1的原因)

现在，描述通过图12至图19所示的动作检查工件1的原因。在使用第一扫描部62和第二扫描部72检查三个面时，需要考虑以下(1)至(4)。

(1)使用第一扫描部62和第二扫描部72尽早完成三个面的扫描(缩短检查时间)。

(2)使用第一扫描部62和第二扫描部72尽可能精确地检查工件1的外观。

(3)防止第一扫描部62和第二扫描部72彼此碰撞。

(4)防止来自第一扫描部62的第一发光部68的光不利地影响使用第二扫描部72的第二线相机77执行的图像捕获，即，防止发生光干涉，并且，类似地，防止来自第二扫描部72的第二发光部78的光不利地影响使用第一扫描部62的第一线相机67执行的图像捕获，即，防止发生光干涉。

首先，为了缩短检查时间，控制单元53使用第二扫描部72扫描工件1的第一侧面5a，同时使用第一扫描部62扫描工件1的正面3。为了缩短检查时间，控制单元53使第一扫描部62和第二扫描部72分担任务并协同扫描第二侧面5b。

注意，如果第一扫描部62和第二扫描部72彼此同时地扫描第二侧面5b，则这两个扫描部62和72互相碰撞。作为对策，第一扫描部62扫描第二侧面5b的定时(参见图16的(s)至图16的(v)以及图17的(d′)至图18的(g′))与第二扫描部72扫描第二侧面5b的定时(参见图18的(j')至图19的(n'))彼此错开。

此外，为了精确地检查工件1的外观，控制单元53使用第一扫描部62以不同的图像捕获角度和不同的照射角度多次扫描工件1的正面3。类似地，控制单元53使用第二扫描部72以不同的图像捕获角度和不同的照射角度多次扫描工件1的第一侧面5a。

此外，为了精确地检查工件1的外观，控制单元53使用第一扫描部62沿不同的扫描方向(上下方向和左右方向)多次扫描工件1的正面3。类似地，控制单元53使用第二扫描部72沿不同的扫描方向多次扫描工件1的第一侧面5a。

注意，将第二侧面5b上的扫描方向分别分配给第一扫描部62和第二扫描部72。具体地，在本实施例中，控制单元53使用第一扫描部62沿上下方向扫描第二侧面5b，并且使用第二扫描部72沿左右方向扫描第二侧面5b。

在此上下文中，重点描述由图12中的5.(1)、6.(1″)、7.(1″)和8.(1)表示的第一扫描部62的移动(对应于图15的(n)至图17的(y))。首先，第一扫描部62沿向右方向扫描正面3的上侧，并到达正面3的右上角位置(图12中的5.(1))。第二侧面5b位于正面3的右上角位置的前方，并且第一扫描部62连续地沿向下方向扫描第一侧面5a的右侧(图12中的6.(1″))。

然后，第一扫描部62沿向上方向扫描第二侧面5b的左侧，并且到达第二侧面5b的左上角位置(图12中的7.(1″))。正面3位于第二侧面5b的左上角位置的前方，并且第一扫描部62连续地沿向左方向扫描正面3的下侧(图12中的8.(1))。

注意，在图12中，由第一扫描部62的9.(2)、10.(2″)、11.(2″)和12.(2)表示的移动基本上与由5.(1)、6.(1″)、7.(1″)和8.(1)表示的那些相同，除了图像捕获角度和照射角度的差异之外。

换句话说，在本实施例中，控制单元53使用第一扫描部62连续地沿左右方向扫描工件1的正面3并且沿上下方向扫描工件1的第一侧面5a(在扫描方向上与正面3相邻的面)。由此，缩短了检查时间。

接下来，描述光干涉。在本实施例中，控制单元53控制第一扫描部62和第二扫描部72的扫描运动，以免引起光干涉。

通常，控制单元53控制第一扫描部62和第二扫描部72的移动，以在扫描期间使第一扫描部62和第二扫描部72尽可能地彼此远离。

该控制例如在图13的(a)、图14的(g)、图15的(n)和图16的(s)中示出。在图13的(a)和图14的(g)中，在使第一扫描部62向工件1的正面3的下方移动的同时，使第二扫描部72向工件1的第一侧面5a的下方移动。由此，保持了第一扫描部62和第二扫描部72之间的间隔，从而防止了光干涉。

在图15的(n)中，在使第二扫描部72通过在工件1的第一侧面5a的右侧方向上移动而前进了一定程度之后，第一扫描部62开始沿向右方向对工件1的正面3进行扫描。这样，保持了第一扫描部62和第二扫描部72之间的间隔，从而防止了光干涉。

在图16的(s)中，第二扫描部72通过在工件1的第一侧面5a的左侧方向上移动而前进了一定程度之后，第一扫描部62开始沿向下方向对工件1的第二侧面5b进行扫描。这样，第一扫描部62和第二扫描部72之间的间隔增大，从而防止了光干涉。

另外，当第一扫描部62和第二扫描部72之间的间隔等于或小于特定间隔时，控制单元53控制第一发光部68和第二发光部78的发光和灭光的定时，以及使用第一线相机67和第二线相机77执行的图像捕获的开始和结束的定时(开始和结束扫描的定时)。

该控制例如在图13的(c)、图13的(d)、图14的(i)、图14的(j)和图15的(q)中示出。

在图13的(c)和图14的(i)中，第一扫描部62和第二扫描部72之间的间隔等于或小于特定间隔。同时，在第一扫描部62到达正面3的下侧的时刻，并且当使用第一线相机67执行的图像捕获结束时，然后当第一发光部68灭光时，使第二发光部78发光，并且使用第二线相机77进行的图像捕获开始。由此，防止了光干涉。

类似地，同样在图13的(d)和图14的(j)中，第一扫描部62和第二扫描部72之间的间隔等于或小于特定间隔。同时，在第二扫描部72到达第一侧面5a的上侧的时刻，当使用第二线相机77执行的图像捕获结束时，然后当第二发光部78灭光时，使第一发光部68发光，并使用第一线相机67进行的图像捕获开始。由此，防止了光干涉。

类似地，同样在图15的(q)中，第一扫描部62和第二扫描部72之间的间隔等于或小于特定间隔。同时，在第一扫描部62到达正面3的右侧的时刻，当使用第一线相机67执行的图像捕获结束时，然后当第一发光部68灭光时，使第二发光部78发光，并且使用第二线相机77执行的图像捕获开始。由此，防止了光干涉。

在这种情况下，如图14的(l)至图16的(t)所示，第二扫描部72在第二发光部78保持在直立姿势的状态(第一发光部68的纵轴方向与地球坐标系的上下方向一致的状态)下扫描第一侧面5a。另外，如图18的(j′)至图19的(n′)所示，第二扫描部72在第二发光部78被保持在直立姿势的状态下扫描第二侧面5b。

同时，第一侧面5a和第二侧面5b中的每一个沿上下方向的宽度小于第二发光部78的长度。因此，在将第二发光部78保持为直立姿势的状态下对侧面5进行光照射时泄漏到正面3的光的强度比在将第二发光部78保持为横卧姿势的状态(第二发光部78的纵轴方向与地球坐标系中的水平方向一致的状态)下对侧面5进行光照射时泄漏到正面3的光的强度高。

换句话说，与将第二发光部78保持在横卧姿势的状态下相比，在第二发光部78以直立姿势保持的状态下，更容易发生作为第二扫描部72的第二发光部78对使用第一扫描部62的第一线相机67进行的图像捕获的不利影响的光干涉。

作为对策，基本上，如图18的(j′)至图19的(n′)所示，在第二发光部78保持在直立姿势的状态下，当第二扫描部72扫描侧面5时，第一扫描部62不扫描正面3。或者，图14的(l)至图15的(o)，在第二发光部78以直立姿势保持的状态下，即使第二扫描部72在扫描侧面5时，第一扫描部62也可以扫描正面3。然而，在这种情况下，至少第一扫描部62和第二扫描部72之间的间隔被保持为等于或大于特定间隔。

注意，第二发光部78可以被构造为部分地发光。在这种情况下，在第二发光部78以直立姿势保持的状态下，使与侧面5的上下方向上的宽度相对应的部分发光，而其他部分灭光。由此，防止了光干涉。

可选地，第一发光部68和第二发光部78可以被构造为能够发射不同波长带的光。同样通过这样的方法，可以防止光干涉。

<功能等>

【噪声检查设备10】

如上所述，在根据本实施例的噪声检查设备10中，在保持工件1的状态下的保持部31通过臂部21移动以运送工件1，并且在工件1的运送过程中通过声音检测部35检测来自工件1的声音。然后，根据检测到的声音的信号检查从工件1产生的噪声。

换句话说，根据本实施例的噪声检查设备10兼具运送工件1的运送设备的功能和对工件1产生的噪声进行检查的噪声检查设备的功能。因此，该噪声检查设备10能够在工件1的运送过程中对工件1进行噪声检查。这样，能够有效地检查工件1的噪声。另外，与彼此独立地准备运送设备和噪声检查设备的情况相比，根据本实施例的噪声检查设备10的成本可以降低至更低。

此外，在根据本实施例的噪声检查设备10中，通过顺时针移动在保持工件1的状态下的保持部31来将工件1运送到标签粘贴设备40。同时，通过逆时针移动在保持工件1的状态下的保持部31来将工件1从标签粘贴40运送到第一外观检查设备50a。

然后，通过声音检测部35检测由于工件1的顺时针移动从工件1产生的声音和由于工件1的逆时针移动从工件1产生的声音。基于检测到的声音的信号检查从工件1产生的噪声。

通过以这种方式顺时针和逆时针运送工件1并且基于在运送期间从工件1产生的声音检查工件1产生的噪声，可以适当地进行噪声检查。注意，工件1的移动方向可以是例如在地球坐标系中的向上方向和向下方向。

此外，在根据本实施例的噪声检查设备10中，在将工件1运送至标签粘贴设备40时，改变工件1的姿势(保持部31的姿势)以使标签粘贴设备40能够对工件1进行处理。类似地，在从标签粘贴设备40向第一外观检查设备50a运送工件1时，工件1的姿势(保持部31的姿势)改变，使得工件1被放置在第一外观检查设备50a的工作台52上。

然后，由声音检测部35检测由于工件1的姿势变化而产生的声音。基于所检测到的声音的信号，检查工件1产生的噪声。

这样，通过在工件1的运送过程中改变工件1的姿势，并根据在运送过程中从工件1产生的声音检查从工件1产生的噪声，由此可以适当地进行噪声检查。

另外，在根据本实施例的噪声检查设备10中，在保持部31上设置有声音检测部35。由此，能够适当地检测出在工件1的运送过程中从工件1产生的声音。注意，声音检测部35可以设置到机械臂部12的其他部分(诸如臂部21)。

另外，在根据本实施例的噪声检查设备10中，声音检测部35被构造为检测与工件1接触的声音，该声音检测部35包括ae传感器。由此，能够更适当地检测出从工件1产生的噪声。

注意，声音检测部35可以被构造为在不与工件1接触的情况下检测声音。在这种情况下，声音检测部35可以包括麦克风。同样，当以这种方式构造声音检测部35时，可以适当地检测从工件1产生的噪声。

注意，要检测的噪声的频带可以与周围环境声音的频带相同。在这种情况下，在不与工件1接触的情况下检测声音的类型的声音检测部35可能无法适当地检测由于周围环境声音引起的噪声。因此，在这种情况下，例如，可以使用检测与工件1接触的声音的类型的声音检测部35。

另外，在噪声检查设备10中，基于由声音检测部35检测出的声音的信号中的特定频带(与噪声对应的频带)的信号，检查从工件1产生的噪声。由此，可以适当地进行噪声检查。

此外，在根据本实施例的噪声检查设备10中，特定频带(与噪声相对应的频带)中的信号被噪声检查设备10积分，并且根据积分值，检查从工件1产生的噪声。这样，可以确定与噪声相对应的频带中噪声的平均音量。因此，可以进一步适当地执行噪声检查。

【外观检查设备50】

在根据本实施例的外观检查设备50中，在第一扫描部62对工件的正面3(背面4)进行扫描时，第二扫描部72同时对第一侧面5a(第三侧面5c)进行扫描。这样，根据本实施例的外观检查设备能够高效且快速地完成工件1的外观检查。

在这种情况下，外观检查具有倾向于比生产线上其他步骤花费更长时间的问题，这导致难以与其他步骤平衡节拍时间的问题。特别是当工件1是要检查的面积较大的固定游戏设备时，容易发生这种问题。同时，在本实施例中，可以缩短外观检查中的检查时间，因此可以容易地将节拍时间段与其他步骤中的时间段平衡。

另外，在本实施例中，由于外观检查设备50分别具有两个机械臂部60和70，因此与例如包括单个机械臂部的外观检查设备50的情况相比，可以减少外观检查设备50的数量。由此，可以降低成本。另外，可以减少用于检查系统100的安装空间，并且因此增加了生产区域的空间管理中的自由度。

另外，在根据本实施例的外观检查设备50中，第一扫描部62具有第一发光部68，第二扫描部72具有第二发光部78。

这样，可以将光适当地照射到第一线相机67和第二线相机77执行图像捕获的部位上。

另外，在根据本实施例的外观检查设备50中，在第一扫描部62中，调节第一线相机67对工件1的正面3(背面4)进行图像捕获的图像捕获角度，并且调节第一发光部68向工件1的正面3(背面4)照射光的照射角度。类似地，在根据本实施例的外观检查设备50中，在第二扫描部72中，调节第二线相机77在工件1的第一侧面5a(第三侧面5c)上进行图像捕获的图像捕获角度，并且调节第二发光部78向工件1的第一侧面5a(第三侧面5c)照射光的照射角度。

这样，可以精确地检查工件1的外观。

另外，在根据本实施例的外观检查设备50中，第一扫描部62以不同的图像捕获角度和不同的照射角度对工件1的正面3(背面4)进行多次扫描。由此，可以进一步精确地检查工件1的外观。

类似地，在根据本实施例的外观检查设备50中，第二扫描部72以不同的图像捕获角度和不同的照射角度对工件1的第一侧面5a(第三侧面5c)进行多次扫描。由此，可以进一步精确地检查工件1的外观。

另外，在根据本实施例的外观检查设备50中，第一扫描部62沿不同的扫描方向多次扫描工件1的正面3(背面4)。由此，可以进一步精确地检查工件1的外观。

另外，在根据本实施例的外观检查设备50中，第二扫描部72沿不同的扫描方向多次扫描工件1的第一侧面5a(第三侧面5c)。由此，可以进一步精确地检查工件1的外观。

此外，在根据本实施例的外观检查设备50中，第一扫描部62和第二扫描部72协同扫描第二侧面5b(第四侧面5d)。由此，可以进一步缩短外观检查中的检查时间。

另外，在根据本实施例的外观检查设备50中，第一扫描部62沿上下方向扫描第二侧面5b(第四侧面5d)，第二扫描部72沿左右方向扫描第二侧面5b(第四侧面5d)。由此，可以进一步缩短外观检查中的检查时间。注意，可以根据图像捕获角度和照射角度来将第一扫描部62和第二扫描部72分配给第二侧面5b(第四侧面5d)。

另外，在根据本实施例的外观检查设备50中，为了防止特别是来自第一发光部68的光与使用第二线相机77进行的图像捕获的干涉的光干涉，并且为了防止特别是来自第二发光部78的光与使用第一线相机67进行的图像捕获的干涉的光干涉，控制第一扫描部62和第二扫描部72的扫描运动。由此，可以适当地防止光干涉。

此外，在根据本实施例的外观检查设备50中，为了防止光干涉，控制第一发光部68和第二发光部78的发光和灭光的定时。由此，可以进一步适当地防止光干涉。

此外，在根据本实施例的外观检查设备50中，为了防止光干涉，控制使用第一线相机67和第二线相机77执行的图像捕获的开始和结束的定时。由此，可以进一步适当地防止光干涉。

另外，在根据本实施例的外观检查设备50中，被第一扫描部62扫描的正面3(背面4)、被第二扫描部72扫描的第一侧面5a(第三侧面5c)以及被第一扫描部62和第二扫描部72协同扫描的第二侧面5b(第四侧面5d)彼此相邻。这样，可以通过第一扫描部62和第二扫描部72进一步有效地检查工件1的多个面。

注意，在本实施例中，第一外观检查设备50a和第二外观检查设备50b均形成为集成设备。通过将外观检查设备50形成为集成设备，能够适当地适应生产线上的工件1的生产量的变化(生产量的增加和减少)。尤其是，通过将外观检查设备50形成为集成设备，能够以诸如1.3倍、1.5倍的小数倍适当地调节对工件1的生产量的变化。

为了适应生产量的变化，例如，可以在第一外观检查设备50a和第二外观检查设备50b的旁边并排布置另一个外观检查设备50。在这种情况下，这三个外观检查设备50可以分别检查工件1的六个面中的两个面。注意，另一附加外观检查设备50可以平行于第一外观检查设备50a和第二外观检查设备50b布置。此外，附加外观检查设备50的数量不限于一个。此外，可以省略第一外观检查设备50a和第二外观检查设备50b之一。在这种情况下，单个外观检查设备50检查工件1的所有六个面。

《各种修改》

在上述情况下的工件1是固定游戏设备。替代地，工件1可以是例如除了固定游戏设备以外的各种电子装置或各种汽车部件。通常，工件1可以是任何多边形检查目标(可以是诸如基板的薄目标)。

本技术还可以采用如下配置。

(1)一种噪声检查设备，包括：

机械臂部，其包括臂部和保持部，该保持部设置在臂部上并且能够保持工件；

声音检测部，其设置在机械臂部上并检测来自工件的声音；和控制单元，其

使用臂部使在保持工件的状态下的保持部移动以运送工件，使用声音检测部，在工件的运送期间检测工件的声音，并且根据检测到的声音的信号，检查从工件产生的噪声。

(2)根据(1)所述的噪声检查设备，其中，控制单元

使用臂部，使保持部沿第一方向和第二方向移动以运送工件，该保持部处于保持工件的状态，第二方向是与第一方向相反的方向，

使用声音检测部检测由于工件沿第一方向移动而从工件产生的声音和由于工件沿第二方向移动而从工件产生的声音，以及

根据检测到的声音的信号，检查从工件产生的噪声。

(3)根据(2)所述的噪声检查设备，其中，控制单元

使保持部沿第一方向移动，以将工件运送至第一设备，该第一设备是除噪声检查设备以外的设备，以及

使保持部沿第二方向移动，以将工件从所述第一设备运送到第二设备，该第二设备是除噪声检查设备以外的设备。

(4)根据(1)至(3)中的任一项所述的噪声检查设备，其中，控制单元

使用臂部改变在保持工件的状态下的保持部的姿势，

使用声音检测部检测由于工件的姿态变化而从工件产生的声音，并且

根据检测到的声音的信号，检查从工件产生的噪声。

(5)根据(4)所述的噪声检查设备，其中，

控制单元改变保持部的姿势，以使第一设备能够在工件被保持部保持的状态下对工件进行处理，该第一设备是除噪声检查设备以外的设备。

(6)根据(1)至(5)中的任一项所述的噪声检查设备，其中，声音检测部设置在保持部上。

(7)根据(1)至(6)中的任一项所述的噪声检查设备，其中，声音检测部检测与工件接触的声音。

(8)根据(7)所述的噪声检查设备，其中，声音检测部是声发射(ae)传感器。

(9)根据(1)至(6)中的任一项所述的噪声检查设备，其中，声音检测部在不与工件接触的情况下检测声音。

(10)根据(9)所述的噪声检查设备，其中，声音检测部是麦克风。

(11)根据(1)至(10)中的任一项所述的噪声检查设备，其中，控制单元基于使用声音检测部检测出的声音的信号中的特定频带的信号，检查从工件产生的噪声。

(12)根据(11)所述的噪声检查设备，其中，控制单元对特定频带上的信号进行积分，并且根据积分值，检查从工件产生的噪声。

(13)一种噪声检查方法，包括：

使用机械臂部的臂部使在保持工件的状态下的保持部移动以运送工件，该保持部包括在机械臂部中；

使用声音检测部，在工件的运送期间检测工件的声音，该声音检测部设置在机械臂部上；并且

根据检测到的声音的信号，检查从工件产生的噪声。

(14)一种使计算机充当控制单元的程序，该程序执行包括以下内容的处理：

使用机械臂部的臂部使在保持工件的状态下的保持部移动以运送工件，该保持部包括在机械臂部中；

使用声音检测部，在工件的运送期间检测工件的声音，该声音检测部设置在机械臂部上；并且

根据检测到的声音的信号，检查从工件产生的噪声。

(15)一种工件制造方法，包括：

使用机械臂部的臂部使在保持工件的状态下的保持部移动以运送工件，该保持部包括在机械臂部中；

使用声音检测部，在工件的运送期间检测工件的声音，该声音检测部设置在机械臂部上；

根据检测到的声音的信号，检查从工件产生的噪声；以及

根据检查结果来判断工件是否合格。

参考标志清单

1工件

2壳体

3正面

4背面

5侧面

5a至图5d第一侧面至第四侧面

13控制单元

10噪声检查设备

12机械臂部

21臂部

31保持部

35声音检测部

40标签粘贴设备

50外观检查设备

50a第一外观检查设备

50b第二外观检查设备

53控制单元

60第一机械臂部

61第一臂部

62第一扫描部

67第一线相机

68第一发光部

70第二机械臂部

71第二臂部

72第二扫描部

77第二线相机

78第二发光部

80第一运送设备

90第二运送设备

100检查系统