示教数据生成系统及示教数据生成方法与流程

本发明涉及用于生成水平多关节机器人的示教数据的示教数据生成系统及示教数据生成方法。

背景技术：

目前，已知有具备相对于可收纳多片玻璃基板的盒搬运玻璃基板的机器人、控制机器人的机器人控制器、与机器人控制器连接的信息处理终端及示教操作终端的机器人示教系统(例如，参照专利文献1)。在专利文献1所记载的机器人示教系统中，机器人例如相对于以两层重叠的方式配置成两列的同形状的四个盒搬运玻璃基板。在将四个盒中的一个盒设为基准盒、将剩余的三个盒设为展开盒时，在该机器人示教系统中，使用基准盒进行机器人的示教作业。

在专利文献1记载的机器人示教系统中，在进行机器人相对于基准盒的示教作业时，操作员通过示教操作终端使机器人依次动作到相对于基准盒的规定位置，确定各示教位置，取得各示教位置的数据。具体而言，在该机器人示教系统中，操作员通过示教操作终端使机器人依次动作到在装载有玻璃基板的机器人的手向基准盒中移动之前的收纳前准备位置、手插入基准盒中并进入将玻璃基板放置在基准盒内部的纵梁上的姿势的收纳准备位置、手下降完成将玻璃基板放置在纵梁上的收纳下降位置、手被拉回到基准盒外的拉回位置，确定各示教位置，取得各示教位置的数据。此时，操作员通过目视确认机器人，并且使机器人依次动作到规定位置。

在专利文献1记载的机器人示教系统中，根据取得的各示教位置的数据生成机器人相对于基准盒的示教数据即基准示教数据。另外，在该机器人示教系统中，基于三个展开盒的每一个相对于基准盒的相对位置的数据和基准示教数据，自动生成机器人相对于三个展开盒的每一个的示教数据即展开示教数据。即，在该机器人示教系统中，即使不使用展开盒进行机器人的示教作业，也能够自动地生成相对于三个展开盒的每一个的展开示教数据。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006－123157号公报

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

在专利文献1记载的机器人示教系统中，例如，在手插入盒中时，为了防止装载于手上的玻璃基板和盒内部的纵梁等构造物的干涉，优选生成将最佳收纳准备位置设为示教位置的基准示教数据。

另一方面，在专利文献1记载的机器人示教系统中，由于操作员通过目视确认机器人，同时使机器人动作到收纳准备位置，因此为了生成将最佳收纳准备位置设为示教位置的基准示教数据，必须通过目视确认机器人，同时微调机器人的位置，使机器人动作到最佳收纳准备位置。因此，在该机器人示教系统的情况下，为了防止在装载于手上的玻璃基板在盒内移动时手上的玻璃基板和盒内部的构造物干涉，机器人的示教作业可能变得很繁琐。

因此，本发明的技术问题在于，提供一种示教数据生成系统及示教数据生成方法，即使简化进行玻璃基板相对于盒的搬运的水平多关节机器人的示教作业，在装载于水平多关节机器人的手上的玻璃基板在盒内移动时，也能够防止手上的玻璃基板和盒内部的构造物的干涉。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种示教数据生成系统，用于生成水平多关节机器人的示教数据，所述水平多关节机器人相对于可收纳以在上下方向上隔开间隔的状态配置的多片玻璃基板的同形状的多个盒进行玻璃基板的搬运，其特征在于，所述示教数据生成系统具备：虚拟盒，所述虚拟盒具有放置玻璃基板的多个基板放置部，且形成为与盒相同的形状，并且用于水平多关节机器人的示教作业；以及示教数据生成部，所述示教数据生成部生成水平多关节机器人的示教数据，虚拟盒具备探测机构，其用于测定由水平多关节机器人的手搬入虚拟盒并且在放置于基板放置部之前配置于基板放置部的上侧的玻璃基板、及从基板放置部由手举起并配置于基板放置部的上侧的玻璃基板中的至少任一方的玻璃基板的水平方向的位置及高度，在示教数据生成部，存储有多个盒的每一个相对于虚拟盒的相对位置的数据即位置数据，示教数据生成部基于探测机构的测定结果生成水平多关节机器人相对于虚拟盒的示教数据即基准示教数据，并且基于基准示教数据和位置数据生成水平多关节机器人相对于多个盒的每一个的示教数据。

另外，为了解决上述技术问题，本发明提供一种示教数据生成方法，用于生成水平多关节机器人的示教数据，所述水平多关节机器人相对于可收纳以在上下方向上隔开间隔的状态配置的多片玻璃基板的同形状的多个盒进行玻璃基板的搬运，其特征在于，使用虚拟盒基于探测机构的测定结果，生成水平多关节机器人相对于虚拟盒的示教数据即基准示教数据，并且，基于多个盒的每一个相对于虚拟盒的相对位置的数据即位置数据和基准示教数据，生成水平多关节机器人相对于多个盒的每一个的示教数据，其中，所述虚拟盒具有放置玻璃基板的多个基板放置部，形成为与盒相同的形状，并且具备所述探测机构，所述探测机构用于测定通过水平多关节机器人的手搬入虚拟盒并且在放置于基板放置部之前配置于基板放置部的上侧的玻璃基板、及从基板放置部通过手举起并配置于基板放置部的上侧的玻璃基板中的至少任一方的玻璃基板的水平方向的位置及高度。

在本发明中，形成为与盒相同的形状并且在水平多关节机器人的示教作业中使用的虚拟盒具备探测机构，其用于测定通过水平多关节机器人的手搬入虚拟盒并且在放置于基板放置部之前配置于基板放置部的上侧的玻璃基板、及从基板放置部通过手举起并配置于基板放置部的上侧的玻璃基板中的至少任一方的玻璃基板的水平方向的位置及高度。另外，在本发明中，基于探测机构的测定结果，生成水平多关节机器人相对于虚拟盒的示教数据即基准示教数据。

因此，在本发明中，即使在相对于虚拟盒进行水平多关节机器人的示教作业时没有微调机器人的位置，也能够基于探测机构的探测结果，生成将装载有玻璃基板的手配置于基板放置部的上侧的位置中的最佳位置设为示教位置的基准示教数据。即，在本发明中，即使在进行水平多关节机器人的示教作业时没有微调机器人的位置，也能够生成将装载于水平多关节机器人的手上的玻璃基板在盒内移动时手上的玻璃基板和盒内部的构造物不发生干涉的最佳位置作为示教位置的基准示教数据。

另外，在本发明中，基于多个盒的每一个相对于虚拟盒的相对位置的数据即位置数据和基准示教数据，生成水平多关节机器人相对于多个盒的每一个的示教数据，因此，即使在进行水平多关节机器人的示教作业时没有微调机器人的位置，也能够基于将装载于手上的玻璃基板在盒内移动时手上的玻璃基板和盒内部的构造物不发生干涉的最佳位置作为示教位置的基准示教数据，生成示教数据。因此，在本发明中，即使简化水平多关节机器人的示教作业，装载于水平多关节机器人的手上的玻璃基板在盒内移动时，也能够防止手上的玻璃基板和盒内部的构造物的干涉。

此外，在本发明中，基于多个盒的每一个相对于虚拟盒的相对位置的数据即位置数据和基准示教数据，生成水平多关节机器人相对于多个盒的每一个的示教数据，因此，即使不相对于多个盒的每一个进行水平多关节机器人的示教作业，也能够生成水平多关节机器人相对于多个盒的每一个的示教数据。因此，在本发明中，能够进一步简化水平多关节机器人的示教作业。

在本发明中，例如，探测机构具备用于测定玻璃基板的水平方向的位置的第一探测机构，在将玻璃基板相对于虚拟盒的搬入搬出方向设为前后方向、将与上下方向和前后方向正交的方向设为左右方向时，第一探测机构具备测定玻璃基板的左右方向的位置的第一传感器和测定玻璃基板的前后方向的位置的第二传感器。

在这种情况下，理想的是，第一探测机构具备以在前后方向上隔开间隔的状态配置的两个第一传感器。这样构成时，能够使用两个第一传感器测定玻璃基板相对于前后方向的倾斜度。因此，能够基于探测机构的探测结果，生成将装载于手上的玻璃基板在盒内移动时手上的玻璃基板和盒内部的构造物不发生干涉的更佳位置作为示教位置的基准示教数据。

在本发明中，理想的是，探测机构具备用于测定玻璃基板的高度的第二探测机构，第二探测机构具备配置于与形成为长方形状的玻璃基板的四角分别对应的位置的四个第三传感器。这样构成时，例如，即使玻璃基板大型化、装载于手上的玻璃基板产生弯曲或扭曲，或者手产生弯曲，结果导致手上的玻璃基板的一端侧的高度和玻璃基板的另一端侧的高度产生差异，也能够通过四个第三传感器精确地测定玻璃基板的高度。因此，能够基于探测机构的探测结果，生成将装载于手上的玻璃基板在盒内移动时手上的玻璃基板和盒内部的构造物不发生干涉的更佳位置作为示教位置的基准示教数据。

在本发明中，探测机构例如设置于虚拟盒的上端侧和下端侧这两个部位。在这种情况下，在虚拟盒的上端侧和下端侧这两个部位，进行水平多关节机器人相对于虚拟盒的示教作业。

(发明效果)

如上所述，在本发明中，即使简化进行玻璃基板相对于盒的搬运的水平多关节机器人的示教作业，当装载于水平多关节机器人的手上的玻璃基板在盒内移动时，也能够防止手上的玻璃基板和盒内部的构造物的干涉。

附图说明

图1是用于说明包含本发明实施方式的示教数据生成系统的机器人系统的结构的框图。

图2是表示图1所示的水平多关节机器人、盒及虚拟盒的俯视图。

图3是图2所示的虚拟盒的俯视图。

图4是图3所示的虚拟盒的主视图。

图5的(a)是用于说明图3所示的第一传感器的结构及配置的图，图5的(b)是用于说明图3所示的第二传感器的结构及配置的图。

图6是用于说明图3所示的第三传感器的结构的图。

图7是用于说明由图3所示的探测机构测定水平方向的位置及高度时的玻璃基板的状态的图。

附图标记说明

2基板(玻璃基板)

3机器人(水平多关节机器人)

4机器人控制部(示教数据生成部)

6盒

7虚拟盒

11手

23示教数据生成系统

24基板放置部

28探测机构

29第一探测机构

30第二探测机构

31传感器(第一传感器)

32传感器(第二传感器)

33传感器(第三传感器)

x左右方向

y前后方向

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。

(机器人系统的结构)

图1是用于说明包含本发明实施方式的示教数据生成系统23的机器人系统1的结构的框图。图2是表示图1所示的水平多关节机器人3、盒6及虚拟盒7的俯视图。

本方式的机器人系统1具备搬运液晶显示器的玻璃基板2(以下，称为“基板2”)的水平多关节机器人3(以下，称为“机器人3”)、控制机器人3的机器人控制部4、与机器人控制部4电连接的示教操作终端(示教盒)5、可收纳在上下方向上以隔开间隔的状态配置的多片基板2的同形状的多个盒6、在机器人3的示教作业中使用的虚拟盒7。

基板2形成为长方形状。本方式的基板2是较大的基板，例如，基板2的横宽为2900(mm)左右，基板2的纵宽为3300(mm)左右。另外，例如，基板2的厚度为0.4(mm)～0.7(mm)左右。

机器人3进行基板2相对于多个盒6的搬运。如图2所示，机器人3具备装载基板2的两只手11、前端侧分别连接两只手11的两个臂12、支承两个臂12的本体部13、沿水平方向可移动地支承本体部13的基体部件14。在以下的说明中，将本体部13相对于基体部件14的移动方向(图2等的x方向)设为左右方向，将与上下方向和左右方向正交的图2等的y方向设为前后方向。

本体部13具备支承臂12的基端侧并且可升降的臂支架15、可升降地支承臂支架15的支承框架16、构成本体部13的下端部分并且相对于基体部件14可水平移动的基台17、固定支承框架16的下端并且相对于基台17可转动的回转框架18。

臂12由第一臂部和第二臂部这两个臂部构成。臂12的基端侧与本体部13可转动地连接。在臂12的前端侧可转动地连接有手11。臂12可以向水平方向伸缩，以使手11在朝向一定方向的状态下大致线性移动。具体而言，臂12能够向水平方向伸缩，使得手11为朝向一定方向的状态，且手11和臂12的连接部分大致线性移动。

支承框架16具备可升降地保持臂支架15的柱状的第一支承框架20和可升降地保持第一支承框架20的柱状的第二支承框架21。第二支承框架21的下端部固定在回转框架18的前端侧。回转框架18的基端侧被支承于基台17上，使得其可以进行以上下方向为转动的轴向的转动。机器人3通过臂12的伸缩动作、臂12等的升降动作、转动动作及水平移动动作的组合来搬运基板2。

机器人控制部4例如由机器人控制器、个人计算机等信息处理装置构成。机器人控制器具备控制机器人1的各种电动机的伺服控制部。另外，机器人控制部4具备cpu等运算单元、rom及ram等存储单元、进行数据的输入输出的输入输出单元。如后述，机器人控制部4生成机器人3的示教数据。本方式的机器人控制部4是生成机器人3的示教数据的示教数据生成部。另外，在本方式中，由机器人控制部4及虚拟盒7等构成用于生成机器人3的示教数据的示教数据生成系统23。

盒6形成为前后方向的一端侧开口的长方体箱状。多个盒6配置为在左右方向上彼此相邻。另外，多个盒6在前后方向上配置于机器人3的一侧。盒6的开口部面向机器人3侧。如上所述，基板2形成为长方形状。收纳于盒6的基板2的长边方向与前后方向一致，收纳于盒6的基板2的短边方向与左右方向一致。

在向盒6搬入基板2时、及搬出收纳于盒6的基板2时，手11在前后方向上线性移动，插入盒6中。在以下的说明中，将前后方向中配置有机器人3的一侧(图2等的y1方向侧)设为“前”侧，将配置有盒6的一侧(图2等的y2方向侧)设为“后”侧。

如上所述，在盒6中，可收纳以在上下方向上隔开间隔的状态配置的多片基板2。盒6具备放置基板2的多个基板放置部24。多个基板放置部24在上下方向上以恒定的间距排列。基板放置部24具备从下侧支承基板2的左右两端部的多个支承部件25和在左右方向上的规定位置从下侧支承基板2的多个支承部件26。

支承部件25形成为以左右方向为长度方向的棒状。支承部件25从盒6的框体的左右两端部朝向左右方向的内侧伸出。另外，多个支承部件25以在前后方向上隔开恒定间隔的状态排列。支承部件26形成为以前后方向为长度方向的棒状。支承部件26从盒6的框体的后端部朝向前侧伸出。另外，多个支承部件25以在左右方向上隔开恒定间隔的状态排列。此外，盒6不具备稍后将要描述的探测机构28。

虚拟盒7形成为与盒6相同的形状。以下，说明虚拟盒7的结构。此外，如上所述，虚拟盒7在机器人3的示教作业中使用。在进行机器人3的示教作业时，将多个盒6中的一个盒6置换为虚拟盒7。虚拟盒7被设置于与设置有要置换的一个盒6的位置相同的位置。图2中图示出进行机器人3的示教作业时的状态。

(虚拟盒的结构)

图3是图2所示的虚拟盒7的俯视图。图4是图3所示的虚拟盒7的主视图。图5的(a)是用于说明图3所示的传感器31的结构及配置的图，图5的(b)是用于说明图3所示的传感器32的结构及配置的图。图6是用于说明图3所示的传感器33的结构的图。图7是用于说明由图3所示的探测机构28测定水平方向的位置及高度时的基板2的状态的图。

如上所述，虚拟盒7形成为与盒6相同的形状，可收纳以在上下方向上隔开间隔的状态配置的多片基板2。另外，虚拟盒7具备放置基板2的多个基板放置部24。基板放置部24具备支承部件25、26。另外，如上所述，在进行机器人3的示教作业时，虚拟盒7被设置于与设置有要置换的一个盒6的位置相同的位置。

在进行机器人3的示教作业时，手11插入虚拟盒7中，进行基板2向虚拟盒7的搬入动作及基板2从虚拟盒7的搬出动作的至少一个动作。在进行基板2的搬入动作及搬出动作时，手11沿前后方向线性地移动。即，前后方向(y方向)是基板2相对于虚拟盒7的搬入搬出方向。

虚拟盒7具备探测机构28，其用于测定在由手11搬入虚拟盒7并且放置于基板放置部24之前配置于基板放置部24的上侧的基板2、及从基板放置部24被手11举起并配置于基板放置部24的上侧的基板2中的至少一个基板2(参照图7)的水平方向的位置及高度。探测机构28具备用于测定基板2的水平方向的位置的第一探测机构29和用于测定基板2的高度的第二探测机构30。

另外，探测机构28设置于虚拟盒7的上端侧和下端侧两处。即，虚拟盒7具备两个探测机构28。配置于虚拟盒7的上端侧的探测机构28测定配置于最上层的基板放置部24的上侧的基板2的水平方向的位置及高度。配置于虚拟盒7的下端侧的探测机构28测定配置于最下层的基板放置部24的上侧的基板2的水平方向的位置及高度。

第一探测机构29具备测定基板2的左右方向的位置的传感器31和测定基板2的前后方向的位置的传感器32。传感器31、32是具有发光元件和受光元件的透射型光学式传感器。传感器31、32的发光元件和受光元件以隔开规定间隔的状态在上下方向上对置配置。另外，传感器31、32是具备排列成直线的多个受光元件的线性传感器。本方式的第一探测机构29具备两个传感器31和一个传感器32。传感器31、32与机器人控制部4电连接。本方式的传感器31是第一传感器，传感器32是第二传感器。

两个传感器31配置于虚拟盒7的左右方向的一端部。另外，两个传感器31以在前后方向上隔开间隔的状态配置。具体而言，两个传感器31配置于虚拟盒7的前后方向的两端部。如图5的(a)所示，作为线性传感器的传感器31配置为传感器31的长度方向(受光元件的排列方向)和左右方向一致。传感器31通过受光元件探测基板2的左右方向的一端面的位置来测定基板2的左右方向的位置。

传感器32配置于虚拟盒7的后端部。另外，传感器32配置于左右方向上的虚拟盒7的大致中心位置。如图5的(b)所示，作为线性传感器的传感器32配置为传感器32的长度方向和前后方向一致。传感器32通过由受光元件探测基板2的后端面的位置来测定基板2的前后方向的位置。

第二探测机构30具备四个传感器33。四个传感器33与机器人控制部4电连接。四个传感器33分别被配置于与形成为长方形状的基板2的四角分别对应的位置。即，四个传感器33分别配置于虚拟盒7的四个角上。本方式的传感器33是第三传感器。

传感器33是具有发光元件和受光元件的反射型的光学式传感器。另外，传感器33是所谓的距离传感器(位移传感器)。传感器33的发光元件朝向基板2的下表面或上表面射出光。例如，传感器33的发光元件射出激光。传感器33例如根据被基板2的下表面或上表面反射的光入射到传感器33的受光元件的位置来测定基板2的高度。

(机器人的示教作业及示教数据的生成方法)

在进行机器人3的示教作业并生成机器人3的示教数据时，使用虚拟盒7。即，在进行机器人3的示教作业并生成机器人3的示教数据时，如上所述，将一个盒6置换为虚拟盒7。虚拟盒7被设置于与设置有要置换的一个盒6的位置相同的位置。

在进行机器人3的示教作业时，机器人3的操作员在通过目视确认机器人3的同时，通过示教操作终端5操作机器人3。另外，在进行机器人3的示教作业时，操作员为了确定相对于虚拟盒7的规定示教位置，使机器人3相对于虚拟盒7依次动作到规定位置。在本方式中，在虚拟盒7的上端侧和下端侧两个部位进行机器人3的示教作业。

另外，在本方式中，通过手11搬入到虚拟盒7并且放置于基板放置部24之前的基板2被配置于基板放置部24的上侧的位置、及从基板放置部24被手11举起的基板2配置于基板放置部24的上侧的位置(参照图7)中的至少一方(即装载于手11的基板2配置于基板放置部24的上侧的位置)也成为机器人3的示教位置。

具体而言，装载于手11上的基板2配置于最上层的基板放置部24的上侧的位置、及装载于手11上的基板2配置于最下层的基板放置部24的上侧的位置都是机器人3的示教位置。为了确定该示教位置，操作员在通过目视确认机器人3的同时，通过示教操作终端5使机器人3动作，直到该位置。在机器人3动作到该位置并且装载于手11上的基板2被配置于基板放置部24的上侧时，通过探测机构28测定基板2的水平方向的位置及高度。

探测机构28的测定结果被输入机器人控制部4。机器人控制部4基于探测机构28的测定结果确定示教位置。另外，向机器人控制部4输入操作员通过目视基板2及机器人3的位置而确定的其它示教位置的数据。机器人控制部4根据基于探测机构28的测定结果确定的示教位置和被输入机器人控制部4的其它示教位置的数据，生成机器人3相对于虚拟盒7的示教数据即基准示教数据。即，机器人控制部4基于探测机构28的测定结果生成基准示教数据。

在本方式中，在机器人控制部4存储有多个盒6的每一个相对于虚拟盒7的相对位置的数据即位置数据。即，在机器人控制部4，存储有剩余的多个盒6的每一个相对于在机器人3的示教作业时置换的一个盒6的相对位置的数据即位置数据。机器人控制部4在生成基准示教数据后，基于基准示教数据和位置数据，生成机器人3相对于多个盒6的每一个的示教数据。

即，在本方式中，机器人3相对于多个盒6的每一个的示教数据被自动生成，而不必使用盒6进行机器人3的示教作业。此外，基准示教数据直接作为机器人3相对于在机器人3的示教作业时置换的一个盒6的示教数据。

(本方式的主要效果)

如以上说明，在本方式中，虚拟盒7具备探测机构28，其用于测定装载于手11上并配置于基板放置部24的上侧的基板2的水平方向的位置及高度。另外，在本方式中，机器人控制部4基于探测机构28的测定结果生成机器人3相对于虚拟盒7的示教数据即基准示教数据。

因此，在本方式中，在相对于虚拟盒7进行机器人3的示教作业时，即使操作员没有微调机器人3的位置，也能够基于探测机构28的探测结果，生成将装载有基板2的手11配置于基板放置部24的上侧的位置中的最佳位置作为示教位置的基准示教数据。即，在本方式中，即使在进行机器人3的示教作业时没有微调机器人3的位置，也能够生成将装载于手11的基板2在盒6中移动时手11上的基板2和盒6的内部的构造物不发生干涉的最佳位置作为示教位置的基准示教数据。

另外，在本方式中，基于多个盒6的每一个相对于虚拟盒7的相对位置的数据即位置数据和基准示教数据，生成机器人3相对于多个盒6的每一个的示教数据。因此，在本方式中，即使在进行机器人3的示教作业时没有微调机器人3的位置，也能够基于将装载于手11上的基板2在盒6中移动时手11上的基板2和盒6的内部的构造物不发生干涉的最佳位置作为示教位置的基准示教数据，生成示教数据。因此，在本方式中，即使简化机器人3的示教作业，在装载于手11上的基板2在盒6中移动时，也能够防止手11上的基板2和盒6的内部的构造物的干涉。

在本方式中，第一探测机构29具备以在前后方向上隔开间隔的状态配置的两个传感器31。因此，在本方式中，能够使用两个传感器31测定基板2相对于前后方向的倾斜度。因此，在本方式中，能够基于探测机构28的探测结果，生成将装载于手11上的基板2在盒6中移动时手11上的基板2和盒6的内部的构造物不发生干涉的更佳位置作为示教位置的基准示教数据。

在本方式中，四个传感器33分别配置于与形成为长方形状的基板2的四角分别对应的位置。因此，在本方式中，即使基板2大型化，装载于手11上的基板2产生弯曲或扭曲，或者手11产生弯曲，结果导致手11上的基板2的前端侧的高度和后端侧的高度产生差异，或者手11上的基板2的左右的一端侧的高度和另一端侧的高度产生差异，也能够利用四个传感器33精确地测定基板2的高度。因此，在本方式中，能够基于探测机构28的探测结果，生成将装载于手11上的基板2在盒6中移动时手11上的基板2和盒6的内部的构造物不发生干涉的更佳位置作为示教位置的基准示教数据。

(其它实施方式)

上述的方式是本发明的最佳方式的一个例子，但不限于此，在不变更本发明的宗旨的范围内可以进行各种变形实施。

在上述的方式中，第一探测机构29具备的传感器31的数量也可以是一个。在这种情况下，例如，一个传感器31配置于前后方向上的虚拟盒7的大致中心位置。另外，在第一探测机构29具备的传感器31的数量是一个的情况下，第一探测机构29也可以具备以在左右方向上隔开间隔的状态配置的两个传感器32。在这种情况下，可以使用两个传感器32测定基板2相对于左右方向的倾斜度。即，在这种情况下，也能够使用两个传感器32测定基板2相对于前后方向的倾斜度。

在上述的方式中，第二探测机构30具备的传感器33的数量也可以是三个以下。另外，在上述的方式中，探测机构28可以仅配置于虚拟盒7的上端侧，也可以仅配置于虚拟盒7的下端侧。另外，探测机构28也可以设置于虚拟盒7的上端侧及下端侧以外的一个部位或多个部位。

在上述的方式中，在进行机器人3的示教作业时，虚拟盒7也可以设置于与设置要置换的一个盒6的位置不同的位置。另外，在上述的方式中，也可以将两个以上的盒6配置为在上下方向上重叠。另外，在上述的方式中，机器人3也可以是在搬运液晶显示器以外的用途中使用的玻璃基板2的机器人。