基板保持机械手和基板搬运机器人的制作方法

该发明涉及基板保持机械手和基板搬运机器人，涉及具备可移动支承单元和可移动按压单元的基板保持机械手和基板搬运机器人。

背景技术：

1、以往，公知有具备可移动支承单元和可移动按压单元的基板保持机械手。例如在日本特开2013-69914号公报中公开有这样的机械手。

2、在上述日本特开2013-69914号公报中公开有用于搬运基板的基板搬运用机械手(基板保持机械手)。该基板搬运用机械手具备包括进行用于支承基板的进退移动的基端侧支承部在内的可移动支承单元、和包括进行用于按压基板的进退移动的按压部在内的可移动按压单元。

3、专利文献1：日本特开2013-69914号公报

4、这里，虽然在上述日本特开2013-69914号公报中没有记载，但是在上述日本特开2013-69914号公报所记载的那样的以往的基板搬运用机械手中，对可移动支承单元和可移动按压单元分别进行定位。在该情况下，分别需要可移动支承单元和可移动按压单元的定位部，因此存在难以简化定位部的构造的问题点。另外，对可移动支承单元和可移动按压单元进行定位也颇为耗时，因此也存在难以简单地组装基板搬运用机械手(基板保持机械手)的问题点。

技术实现思路

1、该发明的课题(目的)在于提供一种能够简化定位部的构造并且能够简单地组装基板保持机械手的基板保持机械手和基板搬运机器人。

2、基于该发明的第1方面的基板保持机械手具备：叶片，包括支承基板的支承部；可移动支承单元，进行用于基板支承的进退移动；可移动按压单元，进行用于按压基板的进退移动；以及定位部，对可移动支承单元和可移动按压单元进行共同定位。

3、基于该发明的第2方面的基板搬运机器人具备：基板保持机械手；和使基板保持机械手移动的臂，基板保持机械手包括：叶片，包括支承基板的支承部；可移动支承单元，进行用于支承基板的进退移动；可移动按压单元，进行用于按压基板的进退移动；以及定位部，对可移动支承单元和可移动按压单元共同进行定位。

4、根据本发明，如上述那样，通过设置对可移动支承单元和可移动按压单元共同进行定位的定位部，能够简化定位部的构造，并且与对可移动支承单元和可移动按压单元分别进行定位的情况相比，能够节省对可移动支承单元和可移动按压单元定位的工时，因此与其对应地能够简单地组装基板保持机械手。另外，即使在基板保持机械手的维修时取下可移动支承单元和可移动按压单元，也能够简单地再次安装(组装)可移动支承单元和可移动按压单元，因此能够使基板保持机械手的维修(维护)变得容易。

技术特征：

1.一种基板保持机械手，其中，

2.根据权利要求1所述的基板保持机械手，其中，

3.根据权利要求2所述的基板保持机械手，其中，

4.根据权利要求3所述的基板保持机械手，其中，

5.根据权利要求4所述的基板保持机械手，其中，

6.根据权利要求2所述的基板保持机械手，其中，

7.根据权利要求1所述的基板保持机械手，其中，

8.根据权利要求7所述的基板保持机械手，其中，

9.根据权利要求1所述的基板保持机械手，其中，

10.一种基板搬运机器人，其中，

技术总结
一种基板保持机械手和基板搬运机器人，该基板保持机械手(1)具备：叶片(31)，包括支承基板(W)的支承部(311、312)；可移动支承单元(32)，进行用于支承基板的进退移动；可移动按压单元(33、34)，进行用于按压基板的进退移动；以及定位部(35)，对可移动支承单元和可移动按压单元进行共同定位。

技术研发人员：清水一平
受保护的技术使用者：川崎重工业株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11