一种用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台的制作方法

1.本实用新型涉及到工装治具技术领域，尤其涉及到一种用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台。


背景技术：

2.位姿调整平台在自动化控制领域中占有重要角色，传统位姿调整平台通常将所需调整控制的各自由度进行独立控制，随之调整平台结构分层化。随着显示技术的发展，液晶基板也趋向于大型化、轻薄化发展，随之液晶基板的加工和检测带来严峻挑战。
3.上述分层结构位姿调整平台安装较为繁琐，其控制也较为不便。当调整平台趋近大型化时，上述自由度分层控制方法对调整平台结构的稳定性、安装操作的便捷性带来严重挑战，同时设备成本也较为高昂。另一方面，随着液晶基板的大型化，玻璃基板在加工和检测转运过程中通常需要进行位置的二次调整，与此同时，液晶基板需紧密固定于调整平台上，但传统吸附平台与基板接触面积过大而容易产生污染、划伤，吸附力过大而使基板产生局部变形大，从而影响加工和检测质量。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，用于解决上述技术问题。
5.本实用新型采用的技术方案如下：
6.一种用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，包括支撑平台、位姿调整机构、位姿平台和吸附平台模组，所述支撑平台的上端设有所述位姿调整机构，所述位姿调整机构的上端设有所述位姿平台，所述位姿平台的上端并排且间隔设有若干所述吸附平台模组，所述位姿调整机构包括旋转支撑组件、x轴驱动组件、第一y轴驱动组件和第二y轴驱动组件，若干所述旋转支撑组件、一所述x轴驱动组件、一所述第一y轴驱动组件和一所述第二y轴驱动组件之间呈矩形阵列，且所述第一y轴驱动组件与所述第二y轴驱动组件之间呈对角关系。
7.作为优选，所述x轴驱动组件设于所述支撑平台的上端的一侧中部，且所述x轴驱动组件位于所述第二y轴驱动组件的一侧。
8.作为优选，所述旋转支撑组件包括第一底板，以及设于所述第一底板上的第一旋转支撑机构。
9.作为进一步的优选，每一所述x轴驱动组件均包括第一安装底板、x轴驱动机构、x轴驱动连接板、x轴滑轨和第二旋转支撑机构，其中，所述第一安装底板的上端两侧设有两所述x轴滑轨，两所述x轴滑轨平行，且两所述x轴滑轨上设有所述x轴驱动连接板和所述第二旋转支撑机构，且所述第二旋转支撑机构位于所述x轴驱动连接板的一侧，所述第一安装底板的上端还设有所述x轴驱动机构，且所述x轴驱动机构与所述x轴驱动连接板的另一侧连接。
10.作为进一步的优选，所述第一y轴驱动组件和所述第二y轴驱动组件均包括：
11.第二安装底板；
12.y轴驱动机构，所述y轴驱动机构设于所述第二安装底板的上端；
13.y轴驱动连接板，所述y轴驱动连接板与所述y轴驱动机构传动连接；
14.第三旋转支撑机构，所述第三旋转支撑机构设于所述第二安装底板的上端，且所述第三旋转支撑机构与所述y轴驱动连接板连接。
15.作为进一步的优选，所述第一旋转支撑机构、所述第二旋转支撑机构和所述第三旋转支撑机构均包括：
16.交叉轴直线滑轨组件；
17.过渡板，所述过渡板设于所述交叉轴直线滑轨组件的上端；
18.定位套，所述定位套设于所述过渡板的上端；
19.旋转支承，所述旋转支承套设于所述定位套的外缘。
20.作为进一步的优选，所述位姿平台设于所述旋转支承的上端，所述位姿平台上开设有若干定位孔，每一所述定位套分别设有一所述定位孔内。
21.作为优选，每一所述吸附平台模组均包括相互连接的两吸附平台机构，且两所述吸附平台机构相互连接，两所述吸附平台机构位于同一水平面内。
22.作为进一步的优选，每一所述吸附平台机构均包括：
23.第二底板，所述第二底板的下端与所述位姿平台的上端连接；
24.筋板机构，所述第二底板的上端并排且间隔设有若干所述筋板机构；
25.顶板，所述顶板设于若干所述筋板机构的上端，且所述顶板的上端开设有若干相互连通的浅槽，每一所述浅槽内分别设有若干吸附孔。
26.作为优选，还包括若干平台支脚，所述支撑平台的下端设有若干所述平台支脚。
27.上述技术方案具有如下优点或有益效果：
28.本实用新型中的三自由度位姿调整吸附平台，结构紧凑，占用空间小，满足空间受限场合的使用要求，尤其适用于大型位姿调整平台上部结构位置的调整；安装操作简单便捷，系统稳定性好，设备成本较低；减少与液晶基板的接触面积的同时，提供稳定均匀的吸附力，从而提高液晶基板的加工、检测精度。
附图说明
29.图1是本实用新型用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台的使用状态示意图；
30.图2是本实用新型用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台的结构示意图；
31.图3是本实用新型中的位姿调整机构在支撑平台上的分布示意图；
32.图4是本实用新型中的旋转支撑组件的结构示意图；
33.图5是本实用新型中的x轴驱动组件的结构示意图；
34.图6是本实用新型中的第一y轴驱动组件的结构示意图；
35.图7是本实用新型中的交叉轴直线滑轨组件的结构示意图；
36.图8是本实用新型中的位姿平台的结构示意图；
37.图9是本实用新型中的吸附平台机构的结构示意图。
38.图中：1、支撑平台；2、位姿调整机构；21、旋转支撑组件；211、第一底板；22、x轴驱动组件；221、第一安装底板；222、x轴驱动机构；223、x轴驱动连接板；224、x轴滑轨；23、第一y轴驱动组件；231、第二安装底板；232、y轴驱动机构；233、y轴驱动连接板；24、第二y轴驱动组件；3、位姿平台；31、定位孔；4、吸附平台模组；41、吸附平台机构；411、第二底板；412、筋板机构；413、顶板；414、浅槽；415、吸附孔；5、交叉轴直线滑轨组件；51、滑块；52、滑轨；6、过渡板；7、定位套；8、旋转支承；9、平台支脚；10、液晶基板。
具体实施方式
39.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
40.在本实用新型的描述中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，如出现术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
41.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，如出现术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
42.图1是本实用新型用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台的使用状态示意图；图2是本实用新型用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台的结构示意图；图3是本实用新型中的位姿调整机构在支撑平台上的分布示意图；图4是本实用新型中的旋转支撑组件的结构示意图；图5是本实用新型中的x轴驱动组件的结构示意图；图6是本实用新型中的第一y轴驱动组件的结构示意图；图7是本实用新型中的交叉轴直线滑轨组件的结构示意图；
43.图8是本实用新型中的位姿平台的结构示意图；图9是本实用新型中的吸附平台机构的结构示意图。请参见图1至图9所示，示出了一种较佳的实施例，示出的一种用于液晶基板的三自由度位姿调整吸附平台，包括支撑平台1、位姿调整机构2、位姿平台3和吸附平台模组4，支撑平台1的上端设有位姿调整机构2，位姿调整机构2的上端设有位姿平台3，位姿平台3的上端并排且间隔设有若干吸附平台模组4，位姿调整机构2包括旋转支撑组件21、x轴驱动组件22、第一y轴驱动组件23和第二y轴驱动组件24，若干旋转支撑组件21、一x轴驱动组件22、一第一y轴驱动组件23和一第二y轴驱动组件24之间呈矩形阵列，且第一y轴驱动组件23与第二y轴驱动组件24之间呈对角关系。本实施例中，当由x轴驱动组件22进行驱动时，可实现上端位姿平台3的x轴平移运动；当布置于支撑平台1对角线的第一y轴驱动组件23、第二y轴驱动组件24呈同向运动时，可实现位姿平台3的y向平移运动；当第一y轴驱动组
件23和第二y轴驱动组件24反向运动时，即可实现上端位姿平台3的绕z轴旋转运动。在实际运动操作中，通过控制x轴驱动组件22、第一y轴驱动组件23、第二y轴驱动组件24中伺服电机运动，即可实现位姿平台3的三自由度精确控制，从而达到位姿平台3上部结构位置的调整。如图3所示，本实施例中，共设置六个旋转支撑组件21，其中，在支撑平台1的上端中部沿支撑平台1的y轴方向设有三个旋转支撑组件21，在支撑平台1的上端的两个夹角处设有两个旋转支撑组件21，且该两个旋转支撑组件21为对角关系，在支撑平台1的上端另一侧的中部设有一个旋转支撑组件21。本实施例中，如图2所示，共设有五个吸附平台模组4，且五个吸附平台模组4沿位姿平台3的y轴方向并排且间隔设置，能够减少吸附平台模组4与液晶基板10之间的吸附面积，也便于机械手进行基板的转运，每一吸附平台模组4均沿位姿平台3的x轴方向设置。本实施例中，支撑平台1为方管焊接式框架结构。
44.进一步，作为一种较佳的实施方式，x轴驱动组件22设于支撑平台1的上端的一侧中部，且x轴驱动组件22位于第二y轴驱动组件24的一侧。
45.进一步，作为一种较佳的实施方式，旋转支撑组件21包括第一底板211，以及设于第一底板211上的第一旋转支撑机构。
46.进一步，作为一种较佳的实施方式，每一x轴驱动组件22均包括第一安装底板221、x轴驱动机构222、x轴驱动连接板223、x轴滑轨224和第二旋转支撑机构，其中，第一安装底板221的上端两侧设有两x轴滑轨224，两x轴滑轨224平行，且两x轴滑轨224上设有x轴驱动连接板223和第二旋转支撑机构，且第二旋转支撑机构位于x轴驱动连接板223的一侧，第一安装底板221的上端还设有x轴驱动机构222，且x轴驱动机构222与x轴驱动连接板223的另一侧连接。本实施例中，x轴驱动机构222用于驱动第一x轴驱动连接板223，使得第一x轴驱动连接板223可驱动第二旋转支撑机构在x轴滑轨224上滑动。本实施例中，x轴驱动机构222包括常见的伺服电机和滚珠丝杆机构。第一x轴驱动连接板223连接滚珠丝杆螺母和第二旋转支撑机构，从而实现稳定的沿x轴的精确平移运动。
47.进一步，作为一种较佳的实施方式，第一y轴驱动组件23和第二y轴驱动组件24均包括：
48.第二安装底板231；
49.y轴驱动机构232，y轴驱动机构232设于第二安装底板231的上端；
50.y轴驱动连接板233，y轴驱动连接板233与y轴驱动机构232传动连接；
51.第三旋转支撑机构，第三旋转支撑机构设于第二安装底板231的上端，且第三旋转支撑机构与y轴驱动连接板233连接。本实施例中，第一y轴驱动组件23与第二y轴驱动组件24的结构相同。y轴驱动机构232为常见伺服电机和滚珠丝杆机构，y轴驱动连接板233连接滚珠丝杆螺母和第三旋转支撑机构，从而形成稳定的沿y轴的精确平移运动。
52.进一步，作为一种较佳的实施方式，第一旋转支撑机构、第二旋转支撑机构和第三旋转支撑机构均包括：
53.交叉轴直线滑轨组件5；
54.过渡板6，过渡板6设于交叉轴直线滑轨组件5的上端；
55.定位套7，定位套7设于过渡板6的上端；
56.旋转支承8，旋转支承8套设于定位套7的外缘。本实施例中，如图7所示，交叉轴直线滑轨组件5包括一个滑块51和两个滑轨52，其中，两滑轨52设于滑块51的上下两端，且两
个滑轨52之间呈十字交叉设置，能够在空间上形成相互垂直两轴的轴向平移运动，即实现沿x轴、y轴的平移运动；旋转支承8布置于过渡板6上方，可实现位姿平台3绕z轴的旋转运动。本实施例中，在旋转支撑组件21中，位于滑块51下端的滑轨52与第一底板211连接；在x轴驱动组件22中，x轴驱动组件22中的x轴驱动机构222与交叉轴直线滑轨组件5中的滑块51连接；在第一y轴驱动组件23和第二y轴驱动组件24中，y轴驱动连接板233与交叉轴直线滑轨组件5中的滑块51连接。
57.进一步，作为一种较佳的实施方式，位姿平台3设于旋转支承8的上端，位姿平台3上开设有若干定位孔31，每一定位套7分别设有一定位孔31内。本实施例中，定位套7与定位孔31相配合，以形成具有确定精确几何关系，便于后续自动化控制。
58.进一步，作为一种较佳的实施方式，每一吸附平台模组4均包括相互连接的两吸附平台机构41，且两吸附平台机构41相互连接，两吸附平台机构41位于同一水平面内。
59.进一步，作为一种较佳的实施方式，每一吸附平台机构41均包括：
60.第二底板411，第二底板411的下端与位姿平台3的上端连接；
61.筋板机构412，第二底板411的上端并排且间隔设有若干筋板机构412；
62.顶板413，顶板413设于若干筋板机构412的上端，且顶板413的上端开设有若干相互连通的浅槽414，每一浅槽414内分别设有若干吸附孔415。本实施例中，如图9所示，第二底板411、筋板机构412以及顶板413之间通过螺栓连接，每一筋板机构412均包括三个筋板。吸附孔415设置于浅槽414内，当向若干吸附孔415内通入负压时，可在顶板413上的浅槽414内形成均匀负压，从而牢固吸附上部液晶基板10。
63.进一步，作为一种较佳的实施方式，还包括若干平台支脚9，支撑平台1的下端设有若干平台支脚9。
64.以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。