按压手柄的制作方法

1.本技术涉及刻蚀设备技术领域，特别是涉及一种按压手柄。


背景技术：

2.随着科学技术的发展，半导体成为人们生产生活中不可缺少的一部分，例如，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用。而刻蚀是半导体制造工艺中相当重要的步骤，对应地，刻蚀设备设置有用于保证气密性的密封部，对生产加工效率起着相当重要的作用。
3.在相关技术中，刻蚀设备的密封圈通过人工手动安装，耗时长，安装效率低。


技术实现要素：

4.本技术实施例提供了一种按压手柄，通过设置用于刻蚀设备的按压手柄，可以提高密封部的安装效率，降低成本。
5.本技术实施例提供了一种按压手柄，所述按压手柄应用于刻蚀设备，所述刻蚀设备包括设备主体和密封部，所述设备主体具有安装槽，所述按压手柄用于将所述密封部按压于所述安装槽；所述按压手柄包括：手柄主体；至少一个连接部，所述连接部与所述手柄主体为一体成型结构，且所述连接部与所述手柄主体之间形成安装区间；及滚动体，所述滚动体位于所述安装区间且与所述连接部转动连接。
6.基于本技术实施例，按压手柄用于刻蚀设备，刻蚀设备包括设备主体和密封部，通过按压手柄将密封部按压在安装槽中，提高密封部的安装效率，进而降低时间成本；按压手柄包括手柄主体、至少连接部和滚动体，手柄主体和连接部一体成型，可以提高连接部与手柄主体的连接强度，连接部与手柄主体之间形成安装区间，使得滚动体可以处于安装区间内，滚动体和连接部转动连接，在将密封部按压于安装槽的过程中，通过转动的滚动体将密封部按压至安装槽内，使密封部贴合安装槽内壁，提高密封部的安装效率。
7.在其中一些实施例中，所述手柄主体背离所述连接部的一端表面为平面。
8.基于上述实施例，将手柄主体背离连接部的一端表面设置为平面，可以先通过手柄主体背离连接部的一端将密封部按压至安装槽中，平面的设置可以便于将密封部平整地按压，后通过滚动体的滚动按压使密封部贴合安装槽内壁，提高密封部的密封性。
9.在其中一些实施例中，所述连接部的数量为两个，两个所述连接部间隔设置且与所述手柄主体之间共同形成所述安装区间。
10.基于上述实施例，连接部的数量为两个，两个连接部间隔设置并与手柄主体共同形成安装区间，以使滚动体可以位于安装区间内转动，提高滚动体与连接部的连接稳定性，避免在滚动按压的过程中，滚动体与连接部脱离。
11.在其中一些实施例中，所述滚动体包括：转轴，所述转轴位于两个所述连接部之间且固定于至少一个所述连接部；滚筒，所述滚筒套设于所述转轴上且可在所述转轴上转动。
12.基于上述实施例，滚动体包括转轴和滚筒，滚筒套设在转轴上，且滚筒可以在转轴
上转动，滚筒可以用于将密封部按压至安装槽内，滚筒可转动的设置可以同步实现按压与移动，有利于提高密封部的安装效率。
13.在其中一些实施例中，每个所述连接部均设置有第一安装孔、及与第一安装孔连通的第二安装孔，所述转轴的两端分别位于一个所述连接部的所述第一安装孔，所述按压手柄还包括：两个锁紧件，每个所述锁紧件分别位于一个所述连接部的所述第二安装孔内且与所述转轴连接。
14.基于上述实施例，两个连接部均设置有第一安装孔和第二安装孔，第二安装孔与第一安装孔连通，两个锁紧件分别位于两个第二安装孔内，并与转轴相连接，以限制转轴的转动，即转轴与手柄主体固定连接，滚筒套设在转轴上转动，进而同步实现按压与移动，有利于提高密封部的安装效率。
15.在其中一些实施例中，所述锁紧件与所述转轴抵接，以使所述转轴固定于所述连接部。
16.基于上述实施例，锁紧件与转轴的连接方式为抵接，结构成本较低，此时，锁紧件与转轴呈固定连接，滚筒套设在转轴上转动，进而同步实现按压与移动，有利于提高密封部的安装效率。
17.在其中一些实施例中，所述转轴还设置有与所述第二安装孔对应的第三安装孔，所述锁紧件还位于所述第三安装孔内，以使所述转轴固定于所述连接部。
18.基于上述实施例，转轴设置有第三安装孔，第三安装孔与第二安装孔对应，锁紧件还位于第三安装孔内，即锁紧件同时位于第二安装孔与第三安装孔，使转轴相对于连接部固定，固定结构稳定性较高，且滚筒套设在转轴上转动，进而同步实现按压与移动，有利于提高密封部的安装效率。
19.在其中一些实施例中，每个所述连接部均设置有第一安装孔，所述滚动体包括：转轴，所述转轴的两端分别位于一个所述连接部的所述第一安装孔，且所述转轴可在所述第一安装孔内转动；滚筒，所述滚筒固定于所述转轴上。
20.基于上述实施例，滚动体包括转轴和滚筒，两个连接部均设置有第一安装孔，转轴的两端分别位于一个第一安装孔内，使得转轴可转动，且滚筒固定在转轴上，滚筒可以用于将密封部按压至安装槽内，转轴可转动的设置可以同步实现按压与移动，有利于提高密封部的安装效率。
21.在其中一些实施例中，所述滚筒的制备材料为环氧树脂。
22.基于上述实施例，滚筒的制备材料为环氧树脂，环氧树脂的绝缘性能高、结构强度大，密封性能好，且耐化学品性优良，在密封部的安装过程中，可以减少对设备主体的接触损耗，提高密封部安装的顺滑性，有利于提高密封部的安装效率。
23.在其中一些实施例中，所述手柄主体的制备材料为聚碳酸酯。
24.基于上述实施例，手柄主体的制备材料为聚碳酸酯，聚碳酸酯具有强度高、耐疲劳性、尺寸稳定、耐热老化型好、绝缘性能优良，成型加工性较好等特点，加工方便，耐久使用，且可以绝缘，便于使用。
附图说明
25.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下部将对实施例或现
有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下部描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1是本技术实施例提供的刻蚀设备的示意图；
27.图2是本技术实施例提供的按压手柄的结构示意图；
28.图3是本技术实施例提供的按压手柄的手柄主体的结构示意图；
29.图4是本技术实施例提供的按压手柄的转轴的结构示意图；
30.图5是本技术另一实施例提供的按压手柄的滚筒的结构示意图。
具体实施方式
31.为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下部将结合附图对本技术实施例方式作进一步地详细描述。
32.下部的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本技术相一致的所有实施方式。相反，它们仅是如所附权利要求书中所详述的、本技术的一些方部相一致的装置和方法的例子。
33.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外，在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”是指两个或两个以上。“和/或”，描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
34.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
35.如图1、图2所述，本技术实施例提供了一种按压手柄10，按压手柄10应用于刻蚀设备20，刻蚀设备20可以包括设备主体210和密封部220，设备主体210具有安装槽211，按压手柄10用于将密封部220按压于安装槽211，密封部220与安装槽211的形状一致，如密封部220的形状为环形体，安装槽211的形状为环形凹槽；或者，密封部220的形状为长方体，安装槽211的截面形状为矩形。可以理解的是，同一刻蚀设备20需要安装的密封部的数量、形状以及位置可以均不相同，可以根据实际情况做出任意选择及组合，另外，本技术实施例的按压手柄10，不局限于刻蚀设备20的分类、型号等，也可以用于任意需要密封部220与具有密封部220安装槽211的设备或装置。一般来讲，密封部220用于防止流体或固体微粒从相邻结合面间泄露，以及防止外界杂质如灰尘与水分等侵入设备内部的零部件的材料或零件，在本技术实施例中，密封部220具有一定的弹性，具有较好的绝缘性能，可以补偿泄露间隙以实现密封。
36.相关技术中，刻蚀设备中，需要通过密封部来保证内部的气密性，通常采用人工的方式，用手直接按压来实现密封部的安装，安装效率低下。为了解决上述问题，如图2所示，
本技术实施例提供了一种按压手柄10，按压手柄10可以包括手柄主体110、连接部120和滚动体130，连接部120至少有一个，连接部120位于手柄主体110的一端，且手柄主体110与连接部120为一体成型的结构，可以提高连接部120与手柄主体110的连接强度，连接部120和手柄主体110之间可以形成安装区间140，滚动体130位于安装区间140内，滚动体130与连接部120相连接，且连接方式为可转动连接，通过转动的滚动体130将密封部220按压至安装槽211内，使密封部220贴合安装槽211内壁，提高密封部220的安装效率。
37.在一些实施例中，如图3所示，在手柄主体110上，背离连接部120的一端的表面为平面111。位于平面111与连接部120之间的部分可用于握持，在安装密封部220的过程中，将平面111一端面向待安装的密封部220，并握持平面111与连接部120之间的部分，向安装槽211施加压力，并按照密封部220的形状滑动，以将密封部220按压至安装槽211内，之后，翻转手柄主体110，将滚动体130一端面向密封部220，以边按压、边移动的方式按压密封部220，使得密封部220尽可能的与安装槽211内壁贴合，以提升密封部220的气密性，且密封部220的安装效率相比用手按压，可以得到较大的提升。需要注意的是，为了更好地对密封部220进行按压，使密封部220与平面111之间具有较大的接触面积，平面111可以具有一定的宽度，如4cm、6cm、8cm等，可以根据实际情况进行选择。平面111的边缘可以设置有圆角，可以避免边缘锐利对密封部220造成损伤。另外，如图3所示，手柄主体110靠近平面111的一侧，还可以具有两个相对设置的斜面112，在使用平面111按压的过程中，斜面112可以便于观察平面111与密封部220的连接状态。
38.在一些实施例中，如图3所示，连接部120至少有一个，即连接部120的数量可以是一个、两个、三个等，优选地，考虑到生产成本，及连接部120与手柄主体110之间的连接稳定性，连接部120的数量可以为两个，两个连接部120均位于手柄主体110的一端，且两个连接部120可呈间隔分布，进而两个连接部120与手柄主体110之间可以形成安装区间140，以使滚动体130位于安装区间140内转动。两个连接部120与手柄主体110为一体成型的机构，进而当滚动体130通过两个连接部120转动时，滚动体130的可转动连接的稳定性提高，有利于提高密封部220的安装效率。
39.在一些实施例中，如图2所示，滚动体130可以为圆柱体，滚动体130可以包括转轴131和滚筒132，滚筒132套设在转轴131上，以使滚筒132能够在转轴131上转动。
40.具体地，在一些实施例中，转轴131可设置在安装区间140内，且与连接部120固定连接。当连接部120的数量为一个时，转轴131的任意一端可位于连接部120的第一安装孔121(可参阅图3)内，且转轴131与连接部120之间呈固定连接，滚筒132套设在转轴131上实现转动，在转轴131的另一端，可以设置挡圈避免滚筒132脱落；当连接部120的数量为两个时，转轴131的两端可以分别固定于两个连接部120，使得转轴131固定，滚筒132套设在转轴131上实现转动。优选地，考虑转轴131连接的稳定性，连接部120的数量为两个。
41.如图2和图3所示，每个连接部120均可以设置有第一安装孔121和第二安装孔122，两个第一安装孔121呈相对设置，以使转轴131的两端可以分别位于两个第一安装孔121内。两个第二安装孔122分别与对应的第一安装孔121连通，按压手柄10还可以包括两个锁紧件150，每个锁紧件150均位于一个第二安装孔122内，且可以进一步的位于同一个连接部120的第一安装孔121内，即锁紧件150可以与转轴131相连接，且锁紧件150自身位于连通的第一安装孔121与第二安装孔122内。锁紧件150可与第二安装孔122的尺寸近似，转轴131可与
第一安装孔121的尺寸近似，使得转轴131、连接部120与锁紧件150之间可以为紧配合，以在外力作用下才可拆除转轴131与连接部120的连接、及锁紧件150与连接部120的连接。而无外力作用时，转轴131与连接部120的连接、及锁紧件150与连接部120的连接较为可靠，形成固定连接。当滚筒132套设在转轴131上时，可以实现滚动体130的可转动连接。
42.进一步地，锁紧件150可以与转轴131抵接，以实现锁紧件150与转轴131的固定连接。为实现锁紧件150抵接于转轴131上后，锁紧件150能够维持于此状态，锁紧件150与连接部120之间可采用螺纹连接、过盈配合连接等方式。具体地，第二安装孔122可以设置有内螺纹，对应地，锁紧件150靠近转轴131的一端可以设置有与内螺纹配合使用的外螺纹，锁紧件150与转轴131通过螺纹连接完成抵接状态的维持，进而实现固定。另外地，在第二安装孔122内，锁紧件150与第二安装孔122可以为过盈配合的配合方式，使得锁紧件150可以在抵接转轴131后保持抵接状态，进而实现锁紧件150与转轴131的固定连接。
43.另一方面，如图4所示，转轴131还可以设置有第三安装孔1311，第三安装孔1311与第二安装孔122相对应，第三安装孔1311可以贯穿转轴131，进而使得锁紧件150可以穿设在连通的第二安装孔122与第三安装孔1311内，以避免转轴131自行转动，进而当滚筒132套设在转轴131上时，可以实现滚动体130的可转动连接。另外，第三安装孔1311也可以是为盲孔，对应地，锁紧件150靠近转轴131的一端与盲孔内壁贴合，以避免转轴131自行转动。此时，为了避免锁紧件150从第三安装孔1311脱离，锁紧件150可以与第三安装孔1311设置为过盈连接，即锁紧件150、转轴131与连接部120之间可以为紧配合，以在外力作用下才可拆除转轴131与连接部120的连接、及锁紧件150与连接部120的连接。而无外力作用时，转轴131与连接部120的连接、及锁紧件150与连接部120的连接较为可靠，形成固定连接。
44.需要说明的是，在锁紧件150与转轴131相连接时，锁紧件150的轴线与转轴131的轴线之间可存在夹角。考虑到连接部120的加工成本，优选地，锁紧件150的轴线与转轴131的轴线之间的角度可以为90
°
。
45.除了上述记载的将转轴131与连接部120固定连接，并使滚筒132活动套设于转轴131上以实现滚动体130与连接部120的转动连接外，在另外一些实施例中，滚筒132也可固定在转轴131上，而将转轴131与连接部120之间设计为可转动连接。具体地，转轴131的两端可分别位于一个连接部120的第一安装孔121，两个第一安装孔121相对设置，进而转轴131可以位于安装区间140内，且转轴131的两端在第一安装孔121内可转动连接，以实现滚筒132转动，进而可以完成滚动按压。需要注意的是，为了转轴131可以在第一安装孔121内转动且不脱落，转轴131的两端可以凸出连接部120，且凸出的部分设置有挡条，挡条的尺寸大于第一安装孔121的孔径，进而可以避免转轴131从第一安装孔121脱落。
46.在一些实施例中，滚筒132的制备材料为环氧树脂，环氧树脂的绝缘性能高、结构强度大，密封性能好，且耐化学品性优良，在密封部220的安装过程中，可以减少对设备主体210的接触损耗，提高密封部220安装的顺滑性，有利于提高密封部220的安装效率。可以理解的是，在密封部220的安装过程中，滚动体130滚动施压，即仅有滚动体130靠近密封部220的表面与密封部220接触，考虑到生产成本，如图5所示，滚筒132也可以包括滚筒本体1321和第一涂层1322，第一涂层1322的制备材料可以为环氧树脂，滚筒本体1321的制备材料可以是塑料等低成本材质。
47.在一些实施例中，手柄主体110的制备材料为聚碳酸酯，聚碳酸酯具有强度高、耐
疲劳性、尺寸稳定、耐热老化型好、绝缘性能优良，成型加工性较好等特点，加工方便，耐久使用，且可以绝缘，便于使用。可以理解的是，在密封部220的安装过程中，手柄主体110滑动施压，即仅有平面111与密封部220接触，考虑到生产成本，手柄主体110也可以设置有第二涂层(图中未示出)，第二涂层设置在平面111位置，第二涂层112的制备材料可以为聚碳酸酯，手柄本体110的制备材料可以是塑料等低成本材质。
48.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
49.以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。