弹性件、定位装置和处理设备的制作方法

1.本实用新型涉及加工设备领域，具体而言，涉及一种弹性件、一种定位装置和一种处理设备。


背景技术：

2.相关技术中，晶圆夹紧定位装置主要是通过气缸或电机带动两件或多件带弹簧的夹紧片对晶圆进行夹紧定位，而采用弹簧夹紧片定位，装置较复杂，易损伤晶圆。


技术实现要素：

3.为了解决上述技术问题至少之一，本实用新型的第一个目的提出了一种弹性件。
4.本实用新型的第二个目的，还提出了一种定位装置。
5.本实用新型的再一个目的，还提出了一种处理设备。
6.有鉴于此，根据本实用新型的第一个目的，本实用新型提出了一种弹性件，包括：弹性连接部，弹性连接部呈弧形；至少两个弹性抵接部，位于弹性连接部靠近弧形的圆心的一侧，弹性抵接部设置于弹性连接部的两端。
7.本实用新型提供的弹性件包括弹性连接部和至少两个弹性抵接部。其中，弹性连接部呈弧形，弹性连接部本身具有弹性。弹性是指物体在外力作用下发生形变，当外力撤消后能恢复原来大小和形状的性质，弧形的弹性连接部可以在夹持时产生形变，进而变得弯曲。具体地，在弹性抵接部与工件接触，在接触区域附近产生变形，进而使弹性连接部产生形变，
8.若相对设置的两个弹性件同时夹持工件，一方面即可以实现工件的位置调整，另一方面上述的弹性件结构简单，安装难度低，避免对工件产生损伤，即避免了相关技术中，采用弹簧作为弹性件导致的安装不良，从而引起的夹紧不到位或过度夹紧而对工件造成损伤的问题。
9.至少两个弹性抵接部，位于弹性连接部靠近弧形的圆心的一侧，弹性抵接部设置于弹性连接部的两端。弹性连接部对至少两个弹性抵接部在夹持工件时，起到支撑与连接的作用，使得弹性抵接部在与工件抵接时，因工件提供的反向接触力和连接部的支撑而产生形变，形变后的弹性抵接部与工件之间有更多的接触点。这样，既可以更好的与工件紧密接触，对工件产生更好的固定效果，又可以避免与工件发生硬接触而造成工件损坏的现象发生。
10.进一步地，至少两个弹性抵接部，位于弹性连接部靠近弧形的圆心的一侧，弹性抵接部设置于弹性连接部的两端。这样，当使用弹性件与工件接触进行夹持定位时，首先接触到工件的是弹性抵接部，弹性连接部不与工件产生接触，避免与工件发生硬接触而造成工件损坏的现象发生。
11.另外，本实用新型提供的上述技术方案中的弹性件还可以具有如下附加技术特征：
12.在上述技术方案中，弹性抵接部远离弹性连接部的一侧为内凹的弧面，弹性抵接部长度沿弧面所在的圆周方向延伸。
13.在该技术方案中，弹性抵接件采用非金属材质，或者弹性件为非金属材质，避免金属隔离杂质污染工件；工件可以为晶圆，相关技术中，采用弹簧夹紧片定位时，弹簧一般为金属材质，颗粒较多，存在金属污染晶圆的风险。
14.在该技术方案中，弹性抵接部远离弹性连接部的一侧为内凹的弧面。使得弹性抵接部与工件的接触面具有一定的斜度，工件为圆形工件时，弧面对应的半径应与圆形工件的半径一致，进而与工件的接触点变多，使得弹性抵接部可以以更贴合的姿态与工件的边缘接触。产生更好的调节与定位效果。
15.工件为晶圆，弧面对应的半径根据晶圆大小的不同更改尺寸。弹性件的弹性受材质、弹性件连接部的厚度，弹性件连接部的长度影响。不同材质的弹性模量不同，所以在采用不同的材质时，弹性件的尺寸(弹性件连接部的厚度，弹性件连接部的长度)也需进行调整。
16.进一步地，弹性抵接部长度沿弧面所在的圆周方向延伸。对于非规整的工件，其四周可能存在缺角或切边，通过弹性抵接部可沿弧面所在的圆周方向进行长度延伸。具有一定长度的弹性抵接部，与工件的接触点更多，在夹持时使得弹性抵接部与工件的接触点更多。进而在夹持时使得弹性抵接部可以与工件的规则部分相接触，避开了工件存在缺角与切边的部分，使得非规则的工件也可以被弹性抵接部所牢固的固定。
17.根据本实用新型的第二个目的，本实用新型提出了一种定位装置，用于调整工件位置，包括：第一夹持组件；第二夹持组件，第二夹持组件包括第二夹持部，第二夹持部为如上述任一技术方案中的弹性件，第二夹持组件与第一夹持组件相对设置，第一夹持组件和第二夹持组件围设出一空间，工件位于空间内，驱动件，与第一夹持组件和第二夹持组件相连接，驱动件用于驱动第二夹持组件和第一夹持组件相对于工件运动，以使第二夹持组件和第一夹持组件与工件相抵接。
18.本实用新型提供的定位装置包括第一夹持组件、第二夹持组件和驱动件。其中，第二夹持组件包括第二夹持部，第二夹持部为如上述任一技术方案中的弹性件，弹性件本身具有弹性，其可与需要调整位置或固定的工件相抵接，以控制工件的运动或静止状态。
19.第二夹持组件与第一夹持组件相对设置。在定位过程中，第一夹持组件和第二夹持组件围设出一空间，工件位于该空间内。通过第二夹持组件与第一夹持组件的相互配合，共同实现对晶圆的定位。工件受到第一夹持组件与第二夹持组件从不同方向传递的夹紧作用，使得定位的结构更稳定，保证了工件位置的准确性。
20.进一步地，定位组件中还包括驱动件，驱动件与第一夹持组件和第二夹持组件相连接。驱动件用于驱动第二夹持组件和第一夹持组件相对于工件运动，以使弹性抵接部与工件相抵接。
21.具体地，当对工件进行定位固定时，驱动件驱动第一夹持组件与第二夹持组件相对于工件做靠近运动，进而第一夹持组件和第二夹持组件靠近工件，并与工件的圆周接触面发生接触。在接触的过程中，第二夹持组件中本身具有弹性的弹性件在驱动件的作用下与工件紧密接触。弹性件与工件的接触面接触时，因工件抵抗夹持所产生的作用力使得第二弹性夹持部发生形变而产生弹性回复力，进而使得第二夹持组件压靠在工件的接触面
上，且接触的形式为软接触，使得既可以牢固的夹持晶圆工件，避免了晶圆工件与夹持件之间发生摩擦，又可以依靠产生的形变抵消部分夹紧力，避免因夹紧力过大而导致晶圆在固定过程中表面损伤的现象发生，第一夹持组件抵接在工件的另一侧，进而与第二夹持组件配合在多个方向对工件进行了固定，牢固地夹持了工件。保证了工件位置的准确性。
22.进一步地，定位组件中的第一夹持组件和第二夹持组件在靠近工件至抵接，即完成定位后，第一种情况是：第一夹持组件和第二夹持组件与工件分离，即驱动件再驱动第一夹持组件和第二夹持组件做反方向运动；第二种情况是：第一夹持组件和第二夹持组件维持抵接状态不动，使得工件被夹持的更加牢固和稳定。
23.其中，第一种情况体现的是定位组件对工件的调节作用，用于规整工件的位置；第二种情况体现的是定位组件的调节以及定位作用，即将工件的位置进行规整，然后保持规整后的状态不动。
24.在二种情况下，存在的一种状态是：当工件进入下一步工序，例如清洗或加工时，如机械手等的外部操作件对工件进行转移。驱动件驱动第一夹持组件与第二夹持组件做反方向运动，第一夹持组件与第二夹持组件松开并远离所夹持的工件，为工件进行清洗或加工时的转移提供了操作的空间，从而避免部件在工作的过程中产生部件干涉而对工件造成损坏。
25.因此，本实用新型提出的定位装置，通过设置有第一夹持组件与第二夹持组件，进而在驱动件的驱动下从多个方向对工件进行夹持，使得工件的位置得到调节，使工件位于预设位置上。第二夹持组件中包括有第二夹持部，第二夹持部为弹性件，进而避免接触的过程中与工件发生碰撞摩擦，降低了工件损伤发生的概率，也降低了操作的难度。同时，因弹性件本身具有弹性，使得用于固定的第二夹持组件安装简单便捷，删减了弹簧夹紧件在工件定位中的使用数量；弹性件为非金属材质或弹性抵接部为非金属材质，避免出现金属颗粒杂质，减少对工件造成污染的现象发生。
26.另外，本实用新型提供的上述技术方案中的定位装置还可以具有如下附加技术特征：
27.在上述技术方案中，第一夹持组件包括：第一支撑部和第一夹持部，第一夹持部通过第一支撑部连接于驱动件；第二夹持组件还包括：第二支撑部，第二夹持部通过第二支撑部连接于驱动件。
28.在驱动件的驱动下运动，以使第一夹持部和第二夹持部与工件抵接。
29.在该技术方案中，第一夹持组件包括第一支撑部和第一夹持部，第一夹持部设置在第一支撑部上，第一夹持部在进行夹持固定时与工件发生接触，第一支撑部对第一夹持部在夹持工件时，起到支撑的作用。使得第一夹持部可以更好的与工件紧密接触，对工件产生更好的固定效果。第一夹持部通过第一支撑部与驱动件连接，第一支撑部设置在驱动件上，在驱动件的驱动下运动，第一支撑部运动，从而带动第一夹持部运动，与工件抵接，且还可以与工件分离。
30.在该技术方案中，第二夹持组件还包括第二支撑部，第二夹持部通过第二支撑部连接于驱动件。第二夹持部在进行夹持固定时与工件发生接触，第二支撑部对第二夹持部在夹持工件时，起到支撑作用。使得第二夹持部可以更好的与工件紧密接触，对工件产生更好的位置调节与定位的效果。第二夹持部通过第二支撑部与驱动件连接，第二支撑部设置
在驱动件上，在驱动件的驱动下运动，第二支撑部运动，从而带动第二夹持部运动与工件相抵接，且还可以与工件分离。
31.在驱动件的驱动下运动，以使第一夹持部和第二夹持部与工件抵接。
32.在上述任一技术方案中，第一夹持部为如上述任一技术方案中的弹性件。
33.在该技术方案中，第一夹持部为弹性件，通过第一夹持部与第二夹持部皆为弹性件，第一夹持部与第二夹持部相配合以实现对工件进行定位，进而使得被夹持的工件处于第一夹持部与第二夹持部所围成空间的作用中心，相对设置的夹持部使得工件被夹持的更加牢固，提升了夹持的稳定性。
34.进一步地，第一夹持部与第二夹持部皆为弹性件，使得第一夹持部与第二夹持部的本身均具有弹性，进而在受驱动力而对工件进行夹持的过程中，在抵接到被夹持工件时，因为两股相反力的作用下，第二夹持部与第一夹持部均产生了弹性形变，进而使得第一夹持部与第二夹持部与被夹持产品的接触点更多，一方面增强了夹持结构的稳定性，一方面使得工件与全部夹持件的接触形式均为弹性接触，避免产品在夹持的过程中因力度过大而发生损坏。
35.使用弹性件对工件进行夹持，弹性件为非金属材质，完全去除了使用传统技术中的弹簧夹紧件。从而避免了弹簧金属材质中存在的颗粒对于产品产生金属污染情况的发生，保证了工件处理过程中的洁净度，同时，弹性件的韧性可以降低安装的难度。
36.在上述任一技术方案中，第一夹持部为固定件，固定件与第一支撑部直接连接或固定件通过弹簧与第一支撑部连接。
37.在该技术方案中，一方面，第一夹持部为固定件，固定件与第一支撑部直接连接，固定件与第一支撑部之间的距离固定，以使得第一夹持部可以在对工件做调整或定位时，与工件相接触从而对工件进行固定。
38.一方面，第一夹持组件中还包括弹簧，弹簧连接于第一固定件和第一支撑部，使得第一支撑部与固定件之间形成了一个弹性连接的结构。当固定件与工件发生接触时，固定件因工件的挤压而将力传导到弹簧上，使得弹簧因挤压力的作用而产生弹性形变，进而产生弹性回复力，固定件基于弹簧产生的弹性回复力而压靠在工件的周侧，以使得固定件对工件进行抵接。
39.在上述任一技术方案中，沿垂直于驱动件的运动方向，第一支撑部可连接至少两个第一夹持部，至少两个第一夹持部间隔分布；第二支撑部可连接至少两个第二夹持部，至少两个第二夹持部间隔分布。
40.在该技术方案中，沿垂直于驱动件的运动方向，第一支撑部可连接至少两个第一夹持部，第二支撑部可连接至少两个第二夹持部。当需要夹持的工件的数量为多个时，多个第一夹持部与多个第二夹持部相配合，在相对的方向上与工件进行抵接，以实现对多个工件同时调整位置及定位，提升了对工件进行调整与定位的效率。
41.进一步地，至少两个第一夹持部间隔分布，至少两个第二夹持部间隔分布，间隔分布的含义是：在满足对多个工件进行定位的基础上，还可以使多个工件之间存在一定的间隔，进而避免相邻设置的工件因距离太紧而导致工件表面之间摩擦，从而损伤工件表面情况的发生。同时，也可以在工件进行下一步骤，如清洗或加工时，方便外部转移件如机械手等对工件的夹持移动，进而增强了定位装置的使用范围。
42.弹性件还包括凸起部，凸起部设置于弹性连接部远离弧形的圆心的一侧，弹性件通过凸起部连接于驱动件，凸起部根据工件的尺寸适配更替，以使空间内可容纳不同尺寸的工件；或定位装置还包括过渡件，弹性件通过过渡件与驱动件连接，过渡件根据工件的尺寸适配更替，以使空间内可容纳不同尺寸的工件。
43.当第一夹持部和第二夹持部均为弹性件时，弹性件通过凸起部连接于驱动部，具体地，第一夹持组件：弹性件通过凸起部连接于第一支撑部，第一支撑部与驱动件连接；第二夹持组件：弹性件通过凸起部连接于第二支撑部，第二支撑部与驱动件连接；
44.当第一夹持部和第二夹持部均为弹性件时，弹性件通过过渡件与驱动部连接，具体地，第一夹持组件：弹性件通过过渡件连接于第一支撑部，第一支撑部与驱动件连接；第二夹持组件：弹性件通过过渡件连接于第二支撑部，第二支撑部与驱动件连接。
45.当第一夹持部为固定件，第二夹持部为弹性件时，弹性件通过凸起部连接于驱动部，具体地，第二夹持组件：弹性件通过凸起部连接于第二支撑部，第二支撑部与驱动件连接；
46.当第一夹持部为固定件，第二夹持部为弹性件时，弹性件通过过渡件与驱动件连接，具体地，第一夹持组件：固定部通过过渡件连接于第一支撑部，第一支撑部与驱动件连接；第二夹持组件：弹性件通过过渡件连接于第二支撑部，第二支撑部与驱动件连接。
47.弹性件还包括凸起部，凸起部设置于弹性连接部远离弧形的圆心的一侧，弹性件通过凸起部连接于驱动件，凸起部的长度可沿驱动件的运动方向水平延伸，或者凸起部可以根据不同尺寸的工件来进行适配更替，以使空间内可容纳不同尺寸的工件；或定位装置还包括过渡件，弹性件通过过渡件与驱动件连接，过渡件的长度可沿驱动件的运动方向水平延伸，或者凸起部可以根据不同尺寸的工件来进行适配更替，以使空间内可容纳不同尺寸的工件。
48.在该技术方案中，一方面，弹性件包括凸起部，凸起部设置于弹性连接部远离弧形的圆心的一侧，即凸起部与弹性抵接部分别位于弹性件的两侧。弹性件通过凸起部连接于第一支撑部和/或第二支撑部，使得第一支撑部和/或第二支撑部可以稳定支撑弹性件进行夹持。凸起部的长度可沿驱动件的运动方向水平延伸或凸起部可以根据不同尺寸的工件来进行适配更替，以使所围成的空间可容纳不同尺寸的工件，增大定位组件的使用范围。
49.一方面，定位装置还包括过渡件，弹性件通过过渡件与第一支撑部和/或第二支撑部连接。使得第一支撑部和/或第二支撑部可以稳定支撑弹性件进行夹持，过渡件的长度可沿驱动件的运动方向水平延伸，或者可以根据不同尺寸的工件来进行适配更替，以使所围成的空间可容纳不同尺寸的工件，增大产品的使用范围，过渡件起到的是连接作用。
50.例如，当工件的尺寸较小时，凸起部可沿驱动件的运动方向，向工件做水平延长，较长的凸起部将弹性件和第一支撑件和/或第二支撑件连接到一起；或者，依据工件尺寸，替换另一凸起部；以使得在第一支撑件和/或第二支撑件与工件的位置不变时，弹性件也可与较小尺寸的工件相接触，以对工件进行夹持。
51.在上述任一技术方案中，定位装置还包括：基座；至少一对滑动件，设置于基座上，分别与第一夹持组件和第二夹持组件相连；驱动件与基座连接，驱动件用于驱动滑动件运动，以使第二夹持组件和第一夹持组件同时靠近或远离工件。
52.在该技术方案中，定位装置还包括基座和滑动件，基座承载整个定位装置，至少一
对滑动件设置于基座上，分别与第一夹持组件和第二夹持组件相连接，驱动件与基座连接，驱动滑动件滑动，以带动滑动件上第二夹持组件和第一夹持组件同时靠近或远离工件。进而调整工件的位置。
53.具体地，基座内部设有安装腔，基座的壳体上设置有通道，驱动件设置在基座的安装腔内，并通过通道与设置与基座上的滑动件相连接，驱动件能够驱动滑动件带动第一夹持组件和第二夹持组件滑动。
54.具体地，驱动件同时驱动第一夹持组件和第二夹持组件相向滑动，以对工件进行夹持，驱动件同时驱动第一夹持组件和第二夹持组件相反向滑动，以松开所夹持的工件。
55.根据本实用新型的再一个目的，本实用新型还提出了一种处理设备，包括上述任一技术方案中的定位装置。
56.根据本实用新型的再一个目的，还提出了一种处理设备，因包括上述任一技术方案中的定位装置，因此具有上述定位装置的全部有益效果，在此不作赘述。
附图说明
57.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
58.图1示出了本实用新型一个实施例中弹性件的结构示意图；
59.图2示出了图1所示实施例弹性件所抵接工件的结构示意图；
60.图3示出了本实用新型又一个实施例中弹性件的结构示意图；
61.图4示出了图3所示实施例中所抵接工件的结构示意图；
62.图5示出了图3所示实施例中弹性件抵接工件状态下的结构示意图；
63.图6示出了图5所示实施例中c处的放大图；
64.图7示出了本实用新型一个实施例中定位装置的结构示意图；
65.图8示出了图7实施例的定位装置夹持工件状态示意图之一；
66.图9示出了图7实施例的定位装置夹持工件状态示意图之二；
67.图10示出了本实用新型又一个实施例中定位装置的结构示意图；
68.图11示出了图10所示的定位装置的结构示意图之一；
69.图12示出了本实用新型又一实施例中定位装置的结构示意图；
70.图13示出了图12实施例中定位装置的左视图；
71.图14示出了本实用新型又一实施例中定位组件的结构示意图；
72.图15示出了图14实施例中定位组件的俯视图。
73.其中，图1至图15中附图标记与部件名称之间的对应关系为：
74.1定位装置，12第一夹持组件，122第一夹持部，124第一支撑部，126弹簧，14第二夹持组件，142弹性件，1422弹性抵接部，1424弹性连接部，1426凸起部，144第二支撑部，16基座，18滑动件，17驱动件，19第三支撑部，20工件，146过渡件。
具体实施方式
75.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本实
用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
76.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不限于下面公开的具体实施例的限制。
77.下面参照图定位装置1至图15描述根据本实用新型一些实施例所述的弹性件142、定位装置1和处理设备。
78.实施例一
79.如图1和图2所示，本实用新型的一个实施例提出了一种弹性件142，包括：弹性连接部1424，弹性连接部1424呈弧形；两个弹性抵接部1422，位于弹性连接部1424靠近弧形的圆心的一侧，弹性抵接部1422设置于弹性连接部1424的两端。
80.在该实施例中，本实用新型提供的弹性件142包括弹性连接部1424和至少两个弹性抵接部1422。其中，弹性连接部1424呈弧形，弹性连接部1424本身具有弹性。相对设置的两个弹性件142同时夹持工件20，安装难度低，避免对工件产生损伤，即避免了相关技术中，采用弹簧作为弹性件导致的安装不良，从而引起的夹紧不到位或过度夹紧而对工件造成损伤的问题。
81.两个弹性抵接部1422，位于弹性连接部1424靠近弧形的圆心的一侧，弹性抵接部1422设置于弹性连接部1424的两端。弹性连接部1424对两个弹性抵接部1422在夹持工件20时，起到支撑与连接的作用，使得弹性抵接部1422在与工件20抵接时，因工件20提供的反向接触力和连接部的支撑而产生形变，形变后的弹性抵接部1422与工件20之间有更多的接触点。这样，既可以更好的与工件20紧密接触，对工件20产生更好的调节与固定效果，又可以避免与工件20发生硬接触而造成工件20损坏的现象发生。
82.具体地的，两个弹性抵接部1422与弹性连接部1424为一体式结构。弹性件142为非金属材质，可以为：橡胶弹性件，或硅胶弹性件，或聚丙烯材质弹性件，或聚偏氟乙烯材质的弹性件，或聚醚醚酮材质的弹性件等等，采用非金属材质的弹性件，进而完全避免金属离子污染以及有效降低杂质污染。
83.在可能的情况下，弹性件142也可使用金属材质如不锈钢等，也可有效降低杂质污染。
84.进一步地，两个弹性抵接部1422，位于弹性连接部1424靠近弧形的圆心的一侧，弹性抵接部1422设置于弹性连接部1424的两端。这样，当使用弹性件142与工件20接触进行夹持时，首先接触到工件20的是弹性抵接部1422，弹性连接部1424不与工件20产生接触，避免与工件20发生硬接触而造成工件20损坏的现象发生。
85.本实用新型所提供的弹性件142通过具有弹性的弹性连接部1424和至少两个弹性抵接部1422，使得在使用弹性件142进行抵接时，可以产生弹性形变而更好的与工件20进行贴合，产生更好的调节或固定效果，避免与工件20发生硬接触而造成工件20损坏的现象发生，且弹性件142具有一定的韧性，从而降低了安装难度，提高了使用其进行固定的便捷性。
86.其中，工件为晶圆，如图1所示，弧面对应的半径r根据晶圆大小的不同更改尺寸。弹性件的弹性受材质、弹性件连接部的厚度d，弹性件连接部的长度l影响。不同材质的弹性模量不同，所以在采用不同的材质时，弹性件的尺寸(弹性件连接部的厚度，弹性件连接部的长度)也需进行调整。
87.实施例二
88.在本实用新型的一个实施例中，如图3所示，弹性抵接部1422远离弹性连接部1424的一侧为内凹的弧面，弹性抵接部1422可沿弧面所在的圆周方向进行长度延伸。
89.在该实施例中，弹性抵接部1422远离弹性连接部1424的一侧为内凹的弧面。使得弹性抵接部1422与工件20的接触时具有一定的斜度，更加符合工件20的形状。进而与工件20的接触点变多，使得弹性抵接部1422可以以更贴合的姿态与工件20的边缘接触。产生更好的定位效果。具体地，工件20可以为晶圆。
90.进一步地，弹性抵接部1422可沿弧面所在的圆周方向进行长度延伸。对于非规整的工件20，如图4所示，其四周可能存在缺角a或切边b，通过弹性抵接部1422可沿弧面所在的圆周方向进行长度延伸。具有一定长度的弹性抵接部1422，与工件20的接触点更多，如图5和图6所示，在夹持时使得弹性抵接部1422与工件20的接触点更多。进而在夹持时使得弹性抵接部1422可以与工件20的规整部分相接触，避开了工件20存在缺角与切边的部分，使得非规则的工件20也可以被弹性抵接部1422所牢固的固定。
91.实施例三
92.如图7，图8和图9所示，本实用新型的一个实施例提出了一种定位装置1，用于调整工件20位置，包括：第一夹持组件12；第二夹持组件14，第二夹持组件14包括第二夹持部，第二夹持部为如上述任一实施例中的弹性件142，第二夹持组件14与第一夹持组件12相对设置，第一夹持组件12和第二夹持组件14围设出一空间，工件20位于空间内；驱动件17，与第一夹持组件12和第二夹持组件14相连接，驱动件17用于驱动第二夹持组件14和第一夹持组件12相对于工件20运动，以使第一夹持组件12和第二夹持组件14与工件20相抵接。
93.在该实施例中，本实用新型提供的定位装置1包括第一夹持组件12、第二夹持组件14和驱动件17。其中，第二夹持组件14包括第二夹持部，第二夹持部为如上述任一实施例中的弹性件142，弹性件142本身具有弹性，其可与需要调整位置或固定的工件20相抵接，以控制工件20的运动或静止状态。
94.如图7、图8、图9所示，第二夹持组件14与第一夹持组件12相对设置。在定位过程中，第一夹持组件12和第二夹持组件14围设出一空间，工件20位于该空间内。通过第二夹持组件14与第一夹持组件12的相互配合，共同实现对工件20的定位。工件20受到第一夹持组件12与第二夹持组件14从不同方向传递的夹紧作用，使得定位的结构更稳定，保证了工件20位置的准确性。
95.进一步地，定位组件中还包括驱动件17，驱动件17与第一夹持组件12和第二夹持组件14相连接。驱动件17用于驱动第二夹持组件14和第一夹持组件12相对于工件20运动，以使弹性抵接部1422与工件20相抵接。
96.具体地，当对工件20进行定位固定或调节时，驱动件17驱动第一夹持组件12与第二夹持组件14相对于工件20做相向运动，进而第一夹持组件12和第二夹持组件14靠近工件20，并与工件20的圆周接触面发生接触。在接触的过程中，第二夹持组件14中本身具有弹性的弹性件142在驱动件17的作用下与工件20紧密接触。弹性件142与工件20的接触面接触时，因工件20抵抗夹持所产生的作用力使得第一弹性夹持部发生形变而产生弹性回复力，进而使得第二夹持组件14压靠在工件20的接触面上，且接触的形式为软接触，使得既可以牢固的夹持工件20，避免了工件20与夹持件之间发生摩擦，又可以依靠产生的形变抵消部
分夹紧力，避免因夹紧力过大而导致工件20在固定过程中表面损伤的现象发生，第一夹持组件12抵接在工件20的另一侧，进而与第二夹持组件14配合在多个方向对工件20进行了固定，牢固地夹持了工件20。保证了工件20位置的准确性。
97.具体地，驱动件17可以为气缸或电机。
98.进一步地，当工件20进入下一步工序，例如清洗或加工时，如机械手等的外部操作件对工件20进行转移。驱动件17驱动第一夹持组件12与第二夹持组件14做反方向运动，第一夹持组件12与第二夹持组件14松开并远离所夹持的工件20，为工件20进行清洗或加工时的转移提供了操作的空间，从而避免部件在工作的过程中产生部件干涉而对工件20造成损坏。
99.因此，本实用新型提出的定位装置1，通过设置有第一夹持组件12与第二夹持组件14，进而在驱动件17的驱动下从多个方向对工件20进行夹持固定，使得工件20被牢固的固定。第二夹持组件14中包括有第二夹持部，第二夹持部为弹性件142，进而避免接触的过程中与工件20发生碰撞摩擦，降低了工件20损伤发生的概率，也降低了操作的难度。同时，因弹性件142本身具有弹性，使得用于固定的第二夹持组件14安装简单便捷，删减了弹簧126夹紧件在工件20定位中的使用数量，避免出现金属颗粒杂质，减少对工件20造成污染的现象发生。
100.在本实用新型的一个实施例中，如图7、图8和图9所示，第一夹持组件12包括：第一支撑部124和第一夹持部122，第一夹持部122通过第一支撑部124与驱动件17连接，在驱动件17的驱动下运动，以使第一夹持部122与工件20抵接；第二夹持组件14还包括：第二支撑部144，第二夹持部通过第二支撑部144连接于驱动件17。
101.在该实施例中，第一夹持组件12包括第一支撑部124和第一夹持部122，第一夹持部122设置在第一支撑部124上，第一夹持部122在进行夹持固定时与工件20发生接触，第一支撑部124对第一夹持部122在夹持工件20时，起到支撑的作用。使得第一夹持部122可以更好的与工件20紧密接触，对工件20产生更好的固定或调节效果。第一夹持部122通过第一支撑部124与驱动件17连接，第一支撑部124设置在驱动件17上，在驱动件17的驱动下运动，第一支撑部124运动，从而带动第一夹持部122运动，第一夹持部122与工件20抵接，且还可以与工件20分离。
102.在该实施例中，第二夹持组件14还包括第二支撑部144，第二夹持部通过第二支撑部144连接于驱动件17。第二夹持部在进行夹持固定时与工件20发生接触，第二支撑部144对第二夹持部在夹持工件20时，起到支撑作用。使得第二夹持部可以更好的与工件20紧密接触，对工件20产生更好的固定与调节效果。第二夹持部通过第二支撑部144与驱动件17连接，第二支撑部144设置在驱动件17上，在驱动件17的驱动下运动，第二支撑部144运动，从而带动第二夹持部运动与工件20相抵接，且还可以与工件20分离。
103.实施例四
104.在本实用新型的一个实施例中，如图10所示，弹性件142中的弹性抵接部1422的延伸方向与弹性连接部1424的延伸方向相同。
105.在该实施例中，弹性抵接部1422的延伸方向与弹性连接部1424的延伸方向相同，具体地，弹性抵接部1422与弹性连接部1424的延伸方向均为第二支撑部144的高度方向，这样，第一弹性抵接部1422与弹性连接部1424的厚度变大，具有更多与工件20接触的部分，实
现了仅使用单个第二夹持部就可以同时在一侧夹持多个工件20的效果，提升了工件20调整固定的效率。
106.因此，为了能在第一夹持组件12和第二夹持组件14围设的空间内放置多个工件20，可采用将弹性件142本身的结构进行调整，将如实施例1或实施例2中的弹性件142，在弹性件142的厚度方向进行延伸，弹性件142的厚度方向也就是多个工件20的排列方向，因此，当第一夹持组件12和第二夹持组件14靠近工件20运动时，可以同时对多个工件20调节或固定，这样，可增加定位装置的适用范围，可兼容多个工件20的同时调整或固定。
107.实施例五
108.如图7所示，在本实用新型的一个实施例中，第一夹持部122为如上述任一实施例中的弹性件142。
109.在该实施例中，第一夹持部122为弹性件142，通过第一夹持部122与第二夹持部皆为弹性件142，第一夹持部122与第二夹持部相配合以实现对工件20进行定位，进而使得被夹持的产品处于第一夹持部122与第二夹持部所围成空间的作用中心，相对设置的第一夹持部122与第二夹持部使得工件20被夹持的更加牢固，提升了夹持的稳定性。
110.进一步地，第一夹持部122与第二夹持部皆为弹性件142，使得第一夹持部122与第二夹持部的本身均具有弹性，进而在受驱动力而对工件20进行夹持的过程中，在抵接到被夹持工件20时，因为两股相反力的作用下，第二夹持部与第一夹持部122均产生了弹性形变，进而使得第一夹持部122与第二夹持部与被夹持产品的接触点更多，一方面增强了夹持结构的稳定性，一方面使得工件20与第一夹持部122和第二夹持部的接触形式均为弹性接触，避免产品在夹持的过程中因力度过大而发生损坏。
111.全部使用弹性件142对工件20进行夹持，完全去除了使用传统技术中的弹簧126夹紧件。从而避免了弹簧126金属材质中存在的颗粒对于产品产生金属污染情况的发生，保证了工件20处理过程中的洁净度，同时，弹性件142所具有的韧性可以降低安装的难度。
112.在本实用新型的一个实施例中，如图14和图15所示，第一夹持部122为固定件，固定件与第一支撑部124直接连接或固定件通过弹簧126与第一支撑部124连接。
113.在该实施例中，如图14所示，一方面，第一夹持部122为固定件，固定件与第一支撑部124直接连接，固定件与第一支撑部124之间的距离固定，以使得第一夹持部122可以在工件20做调整或定位时，与工件20相接触从而对工件20进行固定。
114.如图15所示，一方面，第一夹持组件12中还包括弹簧126，弹簧126连接于固定件和第一支撑部124，使得第一支撑部124与固定件之间形成了一个弹性连接的结构。当固定件与工件20发生接触时，固定件因工件20的挤压而将力传导到弹簧126上，使得弹簧126因挤压力的作用而产生弹性形变，进而产生弹性回复力，固定件基于弹簧126产生的弹性回复力而压靠在工件20的周侧，以使得固定件对工件20进行抵接。
115.具体地，固定件与工件20相接触的面为弹性平面，其可在与工件20发生接触时产生弹性形变，进而避免损伤工件20的周缘面。
116.实施例六
117.在本实用新型的一个实施例中，如图11所示，将定位装置放置于水平方向，则驱动件17的运动方向为水平方向，沿垂直于驱动件17的运动方向，也就是沿竖直方向，第一支撑部124可连接至少两个第一夹持部122，至少两个第一夹持部122间隔分布；第二支撑部144
可连接至少两个第二夹持部，至少两个第二夹持部间隔分布。任一第一夹持部122应有与之对应的第二夹持部，“对应”的含义是位于同一平面内，相对设置以夹持一个工件20。
118.在该实施例中，沿垂直于驱动件17的运动方向，第一支撑部124可连接至少两个第一夹持部122，第二支撑部144可连接至少两个第二夹持部。当需要夹持的工件20的数量为多个时，多个第一夹持部122与多个第二夹持部相配合，在相对的方向上与工件20进行抵接，以实现对多个工件20同时去调整位置与定位，提升了对工件20进行调整与定位的效率。
119.进一步地，至少两个第一夹持部122间隔分布，至少两个第二夹持部间隔分布，从而在满足对多个工件20进行定位的基础上，还可以使多个工件20之间存在一定的间隔，进而避免相邻设置的工件20因距离太紧而导致工件20表面之间摩擦，从而损伤工件20表面情况的发生。同时，也可以在工件20进行下一步骤，如清洗或加工时，方便外部转移件如机械手等对工件20的夹持移动，进而增强了定位装置1的使用范围。
120.实施例七
121.在本实用新型的一个实施例中，如图1、图3、图5、图7、图12和图13所示，弹性件142还包括凸起部1426，凸起部1426设置于弹性连接部1424远离弧形的圆心的一侧，弹性件142通过凸起部1426连接于第二支撑部144，凸起部1426的长度可沿驱动件17的运动方向水平延伸，以使空间内可容纳不同尺寸的工件20；或第二夹持组件14还包括过渡件146，弹性件142通过过渡件146与第二支撑部144连接，过渡件146的长度可沿驱动件17的运动方向水平延伸，以使空间内可容纳不同尺寸的工件20。
122.或者，凸起部1426可以根据不同尺寸的工件来进行适配更替，或者过渡件146可以根据不同尺寸的工件来进行适配更替。
123.在该实施例中，一方面，弹性件142包括凸起部1426，凸起部1426设置于弹性连接部1424远离弧形的圆心的一侧，即凸起部1426与弹性抵接部1422分别位于弹性件142的两侧。弹性件142通过凸起部1426连接于第二支撑部144，使得第二支撑部144可以稳定支撑弹性件142进行夹持。凸起部1426的长度可沿驱动件17的运动方向水平延伸，以使所围成的空间可容纳不同尺寸的工件20，增大定位装置的使用范围。
124.或者，凸起部1426可以根据不同尺寸的工件来进行适配更替，或者过渡件146可以根据不同尺寸的工件来进行适配更替。
125.具体地，凸起部1426上开设有通孔，第二支撑部144上开设有与之相同规格的通孔，螺钉通过穿设于凸起部1426上的通孔与第二支撑部144上开设的通孔将弹性件142可拆卸的设置于第二支撑部144上。
126.具体地，当工件20的尺寸较小时，凸起部1426可沿驱动件17的运动方向，向工件20做水平延长。较长的凸起部1426将弹性件142和第二支撑部144连接到一起，以使得在第二支撑部144与工件20的位置不变时，弹性件142也可与较小尺寸的工件20相接触，以对工件20进行夹持。这样，当被夹持的工件20的数量为多个且多个工件20的尺寸不一致时，保持第二支撑部144的位置不变，也可以通过改变多个凸起部1426的长度，使得不同的弹性件142可适配于各个尺寸的工件20，以实现对多个不同尺寸工件20的夹持。
127.一方面，定位装置1还包括过渡件146，弹性件142通过过渡件146与第二支撑部144连接。使得第二支撑部144可以稳定支撑弹性件142进行夹持，过渡件146的长度可沿驱动件17的运动方向水平延伸，以使所围成的空间可容纳不同尺寸的工件20，增大产品的使用范
围。这样，使得仅需要调整过渡件146的长度尺寸就可以使定位装置1夹持固定不同尺寸的工件20，无需调整弹性件142凸起部1426的尺寸。
128.或者，凸起部1426可以根据不同尺寸的工件来进行适配更替，或者过渡件146可以根据不同尺寸的工件来进行适配更替。
129.如图12所示，当第一夹持部122和第二夹持部均为弹性件142时，弹性件142通过过渡件146与驱动件17连接，具体地，第一夹持组件12：弹性件142通过过渡件146连接于第一支撑部124，第一支撑部124与驱动件17连接；第二夹持组件14：弹性件142通过过渡件146连接于第二支撑部144，第二支撑部144与驱动件17连接。
130.在本实用新型的一个实施例中，如图7所示，定位装置1还包括：基座16；至少一对滑动件18，设置于基座16上，分别与第一夹持组件12和第二夹持组件14相连；驱动件17与基座16连接，驱动件17用于驱动滑动件18运动，以使第二夹持组件14和第一夹持组件12同时靠近或远离工件20。
131.在该实施例中，定位装置1还包括基座16和滑动件18，基座16承载整个定位装置1，至少一对滑动件18设置于基座16上，分别与第一夹持组件12和第二夹持组件14相连接，驱动件17与基座16连接，驱动滑动件18滑动，以带动滑动件18上第二夹持组件14和第一夹持组件12同时靠近或远离工件20。进而调整工件20的位置。
132.具体地，基座16内部设有安装腔，基座16的壳体上设置有通道，驱动件17设置在基座16的安装腔内，并通过通道与设置与基座16上的滑动件18相连接，驱动件17能够驱动滑动件18带动第一夹持组件12和第二夹持组件14滑动。
133.优选地，驱动件17同时驱动第一夹持组件12和第二夹持组件14相向滑动，以对工件20进行夹持，驱动件17同时驱动第一夹持组件12和第二夹持组件14相反向滑动，以松开所夹持的工件20。
134.具体地，定位装置1的底板设置在基座16上，以使得多个第三支撑部19与底板形成支撑架，对定位装置1所夹持的工件20进行限位支撑。
135.根据本实用新型的一个实施例，本实用新型还提出了一种处理设备，包括上述任一实施例中的定位装置1。
136.本实施例提出的处理设备，因包括上述任一实施例中的定位装置1，因此具有上述定位装置1的全部有益效果，在此不作赘述。
137.上述实施例中的工件20为晶圆。
138.另外，如图11所示，与定位装置配合实现晶圆调节与定位的还包括第三支撑部19，定位装置1上设置有底板，第三支撑部19固定在底板上，第三支撑部19仅仅起到支撑的作用，没有限位的功能。在上道工序中，机械手等搬运装置将晶圆放置在第三支撑部19上，由于上到道工序中可能存在晶圆存在位置偏差的问题，为了避免下道工序中晶圆的位置准确，因此通过定位装置对晶圆的位置进行调节与定位，具体地，放置于第三支撑部19上的晶圆位于定位装置的空间内，通过驱动件17的作用，可实现晶圆位置的调整。
139.本实施例提供的处理设备，包括晶圆清洗槽，晶圆减薄机和晶圆滑片机等晶圆处理设备，解决了晶圆清洗过程中位置不准的问题，同时避免了晶圆收到损伤或污染，且既可以保证半导体晶圆的高效清洁，去除晶圆表面附着的金属离子、原子、有机物及微粒。而且可以批量性操作，简单可靠，安全方便，实用性大大增强。
140.在本说明书的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，除非另有明确的规定和限定；术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
141.在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
142.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。