用于TEM格栅施加的工具的制作方法

文档序号:31307643发布日期:2022-08-30 22:04阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种用于组装适于在电子成像设备中使用的样本承载架组件(20)的工具(10),所述样本承载架组件(20)包括样本架(21)、在分析设备中测量期间容纳样本的物体格栅(22)、以及c形弹性固定环(23),所述c形弹性固定环用于将所述物体格栅(22)可移除地固定到所述样本架(21)的槽(24)中,其特征在于,所述工具(10)包括细长的中空操纵装置(11),所述中空操纵装置具有围绕圆柱形销(11”)的保持套筒(11');所述圆柱形销(11”)能够在所述保持套筒(11')内在两个方向上从第一位置平移移动到第二位置以及从所述第二位置返回到所述第一位置,在所述第一位置中所述圆柱形销(11”)的下端从所述保持套筒(11')伸出,在所述第二位置中所述圆柱形销(11”)缩回到所述保持套筒(11')中;并且所述中空操纵装置(11)被设计和定尺寸成通过将所述圆柱形销(11”)移动到其第一位置中而能够将所述c形弹性固定环(23)推入所述样本架(21)的所述槽(24)中。2.根据权利要求1所述的工具,其特征在于,所述中空操纵装置(11)被设计和定尺寸成当所述圆柱形销(11”)处于其第二位置时所述c形弹性固定环(23)能够被接收在中空的所述保持套筒(11')内,以及当所述圆柱形销(11”)被推到所述c形弹性固定环上处于其第一位置中时所述c形弹性固定环能够从所述保持套筒(11')中滑出。3.根据权利要求2所述的工具,其特征在于,所述工具(10)包括保持装置(30),所述保持装置(30)优选地具有中心突出部(31),尤其是渐缩的或圆锥形的中心突出部(31),所述c形弹性固定环(23)能够放置在所述中心突出部上,并且之后能够从所述中心突出部用所述中空操纵装置(11)取出所述c形弹性固定环。4.根据权利要求3所述的工具,其特征在于,所述保持装置(30)的所述中心突出部(31)从凹陷部(32)中心伸出,所述凹陷部能够用作用于叉形抓持器(40)的接合部。5.根据权利要求4所述的工具,其特征在于,一凸起附接至所述保持装置(30)的从所述凹陷部(32)竖直伸出的所述中心突出部(31),使得所述c形弹性固定环(23)能够正确地定位在所述中心突出部上。6.根据权利要求4或5所述的工具,其特征在于,所述叉形抓持器(40)被设计成其能够以形配合方式放置在所述保持套筒(11')的下端上,并且其叉部能够插入所述保持装置(30)的所述凹陷部(32)中。7.根据权利要求6所述的工具,其特征在于,当所述叉形抓持器(40)放置在带有所述c形弹性固定环(23)的所述保持装置(30)上时,所述叉部的渐缩部分压在一起,使得使所述c形弹性固定环(23)滑入所述叉部内部的所述中空操纵装置(11)的所述保持套筒(11')中,在所述保持套筒中,所述c形弹性固定环通过所述c形弹性固定环(23)的预张紧力而固定在壁上,然后被压入到所述样本架(21)以夹持所述物体格栅(22)。8.根据权利要求3至7中任一项所述的工具,其特征在于,围绕所述保持装置(30)设置了附加的引导套筒(33),用于将所述中空操纵装置(11)竖直定位在所述保持装置(30)上。9.根据权利要求8所述的工具,其特征在于,所述引导套筒(33)为中空圆柱形的,并且被设计成其内径与所述保持装置(30)的外径相配合,使得所述引导套筒(33)能够同心地放置在所述保持装置(30)上。
10.根据权利要求9所述的工具,其特征在于,所述叉形抓持器(40)的外径等于或小于所述保持装置(30)的外径,使得当所述引导套筒(33)放置在所述保持装置(30)上时,带有所述叉形抓持器(40)的所述中空操纵装置(11)放置成使得叉部竖直接合在所述保持装置(30)的所述凹陷部(32)中。11.根据前述权利要求中任一项所述的工具,其特征在于,设置了复位元件(12),尤其是回位弹簧,用于将所述圆柱形销(11”)保持在其缩回到所述保持套筒(11')中的第二位置中,因此必须对所述圆柱形销(11”)施加力,才能将所述圆柱形销(11”)移动或保持在其下端从保持套筒(11’)伸出的第一位置中。12.一种用于借助于根据权利要求1至11中任一项所述的工具(10)组装电子成像设备中的样本承载架组件(20)的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(a)将容纳测量样本的物体格栅(22)施加到样本架(21)的贯穿开口(26)中的槽(24)上;(b)将所述c形弹性固定环(23)放在所述样本架(21)的顶部的贯穿开口(26)上;(c)将细长的中空操纵装置(11)放置于所述c形弹性固定环(23)上;(d)将圆柱形销(11”)移动到其第一位置中,从而在所述物体格栅(22)的顶部上按压所述c形弹性固定环(23)就位。13.一种用于借助于根据权利要求2至11中任一项所述的工具(10)组装电子成像设备中的样本承载架组件(20)的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:(a)将容纳测量样本的物体格栅(22)施加到样本架(21)的贯穿开口(26)中的槽(24)上;(c)将细长的中空操纵装置(11)放置于c形弹性固定环(23)上;(e)使所述中空操纵装置(11)的圆柱形销(11”)缩回至其在中空保持套筒(11')内的第二位置;(f)将所述保持套筒(11')的下端压到所述c形弹性固定环(23)上,从而接收所述c形弹性固定环并将其保持在所述圆柱形销(11”)下方的位置中;(g)将带有所述c形弹性固定环(23)的所述中空操纵装置(11)放置在所述样本架(21)的顶部的贯穿开口(26)上;(d)将所述圆柱形销(11”)移动到其第一位置中,从而在所述样本架(21)的所述贯穿开口(26)内部的所述物体格栅(22)的顶部上按压所述c形弹性固定环(23)就位。

技术总结
一种用于组装适于在电子成像设备中使用的样本承载架组件(20)的工具(10),样本承载架组件包括样本架(21)、在分析设备中测量期间容纳样本的物体格栅(22)以及用于将物体格栅可移除地固定到样本架的槽(24)中的C形弹性固定环(23),所述工具包括细长的中空操纵装置(11),中空操纵装置具有围绕圆柱形销(11”)的保持套筒(11');销在保持套筒内能够在两个方向上从第一位置平移移动到第二位置以及返回,在第一位置中销的下端从所述保持套筒伸出,在第二位置中销缩回到保持套筒中;并且中空操纵装置被设计和定尺寸成通过将圆柱形销移动到其第一位置中而能够将C形固定环推入样本架的槽中。这允许物体格栅方便且可靠地固定在承载架组件中。架组件中。架组件中。


技术研发人员:N
受保护的技术使用者:布鲁克AXS有限公司
技术研发日:2022.02.17
技术公布日:2022/8/29
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