本发明涉及吸盘，具体涉及一种转台吸盘治具。
背景技术：
1、在半导体硅环的机加工工艺中，对硅环的加工主要分为固定加工和转台加工，其中转台加工更为高效，其主要是利用吸盘治具通过负压吸附作为硅环加工的定位方式。
2、其中传统的吸盘治具主要由吸盘和转接板构成，吸盘通过转接板转接到转台上，如此加工时，通过吸盘吸附住硅环实现硅环的定位，然后转台带动整个吸盘治具和硅环转动进行加工步骤；然而现有的吸盘治具通常为专用治具，即一种治具只能适应一种直径的硅环，适用范围窄，因此在更换治具以适应不同的硅环时，需要将转接板和吸盘均进行更换，比较耗费时间，不利于生产效率的提升，因而还有待改进。
技术实现思路
1、为了解决背景技术中提到的至少一个技术问题，本发明的目的在于提供一种转台吸盘治具。
2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
3、一种转台吸盘治具，包括吸盘和转接板，所述转接板中心具有用以与转台的吸气孔相连通的中心气孔，所述吸盘可拆卸安装在所述转接板上，所述吸盘顶壁上开设有沿吸盘周向环绕的环槽，所述吸盘的底壁上设有与环槽相连通的负压孔；所述转接板内部具有与中心气孔相通的主通气道，所述转接板的上壁上开设有若干沿转接板径向间隔分布且均与主通气道相通的通气孔，所述治具还包括封堵件，所述封堵件用于可拆卸地封堵所述通气孔；组装状态下，所述负压孔与其中一个通气孔相重合连通，其余的通气孔分别通过封堵件实现封堵。
4、较之现有技术，采用本方案的优点在于：
5、本方案中，通过在转接板上设置主通气道，并设置沿转接板径向设置且与主通气道相连通的通气孔，还设置用于封堵通气孔的封堵件，如此相当于一个通气孔对应一种直径的吸盘，更换吸盘时，只需要将吸盘安装到转接板上，使其负压孔和与之相对应的通气孔相连通，并利用封堵件将其余剩下的通气孔封堵住即可。
6、由此可见，在应用于不同直径的硅环需要更换治具时，本方案无需更换转接板，只需将吸盘取下进行更换即可；相较之传统的需要将转接板和吸盘一起更换的治具而言，本方案所提供的治具无疑更换起来更加的方便快捷，有利于节省更换时间，从而提高生产效率。
7、作为优选，所述吸盘通过第一螺钉安装于转接板上，所述转接板上壁具有若干组沿转接板周向阵列分布的孔组，每组所述孔组包括若干沿转接板径向间隔分布的第一螺孔；所述吸盘上对应每组孔组位置设有第一通孔，组装状态下，所述第一螺钉穿过第一通孔与孔组中的其中一个第一螺孔螺纹连接。
8、作为优选，所述通气孔为螺孔结构，所述封堵件为与所述螺孔结构适配的螺纹件，所述封堵件螺纹配合在螺孔中。
9、作为优选，所述封堵件的上端不超出转接板的顶壁。
10、作为优选，所述封堵件采用内六角平端紧定螺钉。
11、作为优选，所述吸盘和转接板之间设有第一密封圈，所述第一密封圈环绕在所述负压孔的外周；和/或所述转接板和转台之间设有第二密封圈，所述第二密封圈环绕在中心气孔的外周。
12、作为优选，所述吸盘呈环状结构，所述吸盘的底部开设有一个或多个径向贯穿吸盘的排水槽。
13、作为优选，所述转台的顶部具有沿转台周向环绕的环状的定位凸起，所述转接板的底部开设有沿转接板周向环绕的环形的定位槽，当定位凸起卡入环形的定位槽中时，所述中心气孔与吸气孔轴向重合。
14、作为优选，所述主通气道沿转接板的径向延伸，所述若干通气孔沿主通气道的延伸方向形成两组，所述负压孔包括两个，两个负压孔分别对应两组所述通气孔。
15、作为优选，所述主通气道的两端均贯穿转接板的侧壁，所述治具还包括用于封堵主通气道两端的堵头。
16、本发明的其他优点和效果在具体实施方式部分进行具体阐释。
1.一种转台吸盘治具，包括吸盘和转接板，所述转接板中心具有用以与转台的吸气孔相连通的中心气孔，所述吸盘可拆卸安装在所述转接板上，其特征在于，所述吸盘顶壁上开设有沿吸盘周向环绕的环槽，所述吸盘的底壁上设有与环槽相连通的负压孔；所述转接板内部具有与中心气孔相通的主通气道，所述转接板的上壁上开设有若干沿转接板径向间隔分布且均与主通气道相通的通气孔，所述治具还包括封堵件，所述封堵件用于可拆卸地封堵所述通气孔；组装状态下，所述负压孔与其中一个通气孔相重合连通，其余的通气孔分别通过封堵件实现封堵。
2.根据权利要求1所述的一种转台吸盘治具，其特征在于，所述吸盘通过第一螺钉安装于转接板上，所述转接板上壁具有若干组沿转接板周向阵列分布的孔组，每组所述孔组包括若干沿转接板径向间隔分布的第一螺孔；所述吸盘上对应每组孔组位置设有第一通孔，组装状态下，所述第一螺钉穿过第一通孔与孔组中的其中一个第一螺孔螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种转台吸盘治具，其特征在于，所述通气孔为螺孔结构，所述封堵件为与所述螺孔结构适配的螺纹件，所述封堵件螺纹配合在螺孔中。
4.根据权利要求3所述的一种转台吸盘治具，其特征在于，所述封堵件的上端不超出转接板的顶壁。
5.根据权利要求3或4所述的一种转台吸盘治具，其特征在于，所述封堵件采用内六角平端紧定螺钉。
6.根据权利要求1所述的一种转台吸盘治具，其特征在于，所述吸盘和转接板之间设有第一密封圈，所述第一密封圈环绕在所述负压孔的外周；和/或所述转接板和转台之间设有第二密封圈，所述第二密封圈环绕在中心气孔的外周。
7.根据权利要求1所述的一种转台吸盘治具，其特征在于，所述吸盘呈环状结构，所述吸盘的底部开设有一个或多个径向贯穿吸盘的排水槽。
8.根据权利要求1所述的一种转台吸盘治具，其特征在于，所述转台的顶部具有沿转台周向环绕的环状的定位凸起，所述转接板的底部开设有沿转接板周向环绕的环形的定位槽，当定位凸起卡入环形的定位槽中时，所述中心气孔与吸气孔轴向重合。
9.根据权利要求1所述的一种转台吸盘治具，其特征在于，所述主通气道沿转接板的径向延伸，所述若干通气孔沿主通气道的延伸方向形成两组，所述负压孔包括两个，两个负压孔分别对应两组所述通气孔。
10.根据权利要求9所述的一种转台吸盘治具，其特征在于，所述主通气道的两端均贯穿转接板的侧壁，所述治具还包括用于封堵主通气道两端的堵头。