一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具的制作方法

一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具
【技术领域】
1.本实用新型属于治具的技术领域，尤其涉及一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具。


背景技术：

2.在半导体刻蚀设备以及外延设备中会用到很多精密石英环类部件，这些环类部件基本上都与工艺气体直接接触，因此对该类石英部件的表面清洗有最高的要求，防止因石英表面残留对晶圆表面造成污染，在清洗时需要将石英部件放置在工装治具上进行固定。由于生产工艺的差异，需要将多规格外径的石英环类部件放置在同一条洗净线进行清洗。现有的工装治具存在只能装夹一种规格尺寸的石英环类部件装夹，装夹尺寸不易调节，影响洗净效率等问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的就是解决背景技术中的问题，提出一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具，能够使装夹尺寸可调节，满足不同尺寸产品装夹需求。
4.为实现上述目的，本实用新型提出了一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具，包括支架、活动板、安装在支架上的固定板，所述固定板和活动板均设有若干卡爪，固定板和活动板上相邻的两个卡爪之间形成有卡槽，所述活动板活动安装在固定板上并在移动到预定位置后用紧固件固定，活动板沿固定板移动过程中活动板的卡爪会遮挡住固定板上的部分卡槽以装夹不同尺寸的产品。
5.作为优选，所述固定板上设有导向柱，所述活动板上设有滑槽，活动板安装在固定板后导向柱配合穿过滑槽，活动板移动过程中导向柱沿滑槽线性移动。
6.作为优选，所述紧固件为锁紧螺母，所述导向柱上设有外螺纹，锁紧螺母与导向柱螺纹连接。
7.作为优选，工装治具还包括支撑座和活动座，所述支撑座的两端安装在支架上并位于固定板的下方，所述活动座活动安装在支撑座上，所述活动座和支撑座上均设有限位安装槽。
8.作为优选，所述活动座上设有导向滑槽，所述支撑座上设有导柱，所述活动座安装在支撑座后导柱配合穿过导向滑槽，活动座移动过程中导柱沿导向滑槽线性移动。
9.作为优选，所述导柱外侧设有螺纹，所述导柱沿导向滑槽线性移动一定位置后用螺母锁紧。
10.作为优选，所述支撑座上设有若干螺纹孔，所述活动座上设有定位孔，所述活动座沿支撑座移动一定距离后用锁紧螺栓锁紧，锁紧螺栓配合安装在螺纹孔和定位孔上。
11.作为优选，所述限位安装槽的数量和卡槽的数量相同。
12.作为优选，所述固定板和活动板上的卡爪与支架的水平面之间呈锐角设置，卡爪的长度为100～150mm。
13.作为优选，所述支架包括左墙板、右墙板和底板，所述左墙板和右墙板安装在底板上，所述固定板的左、右端分别安装在左墙板和右墙板的内侧。
14.本实用新型的有益效果：本实用新型通过将活动板活动安装在固定板上并在移动到预定位置后用紧固件固定，活动板沿固定板移动过程中活动板的卡爪会遮挡住固定板上的部分卡槽，实现工装治具装夹尺寸的调节，满足不同尺寸产品装夹需求，提高清洗效率。
15.本实用新型的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
【附图说明】
16.图1是一种实施例的结构示意图；
17.图2是一种实施例的局部示意图；
18.图3是一种实施例的固定板示意图；
19.图4是一种实施例的活动板示意图；
20.图5是一种实施例的固定板和活动板安装示意图；
21.图6是一种实施例的支撑座示意图；
22.图7是一种实施例的活动座示意图。
23.图中：1-支架、2-固定板、3-活动板、4-支撑座、5-活动座、6-卡槽、7-卡爪、21-导向柱、31-滑槽、41-导柱、51-导向滑槽。
【具体实施方式】
24.实施例1参阅图1至图7，本实施例提供了一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具，包括支架1、活动板3、安装在支架1上两块相对设置的固定板2，固定板2和活动板3均设有若干卡爪7，固定板2和活动板3上相邻的两个卡爪7之间形成有卡槽6，活动板3活动安装在固定板2上并在移动到预定位置后用紧固件固定，活动板3沿固定板2上表面移动过程中活动板3的卡爪7会遮挡住固定板2上的部分卡槽6以装夹不同尺寸的产品，其中，产品包括但不限于石英环类产品，尺寸包括石英环类产品的厚度及直径。
25.固定板2上设有导向柱21，活动板3上设有滑槽31，活动板3安装在固定板2后导向柱21配合穿过滑槽31，活动板3移动过程中导向柱21沿滑槽31线性移动，通过导向柱21与滑槽31的配合作用使得活动板3在一定范围内线性移动。
26.紧固件为锁紧螺母，导向柱21上设有外螺纹，锁紧螺母与导向柱21螺纹连接，锁紧螺母的松紧简单，以便对活动板3的位置进行调节，锁紧螺母锁紧后活动板3及石英环类产品不易发生松动。
27.工装治具还包括支撑座4和活动座5，支撑座4的两端安装在支架1上并位于固定板2的下方，活动座5活动安装在支撑座4上，活动座5和支撑座4上均设有限位安装槽，限位安装槽数量与卡槽6的数量相同，增设支撑座4进一步提高了石英环类产品装夹的牢固性，通过活动座5的移动来调节支撑座4上限位安装槽的有效装夹尺寸。
28.活动座5上设有导向滑槽51，支撑座4上设有导柱41，活动座5安装在支撑座4后导柱41配合穿过导向滑槽51，活动座5移动过程中导柱41沿导向滑槽51线性移动，使得活动座5能够在一定范围内平稳线性移动。
29.导柱41外侧设有螺纹，导柱41沿导向滑槽51线性移动一定位置后用螺母锁紧，方
便活动座5的拆装固定，使得活动座5的位置调节便捷，螺母锁紧后活动座5及石英环类产品不易发生松动。
30.固定板2和活动板3上的卡爪7与支架1的水平面之间呈锐角设置，卡爪7的长度为100～150mm，卡爪7倾斜设置以便更好夹住产品，卡爪7的长度满足装夹直径200～420mm外径的石英环类产品。
31.支架1包括左墙板、右墙板和底板，左墙板和右墙板安装在底板上，固定板2的左、右端分别安装在左墙板和右墙板的内侧，支架为三面结构，方便清洗液的进入，提供较大的作业空间方便石英环类产品的拆装更换，提高清洗效率。
32.实施例2，除了支撑座5上设有若干螺纹孔，活动座5上设有定位孔，活动座5沿支撑座4表面移动一定距离后用锁紧螺栓锁紧，锁紧螺栓配合安装在螺纹孔和定位孔上之外，其余结构同实施例1相同，通过定位孔与螺纹孔的对应位置关系调节实现活动座5的位置调节。
33.本实用新型工作过程：
34.本工装治具在工作过程中，将活动板3安装在固定板2上表面后固定板2的导向柱21配合穿过活动板3上的滑槽31，活动座5安装在支撑座4的背面后支撑座4上的导柱41配合穿过活动座5上的导向滑槽51，固定石英环类产品时，先将石英环类产品的下半部放置在支撑座4的限位安装槽上，石英环类产品的上半部置于固定板2和活动板3的卡槽6内并通过夹爪7进行夹紧固定，当需要调节不同厚度尺寸的石英环类产品时，通过左右移动活动板3和活动座5，在活动板3移动过程中活动板3上的夹爪7会挡住固定板2上的部分卡槽6以改变卡槽6的有效装夹尺寸从而满足装夹不同厚度尺寸的石英环类产品，在活动座5移动过程中，活动座5与支撑座4上的限位安装槽之间会发生错位以更好地对产品侧面进行装夹固定，活动板3和活动座5移动至相应位置后将对应的螺母锁紧完成固定，最后将治具放入清洗区域即可对石英环状产品进行清洗。
35.上述实施例是对本实用新型的说明，不是对本实用新型的限定，任何对本实用新型简单变换后的方案均属于本实用新型的保护范围。