一种真空腔室中机械手的安装装置的制作方法

1.本实用新型属于机械手安装领域，具体属于一种真空腔室中机械手的安装装置。


背景技术：

2.在半导体生产领域中，经常需要将机械手安装在真空腔室中，以实现其在真空环境下的操作。在安装机械手之前，通常在真空腔室的顶端和底端分别设置第一开口和第二开口，再采用龙门吊将机械手经过第一开口吊入真空腔体内，通过人为牵引配合使得机械手安装在第二开口处，实现机械手定位安装。
3.如附图1-2所示，为了确保真空腔室的密封性，通常会在第二开口与机械手之间设置o型密封圈。在安装机械手过程中，由于腔室体积有限，观察视线受限，在接近真空腔室底端的开口处时，机械手容易发生偏差，产生磕碰；同时，龙门吊采用柔性绳索捆绑，机械手重心无法精准捕捉，因此机械手与绳索的接触面可能会处于倾斜状态，此种情况下如果配合调整不当，很容易造成机械手单边过早接触o型密封圈，对o型密封造成局部过压，破坏真空腔室的密封性。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本实用新型的目的在于提供一种真空腔室中机械手的安装装置，能够精准控制机械手中安装板的下降高度，确保安装板与腔室底部始终平行，提高了真空腔室中机械手的安装效率，避免真空腔室底部在安装过程中被损坏。
5.为了实现上述目的，本实用新型提出了如下技术方案：一种真空腔室中机械手的安装装置，包括：
6.真空腔室，其顶端设置有第一开口，底端设置有第二开口；
7.机械手，位于所述真空腔室内部，包括安装板；
8.辅助组件，包括至少两个液压油缸，所述液压油缸竖直安装在所述安装板的底部，所述液压油缸连接至同一个控制油路，所述控制油路能够驱动所述液压油缸同步升降；其中，所述安装板的面积大于所述第二开口的面积。
9.进一步的，还包括龙门吊，位于所述真空腔室的上方，连接所述安装板的顶部。
10.进一步的，所述龙门吊穿过第一开口连接所述安装板的顶端，且能够带动所述安装板进行升降。
11.进一步的，所述龙门吊通过三角吊具连接所述安装板的顶端。
12.进一步的，所述第二开口和安装板均为圆形结构，所述液压油缸均匀分布在圆形的安装板底部。
13.进一步的，所述液压油缸为三个，相邻的液压油缸之间间隔120
°
。
14.进一步的，所述安装板和第二开口之间设置有o型密封圈。
15.进一步的，所述机械手包括工作组件和固定组件，所述工作组件位于所述安装板
上方，所述固定组件位于所述安装板下方。
16.进一步的，还包括用于密封第一开口的密封盖板。
17.本实用新型提供的上述技术方案与现有技术相比，具有如下优点：本技术通过同一个控制油路控制不同液压油缸同步下降，同时多个液压油缸连接至机械手中安装板的不同位置，进而确保安装板在下降过程中始终与真空腔室底板平行，确保安装板与真空腔室底板中第二开口面接触，避免真空腔室底板局部受力被损坏；通过该安装装置，可以提高真空腔室中机械手的安装效率，还能保护真空腔室的密封性不被破坏，进一步扩展了真空腔室的应用范围。
附图说明
18.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。
19.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.附图中：
21.附图1为现有技术中机械手的安装装置示意图；
22.附图2为现有技术中机械手对o型密封圈的局部过压示意图；
23.附图3为本技术中机械手的安装装置示意图；
24.附图4为图3中安装装置的a向视图；
25.附图标号：1、真空腔室；11、第一开口；12、第二开口；13、密封盖板；14、o型密封圈；2、机械手；21、安装板；3、液压油缸；4、龙门吊；41、三角吊具。
具体实施方式
26.为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。以下描述中，需要理解的是，“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“纵”、“横”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“头”、“尾”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系、以特定的方位构造和操作，仅是为了便于描述本技术方案，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本实用新型的限制。
27.还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。当一个元件被称为在另一元件“上”或“下”时，该元件能够“直接地”或“间接地”位于另一元件之上，或者也可能存在一个或更多个居间元件。术语“第一”、“第二”、“第三”等仅是为了便于描述本技术方案，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
28.以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本实用新型实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本实用新型。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本实用新型的描述。
29.请参阅附图3-4，一种真空腔室中机械手的安装装置，包括：真空腔室1，其顶端设置有第一开口11，底端设置有第二开口12；机械手2，安装在真空腔室1内部；辅助组件，包括至少两个液压油缸3，液压油缸3竖直安装在安装板21的底部，液压油缸3连接至同一个控制油路，控制油路能够驱动液压油缸3同步升降；其中，安装板21的面积大于第二开口12的面积。
30.如附图1-2所示，当机械手2安装过程采用吊具自上而下进行安装时，需要依靠龙门吊4以及三角吊具41连接机械手2，当机械手2的安装板21靠近真空腔室1底部时，尤其是在视野受限的情况下，无法确保安装板21与真空腔室1底面平行，也就无法确保安装板21能够与真空腔室1底部的o型密封圈14均匀接触，这就导致o型密封圈14或者真空腔室1底板受力不均，会被损坏。
31.本技术为了确保机械手2安装过程中，安装板21与真空腔室1均匀接触，增设了辅助组件，辅助组件包括至少两个液压油缸3，且液压油缸3竖直安装在机械手2的安装板21底部，液压油缸3连接至同一个控制油路，控制油路能够驱动液压油缸3同步升降；在机械手2下降过程中，液压油缸3的伸缩杆末端与安装板21底部相抵接，并带动机械手2中安装板21进行升降。本技术通过同一个控制油路控制不同的液压油缸3均匀同步下降，可以确保安装板21始终平行与真空腔室1的底板，这样就可以避免机械手2对真空腔室1底部产生局部过压，确保真空腔室1底板不被损坏。
32.本技术中安装板21的面积大于第二开口12的面积，当安装板21下降至第二开口12处时，正好覆盖在第二开口12上，使得真空腔室1底部的第二开口12被密封覆盖。这里所说的面积指的是平行于真空腔室1底板所在平面上的截面面积。
33.本技术通过同一个控制油路控制不同液压油缸3同步下降，同时多个液压油缸3连接至机械手2中安装板21的不同位置，进而确保安装板21在下降过程中始终与真空腔室1底板平行，确保安装板21与真空腔室1底板中第二开口12面接触，避免真空腔室1底板局部受力被损坏；通过该安装装置，可以提高真空腔室1中机械手2的安装效率，还能保护真空腔室1的密封性不被破坏，进一步扩展了真空腔室1的应用范围。
34.为了将机械手2安装在真空腔室1中，真空腔室1需要在其顶面开设第一开口11，用于自上而下传输机械臂，同时为了节省真空腔室1内部的体积，通常将机械手2中用于固定机械手2的固定组件设置在真空腔室1以外，用于搬运的工作的工作组件固定在真空腔室1内部，因此，在真空腔室1底部开设有第二开口12，当机械手2自上而下安装在真空腔室1中时，位于机械手2下方的固定组件位于真空腔室1下方，位于机械手2上方的工作组件位于真空腔室1内部。本技术中安装板21位于固定组件和工作组件之间的位置，当机械手2安装在真空腔室1中时，固定组件正好位于第二开口12的下方，工作组件正好位于第二开口12的上方，安装板21正好覆盖第二开口12。
35.在机械手2安装过程中，吊具对机械手2的固定以及液压油缸3对机械手2的作用力，均作用在安装板21中。安装板21的面积略大于第二开口12的面积，当安装板21放置在第
二开口12中时，可以对第二开口12进行覆盖，在第二开口12和安装板21之间还需要设置o型密封圈14，可以确保安装板21与第二开口12密封连接，确保机械手2安装之后的真空腔室1处于密封状态，可以持续保持真空状态。
36.作为一种具体的实施例，第二开口12和安装板21均为圆形结构，液压油缸3均匀分布在圆形的安装板21底部。液压油缸3为三个，相邻的液压油缸3之间间隔120
°
；如附图4所示。当然，本技术也可以设置多于三个的液压油缸3，均匀分布在安装板21下方，用于承托安装板21。本技术中液压油缸3反向安装，其伸缩杆末端连接至安装板21的底端，其驱动端固定在机械手2外部的安装组件(图中未显示)，当驱动端驱动伸缩杆下降时，安装板21随着伸缩杆均匀下降。
37.由于液压油缸3的伸缩量程有限，本技术还需要龙门吊4辅助机械手2的安装，龙门吊4位于真空腔室1的上方，连接安装板21的顶部。其中，龙门吊4穿过第一开口11连接安装板21的顶端，且能够带动安装板21进行升降。具体的，龙门吊4通过三角吊具41连接安装板21的顶端。
38.本技术中龙门吊4通过三角吊具41带动机械手2穿过真空腔室1的第一开口11下降至真空腔室1内部，当安装板21到达液压油缸3的工作量程之内时，液压油缸3的伸缩杆上升至安装板21的下端并与之抵接，之后龙门吊4就不再作用于安装板21，而是液压油缸3带动安装板21下降，直至安装板21覆盖在第二开口12中o型密封圈14上；再撤去液压油缸3，并对第二开口12处进行密封处理。液压油缸3带动安装板21下降可以确保安装板21与o型密封圈14均匀面接触，避免o型密封圈14局部过压造成o型密封圈14损坏。
39.在安装好机械手2之后，第一开口11通过密封盖板13密封，确保真空腔室1的整体密封性。
40.可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。